JP3051011B2 - パワ−モジュ−ル - Google Patents
パワ−モジュ−ルInfo
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- H05K2203/04—Soldering or other types of metallurgic bonding
- H05K2203/049—Wire bonding
Description
【0001】
【産業上の利用分野】パワ−モジュ−ルに関し、特に絶
縁金属基板を用いたパワ−モジュ−ルに関する。
縁金属基板を用いたパワ−モジュ−ルに関する。
【0002】
【従来の技術】最近のパワ−モジュ−ルは、インバ−タ
に代表されるように、パワ−素子と周辺制御回路を組み
合わせたインテリジェントパワ−モジュ−ル化への傾向
が強まっている。パワ−モジュ−ルは放熱性を重要視し
ているため、DBC(DirectBond Copper )基板を多く
用いている。しかしながら、小〜中出力クラスでは、D
BC基板に比べて放熱性は多少劣るもののコストが安い
絶縁金属基板を使用することが多い。
に代表されるように、パワ−素子と周辺制御回路を組み
合わせたインテリジェントパワ−モジュ−ル化への傾向
が強まっている。パワ−モジュ−ルは放熱性を重要視し
ているため、DBC(DirectBond Copper )基板を多く
用いている。しかしながら、小〜中出力クラスでは、D
BC基板に比べて放熱性は多少劣るもののコストが安い
絶縁金属基板を使用することが多い。
【0003】絶縁金属基板を用いたパワ−モジュ−ルを
図3を参照して説明する。同図に示すように、絶縁金属
基板30は金属ベ−ス301と高放熱性絶縁層302と
該高放熱性絶縁層302上に設けられた導体パタ−ン3
03とから構成される。パワ−素子31は、絶縁金属基
板30の導体パタ−ン303上に載置されたヒ−トスプ
レッダ32上に半田付けされており、パワ−素子31の
制御回路となるトランジスタやコンデンサ等の半導体素
子33は、絶縁金属基板30上の導体パタ−ン303上
に接続されている。
図3を参照して説明する。同図に示すように、絶縁金属
基板30は金属ベ−ス301と高放熱性絶縁層302と
該高放熱性絶縁層302上に設けられた導体パタ−ン3
03とから構成される。パワ−素子31は、絶縁金属基
板30の導体パタ−ン303上に載置されたヒ−トスプ
レッダ32上に半田付けされており、パワ−素子31の
制御回路となるトランジスタやコンデンサ等の半導体素
子33は、絶縁金属基板30上の導体パタ−ン303上
に接続されている。
【0004】この様なパワ−素子部分と制御回路部分と
を同一基板上に設ける構造である場合、上記両部分の電
磁干渉(EMI:Electro Magnetic Interference )を
防止するため、上記両部分の配線の間を一定距離以上に
保つ必要がある。そのため、絶縁金属基板30の設計の
際にフレキシブルな対応ができず、予め決められた外囲
器の端子位置に絶縁金属基板30側の端子を合わせるこ
ことが困難な場合もある。また、上記制御回路は複雑化
しており、パワ−モジュ−ルにおいても微細配線による
高密度実装が必要である。
を同一基板上に設ける構造である場合、上記両部分の電
磁干渉(EMI:Electro Magnetic Interference )を
防止するため、上記両部分の配線の間を一定距離以上に
保つ必要がある。そのため、絶縁金属基板30の設計の
際にフレキシブルな対応ができず、予め決められた外囲
器の端子位置に絶縁金属基板30側の端子を合わせるこ
ことが困難な場合もある。また、上記制御回路は複雑化
しており、パワ−モジュ−ルにおいても微細配線による
高密度実装が必要である。
【0005】そこで、図4に示すように、絶縁金属基板
30を上記制御回路部分のみを2層構造とした部分2層
構造としている。上記2層構造は、第1層目の導体パタ
−ン303a上の第2層目の高放熱性絶縁層302b
と、その上に形成された第2層目の導体パタ−ン303
bとを有するものである。このような部分2層構造から
なる絶縁金属基板30であると、上記パワ−素子部分と
上記制御回路部分との両配線は、高放熱性絶縁層302
bにより絶縁されており、上記両配線を近接に設計した
としても、電磁干渉は生じない。
30を上記制御回路部分のみを2層構造とした部分2層
構造としている。上記2層構造は、第1層目の導体パタ
−ン303a上の第2層目の高放熱性絶縁層302b
と、その上に形成された第2層目の導体パタ−ン303
bとを有するものである。このような部分2層構造から
なる絶縁金属基板30であると、上記パワ−素子部分と
上記制御回路部分との両配線は、高放熱性絶縁層302
bにより絶縁されており、上記両配線を近接に設計した
としても、電磁干渉は生じない。
【0006】しかしながら、部分2層構造からなる絶縁
金属基板30は非常に複雑な構造であるため、絶縁金属
基板30が高価になり、コストの厳しい家電用や汎用の
インバ−タには採用しにくい。また、パワ−素子の出力
のみを変更する場合に、制御回路部分等を含めた絶縁金
属基板30全体を設計し直す必要があり、開発に要する
コスト及び期間も多くかかることになる。
金属基板30は非常に複雑な構造であるため、絶縁金属
基板30が高価になり、コストの厳しい家電用や汎用の
インバ−タには採用しにくい。また、パワ−素子の出力
のみを変更する場合に、制御回路部分等を含めた絶縁金
属基板30全体を設計し直す必要があり、開発に要する
コスト及び期間も多くかかることになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、通常の
絶縁金属基板であると、EMI対策上の制約があり絶縁
金属基板設計時にフレキシブルな対応ができない。ま
た、部分2層構造の絶縁金属基板であると、製造プロセ
スを複雑にすると共に高価格化を招く。それ故に、本発
明は容易に設計可能であると共に安価なパワ−モジュ−
ルを提供することを目的とする。
絶縁金属基板であると、EMI対策上の制約があり絶縁
金属基板設計時にフレキシブルな対応ができない。ま
た、部分2層構造の絶縁金属基板であると、製造プロセ
スを複雑にすると共に高価格化を招く。それ故に、本発
明は容易に設計可能であると共に安価なパワ−モジュ−
ルを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によるパワーモジ
ュールは、金属板と、前記金属板上の一部に配置された
絶縁金属基板からなるヒートスプレッダと、前記ヒート
スプレッダに搭載されたパワー素子と、前記金属板上
に、前記ヒートスプレッダと隣接して配置され、前記パ
ワー素子の配線部となる第1基板と、前記金属板上に、
前記ヒートスプレッダと隣接して配置され、前記パワー
素子を制御する半導体素子が搭載された第2基板とを具
備している。
ュールは、金属板と、前記金属板上の一部に配置された
絶縁金属基板からなるヒートスプレッダと、前記ヒート
スプレッダに搭載されたパワー素子と、前記金属板上
に、前記ヒートスプレッダと隣接して配置され、前記パ
ワー素子の配線部となる第1基板と、前記金属板上に、
前記ヒートスプレッダと隣接して配置され、前記パワー
素子を制御する半導体素子が搭載された第2基板とを具
備している。
【0009】
【作用】上記パワーモジュールによれば、上記ヒートス
プレッダとしてのみ絶縁金属基板を用いており、大幅に
絶縁金属基板の使用面積を縮小でき低下価格化が可能で
ある。しかも、絶縁金属基板は第1基板及び第2基板と
は別個のものであるため設計を容易化できる。
プレッダとしてのみ絶縁金属基板を用いており、大幅に
絶縁金属基板の使用面積を縮小でき低下価格化が可能で
ある。しかも、絶縁金属基板は第1基板及び第2基板と
は別個のものであるため設計を容易化できる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図2を参
照して説明する。図1によれば、パワ−モジュ−ルは、
AlまたはCu金属等からなる金属板11と、その上に
接着若しくは半田付けされたヒ−トスプレッダ12と、
該ヒ−トスプレッダ12上に半田付けされたパワ−素子
13と、金属板11上に接着若しくは半田付けされたパ
ワ−用基板14と、金属板11上に接着若しくは半田付
けされかつパワ−素子の制御回路となるトランジスタや
コンデンサ等の半導体素子15を搭載する制御回路用基
板16とから構成される。
照して説明する。図1によれば、パワ−モジュ−ルは、
AlまたはCu金属等からなる金属板11と、その上に
接着若しくは半田付けされたヒ−トスプレッダ12と、
該ヒ−トスプレッダ12上に半田付けされたパワ−素子
13と、金属板11上に接着若しくは半田付けされたパ
ワ−用基板14と、金属板11上に接着若しくは半田付
けされかつパワ−素子の制御回路となるトランジスタや
コンデンサ等の半導体素子15を搭載する制御回路用基
板16とから構成される。
【0011】パワ−用基板14及び制御回路用基板16
は、プリント基板若しくはセラミック基板を用いる。パ
ワ−素子13とパワ−用基板14とは、ボンディングワ
イヤ17若しくはヒ−トスプレッダ12を介して電気的
に接続される。パワ−素子13と制御回路用基板16と
は、ボンディングワイヤ17を介して接続される。
は、プリント基板若しくはセラミック基板を用いる。パ
ワ−素子13とパワ−用基板14とは、ボンディングワ
イヤ17若しくはヒ−トスプレッダ12を介して電気的
に接続される。パワ−素子13と制御回路用基板16と
は、ボンディングワイヤ17を介して接続される。
【0012】ヒ−トスプレッダ12は絶縁金属基板を用
いて作成される。絶縁金属基板は、CuまたはCuクラ
ッド材(Cuとコバ−ル、Cuとインバ−等)からなる
金属ベ−ス121と、エポキシ等からなる高放熱性絶縁
層122とを有している(図2(a))。また、他の絶
縁金属基板は、金属ベ−ス121と高放熱性絶縁層12
2と導体層123とを有している(同図(b))。但
し、ヒ−トスプレッダ12としていずれの絶縁金属基板
を用いた場合にも、高放熱性絶縁層122または導体層
123側を金属板11に接着させ、金属ベ−ス121上
にパワ−素子13を載置する。
いて作成される。絶縁金属基板は、CuまたはCuクラ
ッド材(Cuとコバ−ル、Cuとインバ−等)からなる
金属ベ−ス121と、エポキシ等からなる高放熱性絶縁
層122とを有している(図2(a))。また、他の絶
縁金属基板は、金属ベ−ス121と高放熱性絶縁層12
2と導体層123とを有している(同図(b))。但
し、ヒ−トスプレッダ12としていずれの絶縁金属基板
を用いた場合にも、高放熱性絶縁層122または導体層
123側を金属板11に接着させ、金属ベ−ス121上
にパワ−素子13を載置する。
【0013】パワ−用基板14及び制御回路用基板16
は各々別々に作られているため、電磁干渉は発生しな
い。更に、別個に形成されることにより、パワ−モジュ
−ルの設計時のフレキシビリティを増すことができ、予
め決められた外囲器の端子位置に基板側の端子位置を合
わせることも容易になる。また、パワ−素子13の品種
を変更する場合でも、パワ−素子のチップサイズが大き
く変わらなければ、パワ−用基板14の配線を設計変更
するのみでよい。それにより、開発に要するコストの低
減及び期間の短縮を図ることができる。
は各々別々に作られているため、電磁干渉は発生しな
い。更に、別個に形成されることにより、パワ−モジュ
−ルの設計時のフレキシビリティを増すことができ、予
め決められた外囲器の端子位置に基板側の端子位置を合
わせることも容易になる。また、パワ−素子13の品種
を変更する場合でも、パワ−素子のチップサイズが大き
く変わらなければ、パワ−用基板14の配線を設計変更
するのみでよい。それにより、開発に要するコストの低
減及び期間の短縮を図ることができる。
【0014】
【発明の効果】本発明のパワーモジュールによれば、絶
縁金属基板をヒートスプレッダとして用いることによ
り、従来に比べて、絶縁金属基板の使用面積を大幅に縮
小することができ、低下価格化が可能である。しかも、
絶縁金属基板は第1基板及び第2基板とは別個のもので
あるため設計を容易化できる。
縁金属基板をヒートスプレッダとして用いることによ
り、従来に比べて、絶縁金属基板の使用面積を大幅に縮
小することができ、低下価格化が可能である。しかも、
絶縁金属基板は第1基板及び第2基板とは別個のもので
あるため設計を容易化できる。
【図1】本発明によるパワ−モジュ−ルを模式的に示す
断面図である。
断面図である。
【図2】図1中のヒ−トスプレッダとして用いられる絶
縁金属基板を示す2種類の断面図である。
縁金属基板を示す2種類の断面図である。
【図3】従来の第1のパワ−モジュ−ルを模式的に示す
断面図である。
断面図である。
【図4】従来の第2のパワ−モジュ−ルを模式的に示す
断面図である。
断面図である。
11…金属板、12…ヒ−トスプレッダ、13…パワ−
素子 14…パワ−用基板、15…半導体素子、16…制御回
路用基板 17…ボンディングワイヤ、121…金属ベ−ス 122…高放熱性絶縁層、123…導体層
素子 14…パワ−用基板、15…半導体素子、16…制御回
路用基板 17…ボンディングワイヤ、121…金属ベ−ス 122…高放熱性絶縁層、123…導体層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平3−122552(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 25/04
Claims (3)
- 【請求項1】 金属板と、 前記金属板上の一部に配置された絶縁金属基板からなる
ヒートスプレッダと、 前記ヒートスプレッダに搭載されたパワー素子と、 前記金属板上に、前記ヒートスプレッダと隣接して配置
され、前記パワー素子の配線部となる第1基板と、 前記金属板上に、前記ヒートスプレッダと隣接して配置
され、前記パワー素子を制御する半導体素子が搭載され
た第2基板と を具備することを特徴とするパワーモジュ
ール。 - 【請求項2】 前記絶縁金属基板は、Cuを含む金属ベ
ースと、前記金属ベースに設けられ前記金属板と接触さ
れる高放熱性絶縁層を有することを特徴とする請求項1
記載のパワーモジュール。 - 【請求項3】 前記絶縁金属基板は、Cuを含む前記金
属ベースと、前記金属板と接触される導体層と、この導
体層と前記金属ベースの間に設けられた高放熱性絶縁層
を有することを特徴とする請求項1記載のパワーモジュ
ール。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5289251A JP3051011B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | パワ−モジュ−ル |
US08/344,656 US5513072A (en) | 1993-11-18 | 1994-11-18 | Power module using IMS as heat spreader |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5289251A JP3051011B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | パワ−モジュ−ル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07142674A JPH07142674A (ja) | 1995-06-02 |
JP3051011B2 true JP3051011B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=17740738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5289251A Expired - Fee Related JP3051011B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | パワ−モジュ−ル |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5513072A (ja) |
JP (1) | JP3051011B2 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07297575A (ja) * | 1994-04-21 | 1995-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | パワーモジュール装置 |
DE19733047A1 (de) * | 1997-07-31 | 1999-02-18 | Fahrzeugklimaregelung Gmbh | Regler für einen Elektromotor mit Regelschaltung und Leistungshalbleiter |
US6201701B1 (en) | 1998-03-11 | 2001-03-13 | Kimball International, Inc. | Integrated substrate with enhanced thermal characteristics |
JPH11297906A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-29 | Motorola Inc | 電子アセンブリおよび製造方法 |
US6154364A (en) * | 1998-11-19 | 2000-11-28 | Delco Electronics Corp. | Circuit board assembly with IC device mounted thereto |
DE19859739A1 (de) * | 1998-12-23 | 2000-07-06 | Bosch Gmbh Robert | Kühlvorrichtung, insbesondere zur Verwendung in einem elektronischen Steuergerät |
ATE244981T1 (de) * | 1999-05-31 | 2003-07-15 | Tyco Electronics Logistics Ag | Intelligentes leistungsmodul |
JP3984773B2 (ja) * | 2000-03-17 | 2007-10-03 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
AT411126B (de) * | 2001-04-06 | 2003-09-25 | Siemens Ag Oesterreich | Halbleitermodul |
US6774465B2 (en) | 2001-10-05 | 2004-08-10 | Fairchild Korea Semiconductor, Ltd. | Semiconductor power package module |
US6674157B2 (en) | 2001-11-02 | 2004-01-06 | Fairchild Semiconductor Corporation | Semiconductor package comprising vertical power transistor |
US6566749B1 (en) | 2002-01-15 | 2003-05-20 | Fairchild Semiconductor Corporation | Semiconductor die package with improved thermal and electrical performance |
JP2004088989A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-03-18 | Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk | 電力回路部の防水方法 |
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1994
- 1994-11-18 US US08/344,656 patent/US5513072A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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---|---|
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