JP3067955B2 - 回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置 - Google Patents
回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置Info
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- JP3067955B2 JP3067955B2 JP17325194A JP17325194A JP3067955B2 JP 3067955 B2 JP3067955 B2 JP 3067955B2 JP 17325194 A JP17325194 A JP 17325194A JP 17325194 A JP17325194 A JP 17325194A JP 3067955 B2 JP3067955 B2 JP 3067955B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハや磁気デ
ィスク基板のような円板形のワークの洗浄工程等におい
て使用される、洗浄後のワークの水切り乾燥を行うため
の回転式ワーク乾燥機における、高速回転するロータ上
にセットされたワークをその位置に保持するためのクラ
ンプ装置に関するものである。
ィスク基板のような円板形のワークの洗浄工程等におい
て使用される、洗浄後のワークの水切り乾燥を行うため
の回転式ワーク乾燥機における、高速回転するロータ上
にセットされたワークをその位置に保持するためのクラ
ンプ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体ウエハや磁気ディスク基
板のような円板形のワークの洗浄工程においては、洗浄
後のワークの水切り乾燥を回転式のワーク乾燥機を用い
て行っている例が多い。これは、ロータに所要枚数のワ
ークを保持させて該ロータを高速回転させることによ
り、ワークに付着した水滴を遠心力で振り切るものであ
って、ワークをロータ上に保持させるため、該ワークを
その外周に当接する適宜の保持部材で外側から保持する
ようにしている。
板のような円板形のワークの洗浄工程においては、洗浄
後のワークの水切り乾燥を回転式のワーク乾燥機を用い
て行っている例が多い。これは、ロータに所要枚数のワ
ークを保持させて該ロータを高速回転させることによ
り、ワークに付着した水滴を遠心力で振り切るものであ
って、ワークをロータ上に保持させるため、該ワークを
その外周に当接する適宜の保持部材で外側から保持する
ようにしている。
【０００３】ところが、このような回転式のワーク乾燥
機においては、ロータが高速で回転すると、上記保持部
材にも大きな遠心力が作用するため、該保持部材が外側
に変移又は回動してワークから離れ、解放されたワーク
が飛び出して破損し易いという欠点があった。
機においては、ロータが高速で回転すると、上記保持部
材にも大きな遠心力が作用するため、該保持部材が外側
に変移又は回動してワークから離れ、解放されたワーク
が飛び出して破損し易いという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ロー
タの回転時にワーク保持手段にそのクランプを解除する
ように作用する遠心力を吸収緩和して、該保持手段をク
ランプ位置に確実に拘束することができる、簡単な構成
のクランプ装置を得ることにある。
タの回転時にワーク保持手段にそのクランプを解除する
ように作用する遠心力を吸収緩和して、該保持手段をク
ランプ位置に確実に拘束することができる、簡単な構成
のクランプ装置を得ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ロータに保持されたワークを該ロ
ータの回転により水切り乾燥させる回転式ワーク乾燥機
における、上記ロータ上のワークをクランプするための
装置であって、ロータ上にセットされたワークの外周を
押えるリテーナ機構と、該リテーナ機構をワークに当接
するクランプ位置とワークから離間するアンクランプ位
置とに回動させるリンク機構とを有し、上記リテーナ機
構が、ロータにシャフトで回動自在に軸支された回動ア
ームと、該回動アームの上記シャフトによる軸支点から
一方向に伸びる腕部に取付けられたワーク当接部材と、
回動アームの腕部と反対側に設けられた、ワークのクラ
ンプ時にロータの回転によりクランプ解除方向に作用す
る遠心力を吸収するためのウエイト部とを有し、上記リ
ンク機構が、操作用の駆動軸に連結された駆動リンク
と、先端が該駆動リンクとリテーナ機構のシャフトに固
定された連結アームとに回転自在に連結された弾性ある
従動リンクとを有していて、これらのリンクの回動上死
点が、リテーナ機構と従動リンクとの連結点から駆動軸
に至る直線上に設定され、ワークのクランプ時に、駆動
リンクと従動リンクとの連結点が上記上死点を僅かに越
えた位置において従動リンクの弾力によりロック可能で
あることを特徴とする回転式ワーク乾燥機におけるワー
クのクランプ装置が提供される。また、上記当接部材
は、ワークと当接する位置に該ワークが嵌合する切込み
を備えていることが望ましい。
め、本発明によれば、ロータに保持されたワークを該ロ
ータの回転により水切り乾燥させる回転式ワーク乾燥機
における、上記ロータ上のワークをクランプするための
装置であって、ロータ上にセットされたワークの外周を
押えるリテーナ機構と、該リテーナ機構をワークに当接
するクランプ位置とワークから離間するアンクランプ位
置とに回動させるリンク機構とを有し、上記リテーナ機
構が、ロータにシャフトで回動自在に軸支された回動ア
ームと、該回動アームの上記シャフトによる軸支点から
一方向に伸びる腕部に取付けられたワーク当接部材と、
回動アームの腕部と反対側に設けられた、ワークのクラ
ンプ時にロータの回転によりクランプ解除方向に作用す
る遠心力を吸収するためのウエイト部とを有し、上記リ
ンク機構が、操作用の駆動軸に連結された駆動リンク
と、先端が該駆動リンクとリテーナ機構のシャフトに固
定された連結アームとに回転自在に連結された弾性ある
従動リンクとを有していて、これらのリンクの回動上死
点が、リテーナ機構と従動リンクとの連結点から駆動軸
に至る直線上に設定され、ワークのクランプ時に、駆動
リンクと従動リンクとの連結点が上記上死点を僅かに越
えた位置において従動リンクの弾力によりロック可能で
あることを特徴とする回転式ワーク乾燥機におけるワー
クのクランプ装置が提供される。また、上記当接部材
は、ワークと当接する位置に該ワークが嵌合する切込み
を備えていることが望ましい。
【０００６】
【作用】ワークの乾燥に当っては、ロータに所要枚数の
ワークをセットして、リテーナ機構で各ワークをクラン
プする。その操作は、駆動軸を所要角度駆動回転させる
ことにより、リンク機構を介して、リテーナ機構をアン
クランプ位置からクランプ位置に変移させることにより
行われる。このワーククランプ位置においては、リンク
機構が従動リンクの弾性力によりその状態にロックさ
れ、リテーナ機構がワーククランプ位置に拘束されてい
る。この状態で上記ロータを高速回転することにより、
ワークに付着した水滴が遠心力で振り切られ、ワークが
乾燥される。
ワークをセットして、リテーナ機構で各ワークをクラン
プする。その操作は、駆動軸を所要角度駆動回転させる
ことにより、リンク機構を介して、リテーナ機構をアン
クランプ位置からクランプ位置に変移させることにより
行われる。このワーククランプ位置においては、リンク
機構が従動リンクの弾性力によりその状態にロックさ
れ、リテーナ機構がワーククランプ位置に拘束されてい
る。この状態で上記ロータを高速回転することにより、
ワークに付着した水滴が遠心力で振り切られ、ワークが
乾燥される。
【０００７】上記ロータの回転時にリテーナ機構に作用
するクランプ解除方向の遠心力は、リテーナ機構におけ
る回動アームの腕部と反対側に設けたウエイト部により
吸収されるため、該リテーナ機構がワークから離間して
クランプが解除されることはなく、上記リンク機構がク
ランプ状態にロックされていることとの相乗効果によ
り、リテーナ機構によるワークのクランプは非常に確実
なものとなる。
するクランプ解除方向の遠心力は、リテーナ機構におけ
る回動アームの腕部と反対側に設けたウエイト部により
吸収されるため、該リテーナ機構がワークから離間して
クランプが解除されることはなく、上記リンク機構がク
ランプ状態にロックされていることとの相乗効果によ
り、リテーナ機構によるワークのクランプは非常に確実
なものとなる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明するに、図１及び図２は回転式ワーク乾燥機に
おけるロータを示している。このロータ１は、図示しな
い乾燥室内に電動モータで駆動回転自在なるように配設
されるもので、円板形をなす一対のフランジ２ａ，２ｂ
と、これらのフランジ２ａ，２ｂ間に架設された複数の
ワーク支持台３と、該支持台３上に載置されたワーク４
を保持するためのクランプ装置５とを有しており、上記
支持台３に形成された多数の切込み３ａの位置に、中心
４ａがロータ１の回転中心１ａと一致するように載置し
た複数のワーク４を、上記クランプ装置５によりクラン
プし、その状態で該ロータ１を高速回転させることによ
り、ワーク４に付着した水滴を遠心力で振り切り乾燥さ
せるものである。
細に説明するに、図１及び図２は回転式ワーク乾燥機に
おけるロータを示している。このロータ１は、図示しな
い乾燥室内に電動モータで駆動回転自在なるように配設
されるもので、円板形をなす一対のフランジ２ａ，２ｂ
と、これらのフランジ２ａ，２ｂ間に架設された複数の
ワーク支持台３と、該支持台３上に載置されたワーク４
を保持するためのクランプ装置５とを有しており、上記
支持台３に形成された多数の切込み３ａの位置に、中心
４ａがロータ１の回転中心１ａと一致するように載置し
た複数のワーク４を、上記クランプ装置５によりクラン
プし、その状態で該ロータ１を高速回転させることによ
り、ワーク４に付着した水滴を遠心力で振り切り乾燥さ
せるものである。
【０００９】上記クランプ装置５は、図２に示すよう
に、ワーク４を挟んで正反対の位置に相互に向かいあっ
た形で２組設けられている。これらのクランプ装置５
は、その一方を代表的に示した図３からも分かるよう
に、ワークの外周に当接することにより該ワークを保持
するリテーナ機構１０と、該リテーナ機構１０をワーク
外周に当接するクランプ位置（図３の位置）とワーク外
周から離間するアンクランプ位置（図４の位置）とに回
動させるためのリンク機構１１とによって構成されてい
る。
に、ワーク４を挟んで正反対の位置に相互に向かいあっ
た形で２組設けられている。これらのクランプ装置５
は、その一方を代表的に示した図３からも分かるよう
に、ワークの外周に当接することにより該ワークを保持
するリテーナ機構１０と、該リテーナ機構１０をワーク
外周に当接するクランプ位置（図３の位置）とワーク外
周から離間するアンクランプ位置（図４の位置）とに回
動させるためのリンク機構１１とによって構成されてい
る。
【００１０】上記リテーナ機構１０は、２つのフランジ
２ａ，２ｂ間に回転自在に架設されたシャフト１２と、
フランジ２ａ，２ｂの内側において該シャフト１２の両
端部に固定された一対の回動アーム１３，１３と、これ
らの回動アーム１３，１３に架設された当接部材１４と
からなり、該当接部材１４には、上記支持台３の切込み
３ａと対応する多数の切込み１４ａが形成され、これら
の切込み１４ａの位置でワーク４に当接するようになっ
ている。また、上記回動アーム１３，１３は、上記シャ
フト１２による軸支点から１方向に延びる薄肉の腕部１
３ａの先端に上記当接部材１４が取り付けられていて、
上記軸支点に対して腕部１３ａとは反対の側に、肉厚の
大きいウエイト部１３ｂを備えており、このウエイト部
１３ｂにより、上記当接部材１４がワーク４に当接した
状態でロータ１が回転する乾燥操作時に、該当接部材１
４にそれをワーク４から離間させる方向に作用する遠心
力を吸収し、この遠心力によってクランプが不用意に解
除されることのないようにしている。
２ａ，２ｂ間に回転自在に架設されたシャフト１２と、
フランジ２ａ，２ｂの内側において該シャフト１２の両
端部に固定された一対の回動アーム１３，１３と、これ
らの回動アーム１３，１３に架設された当接部材１４と
からなり、該当接部材１４には、上記支持台３の切込み
３ａと対応する多数の切込み１４ａが形成され、これら
の切込み１４ａの位置でワーク４に当接するようになっ
ている。また、上記回動アーム１３，１３は、上記シャ
フト１２による軸支点から１方向に延びる薄肉の腕部１
３ａの先端に上記当接部材１４が取り付けられていて、
上記軸支点に対して腕部１３ａとは反対の側に、肉厚の
大きいウエイト部１３ｂを備えており、このウエイト部
１３ｂにより、上記当接部材１４がワーク４に当接した
状態でロータ１が回転する乾燥操作時に、該当接部材１
４にそれをワーク４から離間させる方向に作用する遠心
力を吸収し、この遠心力によってクランプが不用意に解
除されることのないようにしている。
【００１１】一方、上記リンク機構１１は、一方のフラ
ンジ２ａの外面側に付設され、シャフト１２に固定され
た連結アーム１５を介して上記リテーナ機構１０に連結
されている。このリンク機構１１は、基端部がフランジ
２ａ上の定位置に設けられている外部操作用の駆動軸２
０に固定された駆動リンク２１と、両端部が該駆動リン
ク２１と上記連結アーム１５とにそれぞれピン２３，２
４で回動自在に連結された略くの字形の弾性ある従動リ
ンク２２とからなるもので、図３において、駆動軸２０
を図示しない外部操作手段によって時計方向に回転させ
ると、駆動リンク２１により従動リンク２２及び連結ア
ーム１５を介してシャフト１２が時計方向に回転せしめ
られ、上記リテーナ機構１０が図４に示すアンクランプ
位置に回動し、また、リテーナ機構１０がアンクランプ
位置にある図４の状態から駆動軸２０を反時計方向に回
転させると、各部材が図３に示す状態に復帰してシャフ
ト１２が反時計方向に回転するため、リテーナ機構１０
が図３に示すクランプ位置に回動するようになってい
る。そして、上記リテーナ機構１０がアンクランプ位置
からクランプ位置に回動するとき、このリンク機構１１
の働きにより、回動速度がクランプ位置に近づくに従っ
て次第に減速され、当接部材１４が何らの衝撃を伴うこ
となくワーク４の外周に当接するようになっている。
ンジ２ａの外面側に付設され、シャフト１２に固定され
た連結アーム１５を介して上記リテーナ機構１０に連結
されている。このリンク機構１１は、基端部がフランジ
２ａ上の定位置に設けられている外部操作用の駆動軸２
０に固定された駆動リンク２１と、両端部が該駆動リン
ク２１と上記連結アーム１５とにそれぞれピン２３，２
４で回動自在に連結された略くの字形の弾性ある従動リ
ンク２２とからなるもので、図３において、駆動軸２０
を図示しない外部操作手段によって時計方向に回転させ
ると、駆動リンク２１により従動リンク２２及び連結ア
ーム１５を介してシャフト１２が時計方向に回転せしめ
られ、上記リテーナ機構１０が図４に示すアンクランプ
位置に回動し、また、リテーナ機構１０がアンクランプ
位置にある図４の状態から駆動軸２０を反時計方向に回
転させると、各部材が図３に示す状態に復帰してシャフ
ト１２が反時計方向に回転するため、リテーナ機構１０
が図３に示すクランプ位置に回動するようになってい
る。そして、上記リテーナ機構１０がアンクランプ位置
からクランプ位置に回動するとき、このリンク機構１１
の働きにより、回動速度がクランプ位置に近づくに従っ
て次第に減速され、当接部材１４が何らの衝撃を伴うこ
となくワーク４の外周に当接するようになっている。
【００１２】また、上記リテーナ機構１０をクランプ位
置に拘束させるため、リンク機構１１における駆動リン
ク２１及び従動リンク２２の回動上死点Ｐが、連結アー
ム１５と従動リンク２２との連結点（ピン２４）から駆
動軸２０に至る直線Ｌの延長上に設定され、駆動リンク
２１と従動リンク２２との連結点（ピン２３）が該上死
点Ｐを僅かに越えた位置において、該リンク機構１１
が、従動リンク２２の弾力によってその状態にロックさ
れるようになっている。そしてこの位置では、駆動リン
ク２１がストッパ２５に当接し、それ以上は回動できな
いようになっている。
置に拘束させるため、リンク機構１１における駆動リン
ク２１及び従動リンク２２の回動上死点Ｐが、連結アー
ム１５と従動リンク２２との連結点（ピン２４）から駆
動軸２０に至る直線Ｌの延長上に設定され、駆動リンク
２１と従動リンク２２との連結点（ピン２３）が該上死
点Ｐを僅かに越えた位置において、該リンク機構１１
が、従動リンク２２の弾力によってその状態にロックさ
れるようになっている。そしてこの位置では、駆動リン
ク２１がストッパ２５に当接し、それ以上は回動できな
いようになっている。
【００１３】かくしてリンク機構１１がロックされる
と、リテーナ機構１０にそれをアンクランプ位置に変移
させる方向の力が作用しても、その力はリンク機構１１
で受け止められて駆動軸２０に伝わることがなく、この
ため、該駆動軸２０が不用意に回転することがない。
と、リテーナ機構１０にそれをアンクランプ位置に変移
させる方向の力が作用しても、その力はリンク機構１１
で受け止められて駆動軸２０に伝わることがなく、この
ため、該駆動軸２０が不用意に回転することがない。
【００１４】上記構成のロータ１を有する乾燥装置にお
いて、ワーク４を乾燥するに当っては、上記ロータ１の
支持台３上に所要数のワーク４をセットして、クランプ
装置５におけるリテーナ機構１０でそれらの外周を保持
させ、その状態でロータ１を高速回転することにより、
ワーク４に付着した水滴を遠心力で振り切り乾燥させ
る。このとき、上記リテーナ機構１０は、回動アーム１
３にウエイト部１３ｂを設けることにより、当接部材１
４側に作用する遠心力がこのウエイト部１３ｂに作用す
る遠心力とバランスして吸収されるようになっているた
め、該リテーナ機構１０にシャフト１２を中心とするク
ランプ解除方向の回転モーメントが発生せず、このた
め、上記リンク機構１１がワーククランプ位置にロック
されていることとの相乗効果により、リテーナ機構１０
がクランプ位置に確実に拘束されることになる。
いて、ワーク４を乾燥するに当っては、上記ロータ１の
支持台３上に所要数のワーク４をセットして、クランプ
装置５におけるリテーナ機構１０でそれらの外周を保持
させ、その状態でロータ１を高速回転することにより、
ワーク４に付着した水滴を遠心力で振り切り乾燥させ
る。このとき、上記リテーナ機構１０は、回動アーム１
３にウエイト部１３ｂを設けることにより、当接部材１
４側に作用する遠心力がこのウエイト部１３ｂに作用す
る遠心力とバランスして吸収されるようになっているた
め、該リテーナ機構１０にシャフト１２を中心とするク
ランプ解除方向の回転モーメントが発生せず、このた
め、上記リンク機構１１がワーククランプ位置にロック
されていることとの相乗効果により、リテーナ機構１０
がクランプ位置に確実に拘束されることになる。
【００１５】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれ
ば、ワークの外周に当接するリテーナ機構にウエイト部
を設け、ロータの回転時に該リテーナ機構に作用するク
ランプ解除方向の遠心力を吸収させるようにすると共
に、リンク機構によってもリテーナ機構をクランプ位置
に拘束するようにしたので、それらの相乗効果によって
リテーナ機構を上記クランプ位置に確実に保持させるこ
とができる。
ば、ワークの外周に当接するリテーナ機構にウエイト部
を設け、ロータの回転時に該リテーナ機構に作用するク
ランプ解除方向の遠心力を吸収させるようにすると共
に、リンク機構によってもリテーナ機構をクランプ位置
に拘束するようにしたので、それらの相乗効果によって
リテーナ機構を上記クランプ位置に確実に保持させるこ
とができる。
【図１】本発明のワーククランプ装置を備えた、回転式
ワーク乾燥機におけるロータの側面図である。
ワーク乾燥機におけるロータの側面図である。
【図２】図１の正面図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【図４】異なる動作状態を示す図３と同様の要部拡大図
である。
である。
１ ロータ ４ ワーク ５ クランプ装置 １０ リテーナ機構 １１ リンク機構 １２ シャフト １３ 回動アーム １３ｂ ウエイト
部 １４ａ 切込み ２０ 駆動軸 ２１ 駆動リンク ２２ 従動リンク
部 １４ａ 切込み ２０ 駆動軸 ２１ 駆動リンク ２２ 従動リンク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−112186（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−138737（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−78798（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−26532（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304,21/68 F26B 5/08
Claims (2)
- 【請求項１】ロータに保持されたワークを該ロータの回
転により水切り乾燥させる回転式ワーク乾燥機におけ
る、上記ロータ上のワークをクランプするための装置で
あって、 ロータ上にセットされたワークの外周を押えるリテーナ
機構と、該リテーナ機構をワークに当接するクランプ位
置とワークから離間するアンクランプ位置とに回動させ
るリンク機構とを有し、 上記リテーナ機構が、ロータにシャフトで回動自在に軸
支された回動アームと、該回動アームの上記シャフトに
よる軸支点から一方向に伸びる腕部に取付けられたワー
ク当接部材と、回動アームの腕部と反対側に設けられ
た、ワークのクランプ時にロータの回転によりクランプ
解除方向に作用する遠心力を吸収するためのウエイト部
とを有し、 上記リンク機構が、操作用の駆動軸に連結された駆動リ
ンクと、先端が該駆動リンクとリテーナ機構のシャフト
に固定された連結アームとに回転自在に連結された弾性
ある従動リンクとを有していて、これらのリンクの回動
上死点が、リテーナ機構と従動リンクとの連結点から駆
動軸に至る直線上に設定され、ワークのクランプ時に、
駆動リンクと従動リンクとの連結点が上記上死点を僅か
に越えた位置において従動リンクの弾力によりロック可
能である、 ことを特徴とする回転式ワーク乾燥機におけるワークの
クランプ装置。 - 【請求項２】当接部材が、ワークと当接する位置に該ワ
ークが嵌合する切込みを備えていることを特徴とする請
求項１に記載の回転式ワーク乾燥機におけるワークのク
ランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17325194A JP3067955B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17325194A JP3067955B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817784A JPH0817784A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3067955B2 true JP3067955B2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=15956977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17325194A Expired - Fee Related JP3067955B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 回転式ワーク乾燥機におけるワークのクランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3067955B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4482212B2 (ja) * | 2000-09-27 | 2010-06-16 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | スピン処理装置及び基板の処理方法 |
| JP2002164318A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-07 | Ishii Hyoki Corp | 基板スピン装置 |
| CN106622888B (zh) * | 2016-12-14 | 2019-07-05 | 博众精工科技股份有限公司 | 环形件夹持机构 |
| KR20210128064A (ko) * | 2020-04-16 | 2021-10-26 | 주식회사 제우스 | 기판 처리용 통전장치 |
-
1994
- 1994-07-01 JP JP17325194A patent/JP3067955B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0817784A (ja) | 1996-01-19 |
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