JPH0680497A - 基板保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の大きさ毎にスピンカップや保持アーム
等の治具を用いる必要なく、各種の大きさの基板を容易
に取り付け固定でき、多品種少量生産を行なっても生産
効率の低下やコスト上昇を生じない基板保持装置を提供
する。 【構成】 基板13の大きさの変化に対し、一対の中折状
アーム25の各アーム部材30，31の折り曲げ角度を変化さ
せ、中折状アーム25の基端部25a のプレート26を任意の
位置に移動させる。中折状アーム25の角度保持機構33に
よって、プレート26を任意の位置に所定角度で固定す
る。プレート26上の支持体27上に基板13を載置するとと
もに、ガイドピン28により対応する各種大きさの基板13
のコーナ部を保持する。スピンカップ21を回転駆動し、
プレート26により固定した基板13を回転させ、洗浄・乾
燥の各処理を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基板を枚葉式にて回転
させ、処理するために用いられる基板保持装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子の製造工程等では、基板を
枚葉式にて回転させ、洗浄・乾燥させる処理工程があ
る。このような処理工程では、基板を保持固定し、回転
させるための基板保持装置が必要であり、従来、図３で
示す構造の装置が用いられている。

【０００３】図３（ａ）において、11は回転体であるス
ピンカップで、このスピンカップ11は、図３（ｂ）で示
すように、シャフト12上に一体的に取り付けられてお
り、スピンカップ11の上面には、基板13の下面を支持す
るピン状の支持体14が複数個、たとえば４個が等間隔で
配置固定されている。そして、スピンカップ11の上面に
は、基板13の４つのコーナ部を保持すべく４個の保持ア
ーム15の基端部が等間隔で放射状に取り付けられてい
る。また、この保持アーム15の先端部の上面には、基板
13のコーナ部の下面を支持するピン状の支持体16が設け
られている。さらに、これら支持体16の両側には、基板
13のコーナ部の外辺と接して基板13を保持するガイドピ
ン17がそれぞれ設けられている。

【０００４】そして、上記構成において、前工程から搬
送されてきた基板13は、４つのコーナ部の外辺が、各保
持アーム15の先端部に設けられた各一対のガイドピン17
によりそれぞれ保持されるように取り付けられる。さら
に、シャフト12を図示しないモータ等の駆動装置により
回転させ、基板13の洗浄・乾燥を行なうものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来装置では、スピンカップ11および保持アーム15は、取
り付け対象となる基板13の大きさに対して１対１の関係
にあり、基板の大きさ毎に用意しておく必要がある。

【０００６】したがって、多品種少量生産を行なう場
合、各品種に対応したスピンカップ11および保持アーム
15を予め製作しておき、生産する基板の大きさを変更す
る毎に対応するスピンカップ11および保持アーム15を変
更取り付けなければならない。この場合、保持アーム15
は、基板13が前工程から受け渡されたときに、基板13の
コーナ部の外辺が、一対のガイドピン17の内側で０．５
ｍｍ程度の余裕を持って位置するように、スピンカップ
11に取り付けねばならず、さらに、このスピンカップ11
をシャフト12上に取り付けている。

【０００７】このように、スピンカップ11および保持ア
ーム15の変更取り付けは微妙な調整を要し、多くの手間
と熟練を要する。したがって、このようなスピンカップ
11および保持アーム15の変更取り付けを度々要する多品
種少量生産を行なうと、これらの変更取り付けに多くの
時間とコストが掛かってしまい、生産効率およびコスト
の面から不利である。

【０００８】本発明の目的は、基板の大きさ毎にスピン
カップや保持アーム等の治具を製作しておく必要はな
く、各種の大きさの基板を容易に取り付け固定すること
ができ、多品種少量生産を行なっても生産効率の低下や
コスト上昇を生じることのない基板保持装置を提供する
ことにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の基板保持装置
は、回転体と、基端部がそれぞれ前記回転体に回動可能
に取り付けられ、中間で折り曲げ可能な一対の中折状ア
ームと、これら中折状アームの先端部にそれぞれ回動可
能に取り付けられ、処理対象の基板の下面を支持する支
持体および前記基板のコーナ部の外辺と接して保持する
ガイドピンをそれぞれ有するプレートと、前記中折状ア
ームにそれぞれ設けられ、対応する角度変化により任意
の位置に移動した前記プレートを任意の位置に前記中折
状アームを所定角度で固定する角度保持機構とを備えた
ものである。

【００１０】

【作用】本発明は、基板の大きさの変化に対し、一対の
中折状アームの折り曲げの角度を変化させることによ
り、中折状アームの先端部に設けられたプレートを任意
の位置に移動させ、かつ、この中折状アームに設けられ
た角度保持機構によって、プレートを任意の位置に所定
角度で固定し、このプレートに取り付けられたガイドピ
ンにより対応する各種大きさの基板のコーナ部を保持し
ている。したがって、多品種少量生産に対しても、多く
の手間や熟練を要することなく容易に対処でき、生産効
率の低下やコスト上昇を防止することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の基板保持装置の一実施例を図
面を参照して説明する。なお、図３に示す従来例に対応
する部分には、同一符号を付して説明する。

【００１２】図１（ａ）において、21は回転体としての
スピンカップで、このスピンカップ21は図示しない回転
シャフト上に一体的に取り付けられており、このスピン
カップ21の上面には基板13の下面を支持するピン状の支
持体24が複数個、たとえば４個が等間隔で配置固定され
ている。

【００１３】また、スピンカップ21の上面には、中折状
アーム25の基端部25a が回動可能に取り付けられ、さら
に、先端部25b には保持用のプレート26が回動可能に取
り付けられている。このプレート26上には基板13の下面
を支持するピン状の支持体27および基板13のコーナ部の
外辺と接して保持する複数のガイドピン28がそれぞれ植
設されている。

【００１４】そして、ガイドピン28は、上述のように基
板13のコーナ部の外辺と接して保持するものであり、直
角を成す２直線上にそれぞれ２個ずつ設けられている。
また、このプレート26は、対角を成す基板13の２つのコ
ーナ部を保持すべく２個用意されている。したがって、
このプレート26を取り付ける中折状アーム25も一対設け
られ、スピンカップ21への取り付けに当たっては、各中
折状アーム25の基端部25a を、スピンカップ21の回転中
心に対して対称な関係で取り付ける。

【００１５】また、中折状アーム25は、２本のアーム部
材30，31を結合部32により回動可能に連結したもので、
アーム部材30のスピンカップ21に対する角度変化および
アーム部材30，31の相互の角度変化により、先端部25b
に取付けたプレート26を任意の位置に移動させることが
できる。さらに、この中折状アーム25には、プレート26
を任意の位置に所定角度で固定する角度保持機構33が設
けられている。

【００１６】次に、この角度保持機構33を図２を中心に
して説明する。図２は結合部32の拡大図であり、各アー
ム部材30，31は、それぞれ上辺部30a ，31a と下辺部30
b ，31b とからなる２重構造であり、各アーム部材30，
31の端部を共通に貫通するシャフト34により互いに回動
可能に連結されている。

【００１７】そして、このシャフト34の、各アーム部材
30，31内部分の外周にはそれぞれ第１および第２のプー
リ35，36が一体に取り付けられている。そして、アーム
部材30内の第１のプーリ35と、スピンカップ21への基端
部25a に設けられた図示しない支軸との間には第１のベ
ルト37が掛けられている。また、アーム部材31内の第２
のプーリ36と、アーム部材31の先端でプレート26を回動
可能に支持する図示しない支軸との間には第２のベルト
38が掛けられている。さらに、シャフト34の上端面に
は、アーム部材30の上辺部30a に螺合しているノブ40の
先端が対向しており、このノブ40を締付けることにより
シャフト34との接触摩擦により各アーム部材30，31の回
動を阻止する。

【００１８】上記構成において、前工程から搬送されて
きた基板13は、スピンカップ21上の支持体24上に載置さ
れる。次に、一対の中折状アーム25を操作して先端部25
b に設けられた各プレート26を、基板13の対角関係にあ
るコーナ部に移動させ、ピン状の支持体27により基板13
のコーナ部下面を支持すると共に、１辺当り２個ずつの
ガイドピン28を各コーナ部の外辺にそれぞれ接触させ、
この対角関係にあるコーナ部を保持する。

【００１９】この場合、各中折状アーム25は、アーム部
材30をスピンカップ21への基端部25a で回動させると共
に、アーム部材30，31を結合部にて相互に回動させるこ
とにより角度を変化させ、先端部に取付けたプレート26
を任意の位置まで移動させている。また、この操作によ
り、中折状アーム25に角度変化が生じると、その変化分
は、第１のベルト37の回転として伝達され、結合部32に
おいて、第１のプーリ35を介してシャフト34を回動さ
せ、さらに、第２のプーリ36を介して第２のベルト38を
回転させる。そして、この第２のベルト38の回転動作に
より、プレート26も角度変化分回動される。つまり、プ
レート26は、中折状アーム25に角度変化が生じても、常
に所定角度、すなわち各辺２個ずつのガイドピン28が基
板13のコーナ部外辺に沿う状態を成すように角度が保持
される。したがって、プレート26は、中折状アーム25の
操作により、所定の角度を保った状態で任意の位置に移
動することができる。

【００２０】なお、第１のプーリ35および第２のプーリ
36に掛けられる第１のベルト37および第２のベルト38
は、中折状アーム25に角度変化が生じたときに、変化分
を伝達するものであり、この角度の変化分を正確かつ確
実に伝達できる回転伝達機構でなければならないため、
例えばタイミングベルトを用いる。

【００２１】このようにして、対角関係にある基板13の
２つのコーナ部を、プレート26により保持した後、各中
折状アーム25の結合部32に設けたノブ40を締付けると、
シャフト34は固定され、その結果、各第１および第２の
ベルト37，38の回転が阻止され、中折状アーム25および
プレート26は、基板13のコーナ部を保持した状態で固定
される。この後、スピンカップ21が回転駆動され、プレ
ート26により固定された基板13は回転し、洗浄・乾燥の
各処理が行なわれる。

【００２２】ここで、多品種少量生産のため、異なる大
きさの基板13が前工程から供給された場合は、各中折状
アーム25の結合部32に設けたノブ40を緩めて中折状アー
ム25を角度変化可能な状態とする。この後、中折状アー
ム25を操作してその先端部に設けたプレート26を対応す
る基板13の対角関係にある各コーナ部に移動させ、前述
した如くガイドピン28により各コーナ部を保持した後、
再びノブ40を締付けて固定すればよい。すなわち、単に
ノブ40を緩めた後、中折状アーム25を操作してプレート
26を対応する基板13の各コーナ部に移動させ、再びノブ
40を締付けるだけの簡単な操作により、異なる大きさの
基板13を保持できる状態とすることができる。したがっ
て、従来のように、基板の大きさ毎にスピンカップや保
持アーム等の治具を製作しておく必要はなく、また、上
述のように、各種の大きさの基板を容易に取り付け固定
することができ、多品種少量生産を行なっても生産効率
の低下やコスト上昇を生じることはない。

【００２３】

【発明の効果】本発明の基板保持装置によれば、基板の
大きさの変化に対し、一対の中折状アームの折り曲げの
角度を変化させることにより、プレートを任意の位置に
移動させ、かつ、角度保持機構によって、プレートを任
意の位置に所定角度で固定し、ガイドピンにより対応す
る各種大きさの基板のコーナ部を保持しているので、各
種の治具等を用意することなく、各種の基板を容易に取
り付け固定することができ、多品種少量生産に伴う生産
効率の低下やコスト上昇を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基板保持装置の一実施例を示す図であ
る。 （ａ）は平面図 （ｂ）は正面図

【図２】同上基板保持装置の結合部を示す拡大図であ
る。

【図３】従来例の基板保持装置を示す図である。 （ａ）は平面図 （ｂ）は正面図

【符号の説明】

13 基板 21 回転体としてのスピンカップ 25 中折状アーム 26 プレート 27 支持体 28 ガイドピン 33 角度保持機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｎ 8418−4Ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転体と、 基端部がそれぞれ前記回転体に回動可能に取り付けら
   れ、中間で折り曲げ可能な一対の中折状アームと、 これら中折状アームの先端部にそれぞれ回動可能に取り
   付けられ、処理対象の基板の下面を支持する支持体およ
   び前記基板のコーナ部の外辺と接して保持するガイドピ
   ンをそれぞれ有するプレートと、 前記中折状アームにそれぞれ設けられ、対応する角度変
   化により任意の位置に移動した前記プレートを任意の位
   置に前記中折状アームを所定角度で固定する角度保持機
   構とを備えたことを特徴とする基板保持装置。