KR0161332B1 - 본딩좌표의 티칭방법 및 티칭수단 - Google Patents

본딩좌표의 티칭방법 및 티칭수단 Download PDF

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도시아키 사사노
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후지야마 겐지
가부시키가이샤 신가와
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Abstract

작업시간의 단축 및 위치맞춤 정확도의 향상을 도모한다.
카메라(11)로 촬상한 화상을 처리하여 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 산출하는 화상처리부(20)의 연산제어부(21)와, 제1번째 및 제2번째의 리드부는 수동입력수단(45)에 의하여 임시의 본딩좌표를 입력하여 카메라(11)를 리드부를 촬상하도록 이동시켜 촬상한 제1번째 및 제2번째의 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 화상처리부(20)의 연산제어부(24)로 산출하고, 상기 제1번째 및 제2번째의 리드부의 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하고, 제3번째 이후의 리드부는 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표의 차를 산출하여 카메라를 그 차만큼 이동시켜 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표로부터 이동시키든가, 또는 그 차를 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표에 더하여 임시의 본딩좌표로 하고, 카메라(11)로 촬상한 해당 리드부의 리드선단으로부터의 리드의 폭중심을 화상처리부(20)의 연산제어부(24)로 산출하고, 카메라(11)가 이동케 된 좌표 또는 상기 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하는 장치구동부(30)의 연산제어부(35)와, 상기 새로운 본딩좌표를 기억하는 본딩좌표메모리(36)를 구비하고 있다.

Description

본딩좌표의 티칭방법 및 티칭수단
제1도는 본 발명으로 되는 티칭방법에 사용하는 제어회로부의 1실시예를 도시하는 블록도.
제2도는 본 발명으로 되는 티칭방법의 1실시예를 도시하는 플로우차아트도.
제3도는 텔레비 모니터의 화상의 1예를 도시하는 도면.
제4도는 텔레비 모니터의 화상의 타의 예를 도시하는 도면.
제5도는 제6도에 도시하는 리드부의 일부의 확대평면도.
제6도는 시료의 1예를 도시하는 평면도.
제7도는 와이어본딩장치의 1예를 도시하는 사시도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 리드프레임 2 : 반도체칩
3 : 시료 10 : 와이어본딩장치
11 : 카메라 15 : 캐필레리
16 : XY테이블 20 : 화상처리부
24 : 연산제어부 30 : 장치구동부
35 : 연산제어부 36 : 본딩좌표메모리
45 : 수동입력수단 P1내지 P16: 패드
L1내지 L16: 리드부
[산업상의 이용분야]
본 발명은 본딩좌표, 특히 리드부의 본딩좌표의 티칭방법 및 티칭수단에 관한 것이다.
[종래의 기술]
제6도에 도시하는 바와 같이 리드프레임(1)에 반도체칩(2)이 부착된 시료(3)는 제7도에 도시하는 와이어본딩장치(10)에 의하여 반도체칩(2)의 패드(P1,P2,…)와 리드프레임(1)의 리드부(L1,L2,…)와의 사이에 와이어(4)를 접속한다.
이와 같은 와이어본딩방법에 있어서는, 일반적으로 우선 카메라(11)에 의하여 반도체칩(2)상의 적어도 2개의 정점, 및 리드프레임(1)상의 적어도 2개의 정점의 정규의 위치로부터의 어긋남을 검출하여 이 검출치에 의거하여 미리 기억된 본딩좌표를 연산부에서 수정한다. 이 카메라(11)에 의한 검출의 경우는, 카메라(11)의 중심축(11a)이 측정점의 바로 위에 위치하도록 X축모터(12) 및 Y축모터(13)가 구동된다.
상기한 바와 같이 본딩좌표가 수정된 후, 캐필레리(15)가 XY축방향 및 Z축방향으로 이동케 되어, 캐필레리(15)에 끼워 통하게 된 와이어(4)를 와이어본딩한다.
이 경우, 카메라(11)의 중심축(11a)과 캐필레리(15)의 중심축(15a)과는 거리(W)만큼 오프세트되어 있으므로, X축모터(12) 및 Y축모터(13)에 의하여 XY테이블(16)이 오프세트량(W)만큼 이동케 되어, 캐필레리(15)가 시료(3)의 제1본드점의 상방에 위치케 된다. 그후, X축모터(12) 및 Y축모터(13)에 의한 XY테이블(16)의 XY축방향의 이동과, Z축모터(14)에 의한 캐필레리아암(17)의 상하동(또는 요동)에 의한 캐필레리(15)의 Z축방향의 이동에 의하여 상기 수정된 본딩좌표에 와이어(4)가 와이어본딩된다.
제7도에서, Xw는 오프세트량(W)의 X축성분, Yw는 오프세트량(W)의 Y축성분을 나타낸다.
그런데, 이와 같은 와이어본딩방법에 있어서는 상기 와이어본딩동작에 앞서서, 또 시료(3)의 품종변경의 경우에는 각 본딩좌표를 본딩장치의 기억부에 입력할 필요가 있다.
각 본딩좌표에는 패드(P1,P2…)의 본딩좌표와 이것과 쌍이 되는 리드부(L1,L2,…)의 본딩좌표가 있고, 본딩장치의 각 본딩좌표의 입력방법은 일반으로 티칭방법으로 행하고 있다.
종래, 리드부(L1,L2,…)의 각 본딩좌표의 티칭방법은 다음과 같이 하여 행하고 있다. X축모터(12) 및 Y축모터(13)을 구동시키는 텐키 또는 체스맨 등의 수동입력수단을 작업자가 수동조작하여 제1번째의 리드부(L1)의 좌표 L1(x1,y1)을 입력하고, 텔레비 모니터에 비추어낸다. 다음에 작업자가 텔레비 모니터를 보면서 수동입력수단을 조작하여 리드부(L1)의 본딩좌표라고 생각되는 위치를 텔레비 모니터 중심에 그려진 크로스라인마크에 맞추고, 그의 좌표위치를 기억부에 기억시킨다. 이 조작을 모든 리드부(L1,L2,…)에서 행한다. 더욱 패드(P1,P2,…)의 본딩좌표의 티칭도 꼭같이 행하고 있다.
[발명이 해결하려고 하는 과제]
상기 종래기술은, 본딩좌표를 작업자가 결정된 순번으로 수동입력수단을 조작하여 티칭하여 가기 때문에, 기억되는 본딩좌표수만큼 위치맞춤을 되풀이하지 않으면 안된다. 이 때문에 다대한 시간이 걸림과 동시에 작업자의 미스나 개인차 등에 의한 위치맞춤의 오차가 생긴다라는 문제가 있었다. 또 수동입력방법에서는, 대상화상의 분해능이 텔레비 모니터의 분해능으로 결정되어 버리기 때문에, 이것보다 세밀한 위치가 판단할 수 없게 되며, 위치정확도는 픽셀(화소) 단위였다.
본 발명의 목적은 작업시간의 단축 및 위치맞춤 정확도의 향상을 도모할 수 있는 본딩좌표의 티칭방법 및 티칭수단을 제공하는 것에 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 방법은 리드프레임에 반도체칩이 부착된 시료의 패드와 리드를 와이어로 접속하는 캐필레리와, 시료를 촬상하는 카메라와, 캐필레리 및 카메라를 함께 평면상에서 구동하는 XY테이블을 구비한 와이어본딩장치에서 본딩좌표를 교시하는 티칭방법에 있어서, 리드부의 제1번째 및 제2번째의 티칭은 수동입력수단에 의하여 임시의 본딩좌표를 입력하여 카메라를 리드부를 촬상하도록 이동시켜, 촬상한 제1번째 및 제2번째의 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 화상처리부의 연산제어부로 산출하고, 상기 수동입력한 제1번째 및 제2번째의 임시의 본딩좌표를 장치구동부의 연산제어부로 보정하여 새로운 본딩좌표로서 본딩좌표메모리에 기억하고, 제3번째 이후의 리드부의 티칭은 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표의 차를 장치구동부의 연산제어부가 산출하여 카메라를 그 차만큼 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표로부터 이동시키든가, 또는 그 차를 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표에 더하여 임시의 본딩좌표로 하고, 카메라로 촬상한 그 리드부의 리드선단으로부터의 거리와 리드의 폭중심을 화상처리부의 연산제어부로 산출하고, 상기 카메라가 이동케 된 좌표 또는 상기 임시의 본딩좌표를 장치구동부의 연산제어부로 보정하여 새로운 본딩좌표로 하여 본딩좌표메모리에 기억하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 장치는, 리드프레임에 반도체칩이 부착된 시료의 패드와 리드를 와이어로 접속하는 캐필레리와, 시료를 촬상하는 카메라와, 캐필레리 및 카메라를 함께 평면상에서 구동하는 XY테이블과, 본딩좌표를 입력하는 수동입력수단을 구비한 와이어본딩장치에 있어서, 상기 카메라로 촬상한 화상을 처리하여 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 산출하는 화상처리부의 연산제어부와, 제1번째 및 제2번째의 리드부는 수동입력수단에 의하여 임시의 본딩좌표를 입력하여 카메라를 리드부를 촬상하도록 이동시켜, 촬상한 제1번째 및 제2번째의 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 화상처리부의 연산제어부로 산출하고, 상기 제1번째 및 제2번째의 리드부의 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하고, 제3번째 이후의 리드부는 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표의 차를 산출하여 카메라를 그 차만큼 이동시켜 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표로부터 이동시키든가, 또는 그 차를 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표에 더하여 임시의 본딩좌표로 하고, 카메라로 촬상한 해당 리드부의 리드선단으로부터의 거리와 리드의 폭중심을 화상처리부의 연산제어부에서 산출하고, 상기 카메라가 이동케 된 좌표 또는 상기 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하는 장치구동부의 연산제어부와, 상기 새로운 본딩좌표를 기억하는 본딩좌표메모리를 구비한 것을 특징으로 한다.
[작용]
제1번째 및 제2번째의 리드부는 수동입력수단을 사용하여 카메라를 리드부의 바로 위로 이동시켜 그 좌표를 입력한다. 이로서, 제1번째 및 제2번째의 리드부의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭 중심으로부터의 어긋남양은 화상처리부의 연산제어부에서 산출된다. 장치구동부의 연산제어부는 상기 어긋남양에 의하여 상기 수동입력한 좌표를 보정하고, 제1번째 및 제2번째의 리드부의 각각의 새로운 본딩좌표로서 본딩좌표메모리에 기억시킨다. 제3번째 이후의 리드부에 대하여는 수동입력할 필요는 없고, 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표를 사용하여 장치구동부의 연산제어부가 자동적으로 처리한다. 즉, 상기 2개의 새로운 본딩좌표의 차이만큼의 리드부를 이동시켜 그 리드부의 리드선단에서의 거리와 리드폭 중심으로부터의 어긋남양을 화상처리부의 연산제어부가 산출하면, 이 어긋남양에 의하여 상기 카메라가 이동한 좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로서 본딩좌표메모리에 기억시킨다.
[실시예]
이하, 본 발명의 1실시예를 제1도 내지 제7도에 의하여 설명한다. 제1도에 도시하는 바와 같이, 제어회로부는 주로 카메라(11)의 영상을 화상처리하는 화상처리부(20)와 제7도에 도시하는 와이어본딩장치(10)를 구동하는 장치구동부(30)와 좌표 등의 데이터를 장치구동부(30)에 수동으로 입력하는 수동입력수단(45)로 이루어져 있다.
화상처리부(20)는 카메라(11)로부터 화상입력수단(21)을 사이에 두고 입력된 영상의 화상형상을 기억하는 화상메모리(22)와, 이 화상메모리(22)의 화상처리수순이 기억된 제어메모리(23)와, 이 제어메모리(23)의 수순에 따라 화상메모리(22)의 화상을 처리하여 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭 중심에서의 어긋남양을 연산하는 연산제어부(24)로 이루어져 있다. 또 상기 화상메모리(22)의 화상은 텔레비 모니터(25)에 비쳐진다.
장치구동부(30)는, X축모터(12), Y축모터(13), Z축모터(14)를 제어하는 X축모터제어부(31), Y축모터제어부(32), Z축모터제어부(33)와, 이 X축모터제어부(31), Y축모터제어부(32), Z축모터제어부(33)의 제어수순 및 본딩조표의 산출수순이 기억된 제어메모리(34)와, X축모터제어부(31), Y축모터제어부(32), Z축모터제어부(33) 및 제어메모리(34)를 제어함과 동시에, 상기 연산제어부(24)에 의하여 산출된 중심어긋남양과 수동입력수단(45)에 의하여 입력된 본딩좌표데이터에 의하여 실제의 본딩좌표를 산출하는 연산제어부(35)와, 이 연산제어부(35)에서 산출된 본딩좌표를 기억하는 본딩좌표메모리(36)와, 이 본딩좌표메모리(36)와 같은 데이터를 기억하는 배터리백업(37)된 본딩좌표메모리(38)로 이루어졌다.
여기서, 본딩좌표메모리(36,38)에는 종래의 기술항에서 설명한 수 1의 오프세트량(W)이 기억되어 있다. 또 상기 수동입력수단(45)은 텐키(46) 및 체스맨(47)으로 이루어지고 좌표는 그 어느 것인가를 사용하여 장치구동부(30)에 입력한다.
다음에 본딩좌표의 티칭방법에 대하여 설명한다. 본 실시예는 리드부 L1, L2,…의 본딩좌표를 티칭하는 것으로 패드 P1,P2,…의 본딩좌표의 티칭이 완료한 후에 행한다. 즉, 패드 P1,P2,…의 본딩좌표의 티칭방법은 특히 한정되는 것은 아니고, 종래와 같은 방법을 행하여도 좋다. 또 본 실시예는, 제5도 및 제6도에 도시하는 바와 같이, 동일방향으로 연속하여 늘어서 있는 페드 P1∼P4와 쌍으로 되는 리드부 L1∼L4, P5∼P8과 쌍으로 되는 리드부 L5∼L8, P9∼P12와 쌍으로 되는 리드부 L9∼L12, P13∼P16와 쌍으로 되는 리드부 L13∼L16을 각각 그룹별로 일괄처리하도록 되어 있다.
우선 리드부 L1∼L4의 티칭방법은 제2도를 참조하면서 설명한다. 리드부 L1∼L4의 수, 즉 4를 입력한다. 다음에 수동입력수단(45)에 의하여 XY테이블(16)를 이동시켜, 카메라(11)를 제1번째의 리드부 L1이 촬상되는 위치에 위치시켜 그의 임시의 좌표 G1(x1,y1)을 연산제어부(35)에 입력한다. 이로서 상기 임시의 좌표 G1(x1,y1)가 화면중심(텔레비 모니터(25)상의 크로스라인)으로 된다. 이 촬상된 영상은 화상입력수단(21)에 의하여 디지털신호로 변환되어 화상메모리(22)에 기억된다. 이 화상메모리(22)에 기억된 화상형상은 연산제어부(24)에 의하여 화상처리되고, 리드부(L1)의 좌표 및 어긋남양을 산출한다.
제3도는 리드부(L1)가 텔레비 모니터(25)에 비추고 있는 촬상화상예를 도시한다. 리드부(L1)와 쌍으로 되는 패드(P1)의 좌표 Pc1(x1',y1')은 이미 확정하고 있으며, 좌표 Pc1과 화면중심(G1)(텔레비 모니터(25)상의 크로스라인)을 연결하는 각도(θ1)을 갖는 직선(T1)이 구해진다. 다음에 직선(T1)과 직각인 직선으로 패드(P1)에 가장 가까운 윤곽점 e1(소위 리드부(L1)의 선단)을 지나는 직선(T2) 및 직선(T2)가 직선(T1)과 만나는점 e1을 구한다. 계속하여 직선(T2)에 평행이고 화면중심(G1)을 지나는 직선(T3)을 구한다. 즉, 리드선단으로부터의 거리(d)는 수동입력한 제1번째의 리드부의 임시의 본딩좌표 G1(x1,y1)과 카메라(11)로 촬상한 그 리드부(L1)의 선단점(e2)의 좌표와의 거리를 화상처리부(20)의 연산제어부(24)에서 산출한다. 여기서, 길이(d)는 리드부(L)의 선단에서 어느 정도 파고들어간 점에 본딩하는가의 거리로 특히 길이(d)의 규정은 없지만, 일반으로 리드부(L)의 폭이 100∼200㎛의 경우 길이(d)는 150∼300㎛에 설정하고 있다.
그리고, 직선(T3)의 선상에 있어서 리드부(L1)의 윤곽점 e3, e4를 구하고, 더욱 윤곽점 e3, e42점간의 중심점(리드폭(H1)의 H1/2), 즉 화면상에 있어서 본딩좌표 Lc1(X1',Y1')이 구해진다. 이때, 산출되는 위치좌표는 서브픽셀(부화소) 정확도를 갖고 검출될 수 있다. 서브픽셀 연산에 대하여는 다치화(계조부화상) 상관처리에 더하여, HILL-CLIMB 기법 및 보간법 연산 등을 사용함으로서, 부화소정확도로 최대의 상관치를 갖는 점을 발견케 되는 것이 알려져 있다. 상기 윤곽점 E3, e4의 중심점(리드폭(H1)의 중심)은 패드부(P1)의 본딩좌표 Pc1(x1',y1')과 리드부(L1)의 임시의 본딩좌표 G1(x1,y1)을 연결하는 직선(T1)에 직각의 방향(직선(T3))에 카메라(11)로 촬상한 리드부의 화상을 폭으로 화상처리부(20)의 연산제어부(24)로 산출한다.
연산제어부(24)는 상기와 같이 하여 화면상의 본딩좌표 Lc1(X1',Y1')를 산출하고, 카메라(11)의 중심축(11a)(화상중심), 즉 수동입력한 좌표 G1(x1,y1)로부터 본딩좌표 Lc1(X1',Y1')의 어긋남량 △x1, △y1을 수 1로 산출한다.
△x1= x1-X1'
△y1= y1-Y1'
이 어긋남양 △x1, △y1은 화상메모리(22)의 픽셀수로서 구해지지만, 카메라(11)의 배율에 의하여 1픽셀당의 실치수는 장치의 고유치이므로, XY테이블(16)의 이동량으로 환산할 수 있고, 이 환산의 계수를 kx, ky라 하면 실치수 어긋남량 dx1, dy1은 수 2에서 산출되고, 수 3에 의하여 리드부(L1)의 본딩좌표 Lc1(x1,y1)가 산출된다. 이 dx1, dy1및 본딩좌표 Lc1(x1,y1)은 연산제어부(35)에 의하여 산출하고 리드부(L1)의 본딩좌표로서 본딩좌표메모리(36)에 기억된다.
dx1=kx·△x1
dy1=ky·△y1
X1=x1+dx1
Y1=y1+dy1
다음에 수동입력수단(45)에 의하여 XY테이블(16)을 이동시켜, 카메라(11)를 제2번째의 리드부(L2)의 바로 위에 위치시켜 그의 좌표 G2(x2,y2)를 연산제어부(35)에 입력한다. 제4도는 리드부(L2)가 텔레비 모니터(25)에 비추고 있는 촬상화상예를 도시한다. 그런데, 제1번째의 리드(L1)에서는, 리드선단으로부터의 거리(d)를 수동입력한 임시의 본딩좌표 G1(x1,y1)와 카메라(11)로 촬상한 그 리드(L1)의 선단의 좌표와의 거리를 사용하였기 때문에, 좌표 G1(x1,y1)는 직선(T3)상에 있었지만, 제2번째로부터의 리드 L2,L3,…에서는 좌표 G2(x2,y2)(텔레비 모니터(25)의 크로스라인의 중심)은 제4도와 같이 된다.
리드부(L2)와 쌍으로 되는 패드(P2)의 좌표 Pc2(x2',y2')는 이미 확정하고 있으므로, 좌표 Pc2와 화면중심 G2(텔레비 모니터(25)상의 크로스라인)을 연결하는 각도(θ2)를 갖는 직선(T1)이 구해진다. 다음에 직선(T1)과 직각인 직선으로 패드(P2)에 가장 가까운 윤곽점 e1(소위 리드부(L2)의 선단)을 지나는 직선(T2) 및 직선(T2)가 직선(T1)과 만나는 점 e2를 구한다. 계속해서 직선(T2)에 평행이고 리드부 선단에서의 거리(d)만큼 이동한 직선(T3)을 구한다. 여기서, 리드부선단으로부터의 거리(d)는 제1번째의 리드부(L1)에서 확정하여 두었던 것을 그대로 사용한다.
그리고, 직선(T3) 선상에 있어서 리드부(L2)의 윤곽점(e3,e4)을 구하고, 더욱 윤곽점(e3,e4) 2점간의 중심점(리드폭(H2)의 H2/2), 즉 화면상에 있어서 본딩좌표 Lc2(X2',Y2')가 구해진다. 상기 윤곽점(e3,e4)의 중심점(리드폭(H)의 중점)은 패드부(P2)의 본딩좌표 Pc2(x2',y2')와 리드부(L2)의 임시의 본딩좌표 G2(x2,y2)를 연결하는 직선(T1)에 직각의 방향(직선(T3))에 카메라(11)로 촬상한 리드부의 화상을 폭으로 하고 화상처리부(20)의 연산제어부(24)로 산출한다.
연산제어부(24)는 상기와 같이 하여 화면상의 본딩좌표 Lc2(X2',Y2')를 산출하고, 카메라(11)의 중심축(11a)(화상중심), 즉 수동입력한 좌표 G2(x2,y2)로부터 본딩좌표 Lc2(X2',Y2')의 어긋남양 △x1,△y1을 수 4로 산출한다.
△x2= x2-X2'
△y2= y2-Y2'
이 어긋남양 △x1, △y1을 리드부(L1)의 경우와 꼭같이 화상처리하여 좌표 G2(x2,y2)의 실치수 어긋남양 dx2, dy2및 본딩좌표 Lc2(X2',Y2')가 구해지고, 본딩좌표메모리(36)에 기억된다.
다음에 리드부 L3, L4의 본딩좌표 Lc3(X3',Y3'), Lc4(X34,Y4')의 산출을 행하지만, 이 리드부 L3이후의 좌표는 입력하지 않더라도 자동적으로 산출된다. 일반으로, 리드부 L1에서 L2, L2에서 L3, L3에서 L4의 간격은 크게 변하지 않고 있다. 즉 L2로부터 L3까지의 거리는, (X2-X1), (Y2-Y1)만큼 카메라(11)를 본딩좌표 Lc2(X2',Y2')로부터 이동시켰을 때에, 카메라(11)로부터 리드부(L3)을 촬상할 수 있는 범위의 거리이면 된다. 또 카메라(11)를 L3로 이동시키는 방향은 리드부 L1로부터 L2로 향하는 방향이라고 연산제어부(35)는 판단하여 실행한다. 여기서, 상기 산출된 본딩좌표 Lc1(X1,Y1), Lc2(X2,Y2)에 의하여, 수 5에 의하여 임시의 본딩좌표 G3(x3,y3)를 연산제어부(35)가 연산하여 X축모터(12) 및 Y축모터(13)를 구동하여, 카메라(11)의 중심축(11a)은 좌표 G3(x3,y3)로 이동케 된다.
x3=X1+(X2-X1)
y3=Y1+(Y2-Y1)
다음에 상기와 꼭같이 화상처리하여 리드부(L3)의 실치수 어긋남양 dx3, dy3및 본딩좌표 Lc3(X3,Y3)이 구해지고, 본딩좌표메모리(36)에 기억된다. 다음의 리드부(L4)도 상기 리드부(L3)와 꼭같이 처리되므로, 그 설명은 생략한다.
일반화한 n번째로 나아가고 있는 임시의 좌표 Gn(xn,yn)는 수 6으로 표시되고, 또 n번째의 어긋남양을 △xn, △yn 및 리드부(Ln)의 본딩좌표 Lcn(Xn,Yn)는 수 7 및 수 8로 표시된다.
xn=Xn-1+(Xn-1-Xn-2)
yn=Yn-1+(Yn-1-Yn-2)
dxn=kx·△xn
dyn=ky·△yn
Xn=xn+△xn
Yn=yn+△yn
더욱, 상기 실시예는 리드부(L3)의 본딩좌표 Lc3(X3,Y3)를 산출하는데 본딩좌표 Lc1(X1,Y1)와 Lc1(X2,Y2)의 차를 산출하여 카메라(11)를 그 차만큼 이동시켜 리드부(L3)의 임시의 본딩좌표 G3(x3,y3)를 화면중심으로 위치시켰다. 그러나, 리드부(L2)와 함께 리드부(L3)가 화면에 찍혀 있는 경우는 특히 카메라(11)를 이동시키지 않고, 수 4에서 구한 임시의 본딩좌표 G3(x3,y3)에 의하여 화상처리하여 리드부(L3)의 본딩좌표 Lc3(X3,Y3)을 산출하여도 좋다.
다음에 리드부(L5∼L8)의 티칭방법에 대하여 설명한다. 이 경우는, 상기한 리드부(L1∼L4)의 티칭방법과 꼭같이, 리드부 L5와 L6의 임시의 좌표 G5(x5,y5), G6(x6,y6)와 리드부 L5∼L8의 수를 입력함으로서 상기한 리드부 L1∼L4의 경우와 꼭같이 처리된다.
이와 같이, 연속하여 늘어선 리드부는 제1번째와 제2번째의 리드부를 카메라(11)로 촬상시켜 그의 제1번째와 제2번째의 리드부 좌표를 입력하면, 자동적으로 각 리드부의 좌표가 화상처리부(20)로 산출되고, 상기 구동부(30)에서 본딩좌표가 산출된다. 즉, 입력하는 좌표의 수가 적어서 좋고, 또 화상의 크로스라인에 리드부 중심에 맞춤하는 조작을 필요로 하지 않으므로, 작업시간이 대폭으로 단축됨과 동시에, 작업자의 미스나 개인차 등에 의한 위치맞춤 오차가 없고, 본딩좌표의 위치정확도가 향상된다. 또, 텔레비 모니터(25)의 분해능은 6㎛/픽셀이고, 수동으로 위치맞춤하는 경우는 이것보다 미세한 위치의 판단은 할 수 없다. 본 실시예에 있어서는 서브픽셀연산이 가능하므로 1/32 픽셀의 검출정확도가 있고, 외관의 요인을 포함하더라도 1/4픽셀, 즉 1.5㎛의 정확도가 얻어진다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하면, 제1번째와 제2번째의 리드부의 리드부 좌표를 입력하면, 자동적으로 각 리드부의 좌표가 화상처리부로 산출되고 장치구동부에서 본딩좌표가 산출되므로, 작업시간의 단축 및 위치맞춤 정확도의 향상이 도모된다.

Claims (4)

  1. 리드프레임에 반도체칩이 부착된 시료의 패드와 리드를 와이어로 접속하는 캐필레리와, 시료를 촬상하는 카메라와, 캐필레리 및 카메라를 함께 평면상에서 구동하는 XY테이블을 구비한 와이어본딩장치에서 본딩좌표를 교시하는 티칭방법에 있어서, 리드부의 제1번째 및 제2번째의 티칭은 수동입력수단에 의하여 임시의 본딩좌표를 입력하여 카메라를 리드부를 촬상하도록 이동시켜, 촬상한 제1번째 및 제2번째의 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 화상처리부의 연산제어부에서 산출하고, 상기 수동입력한 제1번째 및 제2번째의 임시의 본딩좌표를 장치구동부의 연산제어부로 보정하여 새로운 본딩좌표로서 본딩좌표메모리에 기억하고, 제3번째 이후의 리드부의 티칭은 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표의 차를 장치구동부의 연산제어부가 산출하여 카메라를 그 차만큼 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표로부터 이동시키든가, 또는 그 차를 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표에 더하여 임시의 본딩좌표로 하고, 카메라로 촬상한 그 리드부의 리드선단으로부터의 거리와 리드의 폭중심을 화상처리부의 연산제어부로 산출하고, 상기 카메라가 이동케 된 좌표 또는 상기 임시의 본딩좌표를 장치구동부의 연산제어부로 보정하여 새로운 본딩좌표로서 본딩좌표메모리에 기억하는 것을 특징으로 하는 본딩좌표의 티칭방법.
  2. 제1항에 있어서, 리드선단으로부터의 거리는 수동입력한 제1번째의 리드부의 임시의 본딩좌표와 카메라로 촬상한 해당리드의 선단의 좌표와의 거리를 화상처리부의 연산제어부로 산출한 것을 특징으로 하는 본딩좌표의 티칭방법.
  3. 제1항에 있어서, 리드폭의 중심은 미리 티칭에 의하여 확정하여 둔 패드부의 본딩좌표와 리드를 연결하는 직선에 직각의 방향으로 카메라로 촬상한 리드부의 화상을 폭으로 하여 화상처리부의 연산제어부로 산출하는 것을 특징으로 하는 본딩좌표의 티칭방법.
  4. 리드프레임에 반도체칩이 부착된 시료의 패드와 리드를 와이어로 접속하는 캐필레리와, 시료를 촬상하는 카메라와, 캐필레리 및 카메라를 함께 평면상에서 구동하는 XY테이블과, 본딩좌표를 입력하는 수동입력수단을 구비한 와이어본딩장치에 있어서, 상기 카메라로 촬상한 화상을 처리하여 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 산출하는 화상처리부의 연산제어부와, 제1번째 및 제2번째의 리드부는 수동입력수단에 의하여 임시의 본딩좌표를 입력하여 카메라를 리드부를 촬상하도록 이동시켜, 촬상한 제1번째 및 제2번째의 리드부의 화상의 리드선단으로부터의 거리와 리드폭의 중심을 화상처리부의 연산제어부에서 산출하고, 상기 제1번째 및 제2번째의 리드부의 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하고, 제3번째 이후의 리드부는, 검출하는 리드부의 앞과 그 앞의 2개의 새로운 본딩좌표의 차를 산출하여 카메라를 그 차만큼 이동시켜 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표로부터 이동시키든가, 또는 그 차를 검출하는 리드부의 앞의 본딩좌표에 더하여 임시의 본딩좌표로 하고, 카메라로 촬상한 그 리드부의 리드선단으로부터의 거리와 리드의 폭중심을 화상처리부의 연산제어부로 산출하고, 상기 카메라가 이동케 된 좌표 또는 상기 임시의 본딩좌표를 보정하여 새로운 본딩좌표로 하는 장치구동부의 연산제어부와 상기 새로운 본딩좌표를 기억하는 본딩좌표메모리를 구비한 것을 특징으로 하는 본딩좌표의 티칭방법.
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