JPH0921587A - スピン乾燥処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は保持テ−ブルを高速回転させたと
きに騒音の発生を低減することができるようにしたスピ
ン乾燥処理装置を提供することにある。 【解決手段】 洗浄処理された矩形状の基板１３を高速
回転される保持テ−ブル１２に保持して乾燥させるスピ
ン乾燥処理装置において、上記保持テ−ブルは、本体部
２３と、この本体部に互いに対向して設けられた対をな
す２組の第１、第２のピン２６、２７とを有し、一方の
組の一対の係合部は上記基板の短手方向両側に係合する
間隔で設けられ、他方の組の一対の係合部は上記基板の
短手方向とほぼ直交する長手方向両側に係合する間隔で
設けられてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は洗浄された矩形状
の基板を保持テ−ブルによって高速回転させて乾燥させ
るスピン乾燥処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造過程にお
いては、ワ−クとしての矩形状のガラス製の基板に回路
パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセ
スがある。これらのプロセスでは、上記基板の処理と洗
浄とが繰り返し行われる。

【０００３】洗浄された基板を乾燥させるためには、上
記基板を保持テ−ブルに保持し、この保持テ−ブルとと
もに高速回転させ、それによって生じる遠心力を利用し
て上記基板に付着した洗浄液を除去するということが行
われている。

【０００４】図５に従来の矩形状の基板１を保持するた
めの保持テ−ブル２を示す。この保持テ−ブル２は本体
部３を有する。この本体部３は円盤状の中心部３ａの外
周に４本ア−ム３ｂが周方向に９０度間隔で突設されて
なる。４本のア−ム３ｂは同じ長さに設定され、それぞ
れのア−ム３ｂの先端部には係合部として所定間隔で離
間した２本の第１のピン４および第１のピン４に比べて
短く、しかも第１のピン４よりもア−ム３ｂの基端側に
位置する１本の第２のピン５が突設されている。

【０００５】そして、上記保持テ−ブル２には、上記基
板１が４つの角部を各ア−ム３ｂの一対の第１のピン４
に係合させるとともに、角部下面が上記第２のピン５に
支持される。つまり、基板１は４本のア−ム３ｂがその
矩形の対角線方向に沿う状態で上記保持テ−ブル２に保
持されている。

【０００６】このように、基板１を保持した上記保持テ
−ブル２を高速で回転駆動すれば、遠心力によって上記
基板１に付着した洗浄液が除去されるから、その基板１
を乾燥させることができる。

【０００７】ところで、最近、液晶表示装置の大型化に
よって上記基板１も大きくなってきている。たとえば従
来は300mm ×400mm の大きさであったが、最近では550m
m ×650mm の大きさの基板１が用いられるようになって
きている。

【０００８】このように基板１が大型化すると、保持テ
−ブル２のア−ム３ｂの長さも基板１の対角線の長さに
応じて長くしなければならなくなり、それによって各ア
−ム３ｂの先端に設けられた第１、第２のピン４、５の
周速度が増大することが避けられない。第１、第２のピ
ン４、５の周速度が増大すると、そのピン４、５による
風切り音も大きくなるから、騒音の増大を招くことにな
る。

【０００９】また、ア−ム３ｂが長くなると、ア−ム３
ｂに発生する遠心力が大きくなるから、その遠心力によ
ってア−ム３ｂに撓みが発生し易くなる。ア−ム３ｂに
撓みを発生しにくくするためには、ア−ム３ｂの肉厚を
厚くしてその剛性を向上させなければならない。する
と、保持テ−ブル２の高重量化を招き、保持テ−ブル２
を回転駆動するモ−タに加わる負荷が増大することにな
るから、モ−タを高性能化しなければならなくなる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このように、保持テ−
ブルのア−ムに設けられた係合部に矩形状の基板の角部
を係合させて上記基板を保持テ−ブルに保持する構造で
あると、基板の大型化にともなってア−ムを長尺化しな
ければならないので、ア−ムの先端部に設けられた係合
部の周速度が増大し、その風切り音による騒音が大きく
なったり、遠心力が大きくなって撓みが発生し易くなる
などのことがあった。

【００１１】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、基板が大型化しても、保
持テ−ブルの回転中心から係合部までの寸法をできるだ
け小さくし、騒音や遠心力にともなう撓みの発生を低く
押さえることができるようにしたスピン乾燥処理装置を
提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１に記載された発明は、洗浄処理された矩形状
の基板を高速回転される保持テ−ブルに保持して乾燥さ
せるスピン乾燥処理装置において、上記保持テ−ブル
は、本体部と、この本体部に互いに対向して設けられた
対をなす２組の係合部とを有し、一方の組の一対の係合
部は上記基板の短手方向両側に係合する間隔で設けら
れ、他方の組の一対の係合部は上記基板の短手方向と交
差する長手方向両側に係合する間隔で設けられてなるこ
とを特徴とする。

【００１３】請求項２に記載された発明は、請求項１の
発明において、上記保持テ−ブルの本体部は、中心部お
よびこの中心部の外周に周方向にほぼ９０度間隔で設け
られ先端部に上記係合部を有した４本のア−ムからな
り、対向するそれぞれ一対の２組のア−ムの長さは上記
基板の短手方向と長手方向との寸法差に応じて異なる長
さに設定されていることを特徴とする。

【００１４】請求項３に記載された発明は、請求項１の
発明において、上記保持テ−ブルの本体部は菱形に形成
されていて、その四隅部にそれぞれ上記係合部が設けら
れていることを特徴とする。

【００１５】請求項４に記載された発明は、請求項１の
発明において、上記本体部の周縁部はエッジ部に形成さ
れていることを特徴とする。請求項１乃至請求項３の発
明によれば、矩形状の基板を保持するそれぞれ一対の２
組の係合部は、上記基板の短手方向と長手方向との両側
部を係合保持するため、対角線方向の角部を保持する場
合に比べて保持テ−ブルの回転中心からの距離を小さく
することができる。

【００１６】請求項２の発明は、基板の短手方向に沿う
一対のア−ムの長さを短くできるから、その分、保持テ
−ブルの軽量化を計ることができる。請求項３の発明に
よれば、保持テ−ブルの本体部が菱形であるため、遠心
力によって撓みが発生しにくくなる。請求項４の発明に
よれば、本体部の周縁部がエッジ部であるため、風切り
音が低減する。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態を図
面を参照して説明する。図１乃至図３はこの発明の第１
の実施形態を示し、図３に示すスピン乾燥処理装置はカ
ップ１を備えている。このカップ１は下カップ２ａと上
カップ２ｂとから構成されている。上記下カップ２ａは
上面が開放したお椀状に形成され、その底部中心部分に
は通孔３が形成され、外周の上端縁には受けフランジ４
が形成されている。

【００１８】上記上カップ２ｂは外周面が凸曲面をなし
たリング状に形成されていて、その外周面には取付け部
材５を介して連結フランジ６が設けられている。そし
て、上カップ２ｂはその連結フランジ６を上記受けフラ
ンジ４にパッキング７を介して接合させ、それらを複数
の蝶ナット８で結合することで一体化されている。

【００１９】上記下カップ２ａに形成された通孔３から
そのカップ１の内部へはモ−タ９の駆動軸１１が挿通さ
れている。この駆動軸１１の上端には保持テ−ブル１２
が取付けられ、上記モ−タ９によって高速回転させられ
るようになっている。この保持テ−ブル１２には、前工
程である、洗浄工程で洗浄された液晶表示装置に用いら
れる矩形状の基板１３が後述するごとく保持されるよう
になっている。したがって、上記保持テ−ブル１２が高
速回転されることで、上記基板１３に付着した洗浄液が
遠心力で除去されるようになっている。

【００２０】上記下カップ２ａの底壁には複数の排水口
体１６が設けられ、この排水口体１６は図示しないタン
クに配管接続されている。また、下カップ２ａの周壁に
は、上カップ２ｂの下端よりも上部に周方向に所定間隔
で複数の排気口体１７が接続され、これらは図示しない
排気ポンプに配管接続されている。

【００２１】上記排水口体１６からは下カップ２ａに溜
まる洗浄液が排出され、上記排気口体１７は上記保持テ
−ブル１２が高速回転されることで発生する空気流を同
図に矢印Ａで示すように円滑な流れとするための吸引力
を発生させるようになっている。

【００２２】上記保持テ−ブル１２は円盤状の中心部２
１と、この中心部の外周に９０度間隔で設けられ対向す
るそれぞれ２本のア−ムが対をなす２組のア−ム２２
ａ、２２ｂからなる本体部２３を有する。各ア−ム２２
ａ、２２ｂは直杆部２４の先端に先端部２５が設けられ
た、ほぼＴ字形状をなしている。

【００２３】各ア−ムの先端部２５には係合部を形成す
る一対の第１のピン２６が周方向に所定間隔で離間して
立設されているとともに、第１のピン２６よりも径方向
内方で、一対の第１のピン２６の間の部分には、第１の
ピンよりも高さ寸法が低い第２のピン２７が立設されて
いる。

【００２４】一対の第１のア−ム２２ａに設けられた第
１のピン２６の間隔は上記基板１３の短手方向の寸法よ
りもわずかに大きく設定され、一対の第２のア−ム２２
ｂに設けられた第１のピン２６の間隔は上記基板１３の
短手方向と直交する長手方向の寸法よりもわずかに大き
く設定されている。

【００２５】それによって、上記基板１３は、幅方向両
側を一対の第１のア−ム２２ａの第１のピン２６に係合
させ、幅方向と直交する長手方向両側を一対の第２のア
−ム２２ｂの第１のピン２６に係合させるとともに、そ
れぞれの側辺部の下面を第１のピン２６よりも基端側に
設けられた第２のピン２７に係合させて保持されるよう
になっている。

【００２６】上記第１のア−ム２２ａと第２のア−ム２
２ｂの直杆部２４と先端部２５との周縁部はエッジ部２
８に形成されている。このエッジ部２８は図２に示すよ
うに上記ア−ムの周縁部を厚さ方向上面側と下面側との
両方向から面取り加工することで、厚さ方向中心に対し
て上下の形状が対称に形成されている。この実施例では
上記エッジ部２８の角度は３０度に設定されている。さ
らに、上記先端部２５の外周は円弧状の曲面に形成され
ている。

【００２７】上記構成のスピン乾燥処理装置によれば、
保持テ−ブル１２のそれぞれ一対の第１のア−ム２２ａ
と第２のア−ム２２ｂとの長さを変え、各一対のア−ム
の先端部に設けられる第１のピン２６の間隔を、それぞ
れ基板１３の短手方向の長さと、長手方向の長さに対応
させることで、上記基板１３の短手方向と長手方向の両
側を係合して保持するようにした。

【００２８】基板１３の側部を保持するようにすれば、
第１のア−ム２２ａと第２のア−ム２２ｂとの長さを、
角部を保持する場合に比べて短くすることができる。つ
まり、基板１３の側部を保持する場合、保持テ−ブル１
２の回転中心Ｏから第１のア−ム２２ａの第１のピン２
６までの寸法ａは基板１３の幅寸法の２分の１となり、
上記回転中心Ｏから第２のア−ム２２ｂの第１のピン２
６までの寸法ｂは基板１３の長さ寸法の２分の１とな
る。

【００２９】上記寸法ａ、ｂは、基板１３の角部を保持
する場合の保持テ−ブル１２の回転中心Ｏから上記基板
１３の角部までの寸法ｃ、つまり基板１３の対角線の２
分の１の寸法に比べて小さくすることができる。

【００３０】それによって、上記第１のア−ム２２ａと
第２のア−ム２２ｂの長さを、基板１３の角部を保持す
る場合に比べて短くすることができる。各ア−ム２２
ａ、２２ｂを短くできれば、その先端部２５に設けられ
た第１、第２のピン２６、２７の周速度を小さくできる
から、それによって各ピン２６、２７の風切り音も小さ
くなり、騒音の発生を低減することができる。

【００３１】しかも、上記ア−ム２２ａ、２２ｂの周縁
部がエッジ部２８であり、先端部２５の外周が円弧状の
曲面であることによっても、保持テ−ブル１２を高速回
転させたときの風切り音を低減させることができるか
ら、このことによっても騒音の発生を低く押さえること
ができる。

【００３２】また、上記第１のア−ム２２ａと第２のア
−ム２２ｂとを短くできたことで、保持テ−ブル１２を
高速回転させたときに、遠心力によって上記各ア−ム２
２ａ、２２ｂに発生する撓みを小さくすることができ
る。換言すれば、上記各ア−ム２２ａ、２２ｂに発生す
る撓みを小さくするために、これらア−ムを厚肉化して
剛性を高めるということをせずにすむから、保持テ−ブ
ル１２の軽量化を計ることができる。

【００３３】さらに、第１のピン２６が、基板１３の角
部を保持する場合に比べて回転中心からの寸法が短い、
上記基板１３の側辺を支持していることで、保持テ−ブ
ル１２の加減速時に上記第１のピン２６に加わる衝撃を
小さくすることができる。それによって、上記第１のピ
ン２６の寿命を延長することができるばかりか、保持テ
−ブル１２の始動時の加速や停止時の減速を迅速に行う
ことで、タクトタイムの短縮を計るようにしても、上記
基板１３に与える衝撃が大きくなるのを防止できる。

【００３４】さらに、各ア−ムは、直杆部２４の先端に
回転方向に沿って長い先端部２５を形成し、そこに一対
の第１のピン２６と１本の第２のピン２７とを突設した
から、これら第１、第２のピン２６、２７の間隔を大き
くすることが可能となる。各ピンの間隔を大きくできれ
ば、保持テ−ブル１２を高速回転させたときに、上記ピ
ン２６、２７による風切り音を小さくできるから、その
ことによっても騒音の発生を低減することができる。

【００３５】図４はこの発明の第２の実施形態を示す保
持テ−ブル１２Ａである。この保持テ−ブル１２Ａは本
体部２３Ａが菱形状に形成されている。この本体部２３
Ａの対向する一対の角部にはそれぞれ２本の第１のピン
２６と１本の第２のピン２７とを立設してなる第１の係
合部３１と第２の係合部３２とが形成されている。

【００３６】なお、上記第１、第２のピン２６、２７の
高さは上記第１の実施例と同様、第２のピン２７の方が
低く設定されている。また、本体部２３Ａの周縁部は上
記第１の実施例と同様のエッジ部２８に形成されてい
る。

【００３７】一対の第１の係合部３１の第１のピン２６
の間隔は基板１３の短手方向に沿う幅寸法よりもわずか
に大きく設定され、一対の第２の係合部３２の第１のピ
ン２６の間隔は基板１３の長手方向に沿う長さ寸法より
もわずかに大きく設定されている。

【００３８】それによって、上記構成の保持テ−ブル１
２Ａは一対の第１の係合部３１によって基板１３の短手
方向の両側が保持され、一対の第２の係合部３２によっ
て長手方向の両側が保持される。

【００３９】したがって、この場合も、基板１３の四隅
部を保持する場合に比べて保持テ−ブル１２Ａの回転中
心から第１、第２の係合部３１、３２までの寸法を小さ
くできるから、各係合部の第１、第２のピン２６、２７
の周速度が低くなり、風切り音による騒音の発生を低減
することができる。

【００４０】また、基板１３の側辺を係合保持する構成
であるため、四隅部を保持する場合に比べて一対の第１
の係合部３１の間隔および一対の第２の係合部３２の間
隔を小さくすることができる。それによって、保持テ−
ブル１２Ａの本体部２３Ａの小形化および軽量化を計る
ことができる。

【００４１】しかも、本体部２３Ａが菱形であることに
より、第１の実施例のア−ムのように、回転時の遠心力
によって上記本体部２３Ａに撓みが発生しにくい。つま
り、本体部２３Ａを厚肉にして剛性を高めるということ
をせずにすむから、軽量化を計ることができる。

【００４２】

【発明の効果】以上述べたように請求項１乃至請求項３
の発明によれば、保持テ−ブルの本体部に設けられる２
組の係合部のうちの一方を、基板の短手方向の両側に係
合する間隔とし、他方の係合部を長手方向の両側に係合
する間隔に設定した。

【００４３】そのため、基板の四隅部を保持する場合に
比べて、保持テ−ブルの回転中心から各係合部までの寸
法を小さくできるから、保持テ−ブルを回転させたとき
の係合部の周速度が小さくなる。それによって、上記係
合部での風切り音の発生が少なくなるから、騒音の発生
も低減することができる。

【００４４】また、回転中心から係合部までの寸法を小
さくできることで、回転にともなう遠心力の発生も少な
くできるから、本体部の撓みを小さくすることもでき
る。それによって、本体部を厚肉化するなどして剛性を
向上させずにすむから、上記本体部を軽量化できる。

【００４５】また、請求項２の発明によれば、２組のア
−ムの長さをそれぞれ短くできるばかりか、基板の短手
方向の両側を保持する係合部が設けれた一方の組のア−
ムを他方の組のア−ムに比べてさらに短くできるから、
そのことによっても保持テ−ブルの軽量化を計ることが
できる。

【００４６】請求項３の発明によれば、保持テ−ブルの
本体部を菱形としたので、ア−ム形状の場合に比べて回
転時の遠心力で撓みが発生しにくくなるため、その本体
部の軽量化を計ることができる。請求項４の発明によれ
ば、本体部の周縁部をエッジ部に形成したので、高速回
転せたときの風切り音を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態の保持テ−ブルを示
す平面図。

【図２】同じく図１のＸ−Ｘ線に沿うア−ムの拡大断面
図。

【図３】同じくスピン乾燥装置の全体構成を示す概略
図。

【図４】この発明の第２の実施形態を示す保持テ−ブル
の平面図。

【図５】従来の保持テ−ブルを示す平面図。

【符号の説明】

１２、１２Ａ…保持テ−ブル、１３…基板、２１…中心
部、２２ａ…第１のア−ム、２２ｂ…第２のア−ム、２
３、２３Ａ…本体部、２６…第１のピン（係合部）、２
７…第２のピン（係合部）、２８…エッジ部。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄処理された矩形状の基板を高速回転
   される保持テ−ブルに保持して乾燥させるスピン乾燥処
   理装置において、 上記保持テ−ブルは、本体部と、この本体部に互いに対
   向して設けられた対をなす２組の係合部とを有し、 一方の組の一対の係合部は上記基板の短手方向両側に係
   合する間隔で設けられ、他方の組の一対の係合部は上記
   基板の短手方向と交差する長手方向両側に係合する間隔
   で設けられてなることを特徴とするスピン乾燥処理装
   置。
2. 【請求項２】 上記保持テ−ブルの本体部は、中心部お
   よびこの中心部の外周に周方向にほぼ９０度間隔で設け
   られ先端部に上記係合部を有した４本のア−ムからな
   り、対向するそれぞれ一対の２組のア−ムの長さは上記
   基板の短手方向と長手方向との寸法差に応じて異なる長
   さに設定されていることを特徴とする請求項１記載のス
   ピン乾燥処理装置。
3. 【請求項３】 上記保持テ−ブルの本体部は菱形に形成
   されていて、その四隅部にそれぞれ上記係合部が設けら
   れていることを特徴とする請求項１記載のスピン乾燥処
   理装置。
4. 【請求項４】 上記本体部の周縁部はエッジ部に形成さ
   れていることを特徴とする請求項１記載のスピン乾燥処
   理装置。