JP3007458B2 - ワイヤボンディング方法 - Google Patents
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤボンディング方法
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置にあっては、ボ
ンディング作業に先立ち、リードフレーム上に既にマウ
ントされたペレットの位置検出を行なっている。
ンディング作業に先立ち、リードフレーム上に既にマウ
ントされたペレットの位置検出を行なっている。
【０００３】ここで、ペレットの位置検出を行なう理由
は以下の如くである。即ち、ワイヤボンディング工程の
前工程にペレットボンディング工程があるが、この工程
において、ペレットが正規の位置から多少ずれてボンデ
ィングされてしまうことがある（通常ずれる）。この場
合、ワイヤボンディング位置に位置付けられたペレット
上における実際のボンディング点の位置座標は、予め記
憶されている正規の位置座標に対してずれてしまうこと
となる。そこで、ボンディング作業に先立ってこのずれ
量を検出し、検出したずれ量から、実際のボンディング
点全ての位置座標を補正演算で求め、この求めた位置に
キャピラリを移動させ、ボンディングを行なうようにし
ているのである。
は以下の如くである。即ち、ワイヤボンディング工程の
前工程にペレットボンディング工程があるが、この工程
において、ペレットが正規の位置から多少ずれてボンデ
ィングされてしまうことがある（通常ずれる）。この場
合、ワイヤボンディング位置に位置付けられたペレット
上における実際のボンディング点の位置座標は、予め記
憶されている正規の位置座標に対してずれてしまうこと
となる。そこで、ボンディング作業に先立ってこのずれ
量を検出し、検出したずれ量から、実際のボンディング
点全ての位置座標を補正演算で求め、この求めた位置に
キャピラリを移動させ、ボンディングを行なうようにし
ているのである。
【０００４】然るに、従来のペレットの位置ずれ補正
は、下記(1) 〜(4) によりなされている。
は、下記(1) 〜(4) によりなされている。
【０００５】(1) ペレット上において、基準となる２つ
の定点を設定する。これにはまず、図２に示す例のよう
に、ペレットの対角位置にあるパターンＥ1 とＥ2 を基
準パターンとして予め位置認識装置の記憶部に登録して
おく。各パターンＥ1 とＥ2は、少なくとも１つの電極
Ａ、Ｂと、ペレットのコーナー部を含むパターンとす
る。そして、理想のボンディング点Ｐ1 、Ｐ2 は各電極
Ａ、Ｂの中心にとり、そのボンディング点座標も位置認
識装置に登録しておく。
の定点を設定する。これにはまず、図２に示す例のよう
に、ペレットの対角位置にあるパターンＥ1 とＥ2 を基
準パターンとして予め位置認識装置の記憶部に登録して
おく。各パターンＥ1 とＥ2は、少なくとも１つの電極
Ａ、Ｂと、ペレットのコーナー部を含むパターンとす
る。そして、理想のボンディング点Ｐ1 、Ｐ2 は各電極
Ａ、Ｂの中心にとり、そのボンディング点座標も位置認
識装置に登録しておく。
【０００６】(2) ボンディング位置に位置決めされたペ
レット上の実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ´2 を検出
し、その座標と(1) で登録された理想のボンディング点
Ｐ1、Ｐ2 の座標とを比較し、Ｐ´1 、Ｐ´2 のｘｙ方
向のずれを算出する。実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ
´2 の検出は、ボンディング位置に位置決めされたペレ
ットにおける対角線上にある２つのコーナー部の画像を
カメラにより取り込んで画像処理（例えば２値化処理）
を施し、そのパターンの中から基準パターンＥ1 、Ｅ2
と一致する（マッチングする）部分を見つけ出す（パタ
ーンマッチング）ことにより行なわれる。
レット上の実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ´2 を検出
し、その座標と(1) で登録された理想のボンディング点
Ｐ1、Ｐ2 の座標とを比較し、Ｐ´1 、Ｐ´2 のｘｙ方
向のずれを算出する。実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ
´2 の検出は、ボンディング位置に位置決めされたペレ
ットにおける対角線上にある２つのコーナー部の画像を
カメラにより取り込んで画像処理（例えば２値化処理）
を施し、そのパターンの中から基準パターンＥ1 、Ｅ2
と一致する（マッチングする）部分を見つけ出す（パタ
ーンマッチング）ことにより行なわれる。
【０００７】(3) Ｐ´1 、Ｐ´2 を結ぶ直線とＰ1 とＰ
2 を結ぶ直線とのθ方向のずれ（角度ずれ）を算出す
る。
2 を結ぶ直線とのθ方向のずれ（角度ずれ）を算出す
る。
【０００８】(4)(2)、(3) で算出したｘｙ方向並びにθ
方向のずれに基づいて、ペレット上における全てのボン
ディング点座標を補正演算により求める。
方向のずれに基づいて、ペレット上における全てのボン
ディング点座標を補正演算により求める。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来技術では、パター
ンマッチングにより、実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ
´2 の検出を行なっていたため、いま図４に示すように
ペレット１９が割れていたとしても、ペレットより取り
込んだ画像において、登録されている基準パターンＥ1
とＥ2 とマッチングする部分が存在しさえすれば、ボン
ディング点座標が自動的に補正演算され、ボンディング
作業が行なわれてしまっていた。
ンマッチングにより、実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ
´2 の検出を行なっていたため、いま図４に示すように
ペレット１９が割れていたとしても、ペレットより取り
込んだ画像において、登録されている基準パターンＥ1
とＥ2 とマッチングする部分が存在しさえすれば、ボン
ディング点座標が自動的に補正演算され、ボンディング
作業が行なわれてしまっていた。
【００１０】そこでこの割れを検出するため、次の対策
が試みられている。即ち、検出された実際のボンディン
グ点Ｐ´1 、Ｐ´2 から両者間の距離Ｌ1 を演算により
求め、登録された２点Ｐ1 、Ｐ2 間の正規の距離Ｌと比
較する。そして距離Ｌ1 とＬとが相違したとき、異常が
ある（ペレットの割れや位置認識装置による誤検出）と
判断しボンディング作業を行なわないようにしている。
が試みられている。即ち、検出された実際のボンディン
グ点Ｐ´1 、Ｐ´2 から両者間の距離Ｌ1 を演算により
求め、登録された２点Ｐ1 、Ｐ2 間の正規の距離Ｌと比
較する。そして距離Ｌ1 とＬとが相違したとき、異常が
ある（ペレットの割れや位置認識装置による誤検出）と
判断しボンディング作業を行なわないようにしている。
【００１１】尚、ＬとＬ1 との比較においては、熱膨張
を加味して、異常と判断しない許容値を設定しておく。
を加味して、異常と判断しない許容値を設定しておく。
【００１２】ところがこの方法であっても、図３に示す
ように、割れたペレット上にある一方のボンディング点
Ｐ´2 が、他方のボンディング点Ｐ´1 を中心とする円
弧上に丁度位置してしまったような場合、点Ｐ1 、Ｐ2
間の距離Ｌと、点Ｐ´1 、Ｐ´2 間の距離Ｌ2 とが一致
するため、異常にもかかわらず、正常と判断しボンディ
ング作業が行なわれてしまうという問題点がある。
ように、割れたペレット上にある一方のボンディング点
Ｐ´2 が、他方のボンディング点Ｐ´1 を中心とする円
弧上に丁度位置してしまったような場合、点Ｐ1 、Ｐ2
間の距離Ｌと、点Ｐ´1 、Ｐ´2 間の距離Ｌ2 とが一致
するため、異常にもかかわらず、正常と判断しボンディ
ング作業が行なわれてしまうという問題点がある。
【００１３】本発明は、リードフレームにボンディング
されたペレットの位置検出精度を向上することを目的と
する。
されたペレットの位置検出精度を向上することを目的と
する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
は、ペレット上に２つのパターンを定めると共に、各パ
ターン内にそれぞれ１つの定点を定め、リードフレーム
にボンディングされるペレットの上記２つの定点の正規
の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの上
記２つの定点がなすずれを検出し、このずれ検出結果に
基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補正
演算するワイヤボンディング方法において、リードフレ
ームにボンディングされるペレットの上記２つのパター
ンの正規の位置に対し、実際にボンディングされたペレ
ットの上記２つのパターンがなす傾きθ1 、θ2 を検出
し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較し、傾きθ1 、θ2 が
一致したことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディ
ング点座標の補正演算を行なうようにしたものである。
は、ペレット上に２つのパターンを定めると共に、各パ
ターン内にそれぞれ１つの定点を定め、リードフレーム
にボンディングされるペレットの上記２つの定点の正規
の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの上
記２つの定点がなすずれを検出し、このずれ検出結果に
基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補正
演算するワイヤボンディング方法において、リードフレ
ームにボンディングされるペレットの上記２つのパター
ンの正規の位置に対し、実際にボンディングされたペレ
ットの上記２つのパターンがなす傾きθ1 、θ2 を検出
し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較し、傾きθ1 、θ2 が
一致したことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディ
ング点座標の補正演算を行なうようにしたものである。
【００１５】請求項２に記載の本発明は、ペレット上に
２つのパターンを定めると共に、各パターン内にそれぞ
れ１つの定点を定め、リードフレームにボンディングさ
れるペレットの上記２つの定点の正規の位置に対し、実
際にボンディングされたペレットの上記２つの定点がな
すずれを検出し、このずれ検出結果に基づいてペレット
上におけるボンディング点座標を補正演算するワイヤボ
ンディング方法において、リードフレームにボンディン
グされるペレットの上記２つのパターンの正規の位置に
対し、実際にボンディングされたペレットの上記２つの
パターンがなす傾きθ1 、θ2 を検出し、傾きθ1 、θ
2 を相互に比較すると共に、リードフレームに実際にボ
ンディングされたペレットの上記２つの定点間の実際の
距離Ｌxを検出し、この実際の距離Ｌx を正規の距離Ｌ
と比較し、傾きθ1 、θ2 が一致し、且つ距離Ｌx 、Ｌ
が一致したことを条件に、前記検出ずれに基づくボンデ
ィング点座標の補正演算を行なうようにしたものであ
る。
２つのパターンを定めると共に、各パターン内にそれぞ
れ１つの定点を定め、リードフレームにボンディングさ
れるペレットの上記２つの定点の正規の位置に対し、実
際にボンディングされたペレットの上記２つの定点がな
すずれを検出し、このずれ検出結果に基づいてペレット
上におけるボンディング点座標を補正演算するワイヤボ
ンディング方法において、リードフレームにボンディン
グされるペレットの上記２つのパターンの正規の位置に
対し、実際にボンディングされたペレットの上記２つの
パターンがなす傾きθ1 、θ2 を検出し、傾きθ1 、θ
2 を相互に比較すると共に、リードフレームに実際にボ
ンディングされたペレットの上記２つの定点間の実際の
距離Ｌxを検出し、この実際の距離Ｌx を正規の距離Ｌ
と比較し、傾きθ1 、θ2 が一致し、且つ距離Ｌx 、Ｌ
が一致したことを条件に、前記検出ずれに基づくボンデ
ィング点座標の補正演算を行なうようにしたものであ
る。
【００１６】請求項３に記載の本発明は、ペレット上に
１つのパターンを定めると共に、当該パターン内に１つ
の定点を定め、リードフレームにボンディングされるペ
レットの上記１つの定点の正規の位置に対し、実際にボ
ンディングされたペレットの上記１つの定点がなすずれ
を検出すると共に、リードフレームにボンディングされ
るペレットの上記１つのパターンの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットの上記１つのパター
ンがなす傾きθ1 を検出し、このずれ及び傾き検出結果
に基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補
正演算するワイヤボンディング方法において、ペレット
上に他の１つのパターンを定め、リードフレームにボン
ディングされるペレットの上記他の１つのパターンの正
規の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの
上記他の１つのパターンがなす傾きθ2 を検出し、傾き
θ1 、θ2 を相互に比較し、傾きθ1 、θ2 が一致した
ことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディング点座
標の補正演算を行なうようにしたものである。
１つのパターンを定めると共に、当該パターン内に１つ
の定点を定め、リードフレームにボンディングされるペ
レットの上記１つの定点の正規の位置に対し、実際にボ
ンディングされたペレットの上記１つの定点がなすずれ
を検出すると共に、リードフレームにボンディングされ
るペレットの上記１つのパターンの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットの上記１つのパター
ンがなす傾きθ1 を検出し、このずれ及び傾き検出結果
に基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補
正演算するワイヤボンディング方法において、ペレット
上に他の１つのパターンを定め、リードフレームにボン
ディングされるペレットの上記他の１つのパターンの正
規の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの
上記他の１つのパターンがなす傾きθ2 を検出し、傾き
θ1 、θ2 を相互に比較し、傾きθ1 、θ2 が一致した
ことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディング点座
標の補正演算を行なうようにしたものである。
【００１７】請求項４に記載の本発明は、ペレット上に
１つのパターンを定めると共に、当該パターン内に１つ
の定点を定め、リードフレームにボンディングされるペ
レットの上記１つの定点の正規の位置に対し、実際にボ
ンディングされたペレットの上記１つの定点がなすずれ
を検出すると共に、リードフレームにボンディングされ
るペレットの上記１つのパターンの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットの上記１つのパター
ンがなす傾きθ1 を検出し、このずれ及び傾き検出結果
に基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補
正演算するワイヤボンディング方法において、ペレット
上に他の１つのパターンを定め、リードフレームにボン
ディングされるペレットの上記他の１つのパターンの正
規の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの
上記他の１つのパターンがなす傾きθ2 を検出し、傾き
θ1 、θ2 を相互に比較すると共に、リードフレームに
実際にボンディングされたペレットの上記２つの定点間
の実際の距離Ｌx を検出し、この実際の距離Ｌx を正規
の距離Ｌと比較し、傾きθ1 、θ2が一致し、且つ距離
Ｌx 、Ｌが一致したことを条件に、前記検出ずれに基づ
くボンディング点座標の補正演算を行なうようにしたも
のである。
１つのパターンを定めると共に、当該パターン内に１つ
の定点を定め、リードフレームにボンディングされるペ
レットの上記１つの定点の正規の位置に対し、実際にボ
ンディングされたペレットの上記１つの定点がなすずれ
を検出すると共に、リードフレームにボンディングされ
るペレットの上記１つのパターンの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットの上記１つのパター
ンがなす傾きθ1 を検出し、このずれ及び傾き検出結果
に基づいてペレット上におけるボンディング点座標を補
正演算するワイヤボンディング方法において、ペレット
上に他の１つのパターンを定め、リードフレームにボン
ディングされるペレットの上記他の１つのパターンの正
規の位置に対し、実際にボンディングされたペレットの
上記他の１つのパターンがなす傾きθ2 を検出し、傾き
θ1 、θ2 を相互に比較すると共に、リードフレームに
実際にボンディングされたペレットの上記２つの定点間
の実際の距離Ｌx を検出し、この実際の距離Ｌx を正規
の距離Ｌと比較し、傾きθ1 、θ2が一致し、且つ距離
Ｌx 、Ｌが一致したことを条件に、前記検出ずれに基づ
くボンディング点座標の補正演算を行なうようにしたも
のである。
【００１８】請求項５に記載の本発明は、リードフレー
ムにボンディングされるペレットの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットがｘｙ方向並びにθ
方向になすずれを検出し、このずれ検出結果に基づいて
ペレット上におけるボンディング点座標を補正演算する
ワイヤボンディング方法において、ペレット上に少なく
とも２つのパターンを定め、各パターン毎に、正規の位
置に対する傾きを検出し、それらの傾きが相互に一致し
たことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディング点
座標の補正演算を行なうようにしたものである。
ムにボンディングされるペレットの正規の位置に対し、
実際にボンディングされたペレットがｘｙ方向並びにθ
方向になすずれを検出し、このずれ検出結果に基づいて
ペレット上におけるボンディング点座標を補正演算する
ワイヤボンディング方法において、ペレット上に少なく
とも２つのパターンを定め、各パターン毎に、正規の位
置に対する傾きを検出し、それらの傾きが相互に一致し
たことを条件に、前記検出ずれに基づくボンディング点
座標の補正演算を行なうようにしたものである。
【００１９】
【作用】ペレットの位置検出時に、ペレット上に定めた
少なくとも２つのパターンの傾きθ1 、θ2 を比較し、
更に必要により、２つの定点間の距離Ｌx をその正規の
距離Ｌに対して比較することにより、ペレットの割れや
位置認識装置による誤検出の有無を判断できる。
少なくとも２つのパターンの傾きθ1 、θ2 を比較し、
更に必要により、２つの定点間の距離Ｌx をその正規の
距離Ｌに対して比較することにより、ペレットの割れや
位置認識装置による誤検出の有無を判断できる。
【００２０】
【実施例】図１は本発明が実施されるワイヤボンディン
グ装置を示す模式図、図２はペレットの位置検出状態を
示す模式図、図３は割れたペレットの一例を示す模式
図、図４は割れたペレットの他の例を示す模式図であ
る。
グ装置を示す模式図、図２はペレットの位置検出状態を
示す模式図、図３は割れたペレットの一例を示す模式
図、図４は割れたペレットの他の例を示す模式図であ
る。
【００２１】ワイヤボンディング装置１０は、図１に示
す如く、ＸＹテーブル１１上にボンディングヘッド１２
及びカメラ１３を搭載し、ボンディングヘッド１２にボ
ンディングアーム１４、キャピラリ１５を備える。
す如く、ＸＹテーブル１１上にボンディングヘッド１２
及びカメラ１３を搭載し、ボンディングヘッド１２にボ
ンディングアーム１４、キャピラリ１５を備える。
【００２２】そして、ワイヤボンディング装置１０は、
位置認識装置１６、制御装置１７を有しており、位置認
識装置１６の認識結果に基づく制御装置１７の制御指令
により、ＸＹテーブル１１、ボンディングヘッド１２を
駆動し、リードフレーム１８（基板を含む）にボンディ
ングされているペレット１９に対するワイヤボンディン
グ作業を実行可能とする。
位置認識装置１６、制御装置１７を有しており、位置認
識装置１６の認識結果に基づく制御装置１７の制御指令
により、ＸＹテーブル１１、ボンディングヘッド１２を
駆動し、リードフレーム１８（基板を含む）にボンディ
ングされているペレット１９に対するワイヤボンディン
グ作業を実行可能とする。
【００２３】以下、ワイヤボンディング装置１０におけ
る位置認識装置１６の位置認識動作、制御装置１７の制
御動作について説明する。
る位置認識装置１６の位置認識動作、制御装置１７の制
御動作について説明する。
【００２４】(1) ペレット１９の対角線上にある２つの
コーナー部に基準パターンＥ1 、Ｅ2 を定めると共に、
各基準パターンＥ1 、Ｅ2 内にそれぞれ１つの定点（理
想のボンディング点）Ｐ1 、Ｐ2 を定め、位置認識装置
１６が有する記憶部に、２基準パターンＥ1 、Ｅ2 と、
２定点Ｐ1 、Ｐ2 の座標と、Ｐ1 、Ｐ2 間の正規の距離
Ｌとを登録しておく。
コーナー部に基準パターンＥ1 、Ｅ2 を定めると共に、
各基準パターンＥ1 、Ｅ2 内にそれぞれ１つの定点（理
想のボンディング点）Ｐ1 、Ｐ2 を定め、位置認識装置
１６が有する記憶部に、２基準パターンＥ1 、Ｅ2 と、
２定点Ｐ1 、Ｐ2 の座標と、Ｐ1 、Ｐ2 間の正規の距離
Ｌとを登録しておく。
【００２５】尚、基準パターンＥ1 、Ｅ2 としてコーナ
ー部を含むことは特に必要とせず、特徴のあるパターン
となり得ればよい。
ー部を含むことは特に必要とせず、特徴のあるパターン
となり得ればよい。
【００２６】(2) ボンディング位置に位置決めされたペ
レット１９における対角線上にある２つのコーナー部近
辺の画像をカメラ１３により取り込む。図２において、
Ｃはカメラ１３の検出視野である。この取り込んだ画像
を位置認識装置１６にて画像処理し、画像処理されたパ
ターンの中から記憶部に記憶されている基準パターンＥ
1 、Ｅ2 と一致する部分パターンを見つけ出し、実際の
ボンディング点Ｐ´1、Ｐ´2 を検出する。この検出に
より、位置認識装置１６は、実際のボンディング点Ｐ´
1 、Ｐ´2 が理想のボンディング点Ｐ1 、Ｐ2 に対する
ｘｙ方向のずれを求めると共に、２点Ｐ1 、Ｐ2 を結ぶ
直線と２点Ｐ´1 、Ｐ´2 を結ぶ直線とのθ方向のずれ
（角度のずれ）を求める。
レット１９における対角線上にある２つのコーナー部近
辺の画像をカメラ１３により取り込む。図２において、
Ｃはカメラ１３の検出視野である。この取り込んだ画像
を位置認識装置１６にて画像処理し、画像処理されたパ
ターンの中から記憶部に記憶されている基準パターンＥ
1 、Ｅ2 と一致する部分パターンを見つけ出し、実際の
ボンディング点Ｐ´1、Ｐ´2 を検出する。この検出に
より、位置認識装置１６は、実際のボンディング点Ｐ´
1 、Ｐ´2 が理想のボンディング点Ｐ1 、Ｐ2 に対する
ｘｙ方向のずれを求めると共に、２点Ｐ1 、Ｐ2 を結ぶ
直線と２点Ｐ´1 、Ｐ´2 を結ぶ直線とのθ方向のずれ
（角度のずれ）を求める。
【００２７】(3) 更に、位置認識装置１６は、カメラ１
３から取り込んだ２つの画像内で、対応する基準パター
ンＥ1 、Ｅ2 とマッチングすると判断される部分パター
ンを見つけ出したとき、その部分パターンの、対応する
基準パターンＥ1 、Ｅ2 に対する傾きθ1 、θ2 を検出
し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較する。この傾きとは、
記憶部に登録された基準パターンＥ1 、Ｅ2 を基準と
し、この基準パターンＥ1 、Ｅ2 に対してカメラ１３か
ら取り込んだ画像中でマッチングすると判断された部分
パターンが傾いている割合である。
３から取り込んだ２つの画像内で、対応する基準パター
ンＥ1 、Ｅ2 とマッチングすると判断される部分パター
ンを見つけ出したとき、その部分パターンの、対応する
基準パターンＥ1 、Ｅ2 に対する傾きθ1 、θ2 を検出
し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較する。この傾きとは、
記憶部に登録された基準パターンＥ1 、Ｅ2 を基準と
し、この基準パターンＥ1 、Ｅ2 に対してカメラ１３か
ら取り込んだ画像中でマッチングすると判断された部分
パターンが傾いている割合である。
【００２８】(4) そして更に、位置認識装置１６は、求
めた実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ´2 の座標から、
２点Ｐ´1、Ｐ´2 間の実際の距離Ｌx を算出し、予め
記憶部に記憶されているＬと比較する。
めた実際のボンディング点Ｐ´1 、Ｐ´2 の座標から、
２点Ｐ´1、Ｐ´2 間の実際の距離Ｌx を算出し、予め
記憶部に記憶されているＬと比較する。
【００２９】(5) その結果、位置認識装置１６は、２つ
の傾きθ1 、θ2 同志、及び距離ＬとＬx とが一致した
ときのみ、検出したｘｙ方向並びにθ方向のずれに基づ
いて、全てのボンディング点座標の補正演算を行ない、
制御装置１７の制御下でボンディング作業を行なう。異
なる場合、ペレット１９が割れているか、あるいは位置
認識装置１６が誤検出をしているものと判断してボンデ
ィング作業は行なわない。
の傾きθ1 、θ2 同志、及び距離ＬとＬx とが一致した
ときのみ、検出したｘｙ方向並びにθ方向のずれに基づ
いて、全てのボンディング点座標の補正演算を行ない、
制御装置１７の制御下でボンディング作業を行なう。異
なる場合、ペレット１９が割れているか、あるいは位置
認識装置１６が誤検出をしているものと判断してボンデ
ィング作業は行なわない。
【００３０】次に、本実施例の作用効果について説明す
る。ペレットの位置検出時に、カメラ７より取り込んだ
２つのパターンの傾きθ1、θ2 を検出し、互いに比較
し、更に２つの定点Ｐ´1 、Ｐ´2の距離Ｌx を正規の
距離Ｌに対して比較することにより、ペレット１９の割
れの有無や、位置認識装置１６による検出の正常、異常
を判別することができる。従って図３のように、割れた
ペレットの一方の点Ｐ´2 が他方の点Ｐ´1 を中心とし
た円弧上にずれた場合においても、θ1 とθ2 とが相違
することとなり、ペレット１９の割れ等の異常を確実に
検出することができる。
る。ペレットの位置検出時に、カメラ７より取り込んだ
２つのパターンの傾きθ1、θ2 を検出し、互いに比較
し、更に２つの定点Ｐ´1 、Ｐ´2の距離Ｌx を正規の
距離Ｌに対して比較することにより、ペレット１９の割
れの有無や、位置認識装置１６による検出の正常、異常
を判別することができる。従って図３のように、割れた
ペレットの一方の点Ｐ´2 が他方の点Ｐ´1 を中心とし
た円弧上にずれた場合においても、θ1 とθ2 とが相違
することとなり、ペレット１９の割れ等の異常を確実に
検出することができる。
【００３１】尚、本発明の実施においては、以下の変形
が可能である。(1)ボンディング点座標の補正演算を行
なうことの前提条件として、２つの定点間の距離Ｌx が
正規の距離Ｌと一致しているか否かは考慮せず、２つの
パターンの傾きθ1 、θ2 が一致することのみを当該補
正演算を行なうことの条件とすること。
が可能である。(1)ボンディング点座標の補正演算を行
なうことの前提条件として、２つの定点間の距離Ｌx が
正規の距離Ｌと一致しているか否かは考慮せず、２つの
パターンの傾きθ1 、θ2 が一致することのみを当該補
正演算を行なうことの条件とすること。
【００３２】(2) ボンディング点座標の補正演算自体の
手法として、２つのパターン内に定めた２つの定点のず
れに基づいて補正演算するものでなく、１つのパターン
内に定めた１つの定点のずれと当該パターンの傾きとに
基づいて補正演算するもの。
手法として、２つのパターン内に定めた２つの定点のず
れに基づいて補正演算するものでなく、１つのパターン
内に定めた１つの定点のずれと当該パターンの傾きとに
基づいて補正演算するもの。
【００３３】(3) ボンディング点座標の補正演算を行な
うことの前提条件として、２つのパターンの傾きが一致
するか否かを検出するに際し、当該パターンは、ボンデ
ィング点座標の補正演算のためのずれ検出自体とは無関
係に選定されたものであってもよいこと。
うことの前提条件として、２つのパターンの傾きが一致
するか否かを検出するに際し、当該パターンは、ボンデ
ィング点座標の補正演算のためのずれ検出自体とは無関
係に選定されたものであってもよいこと。
【００３４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、リードフ
レームにボンディングされたペレットの位置検出精度を
向上することができる。
レームにボンディングされたペレットの位置検出精度を
向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明が実施されるワイヤボンディング
装置を示す模式図である。
装置を示す模式図である。
【図２】図２はペレットの位置検出状態を示す模式図で
ある。
ある。
【図３】図３は割れたペレットの一例を示す模式図であ
る。
る。
【図４】図４は割れたペレットの他の例を示す模式図で
ある。
ある。
１０ ワイヤボンディング装置 １６ 位置認識装置 １７ 制御装置 １８ リードフレーム １９ ペレット
Claims (5)
- 【請求項１】 ペレット上に２つのパターンを定めると
共に、各パターン内にそれぞれ１つの定点を定め、リー
ドフレームにボンディングされるペレットの上記２つの
定点の正規の位置に対し、実際にボンディングされたペ
レットの上記２つの定点がなすずれを検出し、このずれ
検出結果に基づいてペレット上におけるボンディング点
座標を補正演算するワイヤボンディング方法において、
リードフレームにボンディングされるペレットの上記２
つのパターンの正規の位置に対し、実際にボンディング
されたペレットの上記２つのパターンがなす傾きθ1、
θ2 を検出し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較し、傾きθ
1 、θ2 が一致したことを条件に、前記検出ずれに基づ
くボンディング点座標の補正演算を行なうことを特徴と
するワイヤボンディング方法。 - 【請求項２】 ペレット上に２つのパターンを定めると
共に、各パターン内にそれぞれ１つの定点を定め、リー
ドフレームにボンディングされるペレットの上記２つの
定点の正規の位置に対し、実際にボンディングされたペ
レットの上記２つの定点がなすずれを検出し、このずれ
検出結果に基づいてペレット上におけるボンディング点
座標を補正演算するワイヤボンディング方法において、
リードフレームにボンディングされるペレットの上記２
つのパターンの正規の位置に対し、実際にボンディング
されたペレットの上記２つのパターンがなす傾きθ1、
θ2 を検出し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較すると共
に、リードフレームに実際にボンディングされたペレッ
トの上記２つの定点間の実際の距離Ｌx を検出し、この
実際の距離Ｌx を正規の距離Ｌと比較し、傾きθ1 、θ
2 が一致し、且つ距離Ｌx 、Ｌが一致したことを条件
に、前記検出ずれに基づくボンディング点座標の補正演
算を行なうことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 【請求項３】 ペレット上に１つのパターンを定めると
共に、当該パターン内に１つの定点を定め、リードフレ
ームにボンディングされるペレットの上記１つの定点の
正規の位置に対し、実際にボンディングされたペレット
の上記１つの定点がなすずれを検出すると共に、リード
フレームにボンディングされるペレットの上記１つのパ
ターンの正規の位置に対し、実際にボンディングされた
ペレットの上記１つのパターンがなす傾きθ1 を検出
し、このずれ及び傾き検出結果に基づいてペレット上に
おけるボンディング点座標を補正演算するワイヤボンデ
ィング方法において、ペレット上に他の１つのパターン
を定め、リードフレームにボンディングされるペレット
の上記他の１つのパターンの正規の位置に対し、実際に
ボンディングされたペレットの上記他の１つのパターン
がなす傾きθ2 を検出し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較
し、傾きθ1 、θ2 が一致したことを条件に、前記検出
ずれに基づくボンディング点座標の補正演算を行なうこ
とを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 【請求項４】 ペレット上に１つのパターンを定めると
共に、当該パターン内に１つの定点を定め、リードフレ
ームにボンディングされるペレットの上記１つの定点の
正規の位置に対し、実際にボンディングされたペレット
の上記１つの定点がなすずれを検出すると共に、リード
フレームにボンディングされるペレットの上記１つのパ
ターンの正規の位置に対し、実際にボンディングされた
ペレットの上記１つのパターンがなす傾きθ1 を検出
し、このずれ及び傾き検出結果に基づいてペレット上に
おけるボンディング点座標を補正演算するワイヤボンデ
ィング方法において、ペレット上に他の１つのパターン
を定め、リードフレームにボンディングされるペレット
の上記他の１つのパターンの正規の位置に対し、実際に
ボンディングされたペレットの上記他の１つのパターン
がなす傾きθ2 を検出し、傾きθ1 、θ2 を相互に比較
すると共に、リードフレームに実際にボンディングされ
たペレットの上記２つの定点間の実際の距離Ｌx を検出
し、この実際の距離Ｌx を正規の距離Ｌと比較し、傾き
θ1 、θ2 が一致し、且つ距離Ｌx 、Ｌが一致したこと
を条件に、前記検出ずれに基づくボンディング点座標の
補正演算を行なうことを特徴とするワイヤボンディング
方法。 - 【請求項５】 リードフレームにボンディングされるペ
レットの正規の位置に対し、実際にボンディングされた
ペレットがｘｙ方向並びにθ方向になすずれを検出し、
このずれ検出結果に基づいてペレット上におけるボンデ
ィング点座標を補正演算するワイヤボンディング方法に
おいて、ペレット上に少なくとも２つのパターンを定
め、各パターン毎に、正規の位置に対する傾きを検出
し、それらの傾きが相互に一致したことを条件に、前記
検出ずれに基づくボンディング点座標の補正演算を行な
うことを特徴とするワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3276482A JP3007458B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | ワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3276482A JP3007458B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | ワイヤボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590326A JPH0590326A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3007458B2 true JP3007458B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=17570071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3276482A Expired - Fee Related JP3007458B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | ワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3007458B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP3276482A patent/JP3007458B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0590326A (ja) | 1993-04-09 |
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