JP2005142388A - 偏芯補正装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 コレットの偏芯を補正することができる偏芯補正装置を提供する。
【解決手段】 CCDカメラでホームポジジョンのコレット先端の画像を取得して表示(S3)、この回転前取込画像のカーソルをチップ吸着面の中心に合わせることで、回転前中心位置を入力する(S6)。次に、0度位置のコレットを180度位置まで回動し(S7)、CCDカメラで取得した回転後取込画像をモニターに表示するとともに、表示されたカーソルをチップ吸着面の中心に合わせることで、回転後中心位置を入力する(S8)。そして、各中心位置から仮想円を求めてコレットホルダの回転中心を算出するとともに、回転前中心位置と回転後中心位置におけるX方向ズレ量とY方向ズレ量とを算出した後、これらをボンディング座標に換算して偏芯補正量を演算し、この偏芯補正量でボンディング座標を補正する。
【選択図】 図3
【解決手段】 CCDカメラでホームポジジョンのコレット先端の画像を取得して表示(S3)、この回転前取込画像のカーソルをチップ吸着面の中心に合わせることで、回転前中心位置を入力する(S6)。次に、0度位置のコレットを180度位置まで回動し(S7)、CCDカメラで取得した回転後取込画像をモニターに表示するとともに、表示されたカーソルをチップ吸着面の中心に合わせることで、回転後中心位置を入力する(S8)。そして、各中心位置から仮想円を求めてコレットホルダの回転中心を算出するとともに、回転前中心位置と回転後中心位置におけるX方向ズレ量とY方向ズレ量とを算出した後、これらをボンディング座標に換算して偏芯補正量を演算し、この偏芯補正量でボンディング座標を補正する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、ロータリーヘッドに取り付けられたコレットの偏芯を補正する偏芯補正装置に関する。
従来、ウエハリングに支持されたチップをリードフレームへ移送してボンディングする際には、ボンディング装置が用いられていた。
このボンディング装置は、ロータリーヘッドを備えており、該ロータリーヘッドを前記ウエハリングと前記リードフレーム間で往復移動するように構成されている。このロータリーヘッドには、前記チップを吸着するコレットが交換自在に取り付けられており、前記ウエハリングからチップをピックアップした状態で前記コレットを0度位置から180度位置へ回動することで、前記チップを回転してリードフレームに載置できるように構成されている。
このボンディング装置において、前記ロータリーヘッドと前記コレットとに偏芯が生じた際には、前記チップの移送位置とボンディング位置とに位置ズレが生じてしまう。これを防止する為に、リードフレームにシリコンテープを貼着してコレットによる圧痕を付け、この圧痕位置の傾向から前記ロータリーヘッドの移動位置を修正する方法が考えられるが、ヒートブロックが設けられた搬送路上のリードフレームは、400℃近くに達するため、シリコンテープが溶けてしまし、この補正方法は実用的では無い。
このため、ボンディングされたチップの画像を取得してズレ量を算出するとともに、このズレ量から予測されるボンディング位置を演算し、該演算量を用いて前記ロータリーヘッドの移動先を、その都度補正していた。
しかしながら、近年においては、僅かな偏芯による位置ずれの影響も無視できなくなっており、偏芯を正確に補正する要求が高まっている。
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、コレットの偏芯を補正することができる偏芯補正装置を提供することを目的とするものである。
前記課題を解決するために本発明のボンダの偏芯補正装置にあっては、先端でチップをピックアップするコレットが回動自在に保持されたヘッドを備え、前記コレットがピックアップしたチップをボンディング位置へ移送する際に、前記ヘッドをボンディング座標が示す位置へ移動するとともに、基準角度にある前記コレットを所定角度回動して前記チップの向きを変更するボンダの偏芯補正装置において、前記基準角度にある前記コレット先端の画像を所定位置にて取得するコレット画像取得手段と、該コレット画像取得手段で取得された画像を用いて前記コレットの中心位置を定める中心位置決定手段と、前記コレットを前記基準角度から前記所定角度回動するコレット回動手段と、該コレット回動手段で前記コレットを回動した後に前記コレット先端の画像を取得する回動後画像取得手段と、該回動後画像取得手段で取得された画像を用いて回転後の前記コレットの中心位置を定める回動後中心位置決定手段と、前記中心位置決定手段で定められた回転前中心位置及び前記回動後中心位置決定手段で定められた回転後中心位置のズレ量を算出するズレ量算出手段と、前記コレットでピックアップしたチップを前記回転角度回転して前記ボンディング位置へ移送する際に、前記ズレ量を用いて前記ボンディング座標を補正する補正手段と、を備えている。
すなわち、コレットの偏芯を補正する際には、基準角度にあるコレット先端の画像を取得し、この画像を用いてコレットの中心位置を定めるとともに、前記コレットを所定角度回動してから当該コレット先端の画像を取得し、この画像を用いて回転後のコレットの中心位置を定める。そして、回転前の画像から得られた回転前中心位置と、回転後の画像から得られた回転後中心位置とのズレ量を算出し、コレットでピックアップしたチップを前記回転角度回転してボンディング位置へ移送する際に、算出された前記ズレ量を用いてボンディング座標を補正する。
これにより、回転軸とコレットとの偏芯が補正され、偏芯に起因したチップ移送先での位置ずれが防止される。
以上説明したように本発明のボンダの偏芯補正装置にあっては、コレットの偏芯を直接補正することで、回転軸とコレットとの偏芯に起因したチップ移送先での位置ずれを防止することができる。これにより、偏芯による僅かな位置ずれも防止することができ、ボンディング位置精度を高めることができる。
また、ボンディングされたチップの画像を取得し、その都度ズレを補正していた従来と比較して、ボンディング時での補正処理が不要となる。
そして、前記コレットには、取付誤差等によって偏芯が生じることがあり、この偏芯は、コレットを交換する度に変動する。しかし、回転前のコレット先端位置と回転後のコレット先端位置とからズレ量を算出して補正量とするため、コレット交換毎に生ずる偏芯に起因した不具合も解消することができる。
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図1は、本実施の形態にかかる偏芯補正装置1を示す図であり、該偏芯補正装置1は、ウエハシート2上のチップ3,・・・を、搬送路4上のリードフレーム5へ移送してボンディングするダイボンダ6の制御装置である。
すなわち、このダイボンダ6は、前記チップ3をピックアップするピックアップ位置と前記リードフレーム5に設定されたボンディング位置との間で往復移動されるロータリーヘッド11を備えており、該ロータリーヘッド11は、図外の駆動装置に設定された座標に従ってX−Y−Z方向へ駆動されるように構成されている。
前記ロータリーヘッド11は、コレット21を交換自在に保持するコレットホルダ22を備えており、該コレットホルダ22を回転制御することで、取り付けられたコレット21を回動できるように構成されている。該コレット21は、先端部が先細りした円筒形状に形成されており、上下に貫通するバキューム穴23が設けられている。該バキューム穴23には、負圧が供給されるように構成されており、先端24に生じる負圧によって前記チップ3を吸着して保持できるように構成されている。
これにより、前記ダイボンダ6は、ピックアップ座標の対象チップ3をコレット21でピックアップしてボンディング位置へ移送できるように構成されており、前記コレット21でピックアップしたチップ3をボンディング位置へ移送する際には、前記ロータリーヘッド11をボンディング座標が示す位置へ移動するとともに、コレットホルダ22を回転して基準角度である0度位置にあるコレット21を所定角度である180度位置まで回動することにより、前記チップ3の向きを180度回転して前記リードフレーム5上に載置できるように構成されている。
前記コレットホルダ22内部には、発光ダイオード等からなる光源31が設けられており、該光源31からの光を前記コレット21のバキューム穴23を介して、コレット21先端24より外部へ投光できるように構成されている。
また、前記ピックアップ位置と前記ボンディング位置との中間位置には、ホームポジション41が設定されており、該ホームポジション41には、上部に配置されたコレット21先端を真下から投影するミラー42が設けられている。そして、このダイボンダ6は、CCDカメラ43を備えており、前記ミラー42に投影された前記コレット21先端24の像を取得できるように構成されている。
ここで、前記コレット21の先端24の画像を取得する方法としては、前記コレット21を真下から撮影するCCDカメラ43を前記ホームポジジョン41に直に設置しても良い。
以上の構成にかかる本実施の形態を、図3及び図4に示すフローチャートに従って説明する。
すなわち、テーチング処理実行時には、基準角度である0度位置にあるコレット21が図1のミラー42又は図2のCCDカメラ43上に位置したホームポジジョン41にあるか否かを判断し(S1)、ホームポジジョン41に無い場合には、前記ロータリーヘッド11を駆動して前記コレット21を前記ホームポジジョン41へ移動する(S2)。そして、前記CCDカメラ43でコレット21先端24の画像を取得して、図5に示すように、取得した回転前取込画像51をモニターに表示する(S3)。
このとき、この回転前取込画像51において、コレット21の先端24が構成するチップ吸着面55を認識できるか否かを判断し(S4)、認識できない場合には、コレットホルダ22内の光源31を点灯して、CCDカメラ43による前記回転前取込画像51の再取込を行う(S5)。そして、偏芯補正装置1に接続されたマウスやキーボードからの入力によって前記回転前取込画像51に表示された+状のカーソル61を移動し、該カーソル61の交差点を前記チップ吸着面55の中心に合わせることで回転前中心位置62を設定入力し、この座標を記憶する(S6)。
次に、前記ホームポジジョン41において、前記コレットホルダ22を回転駆動して0度位置にある前記コレット21を180度位置まで回動した後(S7)、前記CCDカメラ43でコレット21先端24の画像を取得して、図6に示すように、取得した回転後取込画像71をモニターに表示するとともに、前記マウスやキーボードからの入力により前記回転後取込画像71に表示された+状のカーソル61を移動し、該カーソル61の交差点を前記チップ吸着面55の中心に合わせることで回転後中心位置72を設定入力し、この座標を記憶する(S8)。
そして、予め設定された位置入力点数の設定値が2を越えているか否かを判断し(S9)、2以下の場合には、ステップS12へ分岐する一方、2を越えている場合には、次ステップへ進んでコレット位置入力処理を設定数行う。
このコレット位置入力処理は、前記コレット21を例えば90度正転あるいは反転する処理と(S10)、コレット21回動毎にCCDカメラ43による画像の取込んでチップ吸着面55の中心位置を設定入力する処理(S11)とを、前記設定値から2を減算した回数分繰り返すルーチンであり、この繰り返し回数、すなわち前記設定値を大きくすることで、テーチング精度を高める効果がある。
そして、前記ステップS12においては、設定入力された前記各中心位置62,72から仮想円81を求めて前記コレットホルダ22の回転中心82を算出するとともに、0度位置にある回転前中心位置62と各中心位置72において、画面上横方向であるX方向ズレ量83と、画面上縦方向であるY方向ズレ量84とを算出した後、これらをボンディング座標に換算して偏芯補正量を演算する。そして、この偏芯補正量を保存して(S13)、メインルーチンへ戻る。
図7は、ダイボンダ6によるボンディングを行う際に実行される装置稼動処理を示す図であり、次の各ステップをボンディングが終了するまで繰り返し実行する。
すなわち、ロータリーヘッド11をピックアップ座標に従ってピックアップ位置へ移動してコレット21でチップ3をピックアップし(SB1)、予め設定された設定された回転角度(180度)でコレットホルダ22を回転駆動して0度位置にあるコレット21を180度位置まで回動し(SB2)、前記ティーチング処理において、当該回転角度(180度)に応じて演算された偏芯補正値を読み出す(SB3)。つまり、前記回転角度が180度の場合、0度位置にある回転前中心位置62と180度位置にある回転後中心位置72とにおけるX方向ズレ量83及びY方向ズレ量84からなる偏芯補正量を呼び出し、予め設定されたボンディング座標のX値に前記X方向ズレ量83を加えるととも、Y値に前記Y方向ズレ量84を加えることによって、前記ボンディング座標を補正する(SB4)。
そして、この補正されたボンディング座標に従って前記ロータリーヘッド11を移動して(SB5)、コレット21に保持されたチップ3をリードフレーム5上に載置してボンディングを行い(SB6)、ボンディングが終了するまで前記各ステップSB1〜SB6を繰り返した後に、メインルーチンへ戻る。
このように、前記コレット21の偏芯を直接補正することで、コレットホルダ22の回転軸とコレット21との偏芯に起因したチップ3移送先での位置ずれを防止することができる。これにより、偏芯による僅かな位置ずれも防止することができ、ボンディング位置精度を高めることができる。
また、ボンディングされたチップの画像を取得し、その都度ズレを補正していた従来と比較して、ボンディング時での補正処理が不要となる。
そして、前記コレット21には、コレットホルダ22への取付誤差等によって偏芯が生じることがあり、この偏芯は、コレット21を交換する度に変動する。しかし、回転前のコレット21先端24位置と回転後のコレット21先端24位置とから各ズレ量83,84を算出して偏芯補正量とするため、コレット21交換毎に生ずる偏芯に起因した不具合も解消することができる。
1 偏芯補正装置
3 チップ
6 ダイボンダ
11 ロータリーヘッド
21 コレット
43 CCDカメラ
51 回転前取込画像
62 回転前中心位置
71 回転後取込画像
62 回転後中心位置
82 X方向ズレ量
83 Y方向ズレ量
3 チップ
6 ダイボンダ
11 ロータリーヘッド
21 コレット
43 CCDカメラ
51 回転前取込画像
62 回転前中心位置
71 回転後取込画像
62 回転後中心位置
82 X方向ズレ量
83 Y方向ズレ量
Claims (1)
- 先端でチップをピックアップするコレットが回動自在に保持されたヘッドを備え、前記コレットがピックアップしたチップをボンディング位置へ移送する際に、前記ヘッドをボンディング座標が示す位置へ移動するとともに、基準角度にある前記コレットを所定角度回動して前記チップの向きを変更するボンダの偏芯補正装置において、
前記基準角度にある前記コレット先端の画像を所定位置にて取得するコレット画像取得手段と、
該コレット画像取得手段で取得された画像を用いて前記コレットの中心位置を定める中心位置決定手段と、
前記コレットを前記基準角度から前記所定角度回動するコレット回動手段と、
該コレット回動手段で前記コレットを回動した後に前記コレット先端の画像を取得する回動後画像取得手段と、
該回動後画像取得手段で取得された画像を用いて回転後の前記コレットの中心位置を定める回動後中心位置決定手段と、
前記中心位置決定手段で定められた回転前中心位置及び前記回動後中心位置決定手段で定められた回転後中心位置のズレ量を算出するズレ量算出手段と、
前記コレットでピックアップしたチップを前記回転角度回転して前記ボンディング位置へ移送する際に、前記ズレ量を用いて前記ボンディング座標を補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする偏芯補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003377887A JP2005142388A (ja) | 2003-11-07 | 2003-11-07 | 偏芯補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003377887A JP2005142388A (ja) | 2003-11-07 | 2003-11-07 | 偏芯補正装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005142388A true JP2005142388A (ja) | 2005-06-02 |
Family
ID=34688455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003377887A Pending JP2005142388A (ja) | 2003-11-07 | 2003-11-07 | 偏芯補正装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2005142388A (ja) |
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2003
- 2003-11-07 JP JP2003377887A patent/JP2005142388A/ja active Pending
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