JP2000068696A - 部品認識装着装置及び部品認識方法 - Google Patents

部品認識装着装置及び部品認識方法

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JP2000068696A JP10239799A JP23979998A JP2000068696A JP 2000068696 A JP2000068696 A JP 2000068696A JP 10239799 A JP10239799 A JP 10239799A JP 23979998 A JP23979998 A JP 23979998A JP 2000068696 A JP2000068696 A JP 2000068696A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、部品認識カメラを用いることな
く、効率よく部品を所定の装着位置へ装着することが可
能な部品認識装着装置を提供する。 【解決手段】 部品50を搭載する基板の位置を検出す
る基板認識カメラ45と、前記作業塔10に設けた異な
るθ軸角度のときの部品底面の斜め下方向からの複数の
2次元画像を撮像する部品撮像手段20と、部品撮像手
段20からの複数の2次元画像と、部品吸着時の部品吸
着ヘッド18のθ軸角度情報とを基に前記部品吸着時の
X,Y軸方向、θ軸方向の偏差と、部品底面の高さの偏
差とを求める画像情報処理手段と、基板の位置の検出結
果と、前記各偏差に基づいて、前記基板の停止ずれに応
じた位置補正、作業塔10のX,Y軸方向の位置補正、
部品吸着ヘッド18のZ軸、θ軸方向の位置補正を行っ
てこの基板の所定位置に部品50を装着させる駆動制御
手段とを有するものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品をプリン
ト基板等に装着する際に使用する部品認識装着装置及び
部品認識方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、装置内に搬入されるプリント
回路基板(以下単に基板という)の上方の作業空間を前
後(Y軸方向)左右(X軸方同)に自在に移動する作業
ユニットに、上下(Z軸方向)および回転(θ軸方向)
が自在にできる作業ヘッドを備えて、この作業ヘッドに
より主にチップ状電子部品(以下、単に部品という)を
基板に装着するワンバイワン方式の部品装着装置が存在
している。
【0003】この部品装着装置において、前記作業ヘッ
ドは、その先端に着脱自在に吸着ノズルを装着し、その
吸着ノズルで部品供給位置から部品を吸着し、この吸着
した部品を下方から装置本体に固定された認識カメラで
撮像し、撮像した画像に基づいて中央処理部が部品の吸
着位置ズレ(姿勢の偏差)を検出して、部品の軸線と基
準線とに偏差(角度偏差)があるときは作業へッドを回
転させて偏差を補正する。
【0004】また前記偏差に基づいて、作業ヘッドは、
既に精密に位置決めされて所定の位置に停止している基
板の前記位置補正を加えた部品装着位置へ移動して、そ
の部品装着位置に吸着した部品を装着する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の部品装着装置の場合、部品を吸着した後、作業
ユニットは必ず認識カメラの位置に移動し、部品を下方
から撮像し部品の情報を得てから、装着位置ヘ移動しな
くてはならない。
【0006】このため、吸着位置と装着位置とが近くて
も、吸着位置と認識カメラの位置が遠いと、部品の情報
を得るために長い距離を移動する必要があり、生産タク
トが上がらないとという問題があった。
【0007】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、部品認識カメラを用いることなく、吸着位置か
ら装着位置までの移動の途中で部品を認識し、効率よく
部品を所定の装着位置へ装着することが可能な部品認識
装着装置及び部品認識方法を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
X,Y軸方向に移動可能な作業ユニットに、Z軸、θ軸
方向に移動可能で部品を吸着する部品吸着ヘッドを備
え、所定の部品吸着位置で部品を吸着し、基板の所定位
置に部品を装着する部品認識装着装置において、部品を
搭載する基板の位置を検出する基板位置検出手段と、前
記作業ユニットに設けた異なるθ軸角度のときの部品底
面の斜め下方向からの複数の2次元画像を撮像する部品
撮像手段と、部品撮像手段からの複数の2次元画像と、
部品吸着時の部品吸着ヘッドのθ軸角度情報とを基に前
記部品吸着時のX,Y軸方向の位置の偏差及びθ軸方向
の偏差と、部品底面の高さの偏差とを求める画像情報処
理手段と、前記基板位置検出手段による基板の位置の検
出結果と、画像情報処理手段により求めた各偏差に基づ
いて、前記基板の停止ずれに応じた位置補正、作業ユニ
ットのX,Y軸方向の位置補正、部品吸着ヘッドのZ
軸、θ軸方向の位置補正を行ってこの基板の所定位置に
部品を装着させる駆動制御手段とを有することを特徴と
するものである。
【0009】この発明によれば、基板位置検出手段によ
り部品を搭載する基板の位置を検出し、前記作業ユニッ
トに設けた部品撮像手段により作業ユニットに設けた異
なるθ軸角度のときの部品底面の斜め下方向からの複数
の2次元画像を撮像し、画像情報処理手段により撮像手
段からの複数の2次元画像と、部品吸着時の部品吸着ヘ
ッドのθ軸角度情報とを基に前記部品吸着時のX,Y軸
方向の位置の偏差及びθ軸方向の偏差と、部品底面の高
さの偏差とを求めて、駆動制御手段により前記基板位置
検出手段による基板の位置の検出結果と、画像情報処理
手段により求めた各偏差に基づいて、前記基板の停止ず
れに応じた位置補正、作業ユニットのX,Y軸方向の位
置補正、部品吸着ヘッドのZ軸、θ軸方向の位置補正を
行ってこの基板の所定位置に部品を装着させるものであ
るから、部品認識カメラを用いることなく、部品吸着位
置から、直接、部品装着位置ヘ部品吸着ヘッドを移動し
て正確に基板に装着することができる。
【0010】請求項2記載の発明は、X,Y軸方向に移
動可能な作業ユニットに、Z軸、θ軸方向に移動可能で
部品を吸着する部品吸着ヘッドを備え、所定の部品吸着
位置で部品を吸着し、基板の所定位置に部品を装着する
部品認識装着装置における部品認識方法であって、前記
部品吸着ヘッドの斜め下方から部品に光を照射する照明
手段と、部品の斜め下方で部品から反射された光の向き
を変える光路変更手段と、部品の底面と平行に配置され
光路変更手段からの光を集光する光学レンズと、部品の
底面と平行でかつ光学レンズからオフセットした位置に
配置され、光学レンズから光を受光して部品の像を得る
2次元画像検出手段とからなる部品撮像手段により、異
なるθ軸角度のときの複数の画像を撮像し、この複数の
画像と部品吸着ヘッドのθ軸角度とから、部品のθ軸角
度と、X、Y位置と、部品底面の高さとを検出すること
を特徴とするものである。
【0011】この発明によれば、部品吸着ヘッドの斜め
下方から部品に光を照射し、部品の斜め下方で部品から
反射された光の向きを変え、部品の底面と平行に配置さ
れ光学レンズにより光路変更手段からの光を集光し、部
品の底面と平行でかつ光学レンズからオフセットした位
置に配置した2次元画像検出手段により光学レンズから
の光を受光して部品の像を得る部品撮像手段により異な
るθ軸角度のときの複数の画像を撮像し、この複数の画
像と部品吸着ヘッドのθ軸角度とから、部品のθ軸角度
と、X、Y位置と、部品底面の高さとを検出するもので
ある。
【0012】この結果、部品のθ軸角度、X、Y位置の
補正が可能になるとともに、部品のバラッキによる部品
底面高さの変動や、吸着ノズル先端の摩耗による部品底
面高さの変動があっても、部品底面高さを補正して安定
した高さで部品を装着することが可能となる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。
【0014】図1乃至図3は、本発明の実施の形態の部
品認識装着装置の構成を示すものである。
【0015】この部品認識装着装置は、筐体1の中央に
X軸方向に沿った基板搬送コンベア7a、7b、Y軸駆
動部15、X軸駆動部16を備え、前記基板搬送コンベ
ア7a、7bの間に基板支持部5を設けて、基板搬送コ
ンベア7a、7bにより搬送されてきた基板60は、基
板支持部5において所定の位置に固定される。
【0016】基板搬送コンベア7a、7bの両側には、
部品カセットテーブル13a、13bが配置され、ここ
に部品50をセットした部品テープを収納した部品供給
カセットが設置され、部品50の供給が行われる。
【0017】Y軸駆動部15は、筺体1に固定された一
対のY軸リニアガイド8a、8b、Y軸ケーブルコンベ
ア11、図示しないボールネジ及びY軸モータを備え、
X軸リニアガイド9をX軸部を前後方向(Y軸方向)に
自在に移動させる。
【0018】X軸駆動部16は、Y軸駆動部15に取り
付けられ、X軸リニアガイド9、X軸ケーブルコンベア
12、図示しないボールネジ及びX軸モータを備え、作
業ユニット10をX軸リニアガイド9に沿って左右方向
(X軸方向)に自在に移動させる。従って、作業ユニッ
ト10は、基板搬送コンベア7a、7b、基板支持部
5、部品カセットテーブル13a、13bの上方におい
て、前後方向及び左右方向に自在に移動可能となってい
る。
【0019】次に作業ユニット10の構成を図4に示
す。
【0020】作業ユニット10の上部には、Z軸方向に
配置された作業ヘッド21を同じくZ軸方向に配置され
たZ軸リニアガイド24に沿って上下に移動させるZ軸
モータ22が固定され、このZ軸モータ22のモータプ
ーリ22aと、作業ユニット10の側方に配置したガイ
ドプーリ25との間にZ軸ベルト26を張設している。
【0021】また、Z軸ベルト26には、作業ヘッド支
持体27の一端を連結し、この作業ヘッド支持体27の
他端側を前記Z軸リニアガイド24にスライド可能に嵌
合している。
【0022】前記作業ヘッド21の上端部は、作業ヘッ
ド支持体27に対して回転可能に支持されている。
【0023】また、作業ヘッド21の下部側には、プー
リ31を作業ヘッド21とともに回転可能にかつ作業ヘ
ッド21がZ軸方向移動可能になる状態で嵌着し、この
プーリ31の側方に配置したθ軸モータ30のモータプ
ーリ30aと前記プーリ31との間にθ軸ベルト32を
張設している。
【0024】前記作業ヘッド21の下端部には吸着ノズ
ル40を着脱自在に備え、この吸着ノズル40により部
品50を空気圧によって吸着し保持するようになってい
る。前記作業ヘッド21と、吸着ノズル40とにより部
品吸着ヘッド18を構成している。
【0025】このような作業ユニット10の構成によ
り、前記Z軸モータ22を回転させることで吸着ノズル
40はZ軸方向に移動可能であり、また、θ軸モータ3
0を回転させることでZ軸の回りに回転可能となってい
る。
【0026】前記作業ユニット10の下端部には、作業
ヘッド21により保持された吸着ノズル40が自由に通
過可能な穴部10aを設けている。
【0027】また、作業ユニット10における穴部10
aの両側には、部品撮像手段20を配置している。
【0028】この部品撮像手段20は、部品50の斜め
下方から部品底面に光を照射する照明装置41と、部品
50からの反射光を斜め上方に反射する反射鏡42と、
反射鏡42で反射された光を集光し斜め上方に配置した
2次元CCD素子44上に結像する光学レンズ43とを
具備している。
【0029】吸着ノズル40により吸着された部品50
の画像は、斜め下方にある照明装置41からの光を受
け、反対側の斜め下方にある反射鏡42で反射し、光学
レンズ43により集光されて2次元CCD素子44上に
結像する。
【0030】この時、部品50の底面、光学レンズ4
3、2次元CCD素子44は平行配置であるため、照明
装置41からの光の光路が斜めであるにもかかわらず、
部品50の底面を一部分とする平面に焦点が合い、従来
例のような部品認識カメラが部品50の真下に存在しな
いにも拘らず、部品底面の画像を撮像することができ
る。この場合、部品50の底面の画像の結像位置が光学
レンズ43の中心位置からずれるため、2次元CCD素
子44も光学レンズ43の中心からずらした位置に配置
している。
【0031】前記作業ユニット10は、さらにその下方
側壁において位置決めされた前記基板60に予め付して
いる複数個の認識マーク60aをその上方から撮像する
ための基板認識カメラ45を備えている。
【0032】図5は、部品認識装着装置の制御系統の主
要部を示すブロック図であり、この部品認識装着装置の
動作プログラムを格納しているプログラムメモリ71
と、前記動作プログラムに基づいてこの装置全体を制御
する駆動制御部70とを具備している。駆動制御部70
により部品撮像手段20における2次元CCD素子44
からの画像信号を取り込んで詳細は後述するような部品
50に関する画像情報処理を行う画像情報処理部72に
送り、さらに、駆動制御部70により、画像情報処理部
72による処理結果と前記動作プログラムとに基づいて
前記基板搬送コンベア7a、7b、Y軸駆動部25、X
軸駆動部26、θ軸モータ30、Z軸モータ22、吸着
ノズル40の駆動制御を各々行うようになっている。
【0033】次に前記画像情報処理部72における撮像
した画像からの部品位置の検出方法について説明する。
【0034】一回目の撮像によって得られた画像から、
既知のアルゴリズムを用いて部品50の画像に対する傾
きを求め、θ軸の偏差として出力する。
【0035】次に、図6に示すように、1回目の撮像に
よって得られた画像から得られる部品像50aの重心を
a、この時のθ軸の角度をθaとし、2回目の撮像によ
って得られた画像から得られる部品像50aの重心を
b、この時のθ軸の角度をθbとする。 θ軸の回転中
心をcとすると、線分acと線分bcの長さは等しく、
角acbの角度はθb−θaとなる。
【0036】これから画像情報処理部72は、θ軸の回
転中心の位置cを算出し、回転中心の位置cを基準とし
て、この回転中心の位置cからの距離を部品位置のθ軸
の回転中心からの偏差として出力する。
【0037】次に画像情報処理部72による部品底面の
高さの検出方法について説明する。図4に示すように、
2次元CCD素子44に結像した画像は、部品50から
斜め下方に反射した光が光学レンズ43を経て斜め上方
の光路をとって結像したものである。
【0038】これに対し、作業ヘッド21は、垂直(Z
方向)方向に上下動するため、2次元CCD素子44に
結像され、上記の方法によって得られるθ軸の回転中心
の像は、認識した部品底面の高さによって図7に示すよ
うに例えば横方向に直線的な軌跡を描く。即ち、基準と
して部品底面高さEの時のθ軸回転中心の像をeとし、
部品底面高さFの時のθ軸回転中心の像をfとする。
【0039】この時、部品底面高さE、Fの差分に応じ
てθ軸回転中心の像e、fの差分は一定の割合で変化す
るため、画像情報処理部72により、θ軸回転中心の像
e、fの差分を基準とする部品底面高さEからの高さ方
向の偏差として出力する。
【0040】次に、上述した部品認識装着装置におい
て、カセットテーブル13a又は13b上の部品供給カ
セットに収納された部品テープにセットされている部品
50を吸着し、所定の角度で基板60の装着位置に装着
する動作を説明する。
【0041】まず、基板60が基板搬送コンベア7a、
7bにより、基板支持部5へと運ばれる。この基板60
は、基板支持部5で精密に位置決めされ、所定の位置に
停止する。
【0042】作業ユニット10は、基板60上に移動
し、基板認識カメラ45により基板60に予め付してい
る基板認識マーク60aを2つ以上撮像する。これによ
り、駆動制御部70は、基板60の停止ずれ量を算出
し、基板60の位置補正量とする。
【0043】次に、駆動制御部70は作業ユニット10
を部品カセットテーブル13a上の部品供給カセットの
上方に移動し、Z軸モータ22を回転させて吸着ノズル
40を降下させ、部品テープから部品50を吸着する。
【0044】次に、駆動制御部70はZ軸モータ22を
反対方向に回転させ、吸着ノズル40を上昇させ、部品
50が部品供給カセットから完全に出た時点で、θ軸モ
ータ23により作業ヘッド21、吸着ノズル40を−9
0度回転させ、回転させながらZ軸モータ22の回転で
さらに上昇させる。
【0045】部品50が移動しても、下方の物体にぶつ
からない高さまで吸着ノズル40が上昇したら、次に、
駆動制御部70の制御の基にY軸駆動部25、X軸駆動
部26により作業ユニット10を予めプログラムされ位
置決めされた基板60上の部品50用の装着位置へ向け
て移動する。
【0046】この際、部品50の上昇が完了したら、駆
動制御部70はθ軸モータ22を+60度回転させ、部
品撮像手段により+1度付近で1回目の撮像、+45度
付近で2回目の撮像を行う。
【0047】尚、ここで+90度回転させず、+60度
回転させるのは、部品テープ内の部品50の遊び量±3
0度から、回転方向の補正量が±30度になることを予
想し一方の回転方向からの位置決めのみで、位置決め精
度を上げるためである。
【0048】撮像された部品50の2つの画像は、画像
情報処理部72に送られ、画像情報処理部72はこれら
の画像の情報と、2つの画像撮像時の作業ヘッド21の
θ軸に関する角度等の事前に測定したパラメータから部
品50の吸着時の各偏差(X軸,Y軸,Z軸,θ軸の各
偏差)を算出する。
【0049】駆動制御部70は、θ軸方向の偏差に基づ
いてθ軸モータ22を回転し、部品50の回転補正と、
基板60に対する上記回転補正を加えた装着角度になる
ように吸着ノズル40を移動する。
【0050】また、駆動制御部70はX、Y軸方向の偏
差に基づいてY軸駆動部25、X軸駆動部26を制御
し、作業ユニット10の作業ヘッド21を位置決めされ
て所定位置に停止している基板60に対する位置補正を
加えた部品装着位置へ移動する。
【0051】さらに、駆動制御部70はZ軸方向の偏差
に基づいて、Z軸モータ22を回転させ装着高さ補正を
加えた高さとなる位置で、吸着ノズル40により吸着し
ている部品50を基板60に装着する。
【0052】上述したパラメータとしては、以下に述べ
る3種を挙げることができる。 (a) 撮像時のθ軸位置 (b) 部品の高さ方向の偏差を算出するためのパラメ
ータ (c) 部品のX、Y方向の偏差を算出するためのパラ
メータ
【0053】(a)は部品底面撮像の瞬間のθ軸の値で
ある。即ち、部品50の撮像は2回行い、2回目撮像時
のθ軸の位置と、1回目撮像時のθ軸の位置との差分を
用いる。このパラメータは撮像の度に変化することにな
る。
【0054】(b)は高さ方向の偏差を、画素の偏差か
ら実際のZ軸に換算した偏差に変換するためのものであ
る。即ち、2つの画像と前述の(a)のパラメータとか
ら、θ軸の中心位置が計算される。
【0055】前もって、ある部品50を吸着し、第3の
手段、例えばレーザー変位形やプローブ等を用いて、基
準となる部品底面の高さに位置決めする。さらに、前述
したような画像取り込み操作を行い、θ軸の中心を算出
しここを基準の高さとする。次に、Z軸の高さを変化さ
せた場合に、算出されるθ軸の中心が、図示していない
が画像メモリのどの位置にくるかを測定し、Z軸変位と
画像メモリ上のθ軸中心位置の関係を図示していないが
データテーブルに保管する。
【0056】そして、生産時における部品認識時には、
前記画像メモリ上のθ軸中心位置から、前記データテー
ブルを用いて部品底面の高さを算出する。
【0057】(c)はY方向の偏差を、画素の偏差から
実際のY軸に換算した偏差に変換するためのものであ
る。
【0058】前もって、部品50の中心とθ軸の中心が
十分ずれるように、ある部品50を吸着し、第3の手
段、例えばレーザー変位形やプローブ等を用いて、基準
となる部品底面の高さに位置決めする。
【0059】次に前述したような画像取り込み操作を行
い、θ軸の中心を算出し、部品像の中心との差分を求め
る。
【0060】次に装置本体のフレームに固定され部品5
0の底面を下側から撮像する図示していないが較正用の
カメラの上に部品吸着ヘッド18を移動する。そして、
θ軸が0度の時と180度の時の画像を較正用のカメラ
で撮像する。
【0061】この時、部品50の中心が、較正用カメラ
から得られるの画像の中心にくるようにX、Y軸を微調
整する。
【0062】θ軸が、0度の時に部品50の中心が較正
用カメラから得られる画像の中心にくるX、Y位置と、
θ軸が180度の時に部品50の中心が較正用カメラか
ら得られる画像の中心にくるX、Y位置の相対距離は、
θ軸中心から部品中心までの距離の2倍の値になる。
【0063】さらに、Z軸の高さを変化させ、各高さに
おける画像取り込み時の画素の偏差をX、Y軸に換算し
た偏差に変換するデータテーブルを作成する。
【0064】生産時における部品認識時には、前記画像
メモリ上のθ軸中心位置から部品中心までの偏差から、
前記データテーブルを用いて部品のX、Y方向の偏差を
算出する。
【0065】以上の各パラメータから、画像メモリ上の
偏差は、実際のX、Y、Z各軸、θ軸の偏差に変換され
る。
【0066】このようにして、本実施の形態の部品認識
装着装置によれば、吸着ノズル40による部品吸着位置
から、従来例のような別途に配置した部品認識カメラ位
置を通らず、直接、部品装着位置ヘ吸着ノズル40移動
し、装着することが可能となり、これにより、部品吸着
から部品装着までの搬送経路の短縮、搬送時間の削減が
可能となり、生産タクトが飛躍的に向上る。
【0067】また、X軸、Y軸、θ軸方向の補正に加
え、部品50の高さ方向の補正も実行でき、部品50の
バラッキによる部品底面高さの変動や、吸着ノズル40
の先端の摩耗による部品底面高さの変動があっても、安
定した高さで部品50を所定の位置に装着でき、装着不
良の発生が著しく低減する。
【0068】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、従来例の
ような作業ユニットとは別に配置した部品認識カメラを
使用することなく、部品吸着位置から、直接、部品装着
位置ヘ部品吸着ヘッドを移動し、かつ、位置補正を行っ
て正確に部品を基板に装着することができ、生産タクト
の飛躍的向上を図ることができる部品認識装着装置を提
供することができる。
【0069】請求項2記載の発明によれば、部品撮像手
段による異なるθ軸角度のときの複数の画像の撮像によ
り、部品のθ軸角度と、部品のXY位置と、部品底面の
高さとを検出し、部品のθ軸角度、部品のXY位置、部
品底面の高さの各補正を行うことが可能となり、これに
より、前記部品認識装着装置を使用して部品の装着を行
う際の生産タクトの飛躍的向上に寄与し得る部品認識方
法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の部品認識装着装置の外観
を示す斜視図である。
【図2】本実施の形態の部品認識装着装置の蓋体を取り
除いた状態を示す斜視図である。
【図3】本実施の形態の部品認識装着装置の筐体上の基
板搬送コンベア、基板支持部、カセットテーブルを示す
平面図である。
【図4】本実施の形態の部品認識装着装置の作業ヘッド
を示す概略構成図である。
【図5】本実施の形態の部品認識装着装置の制御系統の
主要部を示すブロック図である。
【図6】本実施の形態の部品認識装着装置における基板
の位置の検出方法を示す説明図である。
【図7】本実施の形態の部品認識装着装置における基板
底面の高さの検出方法を示す説明図である。
【符号の説明】
1 筐体 5 基板支持部 7a 基板搬送コンベア 7b 基板搬送コンベア 8a Y軸リニアガイド 8b Y軸リニアガイド 9 X軸リニアガイド 10 作業ユニット 10a 穴部 11 Y軸ケーブルコンベア 12 X軸ケーブルコンベア 13a 部品カセットテーブル 15 X軸駆動部 16 Y軸駆動部 18 部品吸着ヘッド 20 部品撮像手段 21 作業ヘッド 22 Z軸モータ 22a モータプーリ 24 Z軸リニアガイド 25 ガイドプーリ 26 Z軸ベルト 27 作業ヘッド支持体 30 θ軸モータ 30a モータプーリ 31 プーリ 32 θ軸ベルト 40 吸着ノズル 41 照明装置 42 反射鏡 43 光学レンズ 44 2次元CCD素子 45 基板認識カメラ 50 部品 50a 部品像 60 基板 70 駆動制御部 72 画像情報処理部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X,Y軸方向に移動可能な作業ユニット
    に、Z軸、θ軸方向に移動可能で部品を吸着する部品吸
    着ヘッドを備え、所定の部品吸着位置で部品を吸着し、
    基板の所定位置に部品を装着する部品認識装着装置にお
    いて、 部品を搭載する基板の位置を検出する基板位置検出手段
    と、 前記作業ユニットに設けた異なるθ軸角度のときの部品
    底面の斜め下方向からの複数の2次元画像を撮像する部
    品撮像手段と、 この撮像手段からの複数の2次元画像と、部品吸着時の
    部品吸着ヘッドのθ軸角度情報とを基に前記部品吸着時
    のX,Y軸方向の位置の偏差及びθ軸方向の偏差と、部
    品底面の高さの偏差とを求める画像情報処理手段と、 前記基板位置検出手段による基板の位置の検出結果と、
    画像情報処理手段により求めた各偏差に基づいて、前記
    基板の停止ずれに応じた位置補正、作業ユニットのX,
    Y軸方向の位置補正、部品吸着ヘッドのZ軸、θ軸方向
    の位置補正を行ってこの基板の所定位置に部品を装着さ
    せる駆動制御手段と、 を有することを特徴とする部品認識装着装置。
  2. 【請求項2】 X,Y軸方向に移動可能な作業ユニット
    に、Z軸、θ軸方向に移動可能で部品を吸着する部品吸
    着ヘッドを備え、所定の部品吸着位置で部品を吸着し、
    基板の所定位置に部品を装着する部品認識装着装置にお
    ける部品認識方法であって、 前記部品吸着ヘッドの斜め下方から部品に光を照射する
    照明手段と、部品の斜め下方で部品から反射された光の
    向きを変える光路変更手段と、部品の底面と平行に配置
    され光路変更手段からの光を集光する光学レンズと、部
    品の底面と平行でかつ光学レンズからオフセットした位
    置に配置され、光学レンズから光を受光して部品の像を
    得る2次元画像検出手段とからなる部品撮像手段によ
    り、異なるθ軸角度のときの複数の画像を撮像し、この
    複数の画像と部品吸着ヘッドのθ軸角度とから、部品の
    θ軸角度と、部品のX,Y位置と、部品底面の高さとを
    検出することを特徴とする部品認識方法。
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