JP2909088B2 - エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 - Google Patents
エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金Info
- Publication number
- JP2909088B2 JP2909088B2 JP9413989A JP9413989A JP2909088B2 JP 2909088 B2 JP2909088 B2 JP 2909088B2 JP 9413989 A JP9413989 A JP 9413989A JP 9413989 A JP9413989 A JP 9413989A JP 2909088 B2 JP2909088 B2 JP 2909088B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- less
- etching
- content
- plane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Steel (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エッチング加工性に優れた集積回路素子の
リードフレーム用Fe−Ni系合金に関するものである。
リードフレーム用Fe−Ni系合金に関するものである。
集積回路用素子のリードフレーム用材料としては、Fe
−42％Ni、Fe−50％Niをはじめとして、Fe−29Ni−17Co
合金（コバール）等のFe−Ni系合金が使用されている。
−42％Ni、Fe−50％Niをはじめとして、Fe−29Ni−17Co
合金（コバール）等のFe−Ni系合金が使用されている。
近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常
に多ピン（リード）となり、複雑化して来ており、従来
64ピンクラスが主体であったエッチング加工も160〜240
ピン、さらに240ピン以上のクラスの超多ピンのものま
で手がけられるようになってきている。
に多ピン（リード）となり、複雑化して来ており、従来
64ピンクラスが主体であったエッチング加工も160〜240
ピン、さらに240ピン以上のクラスの超多ピンのものま
で手がけられるようになってきている。
これに伴ってリードフレームの特にインナーリードの
間隔は非常に狭くならざるを得ず、従来のリード間隔で
は何ら問題にならなかったエッチング加工も、こうした
多ピンのリードフレームではエッチング性に問題を生ず
るようになってきている。
間隔は非常に狭くならざるを得ず、従来のリード間隔で
は何ら問題にならなかったエッチング加工も、こうした
多ピンのリードフレームではエッチング性に問題を生ず
るようになってきている。
このため、従来に比べ数段エッチング加工性に優れた
リードフレーム材料が必要になっている。
リードフレーム材料が必要になっている。
従来のFe−Ni系合金では、前述の240ピンクラスの多
ピンリードフレームにおいて、エッチング加工性が十分
満足できるものではなく、インナーリード同志のくっつ
き等を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足
できない等の問題があった。
ピンリードフレームにおいて、エッチング加工性が十分
満足できるものではなく、インナーリード同志のくっつ
き等を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足
できない等の問題があった。
本発明は以上の点に鑑み、超多ピンリードフレームの
エッチング加工が十分可能なエッチング加工性の優れた
リードフレーム用Fe−Ni系合金を提供することを目的と
するものである。
エッチング加工が十分可能なエッチング加工性の優れた
リードフレーム用Fe−Ni系合金を提供することを目的と
するものである。
本発明者は、エッチング性を向上させる要因として、
炭素含有量、材料の結晶方向、非金属介在物の量、およ
び圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その結
果、エッチング性を改善する顕著な効果が発揮できるの
は、特定の加工度の冷間加工と軟化焼鈍および仕上げ圧
延により、特定の結晶面を過半数以上にすること、なら
びにＣ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場
合であることをつきとめたものである。さらに非金属介
在物を低減する効果も複合すると、よりエッチング断面
の面粗度が滑らかになるという効果もあることがわかっ
た。
炭素含有量、材料の結晶方向、非金属介在物の量、およ
び圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その結
果、エッチング性を改善する顕著な効果が発揮できるの
は、特定の加工度の冷間加工と軟化焼鈍および仕上げ圧
延により、特定の結晶面を過半数以上にすること、なら
びにＣ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場
合であることをつきとめたものである。さらに非金属介
在物を低減する効果も複合すると、よりエッチング断面
の面粗度が滑らかになるという効果もあることがわかっ
た。
Ｃ含有量や非金属介在物の量を単に低減するだけでは
不十分であり、本発明は結晶面を（200）面に揃え、Ｃ
含有量を0.007重量％以下にした時に最もエッチング性
向上の効果が発揮できるものである。
不十分であり、本発明は結晶面を（200）面に揃え、Ｃ
含有量を0.007重量％以下にした時に最もエッチング性
向上の効果が発揮できるものである。
すなわち本発明は、Ｃ含有量が0.007重量％以下で、
かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（20
0）面の強度が50％以上であることを特徴とするエッチ
ング加工性に優れたFe−Ni系合金、およびNi含有量が30
〜60重量％、C0.007重量％以下、Si0.25重量％以下、Mn
0.50重量％以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物
のうちP0.005重量％以下、S0.005重量％以下、その他の
不純物元素の全含有量が0.10重量％以下であり、かつＸ
線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（200）面
の強度が50％以上であることを特徴とするエッチング加
工性に優れたFe−Ni系合金、ならびにNi25〜40重量％、
Co5〜20重量％、Si0.25％以下、Mn0.50重量％以下、残
部Feおよび不純物からなり、不純物のうちP0.005重量％
以下、S0.005重量％以下、その他の不純物の元素の全含
有量が0.10重量％以下であり、かつＸ線回折による結晶
面の相対Ｘ線強度において（200）面の強度が50％以上
であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−
Ni系合金である。
かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（20
0）面の強度が50％以上であることを特徴とするエッチ
ング加工性に優れたFe−Ni系合金、およびNi含有量が30
〜60重量％、C0.007重量％以下、Si0.25重量％以下、Mn
0.50重量％以下、残部Feおよび不純物からなり、不純物
のうちP0.005重量％以下、S0.005重量％以下、その他の
不純物元素の全含有量が0.10重量％以下であり、かつＸ
線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（200）面
の強度が50％以上であることを特徴とするエッチング加
工性に優れたFe−Ni系合金、ならびにNi25〜40重量％、
Co5〜20重量％、Si0.25％以下、Mn0.50重量％以下、残
部Feおよび不純物からなり、不純物のうちP0.005重量％
以下、S0.005重量％以下、その他の不純物の元素の全含
有量が0.10重量％以下であり、かつＸ線回折による結晶
面の相対Ｘ線強度において（200）面の強度が50％以上
であることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−
Ni系合金である。
また、本発明合金の製造方法は、熱間圧延素材に冷間
圧延と軟化焼鈍を繰り返した後、60％以上の加工度の冷
間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚
に50％以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、Ｃ
含有量が0.007重量％以下の材料に強い結晶異方性を付
与することを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−
Ni系合金の製造方法である。
圧延と軟化焼鈍を繰り返した後、60％以上の加工度の冷
間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚
に50％以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、Ｃ
含有量が0.007重量％以下の材料に強い結晶異方性を付
与することを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−
Ni系合金の製造方法である。
リードフレーム用Fe−Ni系合金は、Ｘ線回折により
（311），（220），（200）および（111）面の回折が得
られ、各々の相対Ｘ線強度により結晶方位の集合度がわ
かる。この結晶方位は加工条件により変化するものであ
る。
（311），（220），（200）および（111）面の回折が得
られ、各々の相対Ｘ線強度により結晶方位の集合度がわ
かる。この結晶方位は加工条件により変化するものであ
る。
第１図に圧延加工度を変化させた場合の圧延状態、お
よび、その後950℃にて５分間焼鈍を施した場合の各回
折面の相対Ｘ線強度を示すが、冷間圧延加工度の増大と
共に、圧延状態においては（220）面の強度が上昇し、
その後の焼鈍状態においては逆に（200）面の強度が上
昇する。また、焼鈍後の（200）面の強度は圧延加工度
が60％以上において急激に増大することがわかる。
よび、その後950℃にて５分間焼鈍を施した場合の各回
折面の相対Ｘ線強度を示すが、冷間圧延加工度の増大と
共に、圧延状態においては（220）面の強度が上昇し、
その後の焼鈍状態においては逆に（200）面の強度が上
昇する。また、焼鈍後の（200）面の強度は圧延加工度
が60％以上において急激に増大することがわかる。
焼鈍後の（200）面の回折強度は次の仕上げ圧延によ
り、第１図の圧延状態の相対Ｘ線強度の変化に見られる
ように、仕上げ圧延による（220）面の上昇とともに低
下し、最終状態において、ある（200）面の回折強度を
有するようになる。
り、第１図の圧延状態の相対Ｘ線強度の変化に見られる
ように、仕上げ圧延による（220）面の上昇とともに低
下し、最終状態において、ある（200）面の回折強度を
有するようになる。
第２図にFe−42％Ni合金におけるＣ含有量とエッチン
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が0.007重量％以下
において急激にエッチング速度が向上し、エッチング性
が向上することが明らかである。
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が0.007重量％以下
において急激にエッチング速度が向上し、エッチング性
が向上することが明らかである。
本発明は、こうした結晶方位ならびにＣ含有量とエッ
チング性との関係について詳細な検討を行ない、結晶方
位とＣ含有量を共に制御することにより、エッチング加
工性に極めて優れたFe−Ni系合金が得られることを見出
したものである。すなわち、低いＣ含有量で（200）面
の強い結晶異方性を付与した状態で優れたエッチング性
が得られることを見出したものである。またこの場合、
不純物元素を次のように制御することにより、さらにエ
ッチング性が改善される。
チング性との関係について詳細な検討を行ない、結晶方
位とＣ含有量を共に制御することにより、エッチング加
工性に極めて優れたFe−Ni系合金が得られることを見出
したものである。すなわち、低いＣ含有量で（200）面
の強い結晶異方性を付与した状態で優れたエッチング性
が得られることを見出したものである。またこの場合、
不純物元素を次のように制御することにより、さらにエ
ッチング性が改善される。
Si:0.25重量％以下 Mn:0.50重量％以下 P:0.005重量％以下 S:0.005重量％以下 その他の不純物元素:0.10重量％以下 また前述の結晶方位の制御は、仕上げ圧延前の冷間圧
延加工度と仕上げ圧延加工度によって支配され、仕上げ
圧延前の冷間圧延時の加工度を60％以上とし、仕上げ圧
延加工度を50％以下とすることにより達成されることを
見出した。
延加工度と仕上げ圧延加工度によって支配され、仕上げ
圧延前の冷間圧延時の加工度を60％以上とし、仕上げ圧
延加工度を50％以下とすることにより達成されることを
見出した。
特に本発明における成分、相対Ｘ線強度ならびに製造
方法の限定理由について述べる。
方法の限定理由について述べる。
相対Ｘ線強度については、（200）面の強度が50％以
下では（220）面の強度が高い状態であり、等方的な結
晶方位となり、十分なエッチング性の向上が期待されな
い。（200）面の強度が50％以上においては良好な結晶
異方性が付与され、エッチング性の向上が達成される。
以上の点から（200）面の相対Ｘ線強度を50％以上に規
定した。より望ましくは60％以上である。
下では（220）面の強度が高い状態であり、等方的な結
晶方位となり、十分なエッチング性の向上が期待されな
い。（200）面の強度が50％以上においては良好な結晶
異方性が付与され、エッチング性の向上が達成される。
以上の点から（200）面の相対Ｘ線強度を50％以上に規
定した。より望ましくは60％以上である。
また、第１図に示すようにＣ含有量が0.007重量％以
下において顕著にエッチング性が向上することからＣ含
有量を0.007重量％以下に規定した。より望ましい範囲
は、0.005重量％以下である。
下において顕著にエッチング性が向上することからＣ含
有量を0.007重量％以下に規定した。より望ましい範囲
は、0.005重量％以下である。
不純物元素については、Siが0.25重量％以上、Mnが0.
50重量％以上、ＰおよびＳが0.005重量％以上、その他
の不純物元素の全含有量が0.10重量％以上になると特に
エッチング速度の均一な進行を妨げるので、各元素を下
記のように規定した。
50重量％以上、ＰおよびＳが0.005重量％以上、その他
の不純物元素の全含有量が0.10重量％以上になると特に
エッチング速度の均一な進行を妨げるので、各元素を下
記のように規定した。
Si:0.25重量％以下 Mn:0.50重量％以下 P:0.005重量％以下 S:0.005重量％以下 その他の不純物元素:0.10重量％以下 なお、より望ましい範囲は次の通りである。
Si:0.15重量％以下 Mn:0.30重量％以下 P:0.003重量％以下 S:0.003重量％以下 その他の不純物元素:0.08重量％以下 次に製造方法の限定理由について述べる。製品板厚に
仕上げる前の冷間圧延加工度が60％以下においては、次
の焼鈍時に十分な結晶異方性を付与することができず、
エッチング性の改善が期待されない。このため、仕上げ
前の冷間圧延加工度を60％以上に限定した。より望まし
くは、70％以上の加工度である。
仕上げる前の冷間圧延加工度が60％以下においては、次
の焼鈍時に十分な結晶異方性を付与することができず、
エッチング性の改善が期待されない。このため、仕上げ
前の冷間圧延加工度を60％以上に限定した。より望まし
くは、70％以上の加工度である。
焼鈍条件については、再結晶温度以上であれば、結晶
異方性が得られるが、均一な結晶異方性を得る点から70
0℃以上が望ましい。
異方性が得られるが、均一な結晶異方性を得る点から70
0℃以上が望ましい。
また、仕上げ圧延加工度については50％以上の加工度
では、（220）面の強度が上昇し、（200）面の強度が高
い結晶異方性が付与されないことから50％以下に規定し
た。
では、（220）面の強度が上昇し、（200）面の強度が高
い結晶異方性が付与されないことから50％以下に規定し
た。
以下、本発明を実施例に基づき説明する。リードフレ
ーム用Fe−Ni系合金としてFe−42％Ni合金、Fe−50％Ni
合金およびFe−29Ni−17Co合金を選び、第１表に示すよ
うな化学成分および相対Ｘ線強度を有する材料を作成し
た。相対Ｘ線強度については、前記のように仕上げ圧延
ならびに仕上げ圧延時の冷間圧延加工度を変化させるこ
とにより、各々のＸ線強度を得た。
ーム用Fe−Ni系合金としてFe−42％Ni合金、Fe−50％Ni
合金およびFe−29Ni−17Co合金を選び、第１表に示すよ
うな化学成分および相対Ｘ線強度を有する材料を作成し
た。相対Ｘ線強度については、前記のように仕上げ圧延
ならびに仕上げ圧延時の冷間圧延加工度を変化させるこ
とにより、各々のＸ線強度を得た。
次にエッチング加工性を評価するために第３図に示す
ように試験片にφ0.8mmの円を塩化第二鉄溶液（FeCl3:3
0％、H2O:残）を用いて片面より10分間エッチング加工
し、第３図に示す基準によりエッチング深さ（ｈ）を光
学顕微鏡の焦点の移動距離により測定し、エッチング速
度を求めた。この結果を第１表にまとめて示した。
ように試験片にφ0.8mmの円を塩化第二鉄溶液（FeCl3:3
0％、H2O:残）を用いて片面より10分間エッチング加工
し、第３図に示す基準によりエッチング深さ（ｈ）を光
学顕微鏡の焦点の移動距離により測定し、エッチング速
度を求めた。この結果を第１表にまとめて示した。
エッチング加工性は、エッチング速度で評価し、良い
ものを○印、やや不十分なものを△印、不十分なものを
×印で第１表に表わした。
ものを○印、やや不十分なものを△印、不十分なものを
×印で第１表に表わした。
第１表に示すようにいずれの合金においても、Ｃ含有
量が0.007重量％以下で、かつ（200）面の相対Ｘ線強度
が50％以上の範囲においてはエッチング速度が顕著に向
上し、優れたエッチング加工性が得られている。また、
不純物元素の影響についても本発明の請求範囲において
改善効果が認められる。
量が0.007重量％以下で、かつ（200）面の相対Ｘ線強度
が50％以上の範囲においてはエッチング速度が顕著に向
上し、優れたエッチング加工性が得られている。また、
不純物元素の影響についても本発明の請求範囲において
改善効果が認められる。
一方、（200）面の相対Ｘ線強度が50％未満、または
Ｃ含有量が0.007重量％を越えるものは、エッチング速
度が十分なものが得られないことがわかる。
Ｃ含有量が0.007重量％を越えるものは、エッチング速
度が十分なものが得られないことがわかる。
〔発明の効果〕 本発明によれば、エッチング加工性に優れたFe−Ni系
合金が得られ、集積回路素子の多ピンあるいは超多ピン
リードフレームの高精度エッチング加工が可能となり、
品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達成
できる。
合金が得られ、集積回路素子の多ピンあるいは超多ピン
リードフレームの高精度エッチング加工が可能となり、
品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達成
できる。
第１図は、冷間圧延加工度と相対Ｘ線強度との関係を示
した図、第２図はFe−42Ni合金におけるエッチング速度
とＣ含有量との関係を示した図、第３図は本実施例で採
用したエッチング加工性の試験の説明図である。
した図、第２図はFe−42Ni合金におけるエッチング速度
とＣ含有量との関係を示した図、第３図は本実施例で採
用したエッチング加工性の試験の説明図である。
Claims (2)
- 【請求項１】Ｃ含有量が0.007重量％以下で、かつＸ線
回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（200）面の
強度が50％以上であって、Ni30〜60重量％、Si0.25重量
％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび不純物からな
り、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.005重量％以
下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重量％以下で
あることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−Ni
系合金。 - 【請求項２】Ｃ含有量が0.007重量％以下で、かつＸ線
回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（200）面の
強度が50％以上であって、Ni25〜40重量％、Co5〜20重
量％、Si0.25％以下、Mn0.50重量％以下、残部Feおよび
不純物からなり、不純物のうちP0.005重量％以下、S0.0
05重量％以下、その他の不純物元素の全含有量が0.10重
量％以下であることを特徴とするエッチング加工性に優
れたFe−Ni系合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413989A JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413989A JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02270941A JPH02270941A (ja) | 1990-11-06 |
| JP2909088B2 true JP2909088B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=14102055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9413989A Expired - Fee Related JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2909088B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3000154B2 (ja) * | 1990-10-23 | 2000-01-17 | 日鉱金属株式会社 | リードフレーム材の製造方法 |
| JP2723718B2 (ja) * | 1991-09-27 | 1998-03-09 | ヤマハ株式会社 | シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金 |
| US5605582A (en) * | 1992-01-24 | 1997-02-25 | Nkk Corporation | Alloy sheet having high etching performance |
| CN1035778C (zh) * | 1993-07-22 | 1997-09-03 | 日本钢管株式会社 | 一种具有高蚀刻性能的合金薄板 |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP9413989A patent/JP2909088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02270941A (ja) | 1990-11-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102009755B1 (ko) | 구리합금선재 및 그 제조방법 | |
| JP6639908B2 (ja) | 銅合金線材及びその製造方法 | |
| KR101719889B1 (ko) | 구리합금 선재 및 그의 제조방법 | |
| EP3045557B1 (en) | Zirconium-based amorphous alloy and preparation method therefor | |
| WO2021177470A1 (ja) | 純銅板 | |
| JP2909088B2 (ja) | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 | |
| WO2018180941A1 (ja) | Ｃｕ－Ｎｉ－Ｓｉ系銅合金条 | |
| JPH0768597B2 (ja) | 非磁性バネ材及びその製造方法 | |
| TW201736612A (zh) | Ｃｕ－Ｎｉ－Ｓｉ系銅合金條及其製造方法 | |
| JP3022573B2 (ja) | エッチング加工性に優れたＦｅ―Ｎｉ系合金およびその製造方法 | |
| JP3023112B2 (ja) | エッチング加工性に優れたリードフレーム用Ｆｅ―Ｎｉ系合金 | |
| JP2011162820A (ja) | 高強度低熱膨張合金及びその製造法並びに精密機器 | |
| JP7294336B2 (ja) | Ｆｅ－Ｎｉ系合金薄板 | |
| JPH06103809A (ja) | Ｃｕ−Ａｇ合金線の製造方法 | |
| JPH09157799A (ja) | エッチング性に優れたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク素材ならびに成形性に優れたＦｅ−Ｎｉ系シャドウマスク材、およびシャドウマスクの製造方法 | |
| JP2702731B2 (ja) | エッチング加工性ならびに耐応力腐食割れ性にすぐれたＦｅ−Ｎｉ合金 | |
| JPS5933857A (ja) | Ｉｃリ−ドフレ−ム材料とその製造方法 | |
| JPH0798975B2 (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系合金の製造方法 | |
| JPH11269609A (ja) | 電子部品用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板 | |
| JP2953662B2 (ja) | 打抜性のすぐれたリードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ合金 | |
| JP2003089834A (ja) | 高剛性型の可逆変形を有するＮｉ−Ｔｉ系合金 | |
| JP2004143469A (ja) | 曲げ加工性に優れた高強度銅合金 | |
| JP3029670B2 (ja) | Ｆｅ―Ｎｉ系合金の製造方法 | |
| JPH01221820A (ja) | 角形ヒステリシス磁性リード片の製造法ならびにリードスイッチ | |
| JPS60138013A (ja) | 角形ヒステリシス磁性合金の製造法およびリ−ド片の製造法ならびにリ−ドスイツチ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |