JP2739181B2 - ワーク設定位置補正装置 - Google Patents
ワーク設定位置補正装置Info
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- JP2739181B2 JP2739181B2 JP20541089A JP20541089A JP2739181B2 JP 2739181 B2 JP2739181 B2 JP 2739181B2 JP 20541089 A JP20541089 A JP 20541089A JP 20541089 A JP20541089 A JP 20541089A JP 2739181 B2 JP2739181 B2 JP 2739181B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 略矩形状に形成されたワークを所望の位置に載置する
際の位置ズレを補正する装置に関し、 凹凸の辺をもつ矩形状のワークの位置ズレを正確に補
正するとともに、位置合わせを簡単にすることを目的と
し、 矩形の撮像領域内に置かれた矩形状ワークの座標を求
める回路と、該回路により決定された上記ワークの座標
のうち、上記撮像領域の４つの角部に対して最短距離と
なる上記ワークの４つの点の座標を求め、該座標をワー
クの四隅の角部と決定する回路と、該回路によって求め
られた上記ワークの４つの角部の座標に基づいて上記ワ
ークの中心点を求める回路と、上記撮像領域のうちの一
辺を基準線となし、該基準線に近い上記ワークの上記角
部の２点を結ぶ直線が該基準線との間で形成する角度
と、上記ワークの他の２点を結ぶ直線が該基準線との間
で形成する角度を求め、該２つの角度の平均値を算出し
て上記ワークの傾き角度となす回路と、上記ワークの上
記中心点と、上記ワークの上記傾き角度に基づいて位置
ズレを検知し、上記ワークの位置を補正する回路とを含
み構成する。
際の位置ズレを補正する装置に関し、 凹凸の辺をもつ矩形状のワークの位置ズレを正確に補
正するとともに、位置合わせを簡単にすることを目的と
し、 矩形の撮像領域内に置かれた矩形状ワークの座標を求
める回路と、該回路により決定された上記ワークの座標
のうち、上記撮像領域の４つの角部に対して最短距離と
なる上記ワークの４つの点の座標を求め、該座標をワー
クの四隅の角部と決定する回路と、該回路によって求め
られた上記ワークの４つの角部の座標に基づいて上記ワ
ークの中心点を求める回路と、上記撮像領域のうちの一
辺を基準線となし、該基準線に近い上記ワークの上記角
部の２点を結ぶ直線が該基準線との間で形成する角度
と、上記ワークの他の２点を結ぶ直線が該基準線との間
で形成する角度を求め、該２つの角度の平均値を算出し
て上記ワークの傾き角度となす回路と、上記ワークの上
記中心点と、上記ワークの上記傾き角度に基づいて位置
ズレを検知し、上記ワークの位置を補正する回路とを含
み構成する。
本発明は、ワーク搬送位置補正装置に関し、より詳し
くは、略矩形状に形成されたワークを所望の位置に載置
する際の位置ズレを補正する装置に関する。
くは、略矩形状に形成されたワークを所望の位置に載置
する際の位置ズレを補正する装置に関する。
矩形状に形成された偏平なワークを目的の位置に搬送
する場合、例えば半導体ウェハから分離された多数のチ
ップをリードフレームに載置する場合には、このチップ
をチャックにより吸引して目的の位置に搬送するように
している。
する場合、例えば半導体ウェハから分離された多数のチ
ップをリードフレームに載置する場合には、このチップ
をチャックにより吸引して目的の位置に搬送するように
している。
ところが、チップを搬送する際にチップに位置ズレが
生じていることもあるため、第５図に示すように、図示
しない撮像器によってチップ40を撮像し、その撮像情報
に基づいてその位置ズレを検出し、そのズレを回転成分
Δαと平行移動成分ΔX,ΔＹに分けた後、その成分量だ
けチップ40の位置を補正して目的の位置に搬送するよう
にした装置が特開昭59−39502号公報において提案され
ている。
生じていることもあるため、第５図に示すように、図示
しない撮像器によってチップ40を撮像し、その撮像情報
に基づいてその位置ズレを検出し、そのズレを回転成分
Δαと平行移動成分ΔX,ΔＹに分けた後、その成分量だ
けチップ40の位置を補正して目的の位置に搬送するよう
にした装置が特開昭59−39502号公報において提案され
ている。
しかし、この装置によれば、第６図（ａ），（ｂ）に
示す半導体装置や、同図（ｃ）に示す試験用ソケット等
のように、ワークの辺が直線とならないワークを搬送す
る場合には、平行移動成分ΔX,ΔＹを決定する基準が明
確にならず、ワークの位置ズレの補正に誤差が生じ易い
といった問題がある。
示す半導体装置や、同図（ｃ）に示す試験用ソケット等
のように、ワークの辺が直線とならないワークを搬送す
る場合には、平行移動成分ΔX,ΔＹを決定する基準が明
確にならず、ワークの位置ズレの補正に誤差が生じ易い
といった問題がある。
しかも、平行移動成分ΔX,ΔＹを補正する場合には、
チップ40のＸ方向とＹ方向の２つの辺lX,lYを基準にし
て平行移動させることになるため、第６図（ｄ）に示す
ように、ワークのX,Yの辺が直角となっていない場合
や、対向するワークの２辺が平行となっていない場合に
は、ワークが一方に偏ることになり、平行移動成分ΔX,
ΔＹや回転成分Δαに基づく位置合わせ誤差が大きくな
るといった不都合がある。
チップ40のＸ方向とＹ方向の２つの辺lX,lYを基準にし
て平行移動させることになるため、第６図（ｄ）に示す
ように、ワークのX,Yの辺が直角となっていない場合
や、対向するワークの２辺が平行となっていない場合に
は、ワークが一方に偏ることになり、平行移動成分ΔX,
ΔＹや回転成分Δαに基づく位置合わせ誤差が大きくな
るといった不都合がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであっ
て、凹凸の辺を有する矩形状のワークの位置ズレを正確
に補正するとともに、位置合わせを簡単にすることがで
きるワーク設定位置補正装置を提供することを目的とす
る。
て、凹凸の辺を有する矩形状のワークの位置ズレを正確
に補正するとともに、位置合わせを簡単にすることがで
きるワーク設定位置補正装置を提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕 上記した課題は、第1,2図において、矩形の撮像領域
Ａ内に置かれた矩形状ワークＷの座標を求める回路３
と、該回路３により決定された上記ワークＷの座標のう
ち、上記撮像領域Ａの４つの角部P1,P2,P3,P4に対して
最短距離となる上記ワークＷの４つの点W1、W2、W3、W4
の座標を求め、該座標をワークの四隅の角部と決定する
回路４と、該回路４によって求められた上記ワークの４
つの角部の座標W1、W2、W3、W4に基づいて上記ワークＷ
の中心点W0を求める回路５と、上記撮像領域Ａのうちの
一辺を基準線L1となし、該基準線L1に近い上記ワークＷ
の上記角部の２点W1、W2を結ぶ直線が該基準線L1との間
で形成する角度θ１と、上記ワークの他の２点W3、W4を
結ぶ直線が該基準線L1との間で形成する角度θ２との平
均値（θ１＋θ２）/2を算出して上記ワークの傾き角度
θ０となす回路６と、上記ワークＷの上記中心点W0と、
上記ワークＷの上記傾き角度θ０に基づいて位置ズレを
検知し、上記ワークＷの位置を補正する回路８とを備え
たことを特徴とするワーク設定位置補正装置により解決
する。
Ａ内に置かれた矩形状ワークＷの座標を求める回路３
と、該回路３により決定された上記ワークＷの座標のう
ち、上記撮像領域Ａの４つの角部P1,P2,P3,P4に対して
最短距離となる上記ワークＷの４つの点W1、W2、W3、W4
の座標を求め、該座標をワークの四隅の角部と決定する
回路４と、該回路４によって求められた上記ワークの４
つの角部の座標W1、W2、W3、W4に基づいて上記ワークＷ
の中心点W0を求める回路５と、上記撮像領域Ａのうちの
一辺を基準線L1となし、該基準線L1に近い上記ワークＷ
の上記角部の２点W1、W2を結ぶ直線が該基準線L1との間
で形成する角度θ１と、上記ワークの他の２点W3、W4を
結ぶ直線が該基準線L1との間で形成する角度θ２との平
均値（θ１＋θ２）/2を算出して上記ワークの傾き角度
θ０となす回路６と、上記ワークＷの上記中心点W0と、
上記ワークＷの上記傾き角度θ０に基づいて位置ズレを
検知し、上記ワークＷの位置を補正する回路８とを備え
たことを特徴とするワーク設定位置補正装置により解決
する。
本発明によれば、第1,2図に示すように、矩形状ワー
クＷを配置する撮像領域Ａを矩形となし、この撮像領域
Ａの４つの角部P1,P2,P3,P4に対して最短距離となるワ
ークＷの４つの点W1、W2、W3、W4の座標を求め、この座
標をワークＷの４つの角部と判断し、この角部の座標か
らワークの中心点W0と傾き角度θ０とを求め、中心点W0
と傾き角度θ０のズレの量に応じてワークＷの位置を補
正するようにしている。
クＷを配置する撮像領域Ａを矩形となし、この撮像領域
Ａの４つの角部P1,P2,P3,P4に対して最短距離となるワ
ークＷの４つの点W1、W2、W3、W4の座標を求め、この座
標をワークＷの４つの角部と判断し、この角部の座標か
らワークの中心点W0と傾き角度θ０とを求め、中心点W0
と傾き角度θ０のズレの量に応じてワークＷの位置を補
正するようにしている。
このため、ワークＷの位置ズレの基準を簡単に決定す
ることができる。
ることができる。
また、ワークＷの位置補正は、中心点の位置合わせと
傾きの修正動作によって行うことになるため、ワークＷ
の辺に凹凸があったり、ワークＷの隣接する２辺が直角
となっていない場合であっても、誤差のないワークの補
正及び設置が可能になる。
傾きの修正動作によって行うことになるため、ワークＷ
の辺に凹凸があったり、ワークＷの隣接する２辺が直角
となっていない場合であっても、誤差のないワークの補
正及び設置が可能になる。
しかも、ワークＷの傾き角θ０を求める場合には、対
向するワークＷの２つの辺のそれぞれの傾き角度θ1,θ
２を検出し、これらの角度の平均値（θ１＋θ２）/2を
採るようにしたので、第６図（ｄ）に示すように、対向
する辺が平行となっていない場合に、ワークを一方に偏
らせることがなく、誤差の少ない位置合わせが可能にな
る。
向するワークＷの２つの辺のそれぞれの傾き角度θ1,θ
２を検出し、これらの角度の平均値（θ１＋θ２）/2を
採るようにしたので、第６図（ｄ）に示すように、対向
する辺が平行となっていない場合に、ワークを一方に偏
らせることがなく、誤差の少ない位置合わせが可能にな
る。
とこで、以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
第１図は、本発明の一実施例を示す装置の回路図であ
って、図中符号１は、チャック２により支持されたワー
クＷの一面を撮像する撮像器で、この撮像器１は、ワー
クＷを撮像してその画像情報をパターン認識回路３に出
力するように構成されている。
って、図中符号１は、チャック２により支持されたワー
クＷの一面を撮像する撮像器で、この撮像器１は、ワー
クＷを撮像してその画像情報をパターン認識回路３に出
力するように構成されている。
パターン認識回路３は、第２図に示すような矩形状の
撮像領域Ａに設置したワークＷの位置を座標化する回路
で、この回路３は、ワークＷの存在位置を座標（X,Y）
により表してそのパターンデータを出力するように構成
されている。
撮像領域Ａに設置したワークＷの位置を座標化する回路
で、この回路３は、ワークＷの存在位置を座標（X,Y）
により表してそのパターンデータを出力するように構成
されている。
４は、ワークＷ四隅の角部の座標を抽出するワーク角
部座標抽出回路で、このワーク角部座標抽出回路４は、
パターン認識回路３の座標データを入力して、第２図に
示すような撮像領域Ａの４つの角部P1（X1,Y1）、P2（X
2,Y2）、P3（X3,Y3）、P4（X4,Y4）に対して最短距離と
なるワークＷの４つの点W1（x1,y1）、W2（x2,y2）、W3
（x3,y3）、W4（x4,y4）を求め、これらの点W1、W2、
W3、W4をワークＷの４つの角部の座標として決定するよ
うに構成されている。
部座標抽出回路で、このワーク角部座標抽出回路４は、
パターン認識回路３の座標データを入力して、第２図に
示すような撮像領域Ａの４つの角部P1（X1,Y1）、P2（X
2,Y2）、P3（X3,Y3）、P4（X4,Y4）に対して最短距離と
なるワークＷの４つの点W1（x1,y1）、W2（x2,y2）、W3
（x3,y3）、W4（x4,y4）を求め、これらの点W1、W2、
W3、W4をワークＷの４つの角部の座標として決定するよ
うに構成されている。
５は、ワーク角部座標抽出回路４の出力データに基づ
いてワークＷの中心点W0を求めるワーク中心点演算回路
で、このワーク中心点演算回路４は、ワークＷの角部の
座標W1、W2、W3、W4のｘ座標の和（x1＋x2＋x3＋x4）を
４で除算してワークの中心点W0のＸ座標を算出するとと
もに、各Ｙ座標の和（y1＋y2＋y3＋y4）を４で除算して
ワークの中心点W0のｙ座標を演算し、これらにより求め
た座標（x0,y0）をワークＷの中心点W0とするように構
成されている。
いてワークＷの中心点W0を求めるワーク中心点演算回路
で、このワーク中心点演算回路４は、ワークＷの角部の
座標W1、W2、W3、W4のｘ座標の和（x1＋x2＋x3＋x4）を
４で除算してワークの中心点W0のＸ座標を算出するとと
もに、各Ｙ座標の和（y1＋y2＋y3＋y4）を４で除算して
ワークの中心点W0のｙ座標を演算し、これらにより求め
た座標（x0,y0）をワークＷの中心点W0とするように構
成されている。
６は、ワーク角部座標抽出回路４の出力データに基づ
いてワークＷの傾き角度を求めるワーク傾き角度演算回
路で、この回路６は、第２図に示す矩形状撮像領域Ａの
うちの上辺を基準線L1となし、ワークＷの４つの角部
W1、W2、W3、W4のうち、基準線L1に近い２つの角部の座
標W1、W2を直線で結んで基準線L1に対する角度θ１を演
算するとともに、他の２つの角座標W3、W4を直線で結ん
で基準線L1に対する角度θ２を演算し、２つの角度θ1,
θ２の平均値（θ１＋θ２）/2をワークＷの傾き角度θ
０とするように構成されている。
いてワークＷの傾き角度を求めるワーク傾き角度演算回
路で、この回路６は、第２図に示す矩形状撮像領域Ａの
うちの上辺を基準線L1となし、ワークＷの４つの角部
W1、W2、W3、W4のうち、基準線L1に近い２つの角部の座
標W1、W2を直線で結んで基準線L1に対する角度θ１を演
算するとともに、他の２つの角座標W3、W4を直線で結ん
で基準線L1に対する角度θ２を演算し、２つの角度θ1,
θ２の平均値（θ１＋θ２）/2をワークＷの傾き角度θ
０とするように構成されている。
なお、基準線L1は、第４図に示すように、ワークＷを
搬送しようとする設置領域Ｂに設けた基準線LBと平行に
なるように設定されている。
搬送しようとする設置領域Ｂに設けた基準線LBと平行に
なるように設定されている。
７は、撮像領域Ａの中心点Ｏの座標を求める撮像領域
中心点演算回路で、この演算回路７はパターン認識回路
３のデータを入力し、第２図に示す撮像領域Ａの４つの
角部の座標P1（X1,Y1）、P2（X2,Y2）、P3（X3,Y3）、P
4（X4,Y4）のＸ座標とＹ座標の平均値を算出して中心点
（X0,Y0）を求めるように構成されている。
中心点演算回路で、この演算回路７はパターン認識回路
３のデータを入力し、第２図に示す撮像領域Ａの４つの
角部の座標P1（X1,Y1）、P2（X2,Y2）、P3（X3,Y3）、P
4（X4,Y4）のＸ座標とＹ座標の平均値を算出して中心点
（X0,Y0）を求めるように構成されている。
８は、チャック２によって設置領域Ｂに搬送されるワ
ークＷの位置ズレを補正する補正回路で、この回路８
は、後述するチャック駆動制御回路９に補正信号を出力
するように構成されている。例えば、ワーク中心点演算
回路６と撮像領域中心点演算回路７から入力した２つの
中心点W0,Oの座標が第３図に示すように一致していない
場合に、これらの点W0,Oが一致する量、即ち（（X0−
x0），（Y0−y0））だけワークＷの位置を補正し、ワー
クのズレをなくすように構成するとともに、ワーク中心
点演算回路５から入力した傾き角度θ０が零とならない
場合には、その傾き角度θ０が零となるようにチャック
２を移動してワークＷの位置を補正するように構成され
ている。
ークＷの位置ズレを補正する補正回路で、この回路８
は、後述するチャック駆動制御回路９に補正信号を出力
するように構成されている。例えば、ワーク中心点演算
回路６と撮像領域中心点演算回路７から入力した２つの
中心点W0,Oの座標が第３図に示すように一致していない
場合に、これらの点W0,Oが一致する量、即ち（（X0−
x0），（Y0−y0））だけワークＷの位置を補正し、ワー
クのズレをなくすように構成するとともに、ワーク中心
点演算回路５から入力した傾き角度θ０が零とならない
場合には、その傾き角度θ０が零となるようにチャック
２を移動してワークＷの位置を補正するように構成され
ている。
上記したチャック駆動制御回路９は、チャック２を駆
動する駆動器10を制御するものであって、この制御回路
９によって制御された駆動器10は、一方のトレイ11上の
ワークＷをチャック２に吸着させ、この状態でワークＷ
を他方のトレイ12まで移動させ、目標位置Ｂに置かれた
ソケットＳにワークＷを装着するように構成されてい
る。また、このチャック駆動制御装置９は、補正回路８
の補正データを入力してその補正量に従って、チャック
２の終点位置を修正したり、ワークＷの傾き角度θが零
となる位置までチャック２を移動させるように構成され
ている。
動する駆動器10を制御するものであって、この制御回路
９によって制御された駆動器10は、一方のトレイ11上の
ワークＷをチャック２に吸着させ、この状態でワークＷ
を他方のトレイ12まで移動させ、目標位置Ｂに置かれた
ソケットＳにワークＷを装着するように構成されてい
る。また、このチャック駆動制御装置９は、補正回路８
の補正データを入力してその補正量に従って、チャック
２の終点位置を修正したり、ワークＷの傾き角度θが零
となる位置までチャック２を移動させるように構成され
ている。
次に、上記した実施例の作用を説明する。
上記した実施例において、チャック２によって一方ト
レイ11からワークＷを持ち上げて、他方のトレイ12に搬
送する搬送経路において、撮像器１はワークＷを撮像す
ることになる。
レイ11からワークＷを持ち上げて、他方のトレイ12に搬
送する搬送経路において、撮像器１はワークＷを撮像す
ることになる。
また、パターン認識回路３は、撮像器１の画像情報に
基いてワークＷの存在する座標を決定することになる。
基いてワークＷの存在する座標を決定することになる。
ついで、ワーク角部座標抽出回路４は、ワークＷの四
隅の角部の点座標W1,W2,W3,W4をパターン認識回路３の
座標情報に基づいて決定する。また、ワーク傾き角度演
算回路６は、ワークＷの角部の点座標W1,W2,W3,W4に基
づいてワークの傾き角度θ０を求める一方、ワーク中心
点演算回路５は、ワークＷの中心点W0を求めることにな
り、ワークＷの傾き角度θ０及び中心点W0の座標データ
が補正回路８に出力されることになる。
隅の角部の点座標W1,W2,W3,W4をパターン認識回路３の
座標情報に基づいて決定する。また、ワーク傾き角度演
算回路６は、ワークＷの角部の点座標W1,W2,W3,W4に基
づいてワークの傾き角度θ０を求める一方、ワーク中心
点演算回路５は、ワークＷの中心点W0を求めることにな
り、ワークＷの傾き角度θ０及び中心点W0の座標データ
が補正回路８に出力されることになる。
さらに、撮像領域中心点演算回路７は、撮像領域Ａの
中心点Ｏの座標データを補正回路８に出力する。
中心点Ｏの座標データを補正回路８に出力する。
従って、補正回路８は、ワークＷの傾き角度θ０及び
中心点W0と、撮像領域Ａの中心点Ｏの座標データを入力
し、そのデータに基づいてチャック駆動器制御回路９の
チャック移動データを補正することになる。即ち、ワー
クＷの傾き角度θ０が零となっていない場合には、チャ
ック駆動制御回路９を介してチャック２を移動、回動さ
せて、ワークＷの傾き角度θ０を零となし、また、撮像
領域Ａの中心点ＯとワークＷの中心点W0とが一致しない
場合には、それらの中心点O,W0が一致する量だけチャッ
ク２の位置を修正することになる。さらに、傾き角度θ
０が零となり、かつ、２つの中心点O,W0が一致する場合
には、駆動器制御回路９は補正されないデータに基づい
てチャック２を設置位置Ｂまで移動させて、ワークＷを
ソケットＳ等に載置することになる。
中心点W0と、撮像領域Ａの中心点Ｏの座標データを入力
し、そのデータに基づいてチャック駆動器制御回路９の
チャック移動データを補正することになる。即ち、ワー
クＷの傾き角度θ０が零となっていない場合には、チャ
ック駆動制御回路９を介してチャック２を移動、回動さ
せて、ワークＷの傾き角度θ０を零となし、また、撮像
領域Ａの中心点ＯとワークＷの中心点W0とが一致しない
場合には、それらの中心点O,W0が一致する量だけチャッ
ク２の位置を修正することになる。さらに、傾き角度θ
０が零となり、かつ、２つの中心点O,W0が一致する場合
には、駆動器制御回路９は補正されないデータに基づい
てチャック２を設置位置Ｂまで移動させて、ワークＷを
ソケットＳ等に載置することになる。
以上述べたように本発明によれば、矩形状ワークを配
置する撮像領域を矩形となし、この撮像領域の４つの角
部に対して最短距離となるワークの４つの点の座標を求
め、この座標をワークの４つの角部と判断し、この角部
の座標からワークの中心点と傾き角度とを求め、中心点
と傾き角度のズレの量に応じてワークの位置を補正する
ようにしている。
置する撮像領域を矩形となし、この撮像領域の４つの角
部に対して最短距離となるワークの４つの点の座標を求
め、この座標をワークの４つの角部と判断し、この角部
の座標からワークの中心点と傾き角度とを求め、中心点
と傾き角度のズレの量に応じてワークの位置を補正する
ようにしている。
このため、ワークのズレの基準を簡単に決定すること
が可能になる。
が可能になる。
また、ワークの位置補正は、中心点の位置合わせと傾
きの修正動作によって行うことになるため、ワークの辺
に凹凸があったり、ワークの隣接する２辺が直角となっ
ていない場合であっても、誤差のないワークの補正及び
設置が可能になる。
きの修正動作によって行うことになるため、ワークの辺
に凹凸があったり、ワークの隣接する２辺が直角となっ
ていない場合であっても、誤差のないワークの補正及び
設置が可能になる。
しかも、ワークの傾き角を求める場合には、対向する
ワークの２つの辺のそれぞれの傾き角度を検出し、これ
らの角度の平均値を採るようにしたので、第６図（ｄ）
に示すように、対向する辺が平行となっていない場合
に、ワークを一方に偏らせることがなく、誤差の少ない
位置合わせが可能になる。
ワークの２つの辺のそれぞれの傾き角度を検出し、これ
らの角度の平均値を採るようにしたので、第６図（ｄ）
に示すように、対向する辺が平行となっていない場合
に、ワークを一方に偏らせることがなく、誤差の少ない
位置合わせが可能になる。
【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明の一実施例を示す装置の概要構成図、 第２図は、本発明における撮像状態の一例を示す平面
図、 第３図は、本発明の位置ズレの補正例を示す平面図、 第４図は、本発明の撮像領域とワーク設置位置の関係を
示す平面図、 第５図は、従来装置の位置ズレの補正例を示す平面図、 第６図は、ワークの一例を示す平面図である。 （符号の説明） １……撮像器、 ２……チャック、 ３……パターン認識回路、 ４……ワーク角部座標抽出回路、 ５……ワーク中心点演算回路、 ６……ワーク傾斜角度演算回路、 ７……撮像領域中心点演算回路、 ８……補正回路、 ９……駆動器制御回路、 10……駆動器。
図、 第３図は、本発明の位置ズレの補正例を示す平面図、 第４図は、本発明の撮像領域とワーク設置位置の関係を
示す平面図、 第５図は、従来装置の位置ズレの補正例を示す平面図、 第６図は、ワークの一例を示す平面図である。 （符号の説明） １……撮像器、 ２……チャック、 ３……パターン認識回路、 ４……ワーク角部座標抽出回路、 ５……ワーク中心点演算回路、 ６……ワーク傾斜角度演算回路、 ７……撮像領域中心点演算回路、 ８……補正回路、 ９……駆動器制御回路、 10……駆動器。
Claims (1)
- 【請求項１】矩形の撮像領域内に置かれた矩形状ワーク
の座標を求める回路と、 該回路により決定された上記ワークの座標のうち、上記
撮像領域の４つの角部に対して最短距離となる上記ワー
クの４つの点の座標を求め、該座標をワークの四隅の角
部と決定する回路と、 該回路によって求められた上記ワークの４つの角部の座
標に基づいて上記ワークの中心点を求める回路と、 上記撮像領域のうちの一辺を基準線となし、該基準線に
近い上記ワークの上記角部の２点を結ぶ直線が該基準線
との間で形成する角度と、上記ワークの他の２点を結ぶ
直線が該基準線との間で形成する角度を求め、該２つの
角度の平均値を算出して上記ワークの傾き角度となす回
路と、 上記ワークの上記中心点と、上記ワークの上記傾き角度
に基づいて位置ズレを検知し、上記ワークの位置を補正
する回路とを備えたことを特徴とするワーク設定位置補
正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541089A JP2739181B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | ワーク設定位置補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20541089A JP2739181B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | ワーク設定位置補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0368145A JPH0368145A (ja) | 1991-03-25 |
| JP2739181B2 true JP2739181B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=16506384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20541089A Expired - Fee Related JP2739181B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | ワーク設定位置補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2739181B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005142388A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Nidec Tosok Corp | 偏芯補正装置 |
-
1989
- 1989-08-07 JP JP20541089A patent/JP2739181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0368145A (ja) | 1991-03-25 |
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