JP3032859B2 - クリーンルーム用フロアパネル - Google Patents
クリーンルーム用フロアパネルInfo
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- JP3032859B2 JP3032859B2 JP7264949A JP26494995A JP3032859B2 JP 3032859 B2 JP3032859 B2 JP 3032859B2 JP 7264949 A JP7264949 A JP 7264949A JP 26494995 A JP26494995 A JP 26494995A JP 3032859 B2 JP3032859 B2 JP 3032859B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体・精密電子
部品・バイオ関連品等の生産環境等として使用する高度
のクリーンルームの床面に敷設するクリーンルーム用フ
ロアパネルに関するものである。
部品・バイオ関連品等の生産環境等として使用する高度
のクリーンルームの床面に敷設するクリーンルーム用フ
ロアパネルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】前記のクリーンルームは、完全に近い防
塵・防脂・清浄なルーム環境が要求され、ロボットや自
走車が床面を走行しても、その高度なルーム環境が維持
できる床面構造が不可欠になる。そこで、本来の建物床
面に支柱脚を林設し、その支柱脚に、所要形状に量産さ
れたフロアパネルを敷設して、そのフロアパネル面を工
場等の床面とする二重床構造に構成され、そのフロアパ
ネルと建物床面間を、クリーンルームの換気流路等とし
て活用するクリーンルームシステムが採用されている。
塵・防脂・清浄なルーム環境が要求され、ロボットや自
走車が床面を走行しても、その高度なルーム環境が維持
できる床面構造が不可欠になる。そこで、本来の建物床
面に支柱脚を林設し、その支柱脚に、所要形状に量産さ
れたフロアパネルを敷設して、そのフロアパネル面を工
場等の床面とする二重床構造に構成され、そのフロアパ
ネルと建物床面間を、クリーンルームの換気流路等とし
て活用するクリーンルームシステムが採用されている。
【０００３】そして、そのクリーンルーム構造に使用す
るフロアパネルは、優れた耐蝕性・防錆性等を有して、
そのクリーン特性に適するアルミニウム・ステンレス材
が用いられ、全体をアルミニウムダイキヤスト成形した
もの、所要の床面強度を有する厚目のステンレス鋼板を
一枚敷きして形成したパネル構造になっている。
るフロアパネルは、優れた耐蝕性・防錆性等を有して、
そのクリーン特性に適するアルミニウム・ステンレス材
が用いられ、全体をアルミニウムダイキヤスト成形した
もの、所要の床面強度を有する厚目のステンレス鋼板を
一枚敷きして形成したパネル構造になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来のクリーン
ルーム用フロアパネルのうちアルミニウムダイキヤスト
製のものは、成形型によって量産成形できるものの、ア
ルミニウム自体が軟質にして自走車の走行抵抗等に対す
る耐用性が劣り、摩耗等を生じてクリーンルーム環境性
を害するおそれがあるので、ダイキヤスト成形後に表面
を硬質メッキ処理したり、特殊塗装等を施す表面保護対
策が必要になる。従って、コスト高になると共に、メッ
キ層・塗装膜の剥離・摩耗等によって表面保護機能を低
下することがあるので、特にフロアパネル表面の耐摩耗
性・硬性等が強く求められるクリーンルームには使用し
難い品質上の難点がある。
ルーム用フロアパネルのうちアルミニウムダイキヤスト
製のものは、成形型によって量産成形できるものの、ア
ルミニウム自体が軟質にして自走車の走行抵抗等に対す
る耐用性が劣り、摩耗等を生じてクリーンルーム環境性
を害するおそれがあるので、ダイキヤスト成形後に表面
を硬質メッキ処理したり、特殊塗装等を施す表面保護対
策が必要になる。従って、コスト高になると共に、メッ
キ層・塗装膜の剥離・摩耗等によって表面保護機能を低
下することがあるので、特にフロアパネル表面の耐摩耗
性・硬性等が強く求められるクリーンルームには使用し
難い品質上の難点がある。
【０００５】一方、厚目ステンレス鋼板一枚敷き構成の
従来のクリーンルーム用フロアパネルは、材料費高から
コスト高になるのが避けられない。以上から、従来のク
リーンルーム用フロアパネルは、所要スペースのワンル
ーム建設にも尨大な資金が必要になるので、実用性に欠
ける難点があり、近年急速に発展成長している超精密加
工分野のクリーンルームの普及を妨げるので、低コスト
にして実用性に優れるクリーンルーム用フロアパネルの
開発が、当該分野で強く求められている。
従来のクリーンルーム用フロアパネルは、材料費高から
コスト高になるのが避けられない。以上から、従来のク
リーンルーム用フロアパネルは、所要スペースのワンル
ーム建設にも尨大な資金が必要になるので、実用性に欠
ける難点があり、近年急速に発展成長している超精密加
工分野のクリーンルームの普及を妨げるので、低コスト
にして実用性に優れるクリーンルーム用フロアパネルの
開発が、当該分野で強く求められている。
【０００６】本発明は、以上の従来技術の難点を解消
し、当該分野の技術要求に応えるクリーンルーム用フロ
アパネルを提供するものである。
し、当該分野の技術要求に応えるクリーンルーム用フロ
アパネルを提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の技術課題を解決す
る本発明のクリーンルーム用フロアパネルは「林設した
支柱脚の上端に支承敷設して、クリーンルーム床面を形
成するクリーンルーム用フロアパネルにおいて、前記支
柱脚に隅部を支承する方形のアルミニウムダイキヤスト
製のフロアパネル主部に、薄目ステンレス板の表面被覆
板を敷設し、前記表面被覆板の周縁を、前記フロアパネ
ル主部の側周に折り曲げセットし、さらに、前記表面被
覆板の裏面に所要間隔で突設したスタッドボルトを、前
記フロアパネル主部のボルト孔に通してナット締めする
前記表面被覆板の前記フロアパネル主部への敷設ロック
手段を備えた構造」になっている。
る本発明のクリーンルーム用フロアパネルは「林設した
支柱脚の上端に支承敷設して、クリーンルーム床面を形
成するクリーンルーム用フロアパネルにおいて、前記支
柱脚に隅部を支承する方形のアルミニウムダイキヤスト
製のフロアパネル主部に、薄目ステンレス板の表面被覆
板を敷設し、前記表面被覆板の周縁を、前記フロアパネ
ル主部の側周に折り曲げセットし、さらに、前記表面被
覆板の裏面に所要間隔で突設したスタッドボルトを、前
記フロアパネル主部のボルト孔に通してナット締めする
前記表面被覆板の前記フロアパネル主部への敷設ロック
手段を備えた構造」になっている。
【０００８】即ち、本発明のクリーンルーム用フロアパ
ネルは、クリーンルーム床面としての所要の機械強度を
有するパネル主部の骨格・肉部を、成形型によって量産
できるアルミニウムダイキヤスト製になし、そのパネル
主部に、１．０粍厚さ以下程度の薄目のステンレス板を
敷設した表面被覆を設けて、パネル主部を包込み、クリ
ーンルーム内にアルミニウム質の部分が露出しない構造
になし、クリーンルームフロア面としての高度の耐蝕性
・耐摩耗性を、低コストによって確保するようにしたも
のである。そして、その表面被覆板は前記の敷設ロック
手段によってパネル主部にロックされ、その両者が実質
的一体物として機能するように構成されている。
ネルは、クリーンルーム床面としての所要の機械強度を
有するパネル主部の骨格・肉部を、成形型によって量産
できるアルミニウムダイキヤスト製になし、そのパネル
主部に、１．０粍厚さ以下程度の薄目のステンレス板を
敷設した表面被覆を設けて、パネル主部を包込み、クリ
ーンルーム内にアルミニウム質の部分が露出しない構造
になし、クリーンルームフロア面としての高度の耐蝕性
・耐摩耗性を、低コストによって確保するようにしたも
のである。そして、その表面被覆板は前記の敷設ロック
手段によってパネル主部にロックされ、その両者が実質
的一体物として機能するように構成されている。
【０００９】
【作用】以上の構成の本発明のクリーンルーム用フロア
パネルは、フロアパネルの骨格・肉部となって多量の金
属材料を要するパネル主部が、アルミニウムダイキヤス
ト製にして、量産成形し易く、そのパネル主部への薄目
ステンレス板の被覆加工も、プレス加工によって能率的
に加工処理できるので、前記従来の厚目ステンレス板の
ものより低コストに成形できると共に、前記従来のアル
ミニウムダイキヤスト製にして表面硬化処理するものよ
りコスト高となることはない。そして、前記の敷設ロッ
ク手段によって表面被覆板とパネル主部が実質的一体物
として機能する。
パネルは、フロアパネルの骨格・肉部となって多量の金
属材料を要するパネル主部が、アルミニウムダイキヤス
ト製にして、量産成形し易く、そのパネル主部への薄目
ステンレス板の被覆加工も、プレス加工によって能率的
に加工処理できるので、前記従来の厚目ステンレス板の
ものより低コストに成形できると共に、前記従来のアル
ミニウムダイキヤスト製にして表面硬化処理するものよ
りコスト高となることはない。そして、前記の敷設ロッ
ク手段によって表面被覆板とパネル主部が実質的一体物
として機能する。
【００１０】そして、パネル主部がステンレス板の被覆
で包み込まれるので、アルミニウムの軟質欠陥が解消さ
れ、高耐久性・高耐摩耗性を有する高品質にして、実用
性に富むクリーンルーム用フロアパネルとして使用でき
る。
で包み込まれるので、アルミニウムの軟質欠陥が解消さ
れ、高耐久性・高耐摩耗性を有する高品質にして、実用
性に富むクリーンルーム用フロアパネルとして使用でき
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のクリーンルーム用フロア
パネルは、以下の実施例のように実施される。
パネルは、以下の実施例のように実施される。
【００１２】
【実施例】まず、本発明の第一実施例を示す図１を参照
して、この実施例のクリーンルーム用フロアパネル１
（以下、単にフロアパネル１という）は、６００粍×６
００粍等の標準化されたサイズの方形板体にして、耐圧
強度等の所要の機械的強度を有する肉厚・形状を有し
て、フロアパネル１の骨格・骨部となるアルミニウムダ
イキヤスト製のパネル主部２に、概ね１．０粍厚さ以下
の薄目ステンレス板の表面被覆板３を施して、そのパネ
ル主部２の表面と側周４に表面被覆板３を重合して包み
込みセットした構造を有している。
して、この実施例のクリーンルーム用フロアパネル１
（以下、単にフロアパネル１という）は、６００粍×６
００粍等の標準化されたサイズの方形板体にして、耐圧
強度等の所要の機械的強度を有する肉厚・形状を有し
て、フロアパネル１の骨格・骨部となるアルミニウムダ
イキヤスト製のパネル主部２に、概ね１．０粍厚さ以下
の薄目ステンレス板の表面被覆板３を施して、そのパネ
ル主部２の表面と側周４に表面被覆板３を重合して包み
込みセットした構造を有している。
【００１３】即ち、表面被覆板３はパネル主部２の表面
サイズより一回り大なる方形サイズを有し、パネル主部
２の上面全面に密着重合すると共に、図１の（Ｄ）のよ
うにパネル主部２の側周４に折り曲げ、さらに、その側
周４をなす側周枠５に巻き込み係止されている。
サイズより一回り大なる方形サイズを有し、パネル主部
２の上面全面に密着重合すると共に、図１の（Ｄ）のよ
うにパネル主部２の側周４に折り曲げ、さらに、その側
周４をなす側周枠５に巻き込み係止されている。
【００１４】そして、この実施例のパネル主部２は、ク
リーンルームの換気孔として機能する換気孔６を整列配
設して上下に貫設すると共に、方形の側周枠５の内部に
表面板部８を設けると共に、その表面板部８の裏側に所
要の補強リブ７を有する形状にして、成形型によって量
産成形されている。そして、表面被覆板３はパネル主部
２と整合する換気孔６を整列貫設した形状にプレス成形
され、パネル主部２に重合してプレス加工処理し、前記
の包み込みセット加工が施されている。
リーンルームの換気孔として機能する換気孔６を整列配
設して上下に貫設すると共に、方形の側周枠５の内部に
表面板部８を設けると共に、その表面板部８の裏側に所
要の補強リブ７を有する形状にして、成形型によって量
産成形されている。そして、表面被覆板３はパネル主部
２と整合する換気孔６を整列貫設した形状にプレス成形
され、パネル主部２に重合してプレス加工処理し、前記
の包み込みセット加工が施されている。
【００１５】なお、この図１実施例のものは換気孔６を
有するので、パネル主部２と表面被覆板３のフィット性
が阻害され、フロアパネルとして使用中に表面被覆板３
が「ブワブワ」するのを防止するために、図１の（Ｅ）
のように、表面被覆板３の裏面要所に立設したスタッド
ボルト９を、パネル主部２のボルト孔１０に貫通させて
ナット締めし、表面被覆板３がパネル主部２に的確にフ
ィットされている。
有するので、パネル主部２と表面被覆板３のフィット性
が阻害され、フロアパネルとして使用中に表面被覆板３
が「ブワブワ」するのを防止するために、図１の（Ｅ）
のように、表面被覆板３の裏面要所に立設したスタッド
ボルト９を、パネル主部２のボルト孔１０に貫通させて
ナット締めし、表面被覆板３がパネル主部２に的確にフ
ィットされている。
【００１６】続いて、図２を参照して本発明の他の実施
例のフロアパネル１を説明する。即ち、この図１実施例
と同様なパネル主部２に表面被覆板３を包着セットする
ものにおいて、この図２実施例のものは、換気孔６が不
存在にして、表面被覆板３の周縁もパネル主部２の側周
４の上半部分までを包み込み係止している。
例のフロアパネル１を説明する。即ち、この図１実施例
と同様なパネル主部２に表面被覆板３を包着セットする
ものにおいて、この図２実施例のものは、換気孔６が不
存在にして、表面被覆板３の周縁もパネル主部２の側周
４の上半部分までを包み込み係止している。
【００１７】以上の実施例のものは、クリーンルームの
建物本来の床面に林設し支柱脚１１の上端に、それぞれ
の四隅を支承連結して左右前後方向に連続して敷設さ
れ、二重床面構造のクリーンルームのクリーンフロアと
して使用される。以上の各実施例のフロアパネル１は前
記の作用があり、実用性に適する成形コストで量産提供
されると共に、現に要求される厳密なクリーンルーム性
能を有し、高耐蝕性・高耐久性を有する高性能フロアパ
ネルとして使用できる。
建物本来の床面に林設し支柱脚１１の上端に、それぞれ
の四隅を支承連結して左右前後方向に連続して敷設さ
れ、二重床面構造のクリーンルームのクリーンフロアと
して使用される。以上の各実施例のフロアパネル１は前
記の作用があり、実用性に適する成形コストで量産提供
されると共に、現に要求される厳密なクリーンルーム性
能を有し、高耐蝕性・高耐久性を有する高性能フロアパ
ネルとして使用できる。
【００１８】なお、本発明のクリーンルーム用フロアパ
ネルは、前記の実施例に限定されず、パネル主部２の形
状は必要に応じて適宜変更するものである。
ネルは、前記の実施例に限定されず、パネル主部２の形
状は必要に応じて適宜変更するものである。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、本発明のクリーン
ルーム用フロアパネルは、クリーンルーム特性に必要な
クリーン性能を有する安価なフロアパネルとして、量産
提供可能な実用性を有するので、産業上必要なクリーン
ルームの普及を促進し、当該分野の技術要求に応える効
果がある。
ルーム用フロアパネルは、クリーンルーム特性に必要な
クリーン性能を有する安価なフロアパネルとして、量産
提供可能な実用性を有するので、産業上必要なクリーン
ルームの普及を促進し、当該分野の技術要求に応える効
果がある。
【図１】本発明一実施例のクリーンルーム用フロアパネ
ルを示し、（Ａ）はその構成部材の斜視図、（Ｂ）はそ
の全体斜視図、（Ｃ）は（Ｂ）のＦＦ断面図、（Ｄ）は
（Ｃ）の部分拡大図、（Ｅ）は（Ｂ）の部分拡大断面図
ルを示し、（Ａ）はその構成部材の斜視図、（Ｂ）はそ
の全体斜視図、（Ｃ）は（Ｂ）のＦＦ断面図、（Ｄ）は
（Ｃ）の部分拡大図、（Ｅ）は（Ｂ）の部分拡大断面図
【図２】本発明の他の実施例のクリーンルーム用フロア
パネルを示し、（Ａ）はその構成部材の斜視図、（Ｂ）
はその部分断面図
パネルを示し、（Ａ）はその構成部材の斜視図、（Ｂ）
はその部分断面図
１ クリーンルーム用フロアパネル ２ パネル主部 ３ 表面被覆板 ４ 側周 ５ 側周枠 ６ 換気孔 ７ 補強リブ ８ 表面板部 ９ スタッドボルト １０ ボルト孔 １１ 支柱脚
Claims (1)
- 【請求項１】 林設した支柱脚の上端に支承敷設して、
クリーンルーム床面を形成するクリーンルーム用フロア
パネルにおいて、前記支柱脚に隅部を支承する方形のア
ルミニウムダイキヤスト製のフロアパネル主部に、薄目
ステンレス板の表面被覆板を敷設し、前記表面被覆板の
周縁を、前記フロアパネル主部の側周に折り曲げセット
し、さらに、前記表面被覆板の裏面に所要間隔で突設し
たスタッドボルトを、前記フロアパネル主部のボルト孔
に通してナット締めする前記表面被覆板の前記フロアパ
ネル主部への敷設ロック手段を備えた構造を特徴とする
クリーンルーム用フロアパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7264949A JP3032859B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | クリーンルーム用フロアパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7264949A JP3032859B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | クリーンルーム用フロアパネル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0978813A JPH0978813A (ja) | 1997-03-25 |
| JP3032859B2 true JP3032859B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=17410439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7264949A Expired - Fee Related JP3032859B2 (ja) | 1995-09-19 | 1995-09-19 | クリーンルーム用フロアパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3032859B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200198844Y1 (ko) * | 1998-09-23 | 2000-10-02 | 김재원 | 크린룸용 바닥재 |
| JP2002309761A (ja) * | 2001-04-13 | 2002-10-23 | Ohbayashi Corp | 二重床構造 |
| KR20030006599A (ko) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | 주식회사 해광 | 전도성 그레이트 패널의 제조공정 및 제품 |
| KR100454901B1 (ko) * | 2001-10-10 | 2004-11-15 | 박창규 | 액서스플로어판넬의 제조방법 |
| KR20030016333A (ko) * | 2003-01-20 | 2003-02-26 | 주식회사 해광 | 복합 재질로 이루어진 크린룸 하부 패널 및 그 제조방법 |
-
1995
- 1995-09-19 JP JP7264949A patent/JP3032859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0978813A (ja) | 1997-03-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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