JPH02270941A - エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 - Google Patents
エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金Info
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Landscapes
- Heat Treatment Of Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エツチング加工性に優れた集積回路素子のリ
ードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法に
関するものである。
ードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金およびその製造方法に
関するものである。
集積回路用素子のリードフレーム用材料としては、Ｆｅ
−４２％Ｎｉ、 Ｆｅ−５０％Ｎｉをはじめとして、
Ｆｅ−２９Ｎ １−１７Ｇｏ合金（コバール）等のＦｅ
−Ｎｉ系合金が使用されている。
−４２％Ｎｉ、 Ｆｅ−５０％Ｎｉをはじめとして、
Ｆｅ−２９Ｎ １−１７Ｇｏ合金（コバール）等のＦｅ
−Ｎｉ系合金が使用されている。
近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常に
多ビン（リード）となり、複雑化して来ており、従来６
４ビンクラスが主体であったエツチング加工も１６０〜
２４０ビン、さらには２４０ビン以上のクラスの超多ビ
ンのものまで手がけられるようになってきている。
多ビン（リード）となり、複雑化して来ており、従来６
４ビンクラスが主体であったエツチング加工も１６０〜
２４０ビン、さらには２４０ビン以上のクラスの超多ビ
ンのものまで手がけられるようになってきている。
これに伴ってリードフレームの特にインナーリードの間
隔は非常に狭くならざるを得す、従来のリードｒｊｊ隔
では何らｒ！ｊｊｍにならなかったエツチング加工も、
こうした多ビンのリードフレームではエツチング性に問
題を生ずるようになってきている。
隔は非常に狭くならざるを得す、従来のリードｒｊｊ隔
では何らｒ！ｊｊｍにならなかったエツチング加工も、
こうした多ビンのリードフレームではエツチング性に問
題を生ずるようになってきている。
このため、従来に比べ数段エツチング加工性に優れたリ
ードフレーム材料が必要になっている。
ードフレーム材料が必要になっている。
〔発明が解決しようとする課題〕 ゛従来のＦ
ｅ−Ｎｉ系合金では、前述の２４０ビンクラスの多ビン
リードフレームにおいて、エツチング加工性が十分満足
できるものではなく、インナーリード同志のくっつき等
を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足でき
ない等の問題があった。
ｅ−Ｎｉ系合金では、前述の２４０ビンクラスの多ビン
リードフレームにおいて、エツチング加工性が十分満足
できるものではなく、インナーリード同志のくっつき等
を生じたり、リードフレームの寸法形状規格を満足でき
ない等の問題があった。
本発明は以上の点に鑑み、超多ビンリードフレームのエ
ツチング加工が十分可能なエツチング加工性の優れたリ
ードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金、ならびにその製造方
法を提供することを目的とするものである。
ツチング加工が十分可能なエツチング加工性の優れたリ
ードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金、ならびにその製造方
法を提供することを目的とするものである。
本発明者は、エツチング性を向上させる要因として、炭
素含有量、材料の結晶方向、非金属介在物の量、および
圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その結果、
エツチング性を改善する顕著な効果が発揮できるのは、
特定の加工度の冷間加工と軟化焼鈍および仕上げ圧延に
より、特定の結晶面を過半数以上にすること、ならびに
Ｃ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場合で
あることをつきとめたものである。さらに非金属介在物
を低減する効果も複合すると、よりエツチング断面の面
粗度が滑らかになるという効果もあることもわかった。
素含有量、材料の結晶方向、非金属介在物の量、および
圧延と焼鈍条件に着目して実験を行なった。その結果、
エツチング性を改善する顕著な効果が発揮できるのは、
特定の加工度の冷間加工と軟化焼鈍および仕上げ圧延に
より、特定の結晶面を過半数以上にすること、ならびに
Ｃ含有量を特定の値以下に低く抑える複合効果の場合で
あることをつきとめたものである。さらに非金属介在物
を低減する効果も複合すると、よりエツチング断面の面
粗度が滑らかになるという効果もあることもわかった。
Ｃ含有量や非金属介在物の量を単に低減するだけでは不
十分であり、本発明は結晶面を（２００）面に揃え、Ｃ
含有量を０．００７重量％以下にした時に最もエツチン
グ性向上の効果が発揮できるものである。
十分であり、本発明は結晶面を（２００）面に揃え、Ｃ
含有量を０．００７重量％以下にした時に最もエツチン
グ性向上の効果が発揮できるものである。
すなわち本発明は、Ｃ含有量が０．００７重量％以下で
、かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（
２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とする
エツチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金、およびＮ
ｉ含有量が３０〜６０重量％、（： ０．００７重量％
以下、ＳＬｏ、２５重量％以下、Ｍｎ ０．５０重量％
以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＰ
０．００５重量％以下、Ｓ ０．００５重量％以下、
その他の不純物の元素の全含有量が０．１０重量％以下
であり、かつｘ＆！１回折による結晶面の相対Ｘ線強度
にお、いて（２００）面の強度が５０％以上であること
を特徴とするエツチング加工性に優れたＦ ｅ−Ｎ ｉ
系合金、ならびにＮｉ２５〜４０重量％、Ｇｏ５〜２０
重量％、Ｓｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％
以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＰ
０．００５重量％以下、Ｓ ０．００５重量％以下、そ
の他の不純物の元素の全含有量が０．１０重量％以下で
あり、かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度におい
て（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴と
するエツチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である
。
、かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度において（
２００）面の強度が５０％以上であることを特徴とする
エツチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金、およびＮ
ｉ含有量が３０〜６０重量％、（： ０．００７重量％
以下、ＳＬｏ、２５重量％以下、Ｍｎ ０．５０重量％
以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＰ
０．００５重量％以下、Ｓ ０．００５重量％以下、
その他の不純物の元素の全含有量が０．１０重量％以下
であり、かつｘ＆！１回折による結晶面の相対Ｘ線強度
にお、いて（２００）面の強度が５０％以上であること
を特徴とするエツチング加工性に優れたＦ ｅ−Ｎ ｉ
系合金、ならびにＮｉ２５〜４０重量％、Ｇｏ５〜２０
重量％、Ｓｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％
以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物のうちＰ
０．００５重量％以下、Ｓ ０．００５重量％以下、そ
の他の不純物の元素の全含有量が０．１０重量％以下で
あり、かつＸ線回折による結晶面の相対Ｘ線強度におい
て（２００）面の強度が５０％以上であることを特徴と
するエツチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金である
。
また、本発明合金の製造方法は、熱間圧延素材に冷間圧
延と軟化焼鈍を繰り返した後、６０％以上の加工度の冷
間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚
に５０％以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、
材料に強い結晶異方性を付与することを特徴とするエツ
チング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金の製造方法であ
る。
延と軟化焼鈍を繰り返した後、６０％以上の加工度の冷
間圧延を施し、次に軟化焼鈍を行ない、その後製品板厚
に５０％以下の加工度で仕上圧延を行なうことにより、
材料に強い結晶異方性を付与することを特徴とするエツ
チング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金の製造方法であ
る。
リードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ系合金は、Ｘ線回折により
（３１１） 、 （２２０） 、 （２００）および（
１１１）面の回折が得られ、各々の相対ｘＩａ強度によ
り結晶方位の集合度がわかる。この結晶方位は加工条件
により変化するものである。
（３１１） 、 （２２０） 、 （２００）および（
１１１）面の回折が得られ、各々の相対ｘＩａ強度によ
り結晶方位の集合度がわかる。この結晶方位は加工条件
により変化するものである。
第１図に圧延加工度を変化させた場合の圧延状態、およ
び、その後９５０℃にて５分間焼鈍を施した場合の各回
折面の相対Ｘ線強度を示すが、冷間圧延加工度の増大と
共に、圧延状態においては（２２０）面の強度が上昇し
、その後の焼鈍状態においては逆に（２００）面の強度
が上昇する。また、焼鈍後の（２００）面の強度は圧延
加工度が６０％以上において急激に増大することがわか
る。
び、その後９５０℃にて５分間焼鈍を施した場合の各回
折面の相対Ｘ線強度を示すが、冷間圧延加工度の増大と
共に、圧延状態においては（２２０）面の強度が上昇し
、その後の焼鈍状態においては逆に（２００）面の強度
が上昇する。また、焼鈍後の（２００）面の強度は圧延
加工度が６０％以上において急激に増大することがわか
る。
焼鈍後の（２００）面の回折強度は次の仕上げ圧延によ
り、第１図の圧延状態の相対Ｘ線強度の変化に見られる
ように、仕上げ圧延による（２２０）面の上昇とともに
低下し、最終状態において、ある（２００）面の回折強
度を有するようになる。
り、第１図の圧延状態の相対Ｘ線強度の変化に見られる
ように、仕上げ圧延による（２２０）面の上昇とともに
低下し、最終状態において、ある（２００）面の回折強
度を有するようになる。
第２図にＦ ｅ−４２％Ｎｉ合金にＣ含有量とエツチン
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が０．００７重量％
以下において急激にエツチング速度が低下し、エツチン
グ性が向上することが明らかである。
グ速度との関係を示すが、Ｃ含有量が０．００７重量％
以下において急激にエツチング速度が低下し、エツチン
グ性が向上することが明らかである。
本発明は、こうした結晶方位ならびにＣ含有量とエツチ
ング性との関係について詳細な検討を行ない、結晶方位
とＣ含有量を共に制御することにより、エツチング加工
性に極めて優れたＦ ｅ−Ｎ ｉ系合金が得られること
を見出したものである。すなわち、低いＣ含有量で（２
００）面の強い結晶異方性を付与した状態で優れたエツ
チング性が得られることを見出したものである。またこ
の場合、不純物元素を次のように制御することにより、
さらにエツチング性が改善される。
ング性との関係について詳細な検討を行ない、結晶方位
とＣ含有量を共に制御することにより、エツチング加工
性に極めて優れたＦ ｅ−Ｎ ｉ系合金が得られること
を見出したものである。すなわち、低いＣ含有量で（２
００）面の強い結晶異方性を付与した状態で優れたエツ
チング性が得られることを見出したものである。またこ
の場合、不純物元素を次のように制御することにより、
さらにエツチング性が改善される。
Ｓ ｉ ： ０．２５重量％以下
Ｍｎ：０．５０重量％以下
Ｐ ： ０．００５重量％以下
Ｓ ： ０．００５重量％以下
その他の不純物元素：０．１０重量％以下また前述の結
晶方位の制御は、仕上げ圧延前の冷間圧延加工度と仕上
げ圧延加工度によって支配され、仕上げ圧延前の冷間圧
延時の加工度を６０％以上とし、仕上げ圧延加工度を５
０％以下とすることにより達成されることを見出した。
晶方位の制御は、仕上げ圧延前の冷間圧延加工度と仕上
げ圧延加工度によって支配され、仕上げ圧延前の冷間圧
延時の加工度を６０％以上とし、仕上げ圧延加工度を５
０％以下とすることにより達成されることを見出した。
次に本発明における成分、相対Ｘ線強度ならびに製造方
法の限定理由について述べる。
法の限定理由について述べる。
相対Ｘ線強度については、（２００）面の強度が５０％
以下では（２２０）面の強度が高い状態であり、等方的
な結晶方位となり、十分なエツチング性の向上が期待さ
れない。（２００）面の強度が５０％以上においては良
好な結晶異方性が付与され、エツチング性の向上が達成
される。以上の点から（２００）面の相対Ｘ線強度を５
０％以上に規定した。より望ましくは６０％以上である
。
以下では（２２０）面の強度が高い状態であり、等方的
な結晶方位となり、十分なエツチング性の向上が期待さ
れない。（２００）面の強度が５０％以上においては良
好な結晶異方性が付与され、エツチング性の向上が達成
される。以上の点から（２００）面の相対Ｘ線強度を５
０％以上に規定した。より望ましくは６０％以上である
。
また、第１図に示すようにＣ含有量が０．００７重量％
以下において顕著にエツチング性が向上することがらＣ
含有量を０．００７重量％以下に規定した。
以下において顕著にエツチング性が向上することがらＣ
含有量を０．００７重量％以下に規定した。
より望ましい範囲は、０．００５重量％以下である。
不純物元素については、ＳＬが０．２５重量％以上、Ｍ
ｎが０．５０重量％以上、ＰおよびＳが０．００５重量
％以上、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量
、％以上になると特にエツチング速度の均一な進行を妨
げるので、各元素を下記のように規定した。
ｎが０．５０重量％以上、ＰおよびＳが０．００５重量
％以上、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量
、％以上になると特にエツチング速度の均一な進行を妨
げるので、各元素を下記のように規定した。
Ｓ ｉ ： ０．２５重量％以下
Ｍｎ ： ０．５０重量％以下
Ｐ ： ０．００５重量％以下
Ｓ：０．００５重量％以下
その他の不純物元素：０．１０重量％以下なお、より望
ましい範囲は次の通りである。
ましい範囲は次の通りである。
Ｓｉ：０．１５重量％以下
Ｍｎ：０．３０重量％以下
Ｐ： ０．００３重量％以下
Ｓ ： ０．００３重量％以下
その他の不純物元素：０．０８重量％以下次に製造方法
の限定理由について述べる。製品板厚に仕上げる前の冷
間圧延加工度が６０％以下においては、次の焼鈍時に十
分な結晶異方性を付与することができず、エツチング性
の改善が期待されない。このため、仕上げ前の冷間圧延
加工度を６０％以上に限定した。より望ましくは、７０
％以上の加工度である。
の限定理由について述べる。製品板厚に仕上げる前の冷
間圧延加工度が６０％以下においては、次の焼鈍時に十
分な結晶異方性を付与することができず、エツチング性
の改善が期待されない。このため、仕上げ前の冷間圧延
加工度を６０％以上に限定した。より望ましくは、７０
％以上の加工度である。
焼鈍条件については、再結晶温度以上であれば、結晶異
方性が得られるが、均一な結晶異方性を得る点から７０
０℃以上が望ましい。
方性が得られるが、均一な結晶異方性を得る点から７０
０℃以上が望ましい。
また、仕上げ圧延加工度については５０％以上の加工度
では、（２２０）面の強度が上昇し、（２００）面の強
度が高い結晶異方性が付与されないことから５０％以下
に規定した。
では、（２２０）面の強度が上昇し、（２００）面の強
度が高い結晶異方性が付与されないことから５０％以下
に規定した。
以下、本発明を実施例に基づき説明する。リードフレー
ム用Ｆ ｅ−Ｎ ｉ系合金としてＦｅ−４２％Ｎｉ合金
、Ｆｅ−５０％Ｎｉ合金およびＦｅ−２９Ｎｉ−１７Ｇ
ｏ合金を選び、第１表に示すような化学成分および相対
Ｘ線強度を有する材料を作製した。相対Ｘ線強度につい
ては、前記のように仕上げ圧延ならびに仕上げ圧延時の
冷間圧延加工度を変化させることにより、各々のＸ線強
度を得た。
ム用Ｆ ｅ−Ｎ ｉ系合金としてＦｅ−４２％Ｎｉ合金
、Ｆｅ−５０％Ｎｉ合金およびＦｅ−２９Ｎｉ−１７Ｇ
ｏ合金を選び、第１表に示すような化学成分および相対
Ｘ線強度を有する材料を作製した。相対Ｘ線強度につい
ては、前記のように仕上げ圧延ならびに仕上げ圧延時の
冷間圧延加工度を変化させることにより、各々のＸ線強
度を得た。
次にエツチング加工性を評価するために第３図に示すよ
うに試験片にφ０．８ｍの円を塩化第二鉄溶液（ＦｅＣ
１，： ３０％、Ｈ８０：残）を用いて片面より１０分
間エツチング加工し、第３図に示す基準によりエツチン
グ深さ（ｈ）を光学顕微鏡の焦点の移動距離により測定
し、エツチング速度を求めた。
うに試験片にφ０．８ｍの円を塩化第二鉄溶液（ＦｅＣ
１，： ３０％、Ｈ８０：残）を用いて片面より１０分
間エツチング加工し、第３図に示す基準によりエツチン
グ深さ（ｈ）を光学顕微鏡の焦点の移動距離により測定
し、エツチング速度を求めた。
この結果を第１表にまとめて示した。
エツチング加工性は、エツチング速度で評価し、裏いも
のを○印、やや不十分なものをΔ印、不十分なものをＸ
印で第１表に表わした。
のを○印、やや不十分なものをΔ印、不十分なものをＸ
印で第１表に表わした。
第１表に示すようにいずれの合金においても、Ｃ含有量
が０．００７重量Ｘ以下で、かつ（２００）面の相対Ｘ
Ｍ強度が５０％以上の範囲においてはエツチング速度が
顕著に向上し、優れたエツチング加工性が得られている
。また、不純物元素の影響についても本発明の請求範囲
において改善効果が認められる。
が０．００７重量Ｘ以下で、かつ（２００）面の相対Ｘ
Ｍ強度が５０％以上の範囲においてはエツチング速度が
顕著に向上し、優れたエツチング加工性が得られている
。また、不純物元素の影響についても本発明の請求範囲
において改善効果が認められる。
一方、（２００）面の相対Ｘ線強度が５０％未満、また
はＣ含有量が０．００７重量％を越えるものは、エツチ
ング速度が十分なものが得られないことがわかる。
はＣ含有量が０．００７重量％を越えるものは、エツチ
ング速度が十分なものが得られないことがわかる。
本発明によれば、エツチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ
系合金が得られ、集積回路素子の多ビンあるいは超多ビ
ンリードフレームの高精度エツチング加工が可能となり
１品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達
成できる。
系合金が得られ、集積回路素子の多ビンあるいは超多ビ
ンリードフレームの高精度エツチング加工が可能となり
１品質の向上、歩留り向上および加工効率の向上等が達
成できる。
第１図は、冷間圧延加工度と相対Ｘ線強度との関係を示
した図、第２図はＦ ｅ−４２Ｎ ｉ合金におけるエツ
チング速度とＣ含有量との関係を示した図、第３図は本
実施例で採用したエツチング加工性の試験の説明図であ
る。 第 １ 図 冷間圧延加工度（跨） 第２図 Ｑ ０．００５０，ＯＩＱ ０ｄＮ５０．０２Ｑ ０
．０２５Ｃ名盲号ｃ’ｉ、） 第 ３ エツチング液Ｈ４ｏ％Ｆ１ ｈ：エッチング深さ テＣ１５＋ ：［（ａ Ｏ
した図、第２図はＦ ｅ−４２Ｎ ｉ合金におけるエツ
チング速度とＣ含有量との関係を示した図、第３図は本
実施例で採用したエツチング加工性の試験の説明図であ
る。 第 １ 図 冷間圧延加工度（跨） 第２図 Ｑ ０．００５０，ＯＩＱ ０ｄＮ５０．０２Ｑ ０
．０２５Ｃ名盲号ｃ’ｉ、） 第 ３ エツチング液Ｈ４ｏ％Ｆ１ ｈ：エッチング深さ テＣ１５＋ ：［（ａ Ｏ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｃ含有量が０．００７重量％以下で、かつＸ線回折
による結晶面の相対Ｘ線強度において（２００）面の強
度が５０％以上であることを特徴とするエッチング加工
性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金。 ２ Ｆｅ−Ｎｉ系合金は、Ｎｉ３０〜６０重量％、Ｓｉ
０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５０重量％以下、残部Ｆ
ｅおよび不純物からなり、不純物のうちＰ０．００５重
量％以下、Ｓ０．００５重量％以下、その他の不純物元
素の全含有量が０：１０重量％以下である請求項１に記
載のＦｅ−Ｎｉ系合金。 ３ Ｆｅ−Ｎｉ系合金は、Ｎｉ２５〜４０重量％、Ｃｏ
５〜２０重量％、Ｓｉ０．２５重量％以下、Ｍｎ０．５
０重量％以下、残部Ｆｅおよび不純物からなり、不純物
のうちＰｏ、００５重量％以下、Ｓ０．００５重量％以
下、その他の不純物元素の全含有量が０．１０重量％以
下、である請求項１に記載のＦｅ−Ｎｉ系合金。 ４ 熱間圧延素材に冷間圧延と軟化焼鈍を繰り返した後
、６０％以上の加工度の冷間圧延を施し、次に軟化焼鈍
を行ない、その後製品板厚に５０％以下の加工度で仕上
圧延を行なうことにより、材料に強い結晶異方性を付与
することを特徴とするエッチング加工性に優れたＦｅ−
Ｎｉ系合金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413989A JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413989A JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02270941A true JPH02270941A (ja) | 1990-11-06 |
| JP2909088B2 JP2909088B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=14102055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9413989A Expired - Fee Related JP2909088B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | エッチング加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2909088B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04160112A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-03 | Nikko Kyodo Co Ltd | リードフレーム材の製造方法 |
| JPH0586441A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Yamaha Corp | シヤドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金 |
| US5605582A (en) * | 1992-01-24 | 1997-02-25 | Nkk Corporation | Alloy sheet having high etching performance |
| CN1035778C (zh) * | 1993-07-22 | 1997-09-03 | 日本钢管株式会社 | 一种具有高蚀刻性能的合金薄板 |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP9413989A patent/JP2909088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04160112A (ja) * | 1990-10-23 | 1992-06-03 | Nikko Kyodo Co Ltd | リードフレーム材の製造方法 |
| JPH0586441A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Yamaha Corp | シヤドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金 |
| US5605582A (en) * | 1992-01-24 | 1997-02-25 | Nkk Corporation | Alloy sheet having high etching performance |
| CN1035778C (zh) * | 1993-07-22 | 1997-09-03 | 日本钢管株式会社 | 一种具有高蚀刻性能的合金薄板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2909088B2 (ja) | 1999-06-23 |
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