JP2994788B2 - アルカリ現像型感光性組成物 - Google Patents
アルカリ現像型感光性組成物Info
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- JP2994788B2 JP2994788B2 JP11561191A JP11561191A JP2994788B2 JP 2994788 B2 JP2994788 B2 JP 2994788B2 JP 11561191 A JP11561191 A JP 11561191A JP 11561191 A JP11561191 A JP 11561191A JP 2994788 B2 JP2994788 B2 JP 2994788B2
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、平版印刷版、IC回路
あるいはフォトマスクの製造に好適なアルカリ現像型感
光性組成物に関するものであり、更に詳しくは、水性ア
ルカリで現像することができる光硬化型感光性組成物に
関するものである。
あるいはフォトマスクの製造に好適なアルカリ現像型感
光性組成物に関するものであり、更に詳しくは、水性ア
ルカリで現像することができる光硬化型感光性組成物に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】光硬化型感光性組成物の一つとして、光
ラジカル重合を利用したものが知られている。しかし、
このような組成物は、酸素による重合阻害を受けるた
め、感光層の作製時に例えばオーバーコート層を設ける
必要がある。このため最近では、その必要がない光カチ
オン重合を利用した感光性組成物が多く開発されてい
る。
ラジカル重合を利用したものが知られている。しかし、
このような組成物は、酸素による重合阻害を受けるた
め、感光層の作製時に例えばオーバーコート層を設ける
必要がある。このため最近では、その必要がない光カチ
オン重合を利用した感光性組成物が多く開発されてい
る。
【0003】これらの感光性組成物は、バインダーポリ
マー中にカチオン重合性モノマーまたはオリゴマーをブ
レンドするものと、ポリマー自身の主鎖にカチオン重合
性の感光性基をもたせるものに大別され、さらに、各々
に光カチオン重合開始剤(光カチオン発生剤)が含有さ
せている。
マー中にカチオン重合性モノマーまたはオリゴマーをブ
レンドするものと、ポリマー自身の主鎖にカチオン重合
性の感光性基をもたせるものに大別され、さらに、各々
に光カチオン重合開始剤(光カチオン発生剤)が含有さ
せている。
【0004】上記のバインダーポリマーあるいは光カチ
オン重合性ポリマーとしては、従来から主としてエポキ
シポリマーが用いられている。エポキシポリマーの代表
的なものとしては、エポキシ化されたノボラックポリマ
ー、エピクロルヒドリンと多核ジヒドロキシフェノール
(例えばビスフェノール)とからなるポリエポキシドな
どがある。
オン重合性ポリマーとしては、従来から主としてエポキ
シポリマーが用いられている。エポキシポリマーの代表
的なものとしては、エポキシ化されたノボラックポリマ
ー、エピクロルヒドリンと多核ジヒドロキシフェノール
(例えばビスフェノール)とからなるポリエポキシドな
どがある。
【0005】また、光カチオン重合開始剤としては、例
えば、米国特許4081276号などに記載されてい
る、ルイス酸やプロトン酸を発生する芳香族ジアゾニウ
ム塩、トリアリルスルホニウム塩、チオピリリウム塩、
スルホキソニウム塩などを用いることができる。
えば、米国特許4081276号などに記載されてい
る、ルイス酸やプロトン酸を発生する芳香族ジアゾニウ
ム塩、トリアリルスルホニウム塩、チオピリリウム塩、
スルホキソニウム塩などを用いることができる。
【0006】ところが、上記の如きバインダーポリマー
や光カチオン重合性ポリマーは、いずれも水性アルカリ
溶液には不溶であるため、未露光部は主として有機溶剤
で現像除去しなければならない。しかしながら有機溶剤
は、一般に毒性および臭気があり、また火災に対する危
険性が大きいため、近年では有機溶剤を含まない現像液
による現像方法が望まれている。
や光カチオン重合性ポリマーは、いずれも水性アルカリ
溶液には不溶であるため、未露光部は主として有機溶剤
で現像除去しなければならない。しかしながら有機溶剤
は、一般に毒性および臭気があり、また火災に対する危
険性が大きいため、近年では有機溶剤を含まない現像液
による現像方法が望まれている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、実質上有機溶剤を含まない水性アルカリ溶液によ
って現像することができる光カチオン重合性感光性組成
物を提供することにある。
的は、実質上有機溶剤を含まない水性アルカリ溶液によ
って現像することができる光カチオン重合性感光性組成
物を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成すべく鋭意検討した結果、光カチオン重合可能な
アルカリ可溶性共重合体を見い出し、これに基づいて本
発明を完成したものである。
を達成すべく鋭意検討した結果、光カチオン重合可能な
アルカリ可溶性共重合体を見い出し、これに基づいて本
発明を完成したものである。
【0009】本発明は、(a)下記式(I)および/ま
たは(II)で表わされるモノマーと、下記式(III)で表
わされるモノマーを含むアルカリ可溶性共重合体と、
(b)光カチオン発生剤とを含有していることを特徴と
するアルカリ現像型感光性組成物を提供するものであ
る。
たは(II)で表わされるモノマーと、下記式(III)で表
わされるモノマーを含むアルカリ可溶性共重合体と、
(b)光カチオン発生剤とを含有していることを特徴と
するアルカリ現像型感光性組成物を提供するものであ
る。
【0010】
【化4】
【化5】
【化6】
【0011】以下、本発明について詳述する。本発明の
(a)成分は、上記式(I)および/または(II)で表
わされるモノマーと、上記式(III)で表わされるモノマ
ーを含むアルカリ可溶性共重合体である。上記式(I)
で表わされるモノマーの例としては、N−(4−ヒドロ
キシフェニル)マレイミドなどが挙げられ、上記式(I
I)で表わされるモノマーの例としては、N−(4−ヒ
ドロキシフェニル)メタアクリルアミド、N−(4−ヒ
ドロキシフェニル)アクリルアミドなどが挙げられる。
また、上記式(III)で表わされるモノマーの例として
は、グリシジルメタアクリレート、4−ビニルフェニル
グリシジルエーテル、エピチオプロピルメタアクリレー
トなどが挙げられる。
(a)成分は、上記式(I)および/または(II)で表
わされるモノマーと、上記式(III)で表わされるモノマ
ーを含むアルカリ可溶性共重合体である。上記式(I)
で表わされるモノマーの例としては、N−(4−ヒドロ
キシフェニル)マレイミドなどが挙げられ、上記式(I
I)で表わされるモノマーの例としては、N−(4−ヒ
ドロキシフェニル)メタアクリルアミド、N−(4−ヒ
ドロキシフェニル)アクリルアミドなどが挙げられる。
また、上記式(III)で表わされるモノマーの例として
は、グリシジルメタアクリレート、4−ビニルフェニル
グリシジルエーテル、エピチオプロピルメタアクリレー
トなどが挙げられる。
【0012】上記式(I)および/または(II)で表わ
されるモノマーの共重合体(a)中における含有量は、
好ましくは10〜80重量%、より好ましくは20〜7
0重量%である。10重量%以下では水性アルカリ溶液
に対する溶解性が不十分であり、80重量%以上では逆
に光硬化後の画像がアルカリ溶液で膨潤しやすくなり、
強度の劣化につながる。
されるモノマーの共重合体(a)中における含有量は、
好ましくは10〜80重量%、より好ましくは20〜7
0重量%である。10重量%以下では水性アルカリ溶液
に対する溶解性が不十分であり、80重量%以上では逆
に光硬化後の画像がアルカリ溶液で膨潤しやすくなり、
強度の劣化につながる。
【0013】上記式(III)で表わされるモノマーの共重
合体(a)中における含有量は、好ましくは20〜90
重量%、より好ましくは30〜80重量%である。20
重量%以下では光硬化性が悪く、感度の低下を起こす。
また、90重量%以上では、アルカリ現像できなくな
る。
合体(a)中における含有量は、好ましくは20〜90
重量%、より好ましくは30〜80重量%である。20
重量%以下では光硬化性が悪く、感度の低下を起こす。
また、90重量%以上では、アルカリ現像できなくな
る。
【0014】本発明のアルカリ可溶性共重合体(a)に
は、上記式(I)、(II)および(III)で表わされるモ
ノマー以外に他の付加重合性不飽和化合物を共重合させ
ることもできる。
は、上記式(I)、(II)および(III)で表わされるモ
ノマー以外に他の付加重合性不飽和化合物を共重合させ
ることもできる。
【0015】他の付加重合性不飽和化合物としては、一
般的な不飽和化合物を任意に用いることができる。その
例としては、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロ
ピル、n−ブチル、ターシャルブチル、n−アミル、n
−ヘキシル、2−エチルヘキシル、オクチル、ラウリ
ル、ドデシル、シクロヘキシル、テトラヒドロフリル、
ベンジル、ステアリル、ジメチルアミノエチル、ジエチ
ルアミノエチル、クロルエチル、アリール(例えばフェ
ニル、トリル、ナフチルなど)、グリシジル類のアクリ
ル酸エステルまたはメタクリル酸エステル類、あるいは
アクリルニトリル、メタクリルニトリル類などが挙げら
れる。さらに、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2
−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピルアクリレートなどの水酸基を有
するアクリレートまたはメタクリレート類も挙げること
ができる。
般的な不飽和化合物を任意に用いることができる。その
例としては、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロ
ピル、n−ブチル、ターシャルブチル、n−アミル、n
−ヘキシル、2−エチルヘキシル、オクチル、ラウリ
ル、ドデシル、シクロヘキシル、テトラヒドロフリル、
ベンジル、ステアリル、ジメチルアミノエチル、ジエチ
ルアミノエチル、クロルエチル、アリール(例えばフェ
ニル、トリル、ナフチルなど)、グリシジル類のアクリ
ル酸エステルまたはメタクリル酸エステル類、あるいは
アクリルニトリル、メタクリルニトリル類などが挙げら
れる。さらに、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2
−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシ−
3−フェノキシプロピルアクリレートなどの水酸基を有
するアクリレートまたはメタクリレート類も挙げること
ができる。
【0016】アルカリ可溶性共重合体(a)の含有量
は、感光層の総重量に対して好ましくは75〜99.9
重量%であり、より好ましくは80〜99.5重量%で
ある。
は、感光層の総重量に対して好ましくは75〜99.9
重量%であり、より好ましくは80〜99.5重量%で
ある。
【0017】本発明の(b)成分は、光カチオン発生剤
である。その例としては、アリールジアゾニウム塩、ジ
アリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム
塩、トリハロアルキルアリールスルフォン化合物、トリ
アリールセレノニウム塩、スルホン酸エステル、O−ニ
トロベンジルスルホネート、P−ニトロベンジルスルホ
ネート、鉄−アレーン化合物などが挙げられる。
である。その例としては、アリールジアゾニウム塩、ジ
アリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム
塩、トリハロアルキルアリールスルフォン化合物、トリ
アリールセレノニウム塩、スルホン酸エステル、O−ニ
トロベンジルスルホネート、P−ニトロベンジルスルホ
ネート、鉄−アレーン化合物などが挙げられる。
【0018】上記アリールジアゾニウム塩の例として
は、4−フェニルアミノベンゼンジアゾニウム、4−
(4′メトキシフェニルアミノ)ベンゼンジアゾニウ
ム、4−N,N−ジエチルアミノベンゼンジアゾニウ
ム、4−モルホリノ−2,5−ジブトキシベンゼンジア
ゾニウム、4−(4′メトキシフェニルチオ)−2,5
−ジエトキシベンゼンジアゾニウム、4−ピロリディノ
−3−メチルベンゼンジアゾニウムのPF6 - 、AsF
6 - 、BF4 - 、SbF6 - 、SbCl6 - 、FeCl
4 - 塩などが挙げられる。
は、4−フェニルアミノベンゼンジアゾニウム、4−
(4′メトキシフェニルアミノ)ベンゼンジアゾニウ
ム、4−N,N−ジエチルアミノベンゼンジアゾニウ
ム、4−モルホリノ−2,5−ジブトキシベンゼンジア
ゾニウム、4−(4′メトキシフェニルチオ)−2,5
−ジエトキシベンゼンジアゾニウム、4−ピロリディノ
−3−メチルベンゼンジアゾニウムのPF6 - 、AsF
6 - 、BF4 - 、SbF6 - 、SbCl6 - 、FeCl
4 - 塩などが挙げられる。
【0019】上記ジアリールヨードニウム塩の例として
は、ジフェニルヨードニウムのPF6 - 、AsF6 - 、
BF4 - 、SbF6 - 塩などが挙げられる。上記トリア
リールスルホニウム塩の例としては、トリフェニルスル
ホニウムのPF6 - 、AsF6 - 、BF4 - 塩などが挙
げられる。
は、ジフェニルヨードニウムのPF6 - 、AsF6 - 、
BF4 - 、SbF6 - 塩などが挙げられる。上記トリア
リールスルホニウム塩の例としては、トリフェニルスル
ホニウムのPF6 - 、AsF6 - 、BF4 - 塩などが挙
げられる。
【0020】上記トリハロアルキルアリールスルフォン
化合物の例としては、α,α,α−トリブロモメチルフ
ェニルスルフォン、α,α,α−トリブロモメチル(P
−ニトロフェニル)スルフォン、α,α,α−トリクロ
ロメチルフェニルスルフォン、α,α,α−トリクロロ
メチル(P−ニトロフェニル)スルフォン、α,α,α
−トリブロモメチルナフチルスルフォンなどが挙げられ
る。
化合物の例としては、α,α,α−トリブロモメチルフ
ェニルスルフォン、α,α,α−トリブロモメチル(P
−ニトロフェニル)スルフォン、α,α,α−トリクロ
ロメチルフェニルスルフォン、α,α,α−トリクロロ
メチル(P−ニトロフェニル)スルフォン、α,α,α
−トリブロモメチルナフチルスルフォンなどが挙げられ
る。
【0021】上記トリアリールセレノニウム塩の例とし
ては、トリフェニルセレノニウムのPF6 - 、AsF6
- 、BF4 - 、SbF6 - 塩などが挙げられる。上記ス
ルホン酸エステルの例としては、α−ヒドロキシメチル
ベンゾインスルホン酸エステル、N−ヒドロキシイミド
スルホネート、α−スルホニロキシケトンなどが挙げら
れる。
ては、トリフェニルセレノニウムのPF6 - 、AsF6
- 、BF4 - 、SbF6 - 塩などが挙げられる。上記ス
ルホン酸エステルの例としては、α−ヒドロキシメチル
ベンゾインスルホン酸エステル、N−ヒドロキシイミド
スルホネート、α−スルホニロキシケトンなどが挙げら
れる。
【0022】上記O−ニトロベンジルスルホネートの例
としては、2−ニトロベンジルトシレート、2,4−ジ
ニトロベンジルトシレート、2,6−ジニトロベンジル
トシレートなどが挙げられる。
としては、2−ニトロベンジルトシレート、2,4−ジ
ニトロベンジルトシレート、2,6−ジニトロベンジル
トシレートなどが挙げられる。
【0023】上記P−ニトロベンジルスルホネートの例
としては、P−ニトロベンジル−9,10−ジメトキシ
アントラセン−2−スルホネートなどが挙げられる。上
記鉄−アレーン化合物の例としては、(η−ベンゼン)
(η−シクロペンタジェニル)鉄(II)のPF塩、(η
−ナフタレン)(η−シクロペンタジェニル)鉄(II)
のPF塩などが挙げられる。
としては、P−ニトロベンジル−9,10−ジメトキシ
アントラセン−2−スルホネートなどが挙げられる。上
記鉄−アレーン化合物の例としては、(η−ベンゼン)
(η−シクロペンタジェニル)鉄(II)のPF塩、(η
−ナフタレン)(η−シクロペンタジェニル)鉄(II)
のPF塩などが挙げられる。
【0024】光カチオン発生剤(b)の含有量は、感光
層の総重量に対して好ましくは0.1〜25重量%であ
り、より好ましくは0.5〜20重量%である。0.1
重量%以下では発生するカチオンが少ないため、光硬化
が十分起こらない。25重量%以上ではそれ以上感度が
上がらず、不必要に多すぎて不経済である。
層の総重量に対して好ましくは0.1〜25重量%であ
り、より好ましくは0.5〜20重量%である。0.1
重量%以下では発生するカチオンが少ないため、光硬化
が十分起こらない。25重量%以上ではそれ以上感度が
上がらず、不必要に多すぎて不経済である。
【0025】本発明の組成物中には、アルカリ可溶性共
重合体(a)および光カチオン発生剤(b)の他に、さ
らにシェラック、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、
クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、置換フェノール−
ホルムアルデヒド樹脂、ポリヒドロキシスチレン、ハロ
ゲン化ポリヒドロキシスチレン、ヒドロキシスチレンと
アクリル化合物との共重合体、スチレン−無水マレイン
酸共重合体、アクリル樹脂、変性アクリル共重合体など
の公知のアルカリ可溶性高分子化合物を含有させること
もできる。かかるアルカリ可溶性高分子化合物は、全組
成物の好ましくは40重量%以下の添加量で用いられ
る。
重合体(a)および光カチオン発生剤(b)の他に、さ
らにシェラック、フェノール−ホルムアルデヒド樹脂、
クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、置換フェノール−
ホルムアルデヒド樹脂、ポリヒドロキシスチレン、ハロ
ゲン化ポリヒドロキシスチレン、ヒドロキシスチレンと
アクリル化合物との共重合体、スチレン−無水マレイン
酸共重合体、アクリル樹脂、変性アクリル共重合体など
の公知のアルカリ可溶性高分子化合物を含有させること
もできる。かかるアルカリ可溶性高分子化合物は、全組
成物の好ましくは40重量%以下の添加量で用いられ
る。
【0026】本発明の感光性組成物には、上記の如き成
分の他にさらに染料、顔料、可塑剤、界面活性剤などの
添加剤を加えることができる。感光性組成物の着色を目
的として添加する染料としては、クリスタルバイオレッ
ト、マラカイドグリーン、ビクトリアブルー、メチレン
ブルー、エチルバイオレット、ローダミンBなど、およ
びその誘導体である塩基性油性染料を挙げることができ
る。このような染料は、ビクトリアピュアーブルーBO
H(保土谷化学工業(株)製)、オイルブルー#603
(オリエント化学工業(株)製)、パーマネントブルー
#47(大同化学工業(株)製)などとして市販されて
いる。
分の他にさらに染料、顔料、可塑剤、界面活性剤などの
添加剤を加えることができる。感光性組成物の着色を目
的として添加する染料としては、クリスタルバイオレッ
ト、マラカイドグリーン、ビクトリアブルー、メチレン
ブルー、エチルバイオレット、ローダミンBなど、およ
びその誘導体である塩基性油性染料を挙げることができ
る。このような染料は、ビクトリアピュアーブルーBO
H(保土谷化学工業(株)製)、オイルブルー#603
(オリエント化学工業(株)製)、パーマネントブルー
#47(大同化学工業(株)製)などとして市販されて
いる。
【0027】また、顔料としては、フタロシアニンブル
ー、フタロシアニングリーン、ジオキサジンバイオレッ
ト、キナクリドンレッド、インダンスレンブルーなどを
挙げることができる。その市販品としては、ネオザポン
ブルーFLE(バーディッシュ・アニリン(社)製)、
オイルブルーBOS(オリエント化学工業(株)製)、
スピロンブルーGNH(保土谷化学工業(株)製)など
がある。
ー、フタロシアニングリーン、ジオキサジンバイオレッ
ト、キナクリドンレッド、インダンスレンブルーなどを
挙げることができる。その市販品としては、ネオザポン
ブルーFLE(バーディッシュ・アニリン(社)製)、
オイルブルーBOS(オリエント化学工業(株)製)、
スピロンブルーGNH(保土谷化学工業(株)製)など
がある。
【0028】上記染料の含有量は感光層の総重量に対し
て、好ましくは約0.1〜5.0重量%であり、より好
ましくは0.5〜4.0重量%である。また上記顔料の
含有量は感光層の総重量に対して、好ましくは約1.0
〜5.0重量%であり、より好ましくは2.0〜4.0
重量%である。
て、好ましくは約0.1〜5.0重量%であり、より好
ましくは0.5〜4.0重量%である。また上記顔料の
含有量は感光層の総重量に対して、好ましくは約1.0
〜5.0重量%であり、より好ましくは2.0〜4.0
重量%である。
【0029】感光性組成物の塗布性をよくしたり、感光
性組成物の支持体への接着性を向上させる目的で、可塑
剤や界面活性剤を加えることもできる。可塑剤として
は、例えばジメチルフタレート、ジエチルフタレート、
ジブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジ−2−
エチルヘキシルフタレート、ジ−n−オクチルフタレー
ト、ジイソデシルフタレート、ブチルベンジルフタレー
ト、ジイソノニルフタレート、エチルフタリルエチルグ
リコール、ジメチルイソフタレートなどを挙げることが
できる。上記可塑剤の含有量は、感光層の総重量に対し
て、好ましくは約0.5〜3.0重量%であり、より好
ましくは0.6〜2.0重量%である。
性組成物の支持体への接着性を向上させる目的で、可塑
剤や界面活性剤を加えることもできる。可塑剤として
は、例えばジメチルフタレート、ジエチルフタレート、
ジブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジ−2−
エチルヘキシルフタレート、ジ−n−オクチルフタレー
ト、ジイソデシルフタレート、ブチルベンジルフタレー
ト、ジイソノニルフタレート、エチルフタリルエチルグ
リコール、ジメチルイソフタレートなどを挙げることが
できる。上記可塑剤の含有量は、感光層の総重量に対し
て、好ましくは約0.5〜3.0重量%であり、より好
ましくは0.6〜2.0重量%である。
【0030】界面活性剤としては、ソルビタンモノオレ
エイト、ソルビタンステアリレイト、ソルビタンモノス
テアレイト、ソルビタンセキスオレイト、ソルビタンモ
ノラウレイト、ポリオキシエチレンノニルフェニルエー
テル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルな
どを挙げることができる。上記界面活性剤の含有量は、
感光層の総重量に対して、好ましくは約0.4〜2.0
重量%、より好ましくは0.6〜1.6重量%である。
エイト、ソルビタンステアリレイト、ソルビタンモノス
テアレイト、ソルビタンセキスオレイト、ソルビタンモ
ノラウレイト、ポリオキシエチレンノニルフェニルエー
テル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルな
どを挙げることができる。上記界面活性剤の含有量は、
感光層の総重量に対して、好ましくは約0.4〜2.0
重量%、より好ましくは0.6〜1.6重量%である。
【0031】本発明の感光性組成物は、例えば、メタノ
ール、メチレンクロライド、酢酸エチル、テトラヒドロ
フラン、N−N−ジメチルホルムアミド、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセ
ロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、メチルエチルケトン、アセトン、乳酸メチル
などの一種あるいは二種以上の混合溶剤に溶解させ、各
種塗布機(例えばホワイラー、ロールコーター、バーコ
ーター、押し出し型コーターなど)を用いて支持体上に
塗布し、乾燥させることができる。
ール、メチレンクロライド、酢酸エチル、テトラヒドロ
フラン、N−N−ジメチルホルムアミド、エチレングリ
コールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエ
チルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセ
ロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチル
エーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテート、メチルエチルケトン、アセトン、乳酸メチル
などの一種あるいは二種以上の混合溶剤に溶解させ、各
種塗布機(例えばホワイラー、ロールコーター、バーコ
ーター、押し出し型コーターなど)を用いて支持体上に
塗布し、乾燥させることができる。
【0032】本発明の感光性組成物を用いて感光性平版
印刷版を製造する場合、その支持体としては、紙、プラ
スチックフイルム、あるいは銅、亜鉛、アルミニウム、
ステンレスなどの金属板、さらにこれらを二種以上組み
合わせた複合材料を用いることができる。これらの中
で、特にブラシまたはボール研磨したアルミニウム板、
ブラシ研磨したのち陽極酸化処理を施したアルミニウム
板、電解研磨したのち陽極酸化を施したアルミニウム
板、あるいはこれらを組み合わせた処理を施したアルミ
ニウム板が好ましい。
印刷版を製造する場合、その支持体としては、紙、プラ
スチックフイルム、あるいは銅、亜鉛、アルミニウム、
ステンレスなどの金属板、さらにこれらを二種以上組み
合わせた複合材料を用いることができる。これらの中
で、特にブラシまたはボール研磨したアルミニウム板、
ブラシ研磨したのち陽極酸化処理を施したアルミニウム
板、電解研磨したのち陽極酸化を施したアルミニウム
板、あるいはこれらを組み合わせた処理を施したアルミ
ニウム板が好ましい。
【0033】このような前処理を施したアルミニウム板
に、さらにケイ酸アルカリ、フッ化ジルコニウム、アル
キルチタネート、トリヒドロキシ安息香酸などによる化
成処理や、ベーマイト処理あるいは酢酸ストロンチウ
ム、酢酸亜鉛、酢酸マグネシウム、安息香酸カルシウム
などの水溶液による被覆処理、ポリビニルピロリドン、
ポリアミンスルホン酸、ポリアクリル酸、ポリメタクリ
ル酸、ポリ−2−ヒドロキシエチルアクリレートなどに
よる被覆処理を後処理として行なうことができる。
に、さらにケイ酸アルカリ、フッ化ジルコニウム、アル
キルチタネート、トリヒドロキシ安息香酸などによる化
成処理や、ベーマイト処理あるいは酢酸ストロンチウ
ム、酢酸亜鉛、酢酸マグネシウム、安息香酸カルシウム
などの水溶液による被覆処理、ポリビニルピロリドン、
ポリアミンスルホン酸、ポリアクリル酸、ポリメタクリ
ル酸、ポリ−2−ヒドロキシエチルアクリレートなどに
よる被覆処理を後処理として行なうことができる。
【0034】本発明の感光性組成物は、支持体上に塗布
したのち、紫外線などの活性光線で露光し、水性アルカ
リ現像液で現像することにより、原画に対してネガのレ
リーフ像を与える。
したのち、紫外線などの活性光線で露光し、水性アルカ
リ現像液で現像することにより、原画に対してネガのレ
リーフ像を与える。
【0035】このとき現像液として使用するアルカリ性
水溶液としては、例えば、 (1)水酸化ナトリウム、水酸化カリウム; (2)弱酸の金属塩:例えばケイ酸、メタケイ酸、オル
トケイ酸、リン酸、ピロリン酸、メタリン酸、ヘキサメ
タリン酸、炭酸、酒石酸、ホウ酸などのナトリウム塩、
リチウム塩、カリウム塩などの金属塩; (3)アンモニアおよびその誘導体:例えばアルキルア
ミン類(例えばモノメチル、ジメチル、トリメチル、モ
ノエチル、ジエチル、トリエチルなどのアミン化合
物)、またはアルカノールアミン類(例えばモノエタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、ジイソプロパノールアミン); などのアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。
水溶液としては、例えば、 (1)水酸化ナトリウム、水酸化カリウム; (2)弱酸の金属塩:例えばケイ酸、メタケイ酸、オル
トケイ酸、リン酸、ピロリン酸、メタリン酸、ヘキサメ
タリン酸、炭酸、酒石酸、ホウ酸などのナトリウム塩、
リチウム塩、カリウム塩などの金属塩; (3)アンモニアおよびその誘導体:例えばアルキルア
ミン類(例えばモノメチル、ジメチル、トリメチル、モ
ノエチル、ジエチル、トリエチルなどのアミン化合
物)、またはアルカノールアミン類(例えばモノエタノ
ールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、ジイソプロパノールアミン); などのアルカリ性化合物の水溶液が挙げられる。
【0036】上記のアルカリ性水溶液中に必要に応じて
活性剤を添加することができる。活性剤としては、陰イ
オン界面活性剤あるいは両性界面活性剤を使用すること
ができる。陰イオン界面活性剤としては、例えば炭素数
8〜22のアルコールの硫酸エステル類(例えば、ポリ
オキシエチレンアルキルサルフェートソーダ塩)、アル
キルアリールスルホン酸塩類(例えば、ドデシルベンゼ
ンスルホン酸ソーダ、ポリオキシエチレンドデシルフェ
ニルサルフェートソーダ塩、アルキルナフタレンスルホ
ン酸ソーダ、ナフタレンスルホン酸ソーダ、ナフタレン
スルホン酸ソーダのホルマリン縮合物)、ソジウムジア
ルキルスルホサクシネート、脂肪酸アミドスルホネー
ト、アルキルリン酸エステル、アルキルエーテルリン酸
エステルなどを用いることができる。
活性剤を添加することができる。活性剤としては、陰イ
オン界面活性剤あるいは両性界面活性剤を使用すること
ができる。陰イオン界面活性剤としては、例えば炭素数
8〜22のアルコールの硫酸エステル類(例えば、ポリ
オキシエチレンアルキルサルフェートソーダ塩)、アル
キルアリールスルホン酸塩類(例えば、ドデシルベンゼ
ンスルホン酸ソーダ、ポリオキシエチレンドデシルフェ
ニルサルフェートソーダ塩、アルキルナフタレンスルホ
ン酸ソーダ、ナフタレンスルホン酸ソーダ、ナフタレン
スルホン酸ソーダのホルマリン縮合物)、ソジウムジア
ルキルスルホサクシネート、脂肪酸アミドスルホネー
ト、アルキルリン酸エステル、アルキルエーテルリン酸
エステルなどを用いることができる。
【0037】また両性界面活性剤しとては、例えばアル
キルベタイン型、アルキルイミダゾリン型活性剤を用い
ることができる。
キルベタイン型、アルキルイミダゾリン型活性剤を用い
ることができる。
【0038】本発明のアルカリ現像型感光性組成物は、
平版印刷版、IC回路、フォトマスクなどの製造に好ま
しく用いられる。
平版印刷版、IC回路、フォトマスクなどの製造に好ま
しく用いられる。
【0039】
【作用】本発明の感光性組成物は、光カチオン重合型感
光性組成物であるため、光硬化の際に酸素による阻害を
受けない。したがって、オーバーコート層を設けるとい
うような処置を必要としない。また、画像露光後は水性
アルカリ現像液によって現像することができるため、印
刷版として使用する場合に、ポジ型平版印刷版の現像液
として公知である水性アルカリ現像液を用いて現像する
ことができる。しかも、本発明の感光性組成物は、ネガ
型であるため、一種類の現像液でポジ版、ネガ版を得る
ことができ、作業効率、設備費、配置スペースなどが著
しく改善される。
光性組成物であるため、光硬化の際に酸素による阻害を
受けない。したがって、オーバーコート層を設けるとい
うような処置を必要としない。また、画像露光後は水性
アルカリ現像液によって現像することができるため、印
刷版として使用する場合に、ポジ型平版印刷版の現像液
として公知である水性アルカリ現像液を用いて現像する
ことができる。しかも、本発明の感光性組成物は、ネガ
型であるため、一種類の現像液でポジ版、ネガ版を得る
ことができ、作業効率、設備費、配置スペースなどが著
しく改善される。
【0040】
【実施例】以下に、本発明を実施例によりさらに詳しく
説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0041】まず、次のようにして共重合体〜を合
成した。共重合体 窒素気流下で、反応溶媒としてのテトラヒドロフラン
(T.H.F)150g中に、下記組成の混合物を加
え、65℃に加温してから1,1′−アゾビス(シクロ
ヘキサン−1−カルボニトリル)0.3gを加えて、6
5℃で5時間撹拌した。反応終了後、T.H.F150
gを加え、水中に投入して共重合体を沈澱させた。沈澱
物を真空乾燥(60℃)して共重合体を得た。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 40g グリシジルメタアクリレート 30g メチルメタクリレート 30g この共重合体の20重量%T.H.F溶液を調整し、
粘度を測定した結果、約500CPS(25℃)であっ
た。
成した。共重合体 窒素気流下で、反応溶媒としてのテトラヒドロフラン
(T.H.F)150g中に、下記組成の混合物を加
え、65℃に加温してから1,1′−アゾビス(シクロ
ヘキサン−1−カルボニトリル)0.3gを加えて、6
5℃で5時間撹拌した。反応終了後、T.H.F150
gを加え、水中に投入して共重合体を沈澱させた。沈澱
物を真空乾燥(60℃)して共重合体を得た。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 40g グリシジルメタアクリレート 30g メチルメタクリレート 30g この共重合体の20重量%T.H.F溶液を調整し、
粘度を測定した結果、約500CPS(25℃)であっ
た。
【0042】共重合体 下記の配合からなる組成物を用いる以外は共重合体と
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 40g グリシジルメタアクリレート 40g メチルメタクリレート 20g
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 40g グリシジルメタアクリレート 40g メチルメタクリレート 20g
【0043】共重合体 下記の配合からなる組成物を用いる以外は共重合体と
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 30g 4−ビニルフェニルグリシジルエーテル 50g エチルメタクリレート 20g
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 30g 4−ビニルフェニルグリシジルエーテル 50g エチルメタクリレート 20g
【0044】共重合体 下記の配合からなる組成物を用いる以外は共重合体と
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 40g エピチオプロピルメタクリレート 40g エチルメタクリレート 20g
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 40g エピチオプロピルメタクリレート 40g エチルメタクリレート 20g
【0045】共重合体 下記の配合からなる組成物を用いる以外は共重合体と
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 15g N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 25g エチピオプロピルメタクリレート 40g メチルメタクリレート 20g
同様に合成した。 記 N−(4−ヒドロキシフェニル)マレイミド 15g N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド 25g エチピオプロピルメタクリレート 40g メチルメタクリレート 20g
【0046】実施例1 厚さ0.24mm、幅1000mmのアルミニウム板
(材質1050)をアルカリ脱脂したのち、パーミスト
ンの水懸濁液をかけながらナイロンブラシで表面を研磨
し、その後よく水洗した。次いで70℃、20%のカセ
イソーダ液を5秒間かけ流し、表面を3g/m2エッチ
ングしたのち、流水で水洗し、塩酸(35g/l)、ホ
ウ酸(20g/l)およびアルミニウムイオン(20g
/l)からなる電解液中25℃で30A/dm2 の電流
密度で10秒間電解研磨し、水洗した。次いで、70
℃、20%のカセイソーダ液をかけ流して表面をエッチ
ングし、さらに水洗を行ない、次いで30℃の10%硫
酸水溶液中で陽極酸化処理を行なって、2.0g/m2
の酸化皮膜を形成させた。水洗したのち、JIS3号珪
酸ナトリウム5%を含む水溶液で、70℃、10秒間浸
漬処理し、水洗乾燥した。このようにして得られたアル
ミニウム板に下記組成(1)からなる感光液を、乾燥後
の塗膜重量が2.0g/m2 になるように塗布して感光
性平版印刷版を得た。
(材質1050)をアルカリ脱脂したのち、パーミスト
ンの水懸濁液をかけながらナイロンブラシで表面を研磨
し、その後よく水洗した。次いで70℃、20%のカセ
イソーダ液を5秒間かけ流し、表面を3g/m2エッチ
ングしたのち、流水で水洗し、塩酸(35g/l)、ホ
ウ酸(20g/l)およびアルミニウムイオン(20g
/l)からなる電解液中25℃で30A/dm2 の電流
密度で10秒間電解研磨し、水洗した。次いで、70
℃、20%のカセイソーダ液をかけ流して表面をエッチ
ングし、さらに水洗を行ない、次いで30℃の10%硫
酸水溶液中で陽極酸化処理を行なって、2.0g/m2
の酸化皮膜を形成させた。水洗したのち、JIS3号珪
酸ナトリウム5%を含む水溶液で、70℃、10秒間浸
漬処理し、水洗乾燥した。このようにして得られたアル
ミニウム板に下記組成(1)からなる感光液を、乾燥後
の塗膜重量が2.0g/m2 になるように塗布して感光
性平版印刷版を得た。
【0047】 組成(1) 共重合体 3g 下記の光カチオン発生剤(1) 0.3g 着色剤:ビクトリアピュアーブルーBOH 0.1g 溶 剤:メチルエチルケトン 35g テトラヒドロフラン 35g 記 光カチオン発生剤(1):4−モルホリノ−2,5−ジ
ブトキシベンゼンジアゾニウムのPF6 - 塩
ブトキシベンゼンジアゾニウムのPF6 - 塩
【0048】このようにして得た感光性平版印刷版に、
ネガフイルムおよびコダック社製ステップタブレットN
O.2を真空密着し、2KW高圧水銀灯を用いて、距離
1mで30秒間紫外線を照射したのち、下記組成の現像
液(1)を用いて、現像液温度を25℃にして30秒間
現像した。 記 現像液(1) (ポジ型PS版用現像液と類似した組成) JIS3号ケイ酸ナトリウム 25g 水酸化カリウム 15g 水 1kg
ネガフイルムおよびコダック社製ステップタブレットN
O.2を真空密着し、2KW高圧水銀灯を用いて、距離
1mで30秒間紫外線を照射したのち、下記組成の現像
液(1)を用いて、現像液温度を25℃にして30秒間
現像した。 記 現像液(1) (ポジ型PS版用現像液と類似した組成) JIS3号ケイ酸ナトリウム 25g 水酸化カリウム 15g 水 1kg
【0049】得られたステップタブレットのベタ段数は
4を示した。次いで、この版をオフセット印刷機(ハイ
デルベルグ社製KOR型印刷機)にかけて印刷したとこ
ろ、汚れのない良好な印刷物が得られた。このときの耐
刷性は約6万であった。
4を示した。次いで、この版をオフセット印刷機(ハイ
デルベルグ社製KOR型印刷機)にかけて印刷したとこ
ろ、汚れのない良好な印刷物が得られた。このときの耐
刷性は約6万であった。
【0050】実施例2〜6 組成(1)の感光液において、着色剤と溶剤は同じにし
て共重合体と光カチオン発生剤を表1に示すものに変更
して、実施例1と同様にアルミニウム板に塗布した。
て共重合体と光カチオン発生剤を表1に示すものに変更
して、実施例1と同様にアルミニウム板に塗布した。
【0051】
【表1】
【0052】このようにして得た感光性平版印刷版に実
施例1と同様にネガフイルムとコダック社製ステップタ
ブレットNO.2を真空密着し、露光した。次いで、実
施例1と同じ現像液で現像し、そのとき得られたステッ
プタブレットのベタ段数および印刷したときの耐刷力を
評価した。その結果を表2に示す。
施例1と同様にネガフイルムとコダック社製ステップタ
ブレットNO.2を真空密着し、露光した。次いで、実
施例1と同じ現像液で現像し、そのとき得られたステッ
プタブレットのベタ段数および印刷したときの耐刷力を
評価した。その結果を表2に示す。
【0053】
【表2】
【0054】
【発明の効果】本発明のアルカリ現像型感光性組成物
は、ネガ型作用であるにもかかわらず、ポジPS版を現
像するための実質的に有機溶剤を含まない水性アルカリ
現像液で現像することができる。すなわち本発明の感光
性組成物は、毒性や臭気の問題、あるいは火災に対する
危険性を排除した現像方法が取れるという長所がある。
は、ネガ型作用であるにもかかわらず、ポジPS版を現
像するための実質的に有機溶剤を含まない水性アルカリ
現像液で現像することができる。すなわち本発明の感光
性組成物は、毒性や臭気の問題、あるいは火災に対する
危険性を排除した現像方法が取れるという長所がある。
Claims (1)
- 【請求項1】 (a)下記式(I)および/または(II)で表わ
される構造単位と、下記式(III)で表わされる構造単位
を含むアルカリ可溶性共重合体と、(b)光カチオン発生
剤とを含有していることを特徴とするアルカリ現像型感
光性組成物。 【化1】 【化2】 【化3】
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11561191A JP2994788B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アルカリ現像型感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11561191A JP2994788B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アルカリ現像型感光性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06138658A JPH06138658A (ja) | 1994-05-20 |
JP2994788B2 true JP2994788B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=14666937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11561191A Expired - Fee Related JP2994788B2 (ja) | 1991-04-19 | 1991-04-19 | アルカリ現像型感光性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2994788B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100225948B1 (ko) * | 1996-06-29 | 1999-10-15 | 김영환 | 감광막 조성물 및 감광막 조성물 제조방법과 감광막 패턴 형성방법 |
KR20020085041A (ko) * | 2001-05-04 | 2002-11-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | 불소 원소를 포함하는 말레이미드계 포토레지스트 중합체및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물 |
JP6103256B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2017-03-29 | 日産化学工業株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
-
1991
- 1991-04-19 JP JP11561191A patent/JP2994788B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06138658A (ja) | 1994-05-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |