JPH07297223A - ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段 - Google Patents

ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段

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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】作業時間の短縮及び位置合わせ精度の向上を図
る。 【構成】カメラ１１で撮像した画像を処理してリード部
の画像の先端からの距離とリード幅の中心を算出する画
像処理部２０の演算制御部２１と、第１番目及び第２番
目のリード部は、手動入力手段４５によって仮のボンデ
ィング座標を入力してカメラ１１をリード部を撮像する
ように移動させ、撮像した画像の先端からの距離とリー
ド幅の中心を演算制御部２４で算出、仮のボンディング
座標を修正し、第３番目以降のリード部は、検出するリ
ード部の前の２つの新たなボンディング座標の差を算出
してカメラを前のボンディング座標から移動させるか、
またはその差を加えて仮のボンディング座標とし必要な
距離を演算制御部２４で算出し、カメラ１１の座標また
は前記仮の座標を修正して新たな座標とする演算制御部
３５と、前記新たなボンディング座標を記憶する座標メ
モリ３６とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンデイング座標、特に
リード部のボンデイング座標のティーチング方法及びテ
ィーチング手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に示すように、リードフレーム１に
半導体チップ２が付着された試料３は、図７に示すワイ
ヤボンデイング装置１０により半導体チップ２のパッド
Ｐ1 、Ｐ2 ・・・とリードフレーム１のリード部Ｌ1 、
Ｌ2 ・・・との間にワイヤ４を接続する。
【０００３】かかるワイヤボンデイング方法において
は、一般に、まずカメラ１１によって半導体チップ２上
の少なくとも２つの定点、及びリードフレーム１上の少
なくとも２つの定点の正規の位置からのずれを検出し
て、この検出値に基づいて予め記憶されたボンデイング
座標を演算部で修正する。このカメラ１１による検出の
場合は、カメラ１１の中心軸１１ａが測定点の真上に位
置するようにＸ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３が駆動
される。前記したようにボンデイング座標が修正された
後、キャピラリ１５がＸＹ軸方向及びＺ軸方向に移動さ
せられ、キャピラリ１５に挿通されたワイヤ４をワイヤ
ボンデイングする。この場合、カメラ１１の中心軸１１
ａとキャピラリ１５の中心軸１５ａとは距離Ｗだけオフ
セットされているので、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ
１３によってＸＹテーブル１６がオフセット量Ｗだけ移
動させられ、キャピラリ１５が試料３の第１ボンド点の
上方に位置させられる。その後、Ｘ軸モータ１２及びＹ
軸モータ１３によるＸＹテーブル１６のＸＹ軸方向の移
動と、Ｚ軸モータ１４によるキャピラリアーム１７の上
下動（又は揺動）によるキャピラリ１５のＺ軸方向の移
動により、前記修正されたボンデイング座標にワイヤ４
がワイヤボンデイングされる。図６において、Ｘｗは、
オフセット量ＷのＸ軸成分、Ｙｗは、オフセット量Ｗの
Ｙ軸成分をしめす。
【０００４】ところで、かかるワイヤボンデイング方法
においては、前記ワイヤボンデイング動作に先立ち、ま
た試料３の品種変更の場合には、各ボンデイング座標を
ボンデイング装置の記憶部に入力する必要がある。各ボ
ンデイング座標には、パッドＰ1 、Ｐ2 ・・・のボンデ
イング座標とこれと対になるリード部Ｌ1 、Ｌ2 ・・・
のボンデイング座標とがあり、ボンデイング装置の各ボ
ンデイング座標の入力方法は、一般にティーチング方法
で行っている。
【０００５】従来、リード部Ｌ1 、Ｌ2 ・・・の各ボン
デイング座標のティーチング方法は次のようにして行っ
ている。Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３を駆動させ
るテンキー又はチェスマン等の手動入力手段を作業者が
手動操作して第１番目のリード部Ｌ1 の座標Ｌ
1 （ｘ1 ，ｙ1 ）を入力し、テレビモニタに映し出す。
次に作業者がテレビモニタを見ながら手動入力手段を操
作してリード部Ｌ1 のボンデイング座標と思われる位置
をテレビモニタ中心に描かれたクロスラインマークに合
わせ、その座標位置を記憶部に記憶させる。この操作を
全てのリード部Ｌ1 、Ｌ2 ・・・において行う。なお、
パッドＰ1 、Ｐ2 ・・・のボンデイング座標のティーチ
ングも同様に行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボン
デイング座標を作業者が決められた順番に手動入力手段
を操作してティーチングしていくので、記憶させるボン
デイング座標数だけ位置合わせ込みを繰り返さなければ
ならない。このため多大の時間がかかると共に、作業者
のミスや個人差などによる位置合わせの誤差が生じると
いう問題があった。また手動入力方法では、対象画像の
分解能がテレビモニタの分解能で決まってしまうため、
これより細かい位置が判断できなく、位置精度はピクセ
ル（画素）単位であった。
【０００７】本発明の目的は、作業時間の短縮及び位置
合わせ精度の向上が図れるボンデイング座標のティーチ
ング方法及びティーチング手段を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の方法は、リードフレームに半導体チップが付
着された試料のパッドとリードとをワイヤで接続するキ
ャピラリと、試料を撮像するカメラと、キャピラリ及び
カメラを共に平面上で駆動するＸＹテーブルとを備えた
ワイヤボンデイング装置におけるボンデイング座標を教
示するティーチング方法において、リード部の第１番目
及び第２番目のティーチングは、手動入力手段によって
仮のボンデイング座標を入力してカメラをリード部を撮
像するように移動させ、撮像した第１番目及び第２番目
のリード部の画像のリード先端からの距離とリード幅の
中心を画像処理部の演算制御部で算出し、前記手動入力
した第１番目及び第２番目の仮のボンデイング座標を装
置駆動部の演算制御部で補正して新たなボンデイング座
標としてボンデイング座標メモリに記憶し、第３番目以
降のリード部のティーチングは、検出するリード部の前
とその前の２つの新たなボンデイング座標の差を装置駆
動部の演算制御部が算出してカメラをその差だけ検出す
るリード部の前のボンデイング座標から移動させるか、
又はその差を検出するリード部の前のボンデイング座標
に加えて仮のボンデイング座標とし、カメラで撮像した
該リード部のリード先端からの距離とリードの幅中心を
画像処理部の演算制御部で算出し、前記カメラが移動さ
せられた座標又は前記仮のボンデイング座標を装置駆動
部の演算制御部で補正して新たなボンデイング座標とし
てボンデイング座標メモリに記憶することを特徴とす
る。
【０００９】上記目的を達成するための本発明の装置
は、リードフレームに半導体チップが付着された試料の
パッドとリードとをワイヤで接続するキャピラリと、試
料を撮像するカメラと、キャピラリ及びカメラを共に平
面上で駆動するＸＹテーブルと、ボンデイング座標を入
力する手動入力手段とを備えたワイヤボンデイング装置
において、前記カメラで撮像した画像を処理してリード
部の画像のリード先端からの距離とリード幅の中心を算
出する画像処理部の演算制御部と、第１番目及び第２番
目のリード部は、手動入力手段によって仮のボンデイン
グ座標を入力してカメラをリード部を撮像するように移
動させ、撮像した第１番目及び第２番目のリード部の画
像のリード先端からの距離とリード幅の中心を画像処理
部の演算制御部で算出し、前記第１番目及び第２番目の
リード部の仮のボンデイング座標を補正して新たなボン
デイング座標とし、第３番目以降のリード部は、検出す
るリード部の前とその前の２つの新たなボンデイング座
標の差を算出してカメラをその差だけ移動させ検出する
リード部の前のボンデイング座標から移動させるか、又
はその差を検出するリード部の前のボンデイング座標に
加えて仮のボンデイング座標とし、カメラで撮像した該
リード部のリード先端からの距離とリードの幅中心を画
像処理部の演算制御部で算出し、前記カメラが移動させ
られた座標又は前記仮のボンデイング座標を補正して新
たなボンデイング座標とする装置駆動部の演算制御部
と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイン
グ座標メモリとを備えたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】第１番目及び第２番目のリード部は、手動入力
手段を用いてカメラをリード部の真上に移動させ、その
座標を入力する。これにより、第１番目及び第２番目の
リード部のリード先端からの距離とリード幅中心からの
ずれ量は、画像処理部の演算制御部で算出される。装置
駆動部の演算制御部は、前記ずれ量により前記手動入力
した座標を補正し、第１番目及び第２番目のリード部の
それぞれの新たなボンデイング座標としてボンデイング
座標メモリに記憶させる。第３番目以降のリード部につ
いては、手動入力する必要はなく、検出するリード部の
前とその前の２つの新たなボンデイング座標を用いて装
置駆動部の演算制御部が自動的に処理する。即ち、前記
２つの新たなボンデイング座標の差だけリード部を移動
させ、該リード部のリード先端からの距離とリード幅中
心からのずれ量を画像処理部の演算制御部が算出する
と、このずれ量によって前記カメラが移動した座標を補
正して新たなボンデイング座標としてボンデイング座標
メモリに記憶させる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図７によ
り説明する。図１に示すように、制御回路部は、主とし
てカメラ１１の映像を画像処理する画像処理部２０と、
図７に示すワイヤボンデイング装置１０を駆動する装置
駆動部３０と、座標等のデータを装置駆動部３０に手動
で入力する手動入力手段４５とからなっている。
【００１２】画像処理部２０は、カメラ１１より画像入
力手段２１を介して入力された映像の画像形状を記憶す
る画像メモリ２２と、この画像メモリ２２の画像処理手
順が記憶された制御メモリ２３と、この制御メモリ２３
の手順に従って画像メモリ２２の画像を処理して画像の
リード先端からの距離とリード幅中心からのずれ量を演
算する演算制御部２４とからなっている。また前記画像
メモリ２２の画像はテレビモニタ２５に写し出される。
【００１３】装置駆動部３０は、Ｘ軸モータ１２、Ｙ軸
モータ１３、Ｚ軸モータ１４を制御するＸ軸モータ制御
部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制御部３３
と、このＸ軸モータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３
２、Ｚ軸モータ制御部３３の制御手順及びボンデイング
座標の算出手順が記憶された制御メモリ３４と、Ｘ軸モ
ータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制
御部３３及び制御メモリ３４を制御すると共に、前記演
算制御部２４によって算出された中心ずれ量と手動入力
手段４５により入力されたボンデイング座標データによ
り実際のボンデイング座標を算出する演算制御部３５
と、この演算制御部３５で算出されたボンデイング座標
を記憶するボンデイング座標メモリ３６と、このボンデ
イング座標メモリ３６と同じデータを記憶するバッテリ
ーバックアップ３７されたボンデイング座標メモリ３８
とからなっている。ここで、ボンデイング座標メモリ３
６、３８には、従来の技術の項で説明した数１のオフセ
ット量Ｗが記憶されている。また前記手動入力手段４５
は、テンキー４６及びチェスマン４７よりなり、座標は
そのいずれかを使用して装置駆動部３０に入力する。
【００１４】次にボンデイング座標のティーチング方法
について説明する。本実施例は、リード部Ｌ1 、Ｌ2 ・
・・のボンデイング座標をティーチングするもので、パ
ッドＰ1 、Ｐ2 ・・・のボンデイング座標のティーチン
グが完了した後に行う。即ち、パッドＰ1 、Ｐ2 ・・・
のボンデイング座標のティーチング方法は、特に限定さ
れるものではなく、従来と同じ方法で行ってもよい。ま
た本実施例は、図５及び図６に示すように、同一方向に
連続して並んでいるパッドＰ1 〜Ｐ4 と対になるリード
部Ｌ1 〜Ｌ4 、Ｐ5 〜Ｐ8 と対になるリード部Ｌ5 〜Ｌ
8 、Ｐ9 〜Ｐ12と対になるリード部Ｌ9 〜Ｌ12、Ｐ13〜
Ｐ16と対になるリード部Ｌ13〜Ｌ16をそれぞれグループ
別に一括処理するようになっている。
【００１５】まず、リード部Ｌ1 〜Ｌ4 のティーチング
方法を図２を参照しながら説明する。リード部Ｌ1 〜Ｌ
4 の数、即ち４を入力する。次に手動入力手段４５によ
ってＸＹテーブル１６を移動させ、カメラ１１を第１番
目のリード部Ｌ1 が撮像される位置に位置させ、その仮
の座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）を演算制御部３５に入力す
る。これにより、前記仮の座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）が画
面中心（テレビモニタ２５上のクロスライン）となる。
この撮像された映像は、画像入力手段２１によってデジ
タル信号に変換されて画像メモリ２２に記憶される。こ
の画像メモリ２２に記憶された画像形状は、演算制御部
２４によって画像処理され、リード部Ｌ1の座標及びず
れ量を算出する。
【００１６】図３はリード部Ｌ1 がテレビモニタ２５に
映っている撮像画像例を示す。リード部Ｌ1 と対になる
パッドＰ1 の座標Ｐｃ1 （ｘ1 ' ，ｙ1 ' ）は既に確定
しているので、座標Ｐｃ1 と画面中心Ｇ1 （テレビモニ
タ２５上のクロスライン）を結ぶ角度θ1 を有する直線
Ｔ1 が求まる。次に直線Ｔ1 と直角な直線でパッドＰ1
に最も近い輪郭点ｅ1 （いわゆるリード部Ｌ1 の先端）
を通る直線Ｔ2 及び直線Ｔ2 が直線Ｔ1 に交わる点ｅ2
を求める。続いて直線Ｔ2 に平行で画面中心Ｇ1 を通る
直線Ｔ3 を求める。即ち、リード部先端からの距離ｄ
は、手動入力した第１番目のリード部の仮のボンデイン
グ座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）とカメラ１１で撮像した該リ
ード部Ｌ1 の先端点（ｅ2 ）の座標との距離を画像処理
部２０の演算制御部２４で算出する。ここで、長さｄ
は、リード部Ｌの先端からどの程度入り込んだ点にボン
デイングするかの距離で、特に長さｄの規定はないが、
一般にリード部Ｌの幅が１００〜２００μｍの場合、長
さｄは１５０〜３００μｍに設定している。
【００１７】そして、直線Ｔ3 の線上におけるリード部
Ｌ1 の輪郭点ｅ3 、ｅ4 を求め、更に輪郭点ｅ3 、ｅ4
２点間の中心点（リード幅Ｈ1 のＨ1 ／２）、即ち画面
上におけるボンデイング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ' ，Ｙ1 ’）
が求められる。この時、算出される位置座標はサブピク
セル（副画素）精度をもって検出できる。サブピクセル
演算については、多値化（階調付画像）相関処理に加
え、ＨＩＬＬ−ＣＬＩＭＢ技法及び補間法演算などを用
いることにより、副画素精度で最大の相関値を持つ点を
見つけ出せることが知られている。前記輪郭点ｅ3 、ｅ
4 の中心点（リード幅Ｈ1 の中心）は、パッド部Ｐ1 の
ボンデイング座標Ｐｃ1 （ｘ1 ' ，ｙ1 '）とリード部
Ｌ1 の仮のボンデイング座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）を結ぶ
直線Ｔ1 に直角の方向（直線Ｔ3 ）にカメラ１１で撮像
したリード部の画像を幅として画像処理部２０の演算制
御部２４で算出する。
【００１８】演算制御部２４は、前記のようにして画面
上のボンデイング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ' ，Ｙ1 ’）を算出
し、カメラ１１の中心軸１１ａ（画像中心）、即ち手動
入力した座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）からボンデイング座標
Ｌｃ1 （Ｘ1 ' ，Ｙ1 ’）のずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 を数
１で算出する。
【数１】Δｘ1 ＝ｘ1 −Ｘ1 ' Δｙ1 ＝ｙ1 −Ｙ1 ' このずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 は画像メモリ２２のピクセル
数として求まるが、カメラ１１の倍率により、１ピクセ
ル当たりの実寸法は装置の固有値であるので、ＸＹテー
ブル１６の移動量に換算することができ、この換算の係
数をｋｘ，ｋｙとすると、実寸法ずれ量ｄｘ1 ，ｄｙ1
は数２で算出され、数３によりリード部Ｌ1 のボンデイ
ング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）が算出される。このｄｘ
1 ，ｄｙ1 及びボンデイング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）
は演算制御部３５によって算出し、リード部Ｌ1 のボン
デイング座標としてボンデイング座標メモリ３６に記憶
される。
【数２】ｄｘ1 ＝ｋｘ・Δｘ1 ｄｙ1 ＝ｋｙ・Δｙ1
【数３】Ｘ1 ＝ｘ1 ＋ｄｘ1 Ｙ1 ＝ｙ1 ＋ｄｙ1
【００１９】次に手動入力手段４５によってＸＹテーブ
ル１６を移動させ、カメラ１１を第２番目のリード部Ｌ
2 の真上に位置させ、その座標Ｇ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）を演
算制御部３５に入力する。図４はリード部Ｌ2 がテレビ
モニタ２５に映っている撮像画像例を示す。ところで、
第１番目のリードＬ1 では、リード先端からの距離ｄを
手動入力した仮のボンデイング座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）
とカメラ１１で撮像した該リードＬ1 の先端の座標との
距離を用いたため、座標Ｇ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）は直線Ｔ3
上にあったが、第２番目からのリードＬ2 、Ｌ3 ・・・
では座標Ｇ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）（テレビモニタ２５のクロ
スラインの中心）は図４のようになる。
【００２０】リード部Ｌ2 と対になるパッドＰ2 の座標
Ｐｃ2 （ｘ2 ' ，ｙ2 ' ）は既に確定しているので、座
標Ｐｃ2 と画面中心Ｇ2 （テレビモニタ２５上のクロス
ライン）を結ぶ角度θ2 を有する直線Ｔ1 が求まる。次
に直線Ｔ1 と直角な直線でパッドＰ2 に最も近い輪郭点
ｅ1 （いわゆるリード部Ｌ2 の先端）を通る直線Ｔ2及
び直線Ｔ2 が直線Ｔ1 に交わる点ｅ2 を求める。続いて
直線Ｔ2 に平行でリード部先端からの距離ｄだけ移動し
た直線Ｔ3 を求める。ここで、リード部先端からの距離
ｄは、第１番目のリード部Ｌ1 で確定しておいたものを
そのまま用いる。
【００２１】そして、直線Ｔ3 の線上におけるリード部
Ｌ2 の輪郭点ｅ3 、ｅ4 を求め、更に輪郭点ｅ3 、ｅ4
２点間の中心点（リード幅Ｈ2 のＨ2 ／２）、即ち画面
上におけるボンデイング座標Ｌｃ2 （Ｘ2 ' ，Ｙ2 ’）
が求められる。前記輪郭点ｅ3 、ｅ4 の中心点（リード
幅Ｈの中心）は、パッド部Ｐ2 のボンデイング座標Ｐｃ
2 （ｘ2 ' ，ｙ2 ' ）とリード部Ｌ2 の仮のボンデイン
グ座標Ｇ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）を結ぶ直線Ｔ1 に直角の方向
（直線Ｔ3 ）にカメラ１１で撮像したリード部の画像を
幅として画像処理部２０の演算制御部２４で算出する。
【００２２】演算制御部２４は、前記のようにして画面
上のボンデイング座標Ｌｃ2 （Ｘ2 ' ，Ｙ2 ’）を算出
し、カメラ１１の中心軸１１ａ（画像中心）、即ち手動
入力した座標Ｇ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）からボンデイング座標
Ｌｃ2 （Ｘ2 ' ，Ｙ2 ’）のずれ量Δｘ2 ，Δｙ2 を数
４で算出する。
【数４】Δｘ2 ＝ｘ2 −Ｘ2 ' Δｙ2 ＝ｙ2 −Ｙ2 ' このずれ量Δｘ2 ，Δｙ2 をリード部Ｌ1 の場合と同様
に画像処理して座標Ｇ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）の実寸法ずれ量
ｄｘ2 ，ｄｙ2 及びボンデイング座標Ｌｃ2 （Ｘ2 ，Ｙ
2 ）が求まり、ボンデイング座標メモリ３６に記憶され
る。
【００２３】次にリード部Ｌ3 ，Ｌ4 のボンデイング座
標Ｌｃ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）、Ｌｃ4 （Ｘ4 ，Ｙ4 ）の算出
を行うが、このリード部Ｌ3 以降の座標は入力しないで
も自動的に算出される。一般に、リード部Ｌ1 から
Ｌ2 、Ｌ2 からＬ3 、Ｌ3 からＬ4 の間隔は、大きく変
化していない。即ち、Ｌ2 からＬ3 までの距離は、（Ｘ
2−Ｘ1 ），（Ｙ2 −Ｙ1 ）だけカメラ１１をボンデイ
ング座標Ｌｃ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）より移動させた時に、カ
メラ１１でリード部Ｌ3 を撮像できる範囲の距離であれ
ばよい。またカメラ１１をＬ3 に移動させる方向は、リ
ード部Ｌ1 からＬ2に向かう方向であると演算制御部３
５は判断して実行する。そこで、前記算出されたボンデ
イング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）、Ｌｃ2 （Ｘ2 ，
Ｙ2 ）により、数５によって仮のボンデイング座標Ｇ3
（ｘ3 ，ｙ3 ）を演算制御部３５が演算してＸ軸モータ
１２及びＹ軸モータ１３を駆動し、カメラ１１の中心軸
１１ａは座標Ｇ3 （ｘ3 ，ｙ3 ）に移動させられる。
【数５】ｘ3 ＝Ｘ2 ＋（Ｘ2 −Ｘ1 ） ｙ3 ＝Ｙ2 ＋（Ｙ2 −Ｙ1 ）
【００２４】次に前記と同様に画像処理してリード部Ｌ
3 の実寸法ずれ量ｄｘ3 ，ｄｙ3 及びボンデイング座標
Ｌｃ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）が求まり、ボンデイング座標メモ
リ３６に記憶される。次のリード部Ｌ4 も前記リード部
Ｌ3 と同様に処理されるので、その説明は省略する。
【００２５】一般化したｎ番目に進んでいく仮の座標Ｇ
ｎ（ｘｎ，ｙｎ）は数６で表され、またｎ番目のずれ量
をΔｘｎ，Δｙｎとすると、実寸法ずれ量ｄｘｎ，ｄｙ
ｎ及びリード部Ｌｎのボンデイング座標Ｌｃｎ（Ｘｎ，
Ｙｎ）は数７及び数８で表される。
【数６】ｘｎ＝Ｘｎー1 ＋（Ｘｎー1 −Ｘｎー2 ） ｙｎ＝Ｙｎー1 ＋（Ｙｎー1 −Ｙｎー2 ）
【数７】ｄｘｎ＝ｋｘ・Δｘｎ ｄｙｎ＝ｋｙ・Δｙｎ
【数８】Ｘｎ＝ｘｎ＋ｄｘｎ Ｙｎ＝ｙｎ＋ｄｙｎ
【００２６】なお、上記実施例は、リード部Ｌ3 のボン
デイング座標Ｌｃ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）を算出するのに、ボ
ンデイング座標Ｌｃ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）とＬｃ1 （Ｘ2 ，
Ｙ2）の差を算出してカメラ１１をその差だけ移動させ
てリード部Ｌ3 の仮のボンデイング座標Ｇ3 （ｘ3 ，ｙ
3 ）を画面中心に位置させた。しかし、リード部Ｌ2と
共にリード部Ｌ3 が画面に写っている場合は、特にカメ
ラ１１を移動させないで、数４で求めた仮のボンデイン
グ座標Ｇ3 （ｘ3 ，ｙ3 ）によって画像処理してリード
部Ｌ3 のボンデイング座標Ｌｃ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）を算出
してもよい。
【００２７】次にリード部Ｌ5 〜Ｌ8 のティーチング方
法について説明する。この場合は、前記したリード部Ｌ
1 〜Ｌ4 のティーチング方法と同様に、リード部Ｌ5 と
Ｌ6の仮の座標Ｇ5 （ｘ5 ，ｙ5 ）、Ｇ6 （ｘ6 ，
ｙ6 ）とリード部Ｌ5 〜Ｌ8 の数を入力することによ
り、前記したリード部Ｌ1 〜Ｌ4 の場合と同様に処理さ
れる。リード部Ｌ9 〜Ｌ12、Ｌ13〜Ｌ16も同様であるの
で、その説明は省略する。
【００２８】このように、連続して並んだリード部は、
第１番目と第２番目のリード部をカメラ１１で撮像させ
てその第１番目と第２番目のリード部座標を入力すれ
ば、自動的に各リード部の座標が画像処理部２０で算出
され、装置駆動部３０でボンデイング座標が算出され
る。即ち、入力する座標の数が少なくてよく、また画像
のクロスラインにリード部中心に合わせ込む操作を必要
としないので、作業時間が大幅に短縮されると共に、作
業者のミスや個人差などによる位置合わせ誤差がなく、
ボンデイング座標の位置精度が向上する。またテレビモ
ニタ２５の分解能は６μｍ／ピクセルであり、手動で位
置合わせする場合は、これより細かい位置の判断ができ
ない。本実施例においては、サブピクセル演算が可能で
あるので、１／３２ピクセルの検出精度があり、外乱の
要因を含めても１／４ピクセル、即ち１．５μｍの精度
が得られる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、第１番目と第２番目の
リード部のリード部座標を入力すれば、自動的に各リー
ド部の座標が画像処理部で算出され、装置駆動部でボン
デイング座標が算出されるので、作業時間の短縮及び位
置合わせ精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になるティーチング方法に用いる制御回
路部の一実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明になるティーチング方法の一実施例を示
すフローチャート図である。
【図３】テレビモニタの画像の１例を示す図である。
【図４】テレビモニタの画像の他の例を示す図である。
【図５】図６に示すリード部の一部の拡大平面図であ
る。
【図６】試料の１例を示す平面図である。
【図７】ワイヤボンデイング装置の１例を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
１ リードフレーム ２ 半導体チップ ３ 試料 １０ ワイヤボンデイング装置 １１ カメラ １５ キャピラリ １６ ＸＹテーブル ２０ 画像処理部 ２４ 演算制御部 ３０ 装置駆動部 ３５ 演算制御部 ３６ ボンデイング座標メモリ ４５ 手動入力手段 Ｐ1 乃至Ｐ16 パッド Ｌ1 乃至Ｌ16 リード部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 リードフレームに半導体チップが付着さ
    れた試料のパッドとリードとをワイヤで接続するキャピ
    ラリと、試料を撮像するカメラと、キャピラリ及びカメ
    ラを共に平面上で駆動するＸＹテーブルとを備えたワイ
    ヤボンデイング装置におけるボンデイング座標を教示す
    るティーチング方法において、リード部の第１番目及び
    第２番目のティーチングは、手動入力手段によって仮の
    ボンデイング座標を入力してカメラをリード部を撮像す
    るように移動させ、撮像した第１番目及び第２番目のリ
    ード部の画像のリード先端からの距離とリード幅の中心
    を画像処理部の演算制御部で算出し、前記手動入力した
    第１番目及び第２番目の仮のボンデイング座標を装置駆
    動部の演算制御部で補正して新たなボンデイング座標と
    してボンデイング座標メモリに記憶し、第３番目以降の
    リード部のティーチングは、検出するリード部の前とそ
    の前の２つの新たなボンデイング座標の差を装置駆動部
    の演算制御部が算出してカメラをその差だけ検出するリ
    ード部の前のボンデイング座標から移動させるか、又は
    その差を検出するリード部の前のボンデイング座標に加
    えて仮のボンデイング座標とし、カメラで撮像した該リ
    ード部のリード先端からの距離とリードの幅中心を画像
    処理部の演算制御部で算出し、前記カメラが移動させら
    れた座標又は前記仮のボンデイング座標を装置駆動部の
    演算制御部で補正して新たなボンデイング座標としてボ
    ンデイング座標メモリに記憶することを特徴とするボン
    デイング座標のティーチング方法。
  2. 【請求項２】 リード先端からの距離は、手動入力した
    第１番目のリード部の仮のボンデイング座標とカメラで
    撮像した該リードの先端の座標との距離を画像処理部の
    演算制御部で算出することを特徴とする請求項１記載の
    ボンデイング座標のティーチング方法。
  3. 【請求項３】 リード幅の中心は、予めティーチングに
    より確定しておいたパッド部のボンデイング座標とリー
    ドを結ぶ直線に直角の方向にカメラで撮像したリード部
    の画像を幅として画像処理部の演算制御部で算出するこ
    とを特徴とする請求項１記載のボンデイング座標のティ
    ーチング方法。
  4. 【請求項４】 リードフレームに半導体チップが付着さ
    れた試料のパッドとリードとをワイヤで接続するキャピ
    ラリと、試料を撮像するカメラと、キャピラリ及びカメ
    ラを共に平面上で駆動するＸＹテーブルと、ボンデイン
    グ座標を入力する手動入力手段とを備えたワイヤボンデ
    イング装置において、前記カメラで撮像した画像を処理
    してリード部の画像のリード先端からの距離とリード幅
    の中心を算出する画像処理部の演算制御部と、第１番目
    及び第２番目のリード部は、手動入力手段によって仮の
    ボンデイング座標を入力してカメラをリード部を撮像す
    るように移動させ、撮像した第１番目及び第２番目のリ
    ード部の画像のリード先端からの距離とリード幅の中心
    を画像処理部の演算制御部で算出し、前記第１番目及び
    第２番目のリード部の仮のボンデイング座標を補正して
    新たなボンデイング座標とし、第３番目以降のリード部
    は、検出するリード部の前とその前の２つの新たなボン
    デイング座標の差を算出してカメラをその差だけ移動さ
    せ検出するリード部の前のボンデイング座標から移動さ
    せるか、又はその差を検出するリード部の前のボンデイ
    ング座標に加えて仮のボンデイング座標とし、カメラで
    撮像した該リード部のリード先端からの距離とリードの
    幅中心を画像処理部の演算制御部で算出し、前記カメラ
    が移動させられた座標又は前記仮のボンデイング座標を
    補正して新たなボンデイング座標とする装置駆動部の演
    算制御部と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボ
    ンデイング座標メモリとを備えたことを特徴とするボン
    デイング座標のティーチング手段。
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