JP3084347B2 - スピン乾燥処理装置 - Google Patents

スピン乾燥処理装置

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JP3084347B2
JP3084347B2 JP07168727A JP16872795A JP3084347B2 JP 3084347 B2 JP3084347 B2 JP 3084347B2 JP 07168727 A JP07168727 A JP 07168727A JP 16872795 A JP16872795 A JP 16872795A JP 3084347 B2 JP3084347 B2 JP 3084347B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は洗浄された長方形
状の基板を保持テ−ブルとともに高速回転させて乾燥さ
せるスピン乾燥処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造過程にお
いては、ワ−クとしての長方形状のガラス製の基板に回
路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロ
セスがある。これらのプロセスでは、上記基板の処理と
洗浄とが繰り返し行われる。
【0003】洗浄された基板を乾燥させるためには、上
記基板を保持テ−ブルに保持し、この保持テ−ブルとと
もに高速回転させ、それによって生じる遠心力を利用し
て上記基板に付着した洗浄液を除去するということが行
われている。
【0004】図5に従来の長方形状の基板1を保持する
ための保持テ−ブル2を示す。この保持テ−ブル2は本
体部3を有する。この本体部3は円盤状の中心部3a
と、この中心部3aの外周に突設された4本のア−ム3
bとからなる。4本のア−ム3bは同じ長さに設定さ
れ、それぞれのア−ム3bの先端部には係合部として所
定間隔で離間した2本の第1のピン4およびこの第1の
ピン4に比べて短く、しかも第1のピン4よりもア−ム
3bの基端側に配置された1本の第2のピン5が突設さ
れている。
【0005】そして、上記保持テ−ブル2には、上記基
板1が4つの角部を各ア−ム3bの一対の第1のピン4
に係合させるとともに、角部下面が上記第2のピン5に
支持される。つまり、基板1は4本のア−ム3bがその
長方形の対角線方向に沿う状態で上記保持テ−ブル2に
保持されている。
【0006】このように、基板1を保持した上記保持テ
−ブル2を高速で回転駆動すれば、遠心力によって上記
基板1に付着した洗浄液が除去されるから、その基板1
を乾燥させることができる。
【0007】ところで、最近、液晶表示装置の大型化に
よって上記基板1も大きくなってきている。たとえば従
来は300mm ×400mm の大きさであったが、最近では550m
m ×650mm の大きさの基板1が用いられるようになって
きている。
【0008】このように基板1が大型化すると、保持テ
−ブル2のア−ム3bの長さも基板1の対角線の長さに
応じて長くしなければならなくなり、それによって各ア
−ム3bの先端に設けられた第1、第2のピン4、5の
周速度が増大することが避けられない。第1、第2のピ
ン4、5の周速度が増大すると、そのピン4、5による
風切り音も大きくなるから、騒音の増大を招くことにな
る。
【0009】また、ア−ム3bが長くなると、ア−ム3
bに発生する遠心力が大きくなるから、その遠心力によ
ってア−ム3bに撓みが発生し易くなる。ア−ム3bに
撓みを発生しにくくするためには、ア−ム3bの肉厚を
厚くしてその剛性を向上させなければならない。する
と、保持テ−ブル2の高重量化を招き、保持テ−ブル2
を回転駆動するモ−タに加わる負荷が増大することにな
るから、モ−タを高性能化しなければならなくなる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】このように、保持テ−
ブルのア−ムに設けられた係合部に長方形状の基板の角
部を係合させて上記基板を保持テ−ブルに保持する構造
であると、基板の大型化にともなってア−ムを長尺化し
なければならないので、ア−ムの先端部に設けられた係
合部の周速度が増大し、その風切り音による騒音が大き
くなったり、遠心力が大きくなって撓みが発生し易くな
るなどのことがあった。
【0011】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、基板が大型化しても、保
持テ−ブルの回転中心から係合部までの寸法をできるだ
け小さくし、騒音や遠心力にともなう撓みの発生を低く
押さえることができるようにしたスピン乾燥処理装置を
提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項1に記載された発明は、洗浄処理された長方形
状の基板を高速回転される保持テ−ブルに保持して乾燥
させるスピン乾燥処理装置において、上記保持テ−ブル
は、中心部と、この中心部の外周に周方向にほぼ90度
間隔で設けられた4本のア−ムと、各ア−ムの先端部に
設けられ上記基板の短手方向両側および長手方向両側を
それぞれ係合保持する係合部とを有し、対向するそれぞ
れ一対の2組のア−ムの長さは、上記基板の短手方向と
長手方向との寸法差に応じた異なる長さに設定されてい
ることを特徴とする。
【0013】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、上記ア−ムの周縁部はエッジ部に形成されているこ
とを特徴とする。請求項1の発明によれば、長方形状の
基板を保持するそれぞれ一対の2組の係合部は、上記基
板の短手方向と長手方向との両側部を係合保持するた
め、対角線方向の角部を保持する場合に比べて保持テ−
ブルの2組のア−ムの長さを、短くすることができ、と
くに基板の短手方向に位置するア−ムは長手方向に位置
するア−ムよりもさらに短くすることができる。請求項
2の発明によれば、ア−ムの周縁部がエッジ部であるた
め、風切り音の発生を低減することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面を参照して説明する。図1乃至図3はこの発明の第
1の実施の形態を示し、図3に示すスピン乾燥処理装置
はカップ1を備えている。このカップ1は下カップ2a
と上カップ2bとから構成されている。上記下カップ2
aは上面が開放したお椀状に形成され、その底部中心部
分には通孔3が形成され、外周の上端縁には受けフラン
ジ4が形成されている。
【0015】上記上カップ2bは外周面が凸曲面をなし
たリング状に形成されていて、その外周面には取付け部
材5を介して連結フランジ6が設けられている。そし
て、この上カップ2bの連結フランジ6を上記下カップ
2aの受けフランジ4にパッキング7を介して接合さ
せ、それらを複数の蝶ナット8で結合することで一体化
している。
【0016】上記下カップ2aに形成された通孔3に
は、上記カップ1の内部へ突出するモ−タ9の駆動軸1
1が挿通されている。この駆動軸11の上端には保持テ
−ブル12が取付けられ、上記モ−タ9によって高速回
転させられるようになっている。この保持テ−ブル12
には、前工程である、洗浄工程で洗浄された液晶表示装
置に用いられる長方形状の基板13が後述するごとく保
持されるようになっている。したがって、上記保持テ−
ブル12が高速回転されることで、上記基板13に付着
した洗浄液が遠心力で除去されるようになっている。
【0017】上記下カップ2aの底壁には複数の排水口
体16が設けられ、この排水口体16は図示しないタン
クに配管接続されている。また、下カップ2aの周壁に
は、上カップ2bの下端よりも上部に周方向に所定間隔
で複数の排気口体17が接続され、これらは図示しない
排気ポンプに配管接続されている。
【0018】上記排水口体16からは下カップ2aに溜
まる洗浄液が排出され、上記排気口体17は上記保持テ
−ブル12が高速回転されることで発生する空気流を同
図に矢印Aで示すように円滑な流れとするための吸引力
を発生させるようになっている。
【0019】上記保持テ−ブル12は図1に示すように
円盤状の中心部21と、この中心部の外周に90度間隔
で設けられ対向するそれぞれ2本のア−ムが対をなす第
1、第2の2組のア−ム22a、22bからなる本体部
23を有する。第1、第2の各ア−ム22a、22bは
直杆部24の先端に先端部25が設けられた、ほぼT字
形状をなしている。
【0020】各ア−ムの先端部25には係合部を形成す
る一対の第1のピン26が周方向に所定間隔で離間して
立設されているとともに、第1のピン26よりも径方向
内方で、一対の第1のピン26の間の部分には、第1の
ピン26よりも高さ寸法が低い第2のピン27が立設さ
れている。
【0021】一対の第1のア−ム22aに設けられた第
1のピン26の間隔は上記基板13の短手方向の寸法よ
りもわずかに大きく設定され、一対の第2のア−ム22
bに設けられた第1のピン26の間隔は上記基板13の
長手方向の寸法よりもわずかに大きく設定されている。
【0022】それによって、上記基板13は、幅方向
(短手方向)両側を一対の第1のア−ム22aの第1の
ピン26に係合させ、長さ方向(長手方向)両側を一対
の第2のア−ム22bの第1のピン26に係合させると
ともに、それぞれの側辺部の下面を第1のピン26より
も基端側に設けられた第2のピン27に係合させて保持
されるようになっている。
【0023】上記第1のア−ム22aと第2のア−ム2
2bの直杆部24と先端部25との周縁部はエッジ部2
8に形成されている。このエッジ部28は図2に示すよ
うに上記ア−ムの周縁部を厚さ方向上面側と下面側との
両方向から面取り加工することで、厚さ方向中心に対し
て上下の形状が対称に形成されている。この実施の形態
では上記エッジ部28の角度は30度に設定されてい
る。さらに、上記先端部25の外周は円弧状の曲面に形
成されている。
【0024】上記構成のスピン乾燥処理装置によれば、
保持テ−ブル12のそれぞれ一対の第1のア−ム22a
と第2のア−ム22bとの長さを変え、各一対のア−ム
22a、22bの先端部に設けられる第1のピン26を
介して基板13の両側部を保持するようにした。
【0025】そのため、第1のア−ム22aと第2のア
−ム22bとの長さを、角部を保持する場合に比べて短
くすることができる。つまり、基板13の側部を保持す
る場合、保持テ−ブル12の回転中心Oから第1のア−
ム22aの第1のピン26までの寸法aは基板13の幅
方向の寸法の2分の1となり、上記回転中心Oから第2
のア−ム22bの第1のピン26までの寸法bは基板1
3の長さ方向の寸法の2分の1となる。
【0026】上記寸法a、bは、基板13の角部を保持
する場合の保持テ−ブル12の回転中心Oから上記基板
13の角部までの寸法c、つまり基板13の対角線の2
分の1の寸法cに比べて小さくすることができる。
【0027】それによって、上記第1のア−ム22aと
第2のア−ム22bの長さを、基板13の角部を保持す
る場合のア−ムの長さに比べて短くすることができる。
また、各ア−ム22a、22bを短くできれば、その先
端部25に設けられた第1、第2のピン26、27の周
速度を小さくできるから、それによって各ピン26、2
7の風切り音も小さくなり、騒音の発生を低減すること
ができる。
【0028】しかも、上記ア−ム22a、22bの周縁
部がエッジ部28であり、先端部25の外周が円弧状の
曲面であることによっても、保持テ−ブル12を高速回
転させたときの風切り音を低減させることができるか
ら、このことによっても騒音の発生を低く押さえること
ができる。
【0029】また、上記第1のア−ム22aと第2のア
−ム22bとを短くできたことで、保持テ−ブル12を
高速回転させたときに、遠心力によって上記各ア−ム2
2a、22bに発生する撓みを小さくすることができ
る。換言すれば、上記各ア−ム22a、22bに発生す
る撓みを小さくするために、これらア−ム22a、22
bを厚肉化して剛性を高めるということをせずにすむか
ら、保持テ−ブル12の軽量化を計ることができる。
【0030】さらに、第1のピン26が、基板13の角
部を保持する場合に比べて回転中心からの寸法が短い、
上記基板13の側辺を支持していることで、保持テ−ブ
ル12の加減速時に上記第1のピン26に加わる衝撃を
小さくすることができる。それによって、上記第1のピ
ン26の寿命を延長することができるばかりか、保持テ
−ブル12の始動時の加速や停止時の減速を迅速に行う
ことで、タクトタイムの短縮を計るようにしても、上記
基板13に与える衝撃が大きくなるのを防止できる。
【0031】さらに、各ア−ム22a、22bは、直杆
部24の先端に回転方向に沿って長い先端部25を形成
し、そこに一対の第1のピン26と1本の第2のピン2
7とを突設したから、これら第1、第2のピン26、2
7の間隔を大きくすることが可能となる。各ピンの間隔
を大きくできれば、保持テ−ブル12を高速回転させた
ときに、上記ピン26、27による風切り音を小さくで
きるから、そのことによっても騒音の発生を低減するこ
とができる。
【0032】図4はこの発明の第2の実施形態を示す保
持テ−ブル12Aである。この保持テ−ブル12Aは本
体部23Aが菱形状に形成されている。この本体部23
Aの対向する一対の角部にはそれぞれ2本の第1のピン
26と1本の第2のピン27とを立設してなる第1の係
合部31と第2の係合部32とが形成されている。
【0033】なお、上記第1、第2のピン26、27の
高さは上記第1の実施の形態と同様、第2のピン27の
方が低く設定されている。また、本体部23Aの周縁部
は上記第1の実施の形態と同様のエッジ部28に形成さ
れている。
【0034】一対の第1の係合部31の第1のピン26
の間隔は基板13の短手方向に沿う幅寸法よりもわずか
に大きく設定され、一対の第2の係合部32の第1のピ
ン26の間隔は基板13の長手方向に沿う長さ寸法より
もわずかに大きく設定されている。
【0035】それによって、上記構成の保持テ−ブル1
2Aは一対の第1の係合部31によって基板13の短手
方向の両側が保持され、一対の第2の係合部32によっ
て長手方向の両側が保持される。
【0036】したがって、この場合も、基板13の四隅
部を保持する場合に比べて保持テ−ブル12Aの回転中
心から第1、第2の係合部31、32までの寸法を小さ
くできる。それによって、各係合部31、32の第1、
第2のピン26、27の周速度が低くなるから、風切り
音による騒音の発生が低減する。
【0037】また、基板13の側辺を係合保持する構成
であるため、四隅部を保持する場合に比べて一対の第1
の係合部31の間隔および一対の第2の係合部32の間
隔を小さくすることができる。それによって、保持テ−
ブル12Aの本体部23Aの小形化および軽量化を計る
ことができる。
【0038】しかも、本体部23Aが菱形であることに
より、第1の実施の形態のア−ムのように、回転時の遠
心力によって上記本体部23Aに撓みが発生しにくい。
つまり、本体部23Aを厚肉にして剛性を高めるという
ことをせずにすむから、軽量化を計ることができる。
【0039】
【発明の効果】以上述べたように請求項1の発明によれ
ば、保持テ−ブルの中心部の外周に周方向にほぼ90度
間隔で4本のア−ムを設け、各ア−ムの先端部に基板の
短手方向両側および長手方向両側をそれぞれ係合保持す
る係合部を設けるとともに、対向するそれぞれ一対の2
組のア−ムの長さを、上記基板の短手方向と長手方向と
の寸法差に応じて異なる長さに設定した。
【0040】そのため、基板の四隅部を保持する場合に
比べて、保持テ−ブルの回転中心から各係合部までの寸
法、つまり各ア−ムの長さを小さくできるから、保持テ
−ブルを回転させたときの係合部の周速度が小さくな
る。それによって、上記係合部での風切り音の発生が少
なくなるから、騒音の発生も低減することができる。
【0041】また、回転中心から係合部までの寸法を小
さくできることで、ア−ムの長さを短くして回転にとも
なう遠心力の発生を少なくできるから、ア−ムの撓みを
小さくすることもできる。それによって、ア−ムを厚肉
化するなどして剛性を向上させずにすむから、保持テ−
ブルを軽量化できる。請求項2の発明によれば、ア−ム
の周縁部をエッジ部に形成したので、高速回転させたと
きの風切り音を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態の保持テ−ブルを
示す平面図。
【図2】同じく図1のX−X線に沿うア−ムの拡大断面
図。
【図3】同じくスピン乾燥装置の全体構成を示す概略
図。
【図4】この発明の第2の実施の形態を示す保持テ−ブ
ルの平面図。
【図5】従来の保持テ−ブルを示す平面図。
【符号の説明】
12、12A…保持テ−ブル 13…基板 21…中心部 22a…第1のア−ム 22b…第2のア−ム 23、23A…本体部 26…第1のピン(係合部) 27…第2のピン(係合部) 28…エッジ部。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−80497(JP,A) 特開 平6−342752(JP,A) 特開 平7−142307(JP,A) 実開 平6−39165(JP,U)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄処理された長方形状の基板を高速回
    転される保持テ−ブルに保持して乾燥させるスピン乾燥
    処理装置において、 上記保持テ−ブルは、 中心部と、 この中心部の外周に周方向にほぼ90度間隔で設けられ
    た4本のア−ムと、 各ア−ムの先端部に設けられ上記基板の短手方向両側お
    よび長手方向両側をそれぞれ係合保持する係合部とを有
    し、 対向するそれぞれ一対の2組のア−ムの長さは、上記基
    板の短手方向と長手方向との寸法差に応じた異なる長さ
    に設定されていることを特徴とするスピン乾燥処理装
    置。
  2. 【請求項2】 上記ア−ムの周縁部はエッジ部に形成さ
    れていることを特徴とする請求項1記載のスピン乾燥処
    理装置。
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