JP2987223B2 - 光記録媒体 - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は書き換え可能な光記録媒
体に関する。
体に関する。
【0002】
【従来の技術】大容量情報記録媒体として、光記録ディ
スク等の光記録媒体が注目されている。光記録媒体とし
ては、相変化型光記録媒体や光磁気記録媒体等の書き換
え可能タイプ、あるいはピット形成型光記録媒体等の追
記タイプなどがある。
スク等の光記録媒体が注目されている。光記録媒体とし
ては、相変化型光記録媒体や光磁気記録媒体等の書き換
え可能タイプ、あるいはピット形成型光記録媒体等の追
記タイプなどがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、新規な構成
の書き換え可能タイプの光記録媒体を提供することを目
的とする。
の書き換え可能タイプの光記録媒体を提供することを目
的とする。
【0004】
【0005】このような目的は下記(1)〜(7)の本
発明によって達成される。 (1) 基板表面に、記録層、誘電体薄膜および反射薄
膜をこの順で有し、前記記録層が、水素吸蔵合金薄膜
と、この水素吸蔵合金薄膜の少なくとも一方の側に設け
られた形状記憶合金薄膜とから構成されることを特徴と
する光記録媒体。
発明によって達成される。 (1) 基板表面に、記録層、誘電体薄膜および反射薄
膜をこの順で有し、前記記録層が、水素吸蔵合金薄膜
と、この水素吸蔵合金薄膜の少なくとも一方の側に設け
られた形状記憶合金薄膜とから構成されることを特徴と
する光記録媒体。
【0006】(2) 前記形状記憶合金薄膜の厚さが1
00〜1000A であり、前記水素吸蔵合金薄膜の厚さ
が100〜500A である上記(1)に記載の光記録媒
体。
00〜1000A であり、前記水素吸蔵合金薄膜の厚さ
が100〜500A である上記(1)に記載の光記録媒
体。
【0007】(3) 前記形状記憶合金薄膜がCu−Z
n−Al系合金から構成される上記(1)または(2)
に記載の光記録媒体。
n−Al系合金から構成される上記(1)または(2)
に記載の光記録媒体。
【0008】(4) 前記水素吸蔵合金薄膜がLa−N
i系合金またはFe−Ti系合金から構成される上記
(1)ないし(3)のいずれかに記載の光記録媒体。
i系合金またはFe−Ti系合金から構成される上記
(1)ないし(3)のいずれかに記載の光記録媒体。
【0009】(5) 前記誘電体薄膜の厚さが500〜
5000A である上記(1)ないし(4)のいずれかに
記載の光記録媒体。
5000A である上記(1)ないし(4)のいずれかに
記載の光記録媒体。
【0010】(6) 前記誘電体薄膜が、Siと、Oお
よび/またはNとを含む上記(1)ないし(5)のいず
れかに記載の光記録媒体。
よび/またはNとを含む上記(1)ないし(5)のいず
れかに記載の光記録媒体。
【0011】(7) 前記反射薄膜がAg、Al、A
u、Pt、Cuまたはこれらの1種以上を含む合金から
構成される上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の
光記録媒体。
u、Pt、Cuまたはこれらの1種以上を含む合金から
構成される上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の
光記録媒体。
【0012】
【作用】図1に示されるように、本発明の光記録媒体1
は、基板2の表面に、記録層3、誘電体薄膜4および反
射薄膜5を有し、反射薄膜5上には保護膜6が設けられ
ており、記録層3は、形状記憶合金薄膜311、水素吸
蔵合金薄膜32および形状記憶合金薄膜312から構成
される。
は、基板2の表面に、記録層3、誘電体薄膜4および反
射薄膜5を有し、反射薄膜5上には保護膜6が設けられ
ており、記録層3は、形状記憶合金薄膜311、水素吸
蔵合金薄膜32および形状記憶合金薄膜312から構成
される。
【0013】記録時には、基板2の裏面側から基板2を
通して記録レーザー光が照射される。水素吸蔵合金薄膜
32は、水素雰囲気中でのスパッタなどにより形成され
ており、既に水素を吸蔵している。このような水素吸蔵
合金薄膜32を記録レーザー光により加熱すると、吸蔵
されている水素が放出される。水素吸蔵合金の体積が水
素放出により25%程度減少するとともに、記録レーザ
ー光照射部には水素ガスが満ちた空隙321が形成され
る。この空隙321中では屈折率n(複素屈折率の実
部)や消衰係数k(複素屈折率の虚部)等の光学定数が
水素吸蔵合金薄膜32中とは異なるため、レーザー光照
射部において多重反射条件が変化し、反射率が低下す
る。
通して記録レーザー光が照射される。水素吸蔵合金薄膜
32は、水素雰囲気中でのスパッタなどにより形成され
ており、既に水素を吸蔵している。このような水素吸蔵
合金薄膜32を記録レーザー光により加熱すると、吸蔵
されている水素が放出される。水素吸蔵合金の体積が水
素放出により25%程度減少するとともに、記録レーザ
ー光照射部には水素ガスが満ちた空隙321が形成され
る。この空隙321中では屈折率n(複素屈折率の実
部)や消衰係数k(複素屈折率の虚部)等の光学定数が
水素吸蔵合金薄膜32中とは異なるため、レーザー光照
射部において多重反射条件が変化し、反射率が低下す
る。
【0014】一方、形状記憶合金薄膜311,312
は、冷却、加熱に伴って形状が可逆的に変化する形状記
憶合金から構成される。形状記憶合金は、熱弾性型のマ
ルテンサイト変態(M変態)をするものであり、母相を
M変態開始温度(MS 点)以下まで冷却するとマルテン
サイト相(M相)が形成される。M相が形成された形状
記憶合金を変形させ、次いで加熱すると、逆変態開始温
度(AS 点)以上でM相が母相に逆変態し、このときの
母相は変形前と全く同じ結晶方位となるので、AS 点以
上まで加熱することにより変形前の形状に回復すること
になる。そして、形状記憶合金を再びMS 点以下まで冷
却してM相に変態させても、形状は変わらない。
は、冷却、加熱に伴って形状が可逆的に変化する形状記
憶合金から構成される。形状記憶合金は、熱弾性型のマ
ルテンサイト変態(M変態)をするものであり、母相を
M変態開始温度(MS 点)以下まで冷却するとマルテン
サイト相(M相)が形成される。M相が形成された形状
記憶合金を変形させ、次いで加熱すると、逆変態開始温
度(AS 点)以上でM相が母相に逆変態し、このときの
母相は変形前と全く同じ結晶方位となるので、AS 点以
上まで加熱することにより変形前の形状に回復すること
になる。そして、形状記憶合金を再びMS 点以下まで冷
却してM相に変態させても、形状は変わらない。
【0015】記録レーザー光は、水素吸蔵合金薄膜32
を加熱し、これにより水素が放出されて水素吸蔵合金薄
膜32中には空隙321が形成される。
を加熱し、これにより水素が放出されて水素吸蔵合金薄
膜32中には空隙321が形成される。
【0016】一方、記録レーザー光の照射により形状記
憶合金薄膜311,312も昇温する。形状記憶合金の
MS 点は組成により著しく異なるが、本発明では、記録
時の温度よりもMS 点が高くなるような組成を選択する
ことが好ましい。ただし、形状記憶合金薄膜は基板2や
誘電体薄膜4に接しているため放熱が速いので、MS 点
は必ずしも水素吸蔵合金薄膜の水素放出に要する温度よ
りも高い必要はない。
憶合金薄膜311,312も昇温する。形状記憶合金の
MS 点は組成により著しく異なるが、本発明では、記録
時の温度よりもMS 点が高くなるような組成を選択する
ことが好ましい。ただし、形状記憶合金薄膜は基板2や
誘電体薄膜4に接しているため放熱が速いので、MS 点
は必ずしも水素吸蔵合金薄膜の水素放出に要する温度よ
りも高い必要はない。
【0017】このような構成により、形状記憶合金薄膜
311,312は、M相が形成された状態で空隙321
内の水素ガスの圧力により力を受けて変形して空隙32
1の厚さが拡大し、反射率の低下はより大きくなる。
311,312は、M相が形成された状態で空隙321
内の水素ガスの圧力により力を受けて変形して空隙32
1の厚さが拡大し、反射率の低下はより大きくなる。
【0018】また、形状記憶合金薄膜311,312
は、加熱されるとそれ自身反射率が低下するため、光記
録媒体1の反射率低下に寄与する。
は、加熱されるとそれ自身反射率が低下するため、光記
録媒体1の反射率低下に寄与する。
【0019】本発明の光記録媒体において、記録された
情報を消去する際には、形状記憶合金薄膜311,31
2をAS 点以上にまで昇温させる。この昇温により、形
状記憶合金薄膜は記録レーザー光照射前の形状に復帰し
ようとするため、空隙321中の水素ガスには圧力が印
加される。水素吸蔵合金薄膜32は、水素吸蔵および放
出を可逆的に行なうことができるので、形状記憶合金薄
膜311,312からの圧力により、空隙321中の水
素ガスは水素吸蔵合金薄膜32中へ再び吸蔵され、空隙
321はほぼ消滅する。このようにして光記録媒体1は
記録レーザー光照射前の状態に復帰し、再び情報記録が
可能となる。
情報を消去する際には、形状記憶合金薄膜311,31
2をAS 点以上にまで昇温させる。この昇温により、形
状記憶合金薄膜は記録レーザー光照射前の形状に復帰し
ようとするため、空隙321中の水素ガスには圧力が印
加される。水素吸蔵合金薄膜32は、水素吸蔵および放
出を可逆的に行なうことができるので、形状記憶合金薄
膜311,312からの圧力により、空隙321中の水
素ガスは水素吸蔵合金薄膜32中へ再び吸蔵され、空隙
321はほぼ消滅する。このようにして光記録媒体1は
記録レーザー光照射前の状態に復帰し、再び情報記録が
可能となる。
【0020】なお、消去用レーザー光を記録部に照射す
ることにより消去を行なえば、任意の情報を選択的に消
去できる。なお、形状記憶合金薄膜311,312の全
面を加熱することによっても消去は可能であるが、この
場合、基板2は耐熱性を有することが好ましい。
ることにより消去を行なえば、任意の情報を選択的に消
去できる。なお、形状記憶合金薄膜311,312の全
面を加熱することによっても消去は可能であるが、この
場合、基板2は耐熱性を有することが好ましい。
【0021】図2および図3にそれぞれ示される光記録
媒体1は、記録層3が形状記憶合金薄膜31および水素
吸蔵合金薄膜32の2層構成となっているが、情報の記
録および消去作用は図1に示される光記録媒体1と同様
である。ただし、図1に示される構成では、水素吸蔵合
金薄膜32の両側に形状記憶合金薄膜311,312が
存在するので、水素吸蔵合金薄膜32は両側から圧力を
ほぼ均等に受けることになり、消去特性が良好である。
媒体1は、記録層3が形状記憶合金薄膜31および水素
吸蔵合金薄膜32の2層構成となっているが、情報の記
録および消去作用は図1に示される光記録媒体1と同様
である。ただし、図1に示される構成では、水素吸蔵合
金薄膜32の両側に形状記憶合金薄膜311,312が
存在するので、水素吸蔵合金薄膜32は両側から圧力を
ほぼ均等に受けることになり、消去特性が良好である。
【0022】なお、本発明の光記録媒体は未記録部で7
5%以上の反射率が得られ、記録部では40%以下まで
反射率が低下するため、コンパクトディスク規格に対応
する再生が可能な書き換え型光記録ディスクとして使用
することが可能である。また、各薄膜の厚さを適宜調整
することにより300〜900nm程度の波長範囲におい
てこのような反射率変化が得られるので、短波長記録が
可能であり、より高い記録密度とすることが可能であ
る。
5%以上の反射率が得られ、記録部では40%以下まで
反射率が低下するため、コンパクトディスク規格に対応
する再生が可能な書き換え型光記録ディスクとして使用
することが可能である。また、各薄膜の厚さを適宜調整
することにより300〜900nm程度の波長範囲におい
てこのような反射率変化が得られるので、短波長記録が
可能であり、より高い記録密度とすることが可能であ
る。
【0023】
【0024】以下、本発明の具体的構成について詳細に
説明する。
説明する。
【0025】図1〜3に、本発明の光記録媒体の好適実
施例を示す。
施例を示す。
【0026】これら各図に示される光記録媒体1は、基
板2の表面に記録層3、誘電体薄膜4、反射薄膜5およ
び保護膜6をこの順で有する。
板2の表面に記録層3、誘電体薄膜4、反射薄膜5およ
び保護膜6をこの順で有する。
【0027】[基板2]本発明の光記録媒体1では、基
板2を通して記録層3に記録光および再生光が照射され
るので、基板2はこれらの光に対して実質的に透明であ
る必要がある。具体的には、アクリル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂等の各
種樹脂やガラスなどを用いればよい。
板2を通して記録層3に記録光および再生光が照射され
るので、基板2はこれらの光に対して実質的に透明であ
る必要がある。具体的には、アクリル樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂、エポキシ樹脂、ポリオレフィン樹脂等の各
種樹脂やガラスなどを用いればよい。
【0028】基板2の形状および寸法は特に限定されな
いが、通常、ディスク状であり、その厚さは、通常、
0.5〜3mm程度、直径は50〜360mm程度である。
いが、通常、ディスク状であり、その厚さは、通常、
0.5〜3mm程度、直径は50〜360mm程度である。
【0029】基板2の表面には、トラッキング用やアド
レス用等のために、グルーブ等の所定のパターンが必要
に応じて設けられる。
レス用等のために、グルーブ等の所定のパターンが必要
に応じて設けられる。
【0030】[記録層3]図1に示される記録層3は、
水素吸蔵合金薄膜32の両側に形状記憶合金薄膜31
1,312が設けられた構成である。また、図2および
図3に示される記録層3は、水素吸蔵合金薄膜32の一
方の側に形状記憶合金薄膜31が設けられた構成であ
る。
水素吸蔵合金薄膜32の両側に形状記憶合金薄膜31
1,312が設けられた構成である。また、図2および
図3に示される記録層3は、水素吸蔵合金薄膜32の一
方の側に形状記憶合金薄膜31が設けられた構成であ
る。
【0031】形状記憶合金薄膜31,311,312
は、形状記憶合金から構成される。用いる形状記憶合金
の組成に特に制限はないが、形状記憶特性に優れ、しか
も製造が比較的容易であることから、Ni−Ti系合金
または銅系形状記憶合金を用いることが好ましい。銅系
形状記憶合金としては、特にCu−Zn−Al系合金が
好ましい。これらの形状記憶合金の組成や特性などにつ
いては、例えば日本伸銅協会発行(1988.5)の「銅およ
び銅合金の基礎と工業技術」に記載されている。
は、形状記憶合金から構成される。用いる形状記憶合金
の組成に特に制限はないが、形状記憶特性に優れ、しか
も製造が比較的容易であることから、Ni−Ti系合金
または銅系形状記憶合金を用いることが好ましい。銅系
形状記憶合金としては、特にCu−Zn−Al系合金が
好ましい。これらの形状記憶合金の組成や特性などにつ
いては、例えば日本伸銅協会発行(1988.5)の「銅およ
び銅合金の基礎と工業技術」に記載されている。
【0032】形状記憶合金薄膜311,312の合計厚
さは100〜1000A 、特に300〜700A である
ことが好ましい。合計厚さが前記範囲未満となると、記
録情報消去時に空隙321を消滅させる効果が不十分と
なり、書き換え可能型光記録媒体としての使用が困難と
なる。合計厚さが前記範囲を超えると、形状記憶合金薄
膜での光吸収のために反射率が不十分となる。
さは100〜1000A 、特に300〜700A である
ことが好ましい。合計厚さが前記範囲未満となると、記
録情報消去時に空隙321を消滅させる効果が不十分と
なり、書き換え可能型光記録媒体としての使用が困難と
なる。合計厚さが前記範囲を超えると、形状記憶合金薄
膜での光吸収のために反射率が不十分となる。
【0033】なお、形状記憶合金薄膜311,312の
それぞれの厚さは、合計厚さが上記範囲となるように適
宜選択すればよいが、通常、合計厚さに対し一方の薄膜
の厚さを30%程度以上とすることが好ましい。
それぞれの厚さは、合計厚さが上記範囲となるように適
宜選択すればよいが、通常、合計厚さに対し一方の薄膜
の厚さを30%程度以上とすることが好ましい。
【0034】また、図2および図3に示されるように、
形状記憶合金薄膜が1層だけである場合、その厚さは上
記した合計厚さと同範囲とすることが好ましい。
形状記憶合金薄膜が1層だけである場合、その厚さは上
記した合計厚さと同範囲とすることが好ましい。
【0035】形状記憶合金薄膜は、スパッタ法や蒸着法
などの気相成長法により形成されることが好ましい。
などの気相成長法により形成されることが好ましい。
【0036】水素吸蔵合金薄膜32は、水素吸蔵合金か
ら構成される。用いる水素吸蔵合金は通常の各種水素吸
蔵合金から選択すればよく、例えば、La−Ni系合金
やFe−Ti系合金を好ましく用いることができる。
ら構成される。用いる水素吸蔵合金は通常の各種水素吸
蔵合金から選択すればよく、例えば、La−Ni系合金
やFe−Ti系合金を好ましく用いることができる。
【0037】水素吸蔵合金薄膜32の厚さは、100〜
500A 、特に100〜300A とすることが好まし
い。厚さが前記範囲未満であると空隙321が十分に厚
く形成されず、十分な反射率低下が得られにくくなる。
厚さが前記範囲を超えると、水素吸蔵合金薄膜による光
吸収のため、十分な反射率が得られにくくなる。
500A 、特に100〜300A とすることが好まし
い。厚さが前記範囲未満であると空隙321が十分に厚
く形成されず、十分な反射率低下が得られにくくなる。
厚さが前記範囲を超えると、水素吸蔵合金薄膜による光
吸収のため、十分な反射率が得られにくくなる。
【0038】本発明では水素吸蔵合金薄膜32に予め水
素を吸蔵させておく必要があるので、水素ガスを含有す
る雰囲気中で反応性スパッタにより水素吸蔵合金薄膜3
2を形成することが好ましい。反応性スパッタ時の圧力
は、0.5〜10Paとすることが好ましい。また、水素
ガスはAr等の不活性ガスと併用することが好ましく、
水素ガスの流量は、全ガス流量の10〜50%とするこ
とが好ましい。水素ガス流量が前記範囲未満であると水
素吸蔵が不十分となりやすく、前記範囲を超えると、ス
パッタリング効率が悪く水素吸蔵合金の成膜に時間がか
かり過ぎる。
素を吸蔵させておく必要があるので、水素ガスを含有す
る雰囲気中で反応性スパッタにより水素吸蔵合金薄膜3
2を形成することが好ましい。反応性スパッタ時の圧力
は、0.5〜10Paとすることが好ましい。また、水素
ガスはAr等の不活性ガスと併用することが好ましく、
水素ガスの流量は、全ガス流量の10〜50%とするこ
とが好ましい。水素ガス流量が前記範囲未満であると水
素吸蔵が不十分となりやすく、前記範囲を超えると、ス
パッタリング効率が悪く水素吸蔵合金の成膜に時間がか
かり過ぎる。
【0039】なお、水素吸蔵合金薄膜32中に形成され
る空隙321の存在は、空隙中の屈折率をほぼ1として
算出された反射率と実測された反射率とがほぼ一致する
ことにより間接的に確認することができる。
る空隙321の存在は、空隙中の屈折率をほぼ1として
算出された反射率と実測された反射率とがほぼ一致する
ことにより間接的に確認することができる。
【0040】[誘電体薄膜4]誘電体薄膜4は反射率向
上および反射率変化増幅のために設けられる。誘電体薄
膜4を構成する誘電体に特に制限はなく、例えば、Si
O2 等の酸化ケイ素、Si3 N4 等の窒化ケイ素、LaSi
ONやSiAlON等の各種誘電体、各種ガラスなど、Siと、
Oおよび/またはNとを含む誘電体を用いることができ
る。
上および反射率変化増幅のために設けられる。誘電体薄
膜4を構成する誘電体に特に制限はなく、例えば、Si
O2 等の酸化ケイ素、Si3 N4 等の窒化ケイ素、LaSi
ONやSiAlON等の各種誘電体、各種ガラスなど、Siと、
Oおよび/またはNとを含む誘電体を用いることができ
る。
【0041】また、これらの他、SiCやZnSなども
用いることができ、さらには前記各化合物の混合物、例
えばZnSを10〜50%程度含有したSiO2 なども
用いることもできる。
用いることができ、さらには前記各化合物の混合物、例
えばZnSを10〜50%程度含有したSiO2 なども
用いることもできる。
【0042】誘電体薄膜4の厚さは、その構成材質、形
状記憶合金薄膜や水素吸蔵合金薄膜の光学的条件、再生
レーザー光の波長等の各種条件に応じて適宜決定すれば
よく特に制限はないが、通常、1000〜5000A 、
特に2000〜3500A 程度とすることが好ましい。
状記憶合金薄膜や水素吸蔵合金薄膜の光学的条件、再生
レーザー光の波長等の各種条件に応じて適宜決定すれば
よく特に制限はないが、通常、1000〜5000A 、
特に2000〜3500A 程度とすることが好ましい。
【0043】誘電体薄膜4は、スパッタ法や蒸着法等の
気相成長法により形成されることが好ましい。
気相成長法により形成されることが好ましい。
【0044】[反射薄膜5]反射薄膜5は、高反射率の
金属や合金から構成されることが好ましく、例えば、A
g、Al、Au、Pt、Cu等の金属やこれらの1種以
上を含む合金などから適宜選択すればよい。
金属や合金から構成されることが好ましく、例えば、A
g、Al、Au、Pt、Cu等の金属やこれらの1種以
上を含む合金などから適宜選択すればよい。
【0045】反射薄膜5の厚さは、300〜1500A
とすることが好ましい。厚さが前記範囲未満であると十
分な反射率が得にくくなる。また、前記範囲を超えても
反射率の向上は小さく、コスト的に不利になる。
とすることが好ましい。厚さが前記範囲未満であると十
分な反射率が得にくくなる。また、前記範囲を超えても
反射率の向上は小さく、コスト的に不利になる。
【0046】反射薄膜5は、スパッタ法や蒸着法等の気
相成長法により形成されることが好ましい。
相成長法により形成されることが好ましい。
【0047】[保護膜6]保護膜6は、耐擦傷性や耐食
性の向上のために設けられるものであり、種々の有機系
の物質から構成されることが好ましいが、特に、放射線
硬化型化合物やその組成物を、電子線、紫外線等の放射
線により硬化させた物質から構成されることが好まし
い。
性の向上のために設けられるものであり、種々の有機系
の物質から構成されることが好ましいが、特に、放射線
硬化型化合物やその組成物を、電子線、紫外線等の放射
線により硬化させた物質から構成されることが好まし
い。
【0048】保護膜6の厚さは、通常、0.1〜100
μm 程度であり、スピンコート、グラビア塗布、スプレ
ーコート、ディッピング等、通常の方法により形成すれ
ばよい。
μm 程度であり、スピンコート、グラビア塗布、スプレ
ーコート、ディッピング等、通常の方法により形成すれ
ばよい。
【0049】[媒体構造]以上では、本発明を片面記録
型の光記録媒体に適用する場合について説明したが、本
発明は両面記録型の光記録媒体にも適用可能である。
型の光記録媒体に適用する場合について説明したが、本
発明は両面記録型の光記録媒体にも適用可能である。
【0050】両面記録型の光記録媒体に適用する場合、
一対の基板2、2を、記録層3が内封されるように接着
する。
一対の基板2、2を、記録層3が内封されるように接着
する。
【0051】また、片面記録型であって、保護膜6上に
保護板を接着した構成とすることもできる。この場合の
保護板としては、通常、基板2と同質のものを用いれば
よいが、透明である必要はなく、その他の材質も用いる
ことができる。
保護板を接着した構成とすることもできる。この場合の
保護板としては、通常、基板2と同質のものを用いれば
よいが、透明である必要はなく、その他の材質も用いる
ことができる。
【0052】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明
をさらに詳細に説明する。
をさらに詳細に説明する。
【0053】[実施例1]基板2の表面に、記録層3、
誘電体薄膜4、反射薄膜5および紫外線硬化型樹脂の保
護膜6を形成し、光記録ディスクサンプルNo. 1を作製
した。記録層3は、図1に示される構成、すなわち水素
吸蔵合金薄膜32を2層の形状記憶合金薄膜311,3
12が挟む構成とした。
誘電体薄膜4、反射薄膜5および紫外線硬化型樹脂の保
護膜6を形成し、光記録ディスクサンプルNo. 1を作製
した。記録層3は、図1に示される構成、すなわち水素
吸蔵合金薄膜32を2層の形状記憶合金薄膜311,3
12が挟む構成とした。
【0054】基板2には、射出成形によりグルーブを同
時形成した直径133mm、厚さ1.2mmのディスク状ポ
リカーボネート樹脂を用いた。
時形成した直径133mm、厚さ1.2mmのディスク状ポ
リカーボネート樹脂を用いた。
【0055】各形状記憶合金薄膜はCu−Zn−Al合
金とし、スパッタ法により厚さ250A に形成した。
金とし、スパッタ法により厚さ250A に形成した。
【0056】水素吸蔵合金薄膜32はFe−Ti合金と
し、水素ガスとArガスを含む雰囲気中で反応性高周波
スパッタ法により100A の厚さに形成した。スパッタ
時の圧力は1Paとし、水素ガスの流量は2SCCM、Arガ
スの流量は10SCCMとした。
し、水素ガスとArガスを含む雰囲気中で反応性高周波
スパッタ法により100A の厚さに形成した。スパッタ
時の圧力は1Paとし、水素ガスの流量は2SCCM、Arガ
スの流量は10SCCMとした。
【0057】誘電体薄膜4はSiO2 とし、スパッタ法
により3000A の厚さに形成した。
により3000A の厚さに形成した。
【0058】反射薄膜5はAgとし、スパッタ法により
500A の厚さに形成した。
500A の厚さに形成した。
【0059】保護膜6は、紫外線硬化型樹脂をスピンコ
ート法により塗布後、紫外線照射により硬化して形成し
た。硬化後の厚さは5μm であった。
ート法により塗布後、紫外線照射により硬化して形成し
た。硬化後の厚さは5μm であった。
【0060】サンプルNo. 1について記録再生を行なっ
た。なお、記録時には8mWのレーザー光を照射し、再生
時には0.5mWのレーザー光を照射した。これらのレー
ザー光の波長は、780nmとした。
た。なお、記録時には8mWのレーザー光を照射し、再生
時には0.5mWのレーザー光を照射した。これらのレー
ザー光の波長は、780nmとした。
【0061】この結果、未記録部の反射率は75%、記
録部の反射率は20%であった。
録部の反射率は20%であった。
【0062】次いで、記録部に15mWのレーザー光を照
射し、再び再生したところ、反射率は70%まで回復し
ており、記録情報が消去されていることが確認された。
さらに、消去後に再び記録レーザー光を照射したとこ
ろ、反射率は20%まで低下し、情報の書き換えが可能
であることが確認された。
射し、再び再生したところ、反射率は70%まで回復し
ており、記録情報が消去されていることが確認された。
さらに、消去後に再び記録レーザー光を照射したとこ
ろ、反射率は20%まで低下し、情報の書き換えが可能
であることが確認された。
【0063】[実施例2]形状記憶合金薄膜31の厚さ
を500A とした他は実施例1と同様にして、図2およ
び図3にそれぞれ示される構成の光記録ディスクを作製
した。
を500A とした他は実施例1と同様にして、図2およ
び図3にそれぞれ示される構成の光記録ディスクを作製
した。
【0064】これらのサンプルについても、実施例1の
サンプルNo.1と同様に、記録、消去および再記録が
可能であった。
サンプルNo.1と同様に、記録、消去および再記録が
可能であった。
【0065】[実施例3]反射薄膜5の組成を、Al、
Au、Pt、Cuまたはこれらの1種以上を含む合金と
し、その他は上記各実施例のサンプルと同様な光記録デ
ィスクサンプルを作製した。
Au、Pt、Cuまたはこれらの1種以上を含む合金と
し、その他は上記各実施例のサンプルと同様な光記録デ
ィスクサンプルを作製した。
【0066】また、水素吸蔵合金薄膜32をLa−Ni
合金とし、その他は上記各実施例のサンプルと同様な光
記録ディスクサンプルを作製した。
合金とし、その他は上記各実施例のサンプルと同様な光
記録ディスクサンプルを作製した。
【0067】また、誘電体薄膜4を厚さ2200A のS
i3 N4 から構成し、その他は上記各実施例のサンプル
と同様な光記録ディスクサンプルを作製した。
i3 N4 から構成し、その他は上記各実施例のサンプル
と同様な光記録ディスクサンプルを作製した。
【0068】これらの各サンプルについても、上記各実
施例と同様に、記録、消去および再記録が可能であっ
た。
施例と同様に、記録、消去および再記録が可能であっ
た。
【0069】
【発明の効果】本発明によれば、新規な構成の書き換え
可能型光記録媒体が実現する。
可能型光記録媒体が実現する。
【図1】本発明の光記録媒体の好適実施例を示す部分断
面図である。
面図である。
【図2】本発明の光記録媒体の好適実施例を示す部分断
面図である。
面図である。
【図3】本発明の光記録媒体の好適実施例を示す部分断
面図である。
面図である。
1 光記録媒体 2 基板 3 記録層 31,311,312 形状記憶合金薄膜 32 水素吸蔵合金薄膜 321 空隙 4 誘電体薄膜 5 反射薄膜 6 保護膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B41M 5/26 G11B 7/00 G11B 7/24
Claims (7)
- 【請求項1】 基板表面に、記録層、誘電体薄膜および
反射薄膜をこの順で有し、前記記録層が、水素吸蔵合金
薄膜と、この水素吸蔵合金薄膜の少なくとも一方の側に
設けられた形状記憶合金薄膜とから構成されることを特
徴とする光記録媒体。 - 【請求項2】 前記形状記憶合金薄膜の厚さが100〜
1000A であり、前記水素吸蔵合金薄膜の厚さが10
0〜500A である請求項1に記載の光記録媒体。 - 【請求項3】 前記形状記憶合金薄膜がCu−Zn−A
l系合金から構成される請求項1または2に記載の光記
録媒体。 - 【請求項4】 前記水素吸蔵合金薄膜がLa−Ni系合
金またはFe−Ti系合金から構成される請求項1ない
し3のいずれかに記載の光記録媒体。 - 【請求項5】 前記誘電体薄膜の厚さが500〜500
0A である請求項1ないし4のいずれかに記載の光記録
媒体。 - 【請求項6】 前記誘電体薄膜が、Siと、Oおよび/
またはNとを含む請求項1ないし5のいずれかに記載の
光記録媒体。 - 【請求項7】 前記反射薄膜がAg、Al、Au、P
t、Cuまたはこれらの1種以上を含む合金から構成さ
れる請求項1ないし6のいずれかに記載の光記録媒体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP3047818A JP2987223B2 (ja) | 1991-02-20 | 1991-02-20 | 光記録媒体 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=12785940
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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DE602004005330T2 (de) * | 2004-08-09 | 2007-08-30 | C.R.F. Società Consortile per Azioni, Orbassano | Methode und Vorrichtung für die Adsoption und/oder Desorption von Wasserstoff mit Hilfe von Materialien mit Formgedächtnis |
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JPS5764596A (en) * | 1980-10-06 | 1982-04-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Heat mode recording material |
JPS59219449A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-10 | Nippon Steel Corp | 水素吸蔵用金属材料 |
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JPH066393B2 (ja) * | 1984-03-07 | 1994-01-26 | 株式会社日立製作所 | 情報の記録・消去方法 |
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JPS63200331A (ja) * | 1987-02-13 | 1988-08-18 | Toshiba Corp | 記録媒体及び記録再生方法 |
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JPH01296441A (ja) * | 1988-05-24 | 1989-11-29 | Seiko Epson Corp | レーザー・ディスク |
JP2512087B2 (ja) * | 1988-06-24 | 1996-07-03 | 株式会社日立製作所 | 光記録媒体および光記録方法 |
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JP2868583B2 (ja) * | 1990-05-22 | 1999-03-10 | 富士写真フイルム株式会社 | 情報記録媒体及び光情報記録・消去方法 |
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- 1991-02-20 JP JP3047818A patent/JP2987223B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1992-02-14 US US07/835,897 patent/US5364708A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1992-02-17 EP EP92905015A patent/EP0526647B1/en not_active Expired - Lifetime
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