JP3023112B2 - エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金 - Google Patents
エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エッチング加工性に優れた集積回路素子の
リードフレーム用Fe−Ni系合金に関するものである。
リードフレーム用Fe−Ni系合金に関するものである。
集積回路用素子のリードフレーム用材料としては、Fe
−42％Ni、Fe−50％Niをはじめとして、Fe−29Ni−17Co
合金（コバール）等のFe−Ni系合金が使用されている。
−42％Ni、Fe−50％Niをはじめとして、Fe−29Ni−17Co
合金（コバール）等のFe−Ni系合金が使用されている。
近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常
に多ピン（リード）となり、複雑化して来ており、従来
64ピンクラスが主体であったエッチング加工も160〜240
ピン、さらには240ピン以上のクラスの超多ピンのもの
まで手がけられるようになってきている。
に多ピン（リード）となり、複雑化して来ており、従来
64ピンクラスが主体であったエッチング加工も160〜240
ピン、さらには240ピン以上のクラスの超多ピンのもの
まで手がけられるようになってきている。
これに伴ってリードフレームの特にインナーリードの
間隔は非常に狭くならざるを得ず、従来のリード間隔で
は何ら問題にならなかったエッチング加工も、こうした
多ピンのリードフレームではエッチング性に問題を生ず
るようになってきている。
間隔は非常に狭くならざるを得ず、従来のリード間隔で
は何ら問題にならなかったエッチング加工も、こうした
多ピンのリードフレームではエッチング性に問題を生ず
るようになってきている。
このため、従来に比べ数段エッチング加工性に優れた
リードフレーム材料が必要になっている。
リードフレーム材料が必要になっている。
従来のFe−Ni系合金では、前述の240ピンクラスの多
ピンリードフレームにおいて、エッチング加工性が十分
満足できるものではなく、インナーリード同志のくっつ
き等を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足
できない等の問題があった。
ピンリードフレームにおいて、エッチング加工性が十分
満足できるものではなく、インナーリード同志のくっつ
き等を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足
できない等の問題があった。
本発明は以上の点に鑑み、超多ピンリードフレームの
エッチング加工が十分可能なエッチング加工性の優れた
リードフレーム用Fe−Ni系合金を提供することを目的と
するものである。
エッチング加工が十分可能なエッチング加工性の優れた
リードフレーム用Fe−Ni系合金を提供することを目的と
するものである。
本発明者は、エッチング加工性を向上させる要因とし
て、炭素含有量、材料の結晶粒度、非金属介在物の量、
および圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その
結果、エッチング加工性を改善する顕著な効果が発揮で
きるのは、特定の結晶粒度以上に細粒にすること、およ
びＣ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場合
であることをつきとめたものである。さらに非金属介在
物を低減する効果も複合すると、よりエッチング断面の
面粗度が滑らかになるという効果もあることもわかっ
た。
て、炭素含有量、材料の結晶粒度、非金属介在物の量、
および圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その
結果、エッチング加工性を改善する顕著な効果が発揮で
きるのは、特定の結晶粒度以上に細粒にすること、およ
びＣ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場合
であることをつきとめたものである。さらに非金属介在
物を低減する効果も複合すると、よりエッチング断面の
面粗度が滑らかになるという効果もあることもわかっ
た。
Ｃ含有量や非金属介在物の量を単に低減するだけでは
不十分であり、本発明の合金は結晶粒度をJISの結晶粒
度番号でNo.8以上にし、Ｃ含有量を0.007重量％以下に
した時にも最もエッチング加工性向上の効果が発揮でき
るものである。
不十分であり、本発明の合金は結晶粒度をJISの結晶粒
度番号でNo.8以上にし、Ｃ含有量を0.007重量％以下に
した時にも最もエッチング加工性向上の効果が発揮でき
るものである。
すなわち本発明は、Ｃ含有量が0.007重量％以下で、
かつ結晶粒度がNo.8.0以上であることを特徴とするエッ
チング加工性に優れたリードフレーム用Fe−Ni系合金で
あって、前記Fe−Ni系合金は、Ni30〜60重量％、Si0.25
重量％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005重量％
以下、その他の不純物の元素の全含有量が0.10重量％以
下であるか、またはNi25〜40重量％、Co5〜20重量％、S
i0.25重量％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不
純物からなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005
重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量
％以下である。
かつ結晶粒度がNo.8.0以上であることを特徴とするエッ
チング加工性に優れたリードフレーム用Fe−Ni系合金で
あって、前記Fe−Ni系合金は、Ni30〜60重量％、Si0.25
重量％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不純物か
らなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005重量％
以下、その他の不純物の元素の全含有量が0.10重量％以
下であるか、またはNi25〜40重量％、Co5〜20重量％、S
i0.25重量％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不
純物からなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005
重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量
％以下である。
第１図にFe−42％Ni合金におけるＣ含有量とエッチン
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が0.007重量％以下
において急激にエッチング速度が向上し、エッチング加
工性が向上することが明らかである。Ｃ含有量のより望
ましい範囲は0.005重量％以下である。
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が0.007重量％以下
において急激にエッチング速度が向上し、エッチング加
工性が向上することが明らかである。Ｃ含有量のより望
ましい範囲は0.005重量％以下である。
次に結晶粒度については、JISの結晶粒度番号がNo.8.
0以下においてはエッチング断面の表面粗さが大とな
り、エッチング加工時の寸法精度が超多ピンリードフレ
ームにおいては十分満足できなくなる。また、No.8.0以
上においてはエッチング速度が増大し、エッチング加工
性が向上する。以上の点より結晶粒度をNo.8.0以上に規
定した。より望ましくはNo.9.0以上である。
0以下においてはエッチング断面の表面粗さが大とな
り、エッチング加工時の寸法精度が超多ピンリードフレ
ームにおいては十分満足できなくなる。また、No.8.0以
上においてはエッチング速度が増大し、エッチング加工
性が向上する。以上の点より結晶粒度をNo.8.0以上に規
定した。より望ましくはNo.9.0以上である。
本発明は、こうした結晶粒度ならびにＣ含有量とエッ
チング加工性との関係について詳細な検討を行ない、結
晶粒度とＣ含有量を共に制御することにより、エッチン
グ加工性に極めて優れたFe−Ni系合金が得られることを
見出したものである。すなわち、Ｃ含有量が0.007重量
％以下とし、結晶粒度がNo.8.0以上としたFe−Ni系合金
は優れたエッチング加工性が得られることを見出したも
のである。またこの場合、不純物元素を次のように制御
することにより、さらにエッチング性が改善される。
チング加工性との関係について詳細な検討を行ない、結
晶粒度とＣ含有量を共に制御することにより、エッチン
グ加工性に極めて優れたFe−Ni系合金が得られることを
見出したものである。すなわち、Ｃ含有量が0.007重量
％以下とし、結晶粒度がNo.8.0以上としたFe−Ni系合金
は優れたエッチング加工性が得られることを見出したも
のである。またこの場合、不純物元素を次のように制御
することにより、さらにエッチング性が改善される。
Si:0.25重量％以下 Mn:0.50重量％以下 P:0.005重量％以下 S:0.005重量％以下 その他の不純物元素:0.10重量％以下 不純物元素については、Si、Mn、Ｐ、Ｓおよびその他
の不純物元素の全含有量が前記の値を越えると、特にエ
ッチング速度の均一な進行の妨げとなる。
の不純物元素の全含有量が前記の値を越えると、特にエ
ッチング速度の均一な進行の妨げとなる。
なお、より望ましい不純物の範囲は次の通りである。
Si:0.15重量％以下 Mn:0.30重量％以下 P:0.003重量％以下 S:0.003重量％以下 その他の不純物元素:0.08重量％以下 〔実施例〕 以下、本発明を実施例に基づき説明する。リードフレ
ーム用Fe−Ni系合金としてFe−42％Ni合金、Fe−50％Ni
合金およびFe−29Ni−17Co合金を選び、第１表に示すよ
うなＣ含有量ならびに結晶粒度の材料を作製した。結晶
粒度No.8.0以上の材料は、最終圧延の圧下率を60％以上
とし、連続焼鈍の焼なまし温度を850〜900℃の範囲で調
整することにより製造した。結晶粒度がNo.8.0未満の材
料は最終圧延の圧下率が45〜50％で、焼なまし温度が95
0℃のものである。
ーム用Fe−Ni系合金としてFe−42％Ni合金、Fe−50％Ni
合金およびFe−29Ni−17Co合金を選び、第１表に示すよ
うなＣ含有量ならびに結晶粒度の材料を作製した。結晶
粒度No.8.0以上の材料は、最終圧延の圧下率を60％以上
とし、連続焼鈍の焼なまし温度を850〜900℃の範囲で調
整することにより製造した。結晶粒度がNo.8.0未満の材
料は最終圧延の圧下率が45〜50％で、焼なまし温度が95
0℃のものである。
次にエッチング加工性を評価するために第２図に示す
ように試験片にφ0.8mmの円を塩化第二鉄溶液（FeCl3:3
0％、H2O:残）を用いて片面より10分間エッチング加工
し、第２図に示す基準によりエッチング深さ（ｈ）を光
学顕微鏡の焦点の移動距離により測定し、エッチング速
度を求めた。この結果を第１表にまとめて示した。
ように試験片にφ0.8mmの円を塩化第二鉄溶液（FeCl3:3
0％、H2O:残）を用いて片面より10分間エッチング加工
し、第２図に示す基準によりエッチング深さ（ｈ）を光
学顕微鏡の焦点の移動距離により測定し、エッチング速
度を求めた。この結果を第１表にまとめて示した。
また、第３図に示す形状に試験片をフォトエッチング
により加工し、エッチング断面の粗さを測定した。この
粗さは光学顕微鏡の焦点の移動距離により最大深さを表
わしたものである。これ等の結果を第１表に付記した。
により加工し、エッチング断面の粗さを測定した。この
粗さは光学顕微鏡の焦点の移動距離により最大深さを表
わしたものである。これ等の結果を第１表に付記した。
第１表に示すように、本発明の範囲にあるＣ含有量が
0.007重量％以下で且つ結晶粒度がNo.8.0以上の本発明
合金において、エッチング断面粗さおよびエッチング速
度が顕著に向上し、優れたエッチング加工性が得られて
いる。
0.007重量％以下で且つ結晶粒度がNo.8.0以上の本発明
合金において、エッチング断面粗さおよびエッチング速
度が顕著に向上し、優れたエッチング加工性が得られて
いる。
エッチング加工性は、エッチング面粗さ（μｍ）とエ
ッチング速度（mm/min）で評価し、良いものを○印、や
や不十分なものを△印、不十分なものを×印で第１表に
表わした。
ッチング速度（mm/min）で評価し、良いものを○印、や
や不十分なものを△印、不十分なものを×印で第１表に
表わした。
本発明によれば、エッチング加工性に優れたFe−Ni系
合金が得られ、集積回路素子の多ピンあるいは超多ピン
リードフレームの高精度エッチング加工が可能となり、
品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達成
できる。
合金が得られ、集積回路素子の多ピンあるいは超多ピン
リードフレームの高精度エッチング加工が可能となり、
品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達成
できる。
第１図は、Fe−42Ni合金におけるエッチング速度とＣ含
有量との関係を示した図、第２図および第３図は本実施
例で採用したエッチング加工性の試験の説明図である。 1:試験片、2:エッチング断面
有量との関係を示した図、第２図および第３図は本実施
例で採用したエッチング加工性の試験の説明図である。 1:試験片、2:エッチング断面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 38/00 - 38/60 C22C 19/03 H01L 23/48
Claims (2)
- 【請求項１】Ｃ含有量が0.007重量％以下で、かつ結晶
粒度がNo.8.0以上であるリードフレーム用Fe−Ni系合金
であって、前記Fe−Ni系合金は、Ni30〜60重量％、Si0.
25重量％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不純物
からなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005重量
％以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量％以
下であることを特徴とするエッチング加工性に優れたリ
ードフレーム用Fe−Ni系合金。 - 【請求項２】Ｃ含有量が0.007重量％以下で、かつ結晶
粒度がNo.8.0以上であるリードフレーム用Fe−Ni系合金
であって、前記Fe−Ni系合金は、Ni25〜40重量％、Co5
〜20重量％、Si0.25重量％以下、Mn0.50重量％以下、残
部Feおよび不純物からなり、不純物のうちP0.005重量％
以下、S0.005重量％以下、その他の不純物元素の全含有
量が0.10重量％以下であることを特徴とするエッチング
加工性に優れたリードフレーム用Fe−Ni系合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1106513A JP3023112B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1106513A JP3023112B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02285054A JPH02285054A (ja) | 1990-11-22 |
| JP3023112B2 true JP3023112B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=14435500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1106513A Expired - Fee Related JP3023112B2 (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3023112B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102261333B1 (ko) * | 2019-11-08 | 2021-06-08 | 엔피씨(주) | 보냉상자 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2723718B2 (ja) * | 1991-09-27 | 1998-03-09 | ヤマハ株式会社 | シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金 |
| JP3463777B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2003-11-05 | 日鉱金属株式会社 | 電気音響変換器用リードフレーム材及び電気音響変換器 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1106513A patent/JP3023112B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102261333B1 (ko) * | 2019-11-08 | 2021-06-08 | 엔피씨(주) | 보냉상자 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02285054A (ja) | 1990-11-22 |
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