JP2941948B2 - ステンレス鋼酸処理 - Google Patents
ステンレス鋼酸処理Info
- Publication number
- JP2941948B2 JP2941948B2 JP8510455A JP51045596A JP2941948B2 JP 2941948 B2 JP2941948 B2 JP 2941948B2 JP 8510455 A JP8510455 A JP 8510455A JP 51045596 A JP51045596 A JP 51045596A JP 2941948 B2 JP2941948 B2 JP 2941948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acid
- oxide film
- contact
- maintaining
- maintaining contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 title 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 56
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000009472 formulation Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- -1 iron ions Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims abstract description 21
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 17
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 20
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 230000000536 complexating effect Effects 0.000 claims description 13
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims description 6
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims description 6
- 229960004275 glycolic acid Drugs 0.000 claims description 4
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 14
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 14
- 239000000306 component Substances 0.000 description 12
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 11
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 9
- LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M sodium nitrite Chemical compound [Na+].[O-]N=O LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 4
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 4
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 235000010288 sodium nitrite Nutrition 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 3
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- BACYUWVYYTXETD-UHFFFAOYSA-N N-Lauroylsarcosine Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC(O)=O BACYUWVYYTXETD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000000855 fermentation Methods 0.000 description 2
- 230000004151 fermentation Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 239000002888 zwitterionic surfactant Substances 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLPAMKUIIFHLBH-UHFFFAOYSA-N 1,2-dihydroxypropane-1-sulfonic acid Chemical compound CC(O)C(O)S(O)(=O)=O JLPAMKUIIFHLBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDVVTQMJQSCDMK-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydroxypropan-2-yl formate Chemical compound OCC(CO)OC=O LDVVTQMJQSCDMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFJJOPDNPVFCNZ-UHFFFAOYSA-N 2-[hexadecanoyl(methyl)amino]acetic acid Chemical class CCCCCCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC(O)=O LFJJOPDNPVFCNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGOZDSMNMIRDFP-UHFFFAOYSA-N 2-[methyl(tetradecanoyl)amino]acetic acid Chemical class CCCCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC(O)=O NGOZDSMNMIRDFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N Sorbitan monostearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003915 air pollution Methods 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008051 alkyl sulfates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical class CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N dodecyl benzenesulfonate;sodium Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCOS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 GVGUFUZHNYFZLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 150000002169 ethanolamines Chemical class 0.000 description 1
- 150000002191 fatty alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000002193 fatty amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000008233 hard water Substances 0.000 description 1
- 239000000383 hazardous chemical Substances 0.000 description 1
- 231100000206 health hazard Toxicity 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 229910000398 iron phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- WBJZTOZJJYAKHQ-UHFFFAOYSA-K iron(3+) phosphate Chemical compound [Fe+3].[O-]P([O-])([O-])=O WBJZTOZJJYAKHQ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000000825 pharmaceutical preparation Substances 0.000 description 1
- 229940127557 pharmaceutical product Drugs 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229920001983 poloxamer Polymers 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 102200110702 rs60261494 Human genes 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 108700004121 sarkosyl Proteins 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229940080264 sodium dodecylbenzenesulfonate Drugs 0.000 description 1
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000008234 soft water Substances 0.000 description 1
- 239000001587 sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000011076 sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 229940035048 sorbitan monostearate Drugs 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C22/05—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
- C23C22/06—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6
- C23C22/48—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6 not containing phosphates, hexavalent chromium compounds, fluorides or complex fluorides, molybdates, tungstates, vanadates or oxalates
- C23C22/50—Treatment of iron or alloys based thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
- C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
- C23G1/08—Iron or steel
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
- C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
- C23G1/08—Iron or steel
- C23G1/088—Iron or steel solutions containing organic acids
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は、ガスフロー設備、製剤製造設備、および半
導体プロセッシング設備のようなステンレス鋼表面の洗
浄および不動態化のための組成物および方法に関する。
導体プロセッシング設備のようなステンレス鋼表面の洗
浄および不動態化のための組成物および方法に関する。
過去15年間、半導体プロセッシング設備における清浄
度の必要が、少なくとも100倍に増加している。半導体
の特徴的なサイズは、過去数年で半分に小さくされ、そ
して充填密度は、同期間に２倍あるいは３倍になった。
また、変化速度は、過去の速度を保持するよりはむしろ
加速しているようである。これらの変化と共に、半導体
プロセッシングにおける汚染により引き起こされる問題
が、より深刻にさえなっている。清浄度はまた、健康お
よび製剤工業において重要であり、処理プロセスの汚染
を低減する必要により押し進められる。
度の必要が、少なくとも100倍に増加している。半導体
の特徴的なサイズは、過去数年で半分に小さくされ、そ
して充填密度は、同期間に２倍あるいは３倍になった。
また、変化速度は、過去の速度を保持するよりはむしろ
加速しているようである。これらの変化と共に、半導体
プロセッシングにおける汚染により引き起こされる問題
が、より深刻にさえなっている。清浄度はまた、健康お
よび製剤工業において重要であり、処理プロセスの汚染
を低減する必要により押し進められる。
過去において、これらのプロセスに使用されるステン
レス鋼設備は、ほとんど一般的には溶媒の使用により洗
浄されている。大気汚染およびオペレーターの健康の危
険の問題に加えて、溶媒は完全には洗浄しない。溶媒は
フィルムおよび粒子残渣を残す。超音波洗浄もまた、後
の放出のために、粒子を装置のパーツの裂け目に運び得
る。商標Freonで販売されているクロロフルオロカーボ
ン洗浄溶媒、ならびに1,1,1−トリクロロエタンおよび
塩化メチレンは、公知の洗浄溶媒の例である。
レス鋼設備は、ほとんど一般的には溶媒の使用により洗
浄されている。大気汚染およびオペレーターの健康の危
険の問題に加えて、溶媒は完全には洗浄しない。溶媒は
フィルムおよび粒子残渣を残す。超音波洗浄もまた、後
の放出のために、粒子を装置のパーツの裂け目に運び得
る。商標Freonで販売されているクロロフルオロカーボ
ン洗浄溶媒、ならびに1,1,1−トリクロロエタンおよび
塩化メチレンは、公知の洗浄溶媒の例である。
従来の溶媒、方法および装置により洗浄された構成部
品の清浄度の欠乏は、問題であり、ここで活性イオンお
よび有機汚染（例えば、有機フィルム）は、構成部品上
に残存する。活性イオン（例えば、金属イオン）は、設
備が使用されるべきプロセスに有害な影響を与え得る。
品の清浄度の欠乏は、問題であり、ここで活性イオンお
よび有機汚染（例えば、有機フィルム）は、構成部品上
に残存する。活性イオン（例えば、金属イオン）は、設
備が使用されるべきプロセスに有害な影響を与え得る。
洗浄された鋼表面の不動態化は、洗浄された湿った鋼
のフラッシュ発錆（flash rusting）のような状態を防
止するために重要である。
のフラッシュ発錆（flash rusting）のような状態を防
止するために重要である。
先行技術において、洗浄された鋼は、しばしば硝酸溶
液で処理することにより不動態化され、発錆しないよう
に変化した表面特性を提供する。アンモニアまたはアミ
ンでアルカリ性にされたクエン酸希釈溶液が、洗浄され
た鋼表面の不動態化に使用されている。これらの同じ溶
液はまた、亜硝酸ナトリウムと組み合わせて使用されて
いる。
液で処理することにより不動態化され、発錆しないよう
に変化した表面特性を提供する。アンモニアまたはアミ
ンでアルカリ性にされたクエン酸希釈溶液が、洗浄され
た鋼表面の不動態化に使用されている。これらの同じ溶
液はまた、亜硝酸ナトリウムと組み合わせて使用されて
いる。
不溶性アミンが、腐食を低減するために、時々鋼用の
ラテックスまたは水分散コーティングに添加される。水
溶性アミンはまた、洗浄された鋼用の最終リンスに添加
されているが、常に他の物質（例えば、他のアルカリ性
化学物質、クエン酸、亜硝酸ナトリウムなど、そして米
国特許第3,072,502号；第3,154,438号；第3,368,913
号；第3,519,458号；および第4,045,253号に例示されて
いる）と組み合わされ、それゆえ、これらのリンスは、
続いて付与された保護コーティングの最適性能に対して
有害な不溶性残渣を鋼表面に残している。
ラテックスまたは水分散コーティングに添加される。水
溶性アミンはまた、洗浄された鋼用の最終リンスに添加
されているが、常に他の物質（例えば、他のアルカリ性
化学物質、クエン酸、亜硝酸ナトリウムなど、そして米
国特許第3,072,502号；第3,154,438号；第3,368,913
号；第3,519,458号；および第4,045,253号に例示されて
いる）と組み合わされ、それゆえ、これらのリンスは、
続いて付与された保護コーティングの最適性能に対して
有害な不溶性残渣を鋼表面に残している。
先行技術において、洗浄された鋼は、しばしばアルカ
リ性亜硝酸ナトリウム溶液で処理することにより不動態
化され、発錆しないように変化した表面特性を提供す
る。
リ性亜硝酸ナトリウム溶液で処理することにより不動態
化され、発錆しないように変化した表面特性を提供す
る。
アンモニアまたはアミンでアルカリ性にされたクエン
酸希釈溶液が、洗浄された鋼表面の不動態化に使用され
ている。これらの同じ溶液はまた、亜硝酸ナトリウムと
組み合わせて使用されている。
酸希釈溶液が、洗浄された鋼表面の不動態化に使用され
ている。これらの同じ溶液はまた、亜硝酸ナトリウムと
組み合わせて使用されている。
米国特許第4,590,100号は、非水性保護コーティング
の付与に先だつ腐食を阻害するために、前もって洗浄さ
れた鋼を、ほとんど純粋な水（これは、アミンでわずか
にアルカリ性にされる）のリンスで不動態化し得、その
結果、水の乾燥後に鋼表面上に残存するいかなる少量の
アミン残渣も、それ自体蒸発し、そしてこのようにして
残存するいかなるアミン残渣も、鋼の表面上にいかなる
水溶性またはイオン性残渣も残すことなく、非水性保護
コーティング中に取り込まれるプロセスを記載する。
の付与に先だつ腐食を阻害するために、前もって洗浄さ
れた鋼を、ほとんど純粋な水（これは、アミンでわずか
にアルカリ性にされる）のリンスで不動態化し得、その
結果、水の乾燥後に鋼表面上に残存するいかなる少量の
アミン残渣も、それ自体蒸発し、そしてこのようにして
残存するいかなるアミン残渣も、鋼の表面上にいかなる
水溶性またはイオン性残渣も残すことなく、非水性保護
コーティング中に取り込まれるプロセスを記載する。
米国特許第5,252,363号および第5,321,061号は、金属
を白銹病から保護し、そして一般的に塗布可能な表面を
提供するために、新たに電気メッキされた金属上にコー
ティングを堆積させるのに有用な水性有機樹脂含有組成
物を記載する。有機樹脂は、実質的に少なくとも１つの
水分散性または乳濁性エポキシ樹脂、あるいは少なくと
も１つの水分散性または乳濁性エポキシ樹脂を含む樹脂
混合物からなる。
を白銹病から保護し、そして一般的に塗布可能な表面を
提供するために、新たに電気メッキされた金属上にコー
ティングを堆積させるのに有用な水性有機樹脂含有組成
物を記載する。有機樹脂は、実質的に少なくとも１つの
水分散性または乳濁性エポキシ樹脂、あるいは少なくと
も１つの水分散性または乳濁性エポキシ樹脂を含む樹脂
混合物からなる。
米国特許第5,039,349号は、半導体プロセッシング設
備および製剤プロセッシング設備のような表面を、完全
またはほぼ完全な清浄度まで洗浄するための方法および
装置を記載し、これは、ジェットが洗浄されるべき表面
上を流れ、そしてこするように、加熱された洗浄溶液の
ジェットを噴霧し、リンス液体を生成することを含む。
リンス液体は、濾過され、そして洗浄されるべき表面上
に再循環される。
備および製剤プロセッシング設備のような表面を、完全
またはほぼ完全な清浄度まで洗浄するための方法および
装置を記載し、これは、ジェットが洗浄されるべき表面
上を流れ、そしてこするように、加熱された洗浄溶液の
ジェットを噴霧し、リンス液体を生成することを含む。
リンス液体は、濾過され、そして洗浄されるべき表面上
に再循環される。
本発明の目的は、ステンレス鋼表面を洗浄しかつ不動
態化する酸ベースの処方物を提供することである。
態化する酸ベースの処方物を提供することである。
発明の要旨 本発明は、ステンレス鋼表面を洗浄しかつ不動態化す
る、ステンレス鋼の処理方法である。特定すれば、本発
明は、以下の工程を包含するステンレス鋼表面の洗浄お
よび不動態化方法である： １）表面を15〜45ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物が約
１％と60％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性
剤、および39％と98％との間の水を含有し、ここで酸成
分、界面活性剤および水の量比は、総計で100％以下と
なるように選択される工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
る、ステンレス鋼の処理方法である。特定すれば、本発
明は、以下の工程を包含するステンレス鋼表面の洗浄お
よび不動態化方法である： １）表面を15〜45ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物が約
１％と60％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性
剤、および39％と98％との間の水を含有し、ここで酸成
分、界面活性剤および水の量比は、総計で100％以下と
なるように選択される工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
界面活性剤は、アニオン性、カチオン性、非イオン
性、および両性イオン性界面活性剤からなる群から選択
され、洗浄性能を増強する。
性、および両性イオン性界面活性剤からなる群から選択
され、洗浄性能を増強する。
発明の詳細な説明 本発明によるステンレス鋼の処理方法は、酸成分およ
び水を含有する組成物をステンレス鋼表面に接触させる
工程を包含する。組成物は、ステンレス鋼表面の使用の
間（例えば、製剤または半導体プロセッシングの間）に
ステンレス鋼表面上に形成した残渣を表面から取り除
き、同時にステンレス鋼表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、そしてステンレス鋼表面上に酸化物フィル
ムを形成し、そして錯体化したイオンを酸化物フィルム
中に沈澱させることにより、ステンレス鋼表面を処理す
る。
び水を含有する組成物をステンレス鋼表面に接触させる
工程を包含する。組成物は、ステンレス鋼表面の使用の
間（例えば、製剤または半導体プロセッシングの間）に
ステンレス鋼表面上に形成した残渣を表面から取り除
き、同時にステンレス鋼表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、そしてステンレス鋼表面上に酸化物フィル
ムを形成し、そして錯体化したイオンを酸化物フィルム
中に沈澱させることにより、ステンレス鋼表面を処理す
る。
本発明の方法に有用な希釈前の組成物は、約１％と60
％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性剤、および
約39％と98％との間の水を含有する。特に指示しない限
り、全ての量は、希釈前の組成物の重量,/重量パーセン
トであり、酸成分、界面活性剤および水の量比は、総計
で100％以下となるように選択される。
％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性剤、および
約39％と98％との間の水を含有する。特に指示しない限
り、全ての量は、希釈前の組成物の重量,/重量パーセン
トであり、酸成分、界面活性剤および水の量比は、総計
で100％以下となるように選択される。
界面活性剤は、アニオン性、カチオン性、非イオン
性、および両性イオン性界面活性剤からなる群から選択
され、洗浄性能を増強する。このような界面活性剤の例
は、水溶性塩または高級脂肪酸モノグリセリドモノサル
フェート（例えば、水素化やし油脂肪酸のモノサルフェ
ート化モノグリセリドのナトリウム塩）、高級アルキル
サルフェート（例えば、ラウリル硫酸ナトリウム）、ア
ルキルアリールスルホネート（例えば、ドデシルベンゼ
ンスルホン酸ナトリウム）、高級アルキルスルホアセテ
ート、1,2ジヒドロキシプロパンスルホネートの高級脂
肪酸エステル、および低級脂肪族アミノカルボン酸化合
物の実質的に飽和の高級脂肪族アシルアミド（例えば、
脂肪酸、アルキル基またはアシル基中に12〜16個の炭素
を有するもの）などを包含するが、これらに限定されな
い。最後に述べたアミドの例は、Ｎ−ラウロイルサルコ
シン、ならびにＮ−ラウロイル、Ｎ−ミリストイル、ま
たはＮ−パルミトイルサルコシンのナトリウム、カリウ
ム、およびエタノールアミン塩である。
性、および両性イオン性界面活性剤からなる群から選択
され、洗浄性能を増強する。このような界面活性剤の例
は、水溶性塩または高級脂肪酸モノグリセリドモノサル
フェート（例えば、水素化やし油脂肪酸のモノサルフェ
ート化モノグリセリドのナトリウム塩）、高級アルキル
サルフェート（例えば、ラウリル硫酸ナトリウム）、ア
ルキルアリールスルホネート（例えば、ドデシルベンゼ
ンスルホン酸ナトリウム）、高級アルキルスルホアセテ
ート、1,2ジヒドロキシプロパンスルホネートの高級脂
肪酸エステル、および低級脂肪族アミノカルボン酸化合
物の実質的に飽和の高級脂肪族アシルアミド（例えば、
脂肪酸、アルキル基またはアシル基中に12〜16個の炭素
を有するもの）などを包含するが、これらに限定されな
い。最後に述べたアミドの例は、Ｎ−ラウロイルサルコ
シン、ならびにＮ−ラウロイル、Ｎ−ミリストイル、ま
たはＮ−パルミトイルサルコシンのナトリウム、カリウ
ム、およびエタノールアミン塩である。
さらなる例は、エチレンオキシドと、疎水性長鎖（例
えば、約12〜20個の炭素原子の脂肪族鎖）を有する種々
の反応性水素含有化合物との縮合生成物であり、この縮
合生成物（「エトキサマー（ethoxamer）」）（例え
ば、ポリ（エチレンオキシド）と脂肪酸、脂肪アルコー
ル、脂肪アミド、多価アルコール（例えば、ソルビタン
モノステアレート）およびポリプロピレンオキシド（例
えば、Pluronic物質）との縮合生成物）は、親水性ポリ
オキシエチレン部分を含む。
えば、約12〜20個の炭素原子の脂肪族鎖）を有する種々
の反応性水素含有化合物との縮合生成物であり、この縮
合生成物（「エトキサマー（ethoxamer）」）（例え
ば、ポリ（エチレンオキシド）と脂肪酸、脂肪アルコー
ル、脂肪アミド、多価アルコール（例えば、ソルビタン
モノステアレート）およびポリプロピレンオキシド（例
えば、Pluronic物質）との縮合生成物）は、親水性ポリ
オキシエチレン部分を含む。
Miranol JEM（Rhone−Poulenc,Cranbury,New Jersey
から入手可能な双性カルボキシレート界面活性剤）が、
代表的に適切な界面活性剤である。
から入手可能な双性カルボキシレート界面活性剤）が、
代表的に適切な界面活性剤である。
本発明に適切な酸成分は、ヒドロキシ酢酸およびクエ
ン酸を包含する。リン酸がまた使用され、遊離鉄イオン
を対応するリン酸塩として共沈させることにより、表面
を不動態化し得る。酢酸は、本発明の方法に適切ではな
い。必要に応じて、組成物は、１つ以上の酸成分を含有
し得る。
ン酸を包含する。リン酸がまた使用され、遊離鉄イオン
を対応するリン酸塩として共沈させることにより、表面
を不動態化し得る。酢酸は、本発明の方法に適切ではな
い。必要に応じて、組成物は、１つ以上の酸成分を含有
し得る。
本発明に適切な水は、蒸留水、軟水、または硬水であ
り得る。
り得る。
ステンレス鋼表面を洗浄および不動態化するための本
発明の方法は、以下の工程を包含する： １）表面を15〜45ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約１％と60
％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性剤、および
約39％と98％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
発明の方法は、以下の工程を包含する： １）表面を15〜45ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約１％と60
％との間の酸成分、約１％〜15％の界面活性剤、および
約39％と98％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
本発明のプロセスにより、洗浄および不動態化の両方
は、最初の処理の約20〜30分以内で達成される。好まし
くは、本方法は以下の工程を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約15％と40
％との間の酸、約１％〜15％の界面活性剤、および約59
％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
は、最初の処理の約20〜30分以内で達成される。好まし
くは、本方法は以下の工程を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約15％と40
％との間の酸、約１％〜15％の界面活性剤、および約59
％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
１つの好ましい実施態様において、本方法は以下の工
程を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、上記酸処方物が約15％と
40％との間のヒドロキシ酢酸、約１％〜15％の界面活性
剤、および約59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
程を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、上記酸処方物が約15％と
40％との間のヒドロキシ酢酸、約１％〜15％の界面活性
剤、および約59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを上記酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
別の好ましい実施態様において、本方法は以下の工程
を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約15％と40
％との間のクエン酸、約１％〜15％の界面活性剤、およ
び約59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを該酸化物フィル
ム中に沈澱させる工程。
を包含する： １）表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希釈溶
液と接触させる工程であって、該酸処方物が約15％と40
％との間のクエン酸、約１％〜15％の界面活性剤、およ
び約59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、上記表面から残渣を追い出しそして
取り除く工程； ３）接触を持続し、上記表面から遊離した遊離鉄イオン
を錯体化し、上記表面上に酸化物フィルムを形成する工
程；および ４）接触を持続し、錯体化したイオンを該酸化物フィル
ム中に沈澱させる工程。
別の実施態様において、上記酸は、リン酸であり、そ
して錯体化したイオンは、フィルム中に沈澱する鉄リン
酸塩を形成する。
して錯体化したイオンは、フィルム中に沈澱する鉄リン
酸塩を形成する。
本発明の１つの特定の実施態様において、洗浄されか
つ不動態化されるべきステンレス鋼の製造容器に存在す
る製剤生成物のような物質は、容器から取り除かれる。
取り除かれるべき物質の塊は、容易にステンレス鋼の容
器から流れ出るが、残渣フィルムはステンレス鋼表面に
残存したままである。
つ不動態化されるべきステンレス鋼の製造容器に存在す
る製剤生成物のような物質は、容器から取り除かれる。
取り除かれるべき物質の塊は、容易にステンレス鋼の容
器から流れ出るが、残渣フィルムはステンレス鋼表面に
残存したままである。
本発明に使用される組成物は、いくつかの方法のうち
の１つ以上で、フィルムコート表面と接触させられる。
フィルムコート表面に接触させる１つの方法は、全ての
フィルムコート表面が組成物と接触するように、フィル
ムコート表面上に組成物をふりまく固定スプレーボール
機構（fixed spray−ball mechanism）の使用による。
フィルムコート表面に接触させる別の方法は、容器内の
種々の位置で、全てのフィルムコート表面が組成物と接
触するように、フィルムコート表面上に組成物をふりま
く柔軟性スプレーボール機構（flexible spray−ball m
echanism）の使用による。別の方法は、全てのフィルム
コート表面が組成物と接触するように、容器を充填する
ことである。
の１つ以上で、フィルムコート表面と接触させられる。
フィルムコート表面に接触させる１つの方法は、全ての
フィルムコート表面が組成物と接触するように、フィル
ムコート表面上に組成物をふりまく固定スプレーボール
機構（fixed spray−ball mechanism）の使用による。
フィルムコート表面に接触させる別の方法は、容器内の
種々の位置で、全てのフィルムコート表面が組成物と接
触するように、フィルムコート表面上に組成物をふりま
く柔軟性スプレーボール機構（flexible spray−ball m
echanism）の使用による。別の方法は、全てのフィルム
コート表面が組成物と接触するように、容器を充填する
ことである。
接触が開始された後、フィルムは追い出され、そして
組成物中に可溶化されるか、分散されるかまたは乳濁さ
れ、そして容器から取り除かれる。遊離鉄イオンは、表
面から遊離し、そして表面上に酸化物フィルムを形成す
る。鉄の錯体化イオンは、酸化物フィルム中に沈澱す
る。容器から取り除かれた組成物は、必要に応じて廃棄
されるか、または再利用される。
組成物中に可溶化されるか、分散されるかまたは乳濁さ
れ、そして容器から取り除かれる。遊離鉄イオンは、表
面から遊離し、そして表面上に酸化物フィルムを形成す
る。鉄の錯体化イオンは、酸化物フィルム中に沈澱す
る。容器から取り除かれた組成物は、必要に応じて廃棄
されるか、または再利用される。
本発明の方法を用いて、ステンレス鋼は、１つの処理
で洗浄および不動態化され得る。本方法は、ステンレス
鋼表面の洗浄に加えて、不動態保護フィルムを提供す
る。
で洗浄および不動態化され得る。本方法は、ステンレス
鋼表面の洗浄に加えて、不動態保護フィルムを提供す
る。
実施例２の表２は、本発明の方法を用いて得られた不
動態化特性を評価する研究から得られたデータを示す。
１年当たりのmil（MPY）で電気化学的に測定された腐食
速度は、最初は高いが、不動態フィルムが形成された後
に急速に降下し、そして低いままである。続いてこれら
の不動態化電極を同一の処方物の新たな溶液に曝すと、
先に形成された不動態フィルムの保護効果により腐食速
度は上昇しない。腐食反応が開始すると、遊離した遊離
鉄イオンが錯体化される。酸成分に曝すと、酸化物フィ
ルムが金属表面上に形成する。錯体は容易に沈澱し、そ
して酸化物フィルムに取り込まれ、酸化物フィルムの完
全性を増強する。
動態化特性を評価する研究から得られたデータを示す。
１年当たりのmil（MPY）で電気化学的に測定された腐食
速度は、最初は高いが、不動態フィルムが形成された後
に急速に降下し、そして低いままである。続いてこれら
の不動態化電極を同一の処方物の新たな溶液に曝すと、
先に形成された不動態フィルムの保護効果により腐食速
度は上昇しない。腐食反応が開始すると、遊離した遊離
鉄イオンが錯体化される。酸成分に曝すと、酸化物フィ
ルムが金属表面上に形成する。錯体は容易に沈澱し、そ
して酸化物フィルムに取り込まれ、酸化物フィルムの完
全性を増強する。
実施例１（コントロール） ステンレス鋼316電極を、34％硝酸溶液（ステンレス
鋼表面の不動態化に使用する標準溶液）で処理した。電
極を新たに希釈した溶液に浸漬し、そして腐食速度（１
年当たりのmilで測定される）をモニターすることによ
り、腐食速度プロフィールを作製した。プロフィール
は、短時間の初期腐食を示し、保護フィルムを形成し、
続いて長時間実質的にさらなる腐食を示さなかった。
鋼表面の不動態化に使用する標準溶液）で処理した。電
極を新たに希釈した溶液に浸漬し、そして腐食速度（１
年当たりのmilで測定される）をモニターすることによ
り、腐食速度プロフィールを作製した。プロフィール
は、短時間の初期腐食を示し、保護フィルムを形成し、
続いて長時間実質的にさらなる腐食を示さなかった。
実施例２ 酸を水に添加することにより、以下の処方物を有する
組成物を調製した： 表１ 処方物 １ ２ ３ 成分 酢酸 23.2％ − − ヒドロキシ酢酸 − 29.4％ − クエン酸 − − 25.5％ Miranol JEM 2.0 2.0 2.0 水 74.8 68.6 72.5 合計 100％ 100％ 100％ 各処方物を、31ml/リットルの濃度まで希釈し、ステ
ンレス鋼316電極を80℃で希釈した処方物に浸漬し、そ
して腐食速度（１年当たりのmilで測定される）のモニ
ターを続けることにより評価した。また、水のみを評価
した。表２は、表１に記載の処方物１、２、または３、
あるいは水を用いて得られた腐食速度を示す。
組成物を調製した： 表１ 処方物 １ ２ ３ 成分 酢酸 23.2％ − − ヒドロキシ酢酸 − 29.4％ − クエン酸 − − 25.5％ Miranol JEM 2.0 2.0 2.0 水 74.8 68.6 72.5 合計 100％ 100％ 100％ 各処方物を、31ml/リットルの濃度まで希釈し、ステ
ンレス鋼316電極を80℃で希釈した処方物に浸漬し、そ
して腐食速度（１年当たりのmilで測定される）のモニ
ターを続けることにより評価した。また、水のみを評価
した。表２は、表１に記載の処方物１、２、または３、
あるいは水を用いて得られた腐食速度を示す。
表２ 腐食速度 １ ２ ３ 水 時間 １分 0.0 4.0 1.0 0.05 ２分 2.0 8.0 4.0 0.05 ３分 2.0 2.0 8.0 0.05 ４分 2.0 1.0 2.0 0.05 ５分 2.0 1.0 1.0 0.05 10分 0.7 0.7 0.7 0.05 15分 0.5 0.5 0.5 0.05 30分 0.5 0.5 0.5 0.05 60分 0.3 0.3 0.3 0.05 データは、ステンレス鋼の特定の酸処方物への曝露が
初期腐食効果を引き起こし、この結果不動態フィルム処
方物が形成し、続いて時間にわたり腐食速度が低下する
ことを示す。
初期腐食効果を引き起こし、この結果不動態フィルム処
方物が形成し、続いて時間にわたり腐食速度が低下する
ことを示す。
実施例３ 製剤発酵容器の洗浄および不動態化 洗浄されかつ不動態化されるべきステンレス鋼製剤発
酵容器に存在する製剤生成物を、容器から取り除く。生
成物の塊を取り除いた後、残渣フィルムはステンレス鋼
表面上に残存する。29.4％のヒドロキシ酢酸および70.6
％の水の希釈（31ml/リットル）組成物を、フィルムコ
ート表面上に噴霧する。フィルムを追い出し、組成物中
に分散させ、そして容器から取り除く。遊離鉄イオンが
表面から遊離し、そして表面上に酸化物フィルムを形成
する。鉄の錯体化イオンは、酸化物フィルム中に沈澱す
る。容器から取り除いた組成物を、必要に応じて廃棄す
るかまたは再利用する。
酵容器に存在する製剤生成物を、容器から取り除く。生
成物の塊を取り除いた後、残渣フィルムはステンレス鋼
表面上に残存する。29.4％のヒドロキシ酢酸および70.6
％の水の希釈（31ml/リットル）組成物を、フィルムコ
ート表面上に噴霧する。フィルムを追い出し、組成物中
に分散させ、そして容器から取り除く。遊離鉄イオンが
表面から遊離し、そして表面上に酸化物フィルムを形成
する。鉄の錯体化イオンは、酸化物フィルム中に沈澱す
る。容器から取り除いた組成物を、必要に応じて廃棄す
るかまたは再利用する。
フィルムコート表面と酸および界面活性剤の組成物と
の間の接触の最初の20〜30分以内に、不動態化保護酸化
物フィルムが表面上に形成する。
の間の接触の最初の20〜30分以内に、不動態化保護酸化
物フィルムが表面上に形成する。
本発明の方法を用いて、ステンレス鋼は、１つの処理
で洗浄および不動態化され得る。本方法は、ステンレス
鋼表面の洗浄に加えて、不動態保護フィルムを提供す
る。
で洗浄および不動態化され得る。本方法は、ステンレス
鋼表面の洗浄に加えて、不動態保護フィルムを提供す
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−248480（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−21031（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭45−15841（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23G 1/00 - 5/06
Claims (5)
- 【請求項１】以下の工程を包含する、ステンレス鋼表面
の洗浄および不動態化方法： １）該表面を15〜45ml/リットルの酸処方物を含む希釈
溶液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物が
１％と60％との間の酸成分、１％〜15％の界面活性剤、
および39％と98％との間の水を含有し、ここで該酸成
分、該界面活性剤および該水の量比は総計で100％以下
となるように選択される、工程； ２）接触を維持し、該表面から残渣を追い出しそして取
り除く工程； ３）接触を持続し、該表面から遊離した遊離鉄イオンを
錯体化し、該表面上に酸化物フィルムを形成する工程；
および ４）接触を持続し、該錯体化したイオンを該酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。 - 【請求項２】以下の工程を包含する、請求項１に記載の
方法： １）前記表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希
釈溶液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物
が15％と40％との間の酸成分、１％〜15％の界面活性
剤、および59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、該表面から残渣を追い出しそして取
り除く工程； ３）接触を持続し、該表面から遊離した遊離鉄イオンを
錯体化し、該表面上に酸化物フィルムを形成する工程；
および ４）接触を持続し、該錯体化したイオンを該酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。 - 【請求項３】以下の工程を包含する、請求項２に記載の
方法： １）前記表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希
釈溶液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物
が15％と40％との間のヒドロキシ酢酸、１％〜15％の界
面活性剤、および59％と84％との間の水を含有する、工
程； ２）接触を維持し、該表面から残渣を追い出しそして取
り除く工程； ３）接触を持続し、該表面から遊離した遊離鉄イオンを
錯体化し、該表面上に酸化物フィルムを形成する工程；
および ４）接触を持続し、該錯体化したイオンを該酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。 - 【請求項４】以下の工程を包含する、請求項２に記載の
方法： １）前記表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希
釈溶液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物
が15％と40％との間のクエン酸、１％〜15％の界面活性
剤、および59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、該表面から残渣を追い出しそして取
り除く工程； ３）接触を持続し、該表面から遊離した遊離鉄イオンを
錯体化し、該表面上に酸化物フィルムを形成する工程；
および ４）接触を持続し、該錯体化したイオンを該酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。 - 【請求項５】以下の工程を包含する、請求項２に記載の
方法： １）前記表面を22〜38ml/リットルの酸処方物を含む希
釈溶液と接触させる工程であって、希釈前の該酸処方物
が15％と40％との間のリン酸、１％〜15％の界面活性
剤、および59％と84％との間の水を含有する、工程； ２）接触を維持し、該表面から残渣を追い出しそして取
り除く工程； ３）接触を持続し、該表面から遊離した遊離鉄イオンを
錯体化し、該表面上に酸化物フィルムを形成する工程；
および ４）接触を持続し、該錯体化したイオンを該酸化物フィ
ルム中に沈澱させる工程。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US31180894A | 1994-09-26 | 1994-09-26 | |
| US08/311,808 | 1994-09-26 | ||
| US311,808 | 1994-09-26 | ||
| PCT/US1995/012182 WO1996009899A1 (en) | 1994-09-26 | 1995-09-22 | Stainless steel acid treatment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10503240A JPH10503240A (ja) | 1998-03-24 |
| JP2941948B2 true JP2941948B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=23208580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8510455A Expired - Fee Related JP2941948B2 (ja) | 1994-09-26 | 1995-09-22 | ステンレス鋼酸処理 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5766684A (ja) |
| EP (1) | EP0776256B1 (ja) |
| JP (1) | JP2941948B2 (ja) |
| AT (1) | ATE300630T1 (ja) |
| AU (1) | AU3724095A (ja) |
| CA (1) | CA2200587C (ja) |
| DE (1) | DE69534340T2 (ja) |
| ES (1) | ES2247593T3 (ja) |
| WO (1) | WO1996009899A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6341612B1 (en) | 2000-03-09 | 2002-01-29 | Steris Inc | Two compartment container for neutralizing used cleaning solutions |
| US6550487B1 (en) | 2000-03-09 | 2003-04-22 | Steris Inc. | Apparatus for removing deposits from enclosed chambers |
| US6770150B1 (en) | 2000-03-09 | 2004-08-03 | Steris Inc. | Process for removing deposits from enclosed chambers |
| US6506254B1 (en) | 2000-06-30 | 2003-01-14 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing equipment having improved particle performance |
| US6890861B1 (en) | 2000-06-30 | 2005-05-10 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing equipment having improved particle performance |
| US20050234545A1 (en) * | 2004-04-19 | 2005-10-20 | Yea-Yang Su | Amorphous oxide surface film for metallic implantable devices and method for production thereof |
| ES2286938B1 (es) * | 2006-04-26 | 2008-11-01 | Supramol.Lecular Systems S.L. | Solucion electrolitica para el pulido electroquimico de articulos de metal. |
| KR100744639B1 (ko) * | 2006-07-31 | 2007-08-07 | 주식회사 월덱스 | 실리콘 단일재질의 플라즈마 챔버 캐소드 및 아웃링 |
| DE102007010538A1 (de) * | 2007-03-05 | 2008-09-11 | Poligrat Gmbh | Verfahren zum thermochemischen Passivieren von Edelstahl |
| EP2182095A1 (de) | 2008-10-29 | 2010-05-05 | Poligrat Gmbh | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von nichtrostendem Stahl |
| CA2800912C (en) * | 2010-05-27 | 2016-08-23 | John Wayne Dyck | Method of treating rolled steel article |
| US8734586B2 (en) | 2012-02-02 | 2014-05-27 | Sematech, Inc. | Process for cleaning shield surfaces in deposition systems |
| US8734907B2 (en) | 2012-02-02 | 2014-05-27 | Sematech, Inc. | Coating of shield surfaces in deposition systems |
| DE102012107807A1 (de) * | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Paul Hettich Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines metallischen Bauteils eines Beschlages, Ofenbeschlag und Ofen mit Pyrolysereinigungsfunktion |
| CN115161630B (zh) * | 2022-07-25 | 2023-07-21 | 华迪钢业集团有限公司 | 一种无缝不锈钢管的酸洗钝化处理工艺 |
Family Cites Families (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2576680A (en) * | 1945-09-15 | 1951-11-27 | Electro Chimie Metal | Method for increasing the resistance to corrosion of stainless steel |
| US3072502A (en) * | 1961-02-14 | 1963-01-08 | Pfizer & Co C | Process for removing copper-containing iron oxide scale from metal surfaces |
| NL275534A (ja) * | 1961-03-15 | |||
| DE1216066B (de) * | 1963-01-29 | 1966-05-05 | Henkel & Cie Gmbh | Verfahren zur Behandlung von entfetteten und mit einer sauren Loesung gebeizten Metallober-flaechen vor dem Emaillieren |
| US3519458A (en) * | 1966-03-01 | 1970-07-07 | Hooker Chemical Corp | Method for reducing the corrosion susceptibility of ferrous metal having fluxing agent residue |
| US3635826A (en) * | 1969-11-03 | 1972-01-18 | Amchem Prod | Compositions and methods for treating metal surfaces |
| US3992313A (en) * | 1975-07-14 | 1976-11-16 | Amchem Products, Inc. | Acid inhibitor composition and process in hydrofluoric acid chemical cleaning |
| US4045253A (en) * | 1976-03-15 | 1977-08-30 | Halliburton Company | Passivating metal surfaces |
| US4010085A (en) * | 1976-04-28 | 1977-03-01 | Ppg Industries, Inc. | Cathode electrocatalyst |
| US4086149A (en) * | 1976-08-04 | 1978-04-25 | Ppg Industries, Inc. | Cathode electrocatalyst |
| US4148707A (en) * | 1977-07-08 | 1979-04-10 | Heritage Silversmiths Limited | Electrochemical finishing of stainless steel |
| US4590100A (en) * | 1983-10-28 | 1986-05-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Passivation of steel with aqueous amine solutions preparatory to application of non-aqueous protective coatings |
| FR2601379A1 (fr) * | 1986-07-09 | 1988-01-15 | Commissariat Energie Atomique | Produit decapant pour pieces en acier et procede de decapage utilisant ce produit |
| US4810405A (en) * | 1987-10-21 | 1989-03-07 | Dearborn Chemical Company, Limited | Rust removal and composition thereof |
| US5015298A (en) * | 1989-08-22 | 1991-05-14 | Halliburton Company | Composition and method for removing iron containing deposits from equipment constructed of dissimilar metals |
| FR2657888B1 (fr) * | 1990-02-08 | 1994-04-15 | Ugine Aciers | Procedes de decapage de materiaux en acier inoxydable. |
| US5039349A (en) * | 1990-05-18 | 1991-08-13 | Veriflo Corporation | Method and apparatus for cleaning surfaces to absolute or near-absolute cleanliness |
| JP3052213B2 (ja) * | 1991-02-18 | 2000-06-12 | タイホー工業株式会社 | ステンレス鋼表面の錆除去剤 |
| IT1245594B (it) * | 1991-03-29 | 1994-09-29 | Itb Srl | Processo di decapaggio e di passivazione di acciaio inossidabile senza acido nitrico |
| IT1251431B (it) * | 1991-10-25 | 1995-05-09 | Costante Fontana | Composto ad elevate caratteristiche stabilizzanti particolarmente per perossidi inorganici utilizzati in applicazioni industriali |
| US5252363A (en) * | 1992-06-29 | 1993-10-12 | Morton International, Inc. | Method to produce universally paintable passivated galvanized steel |
| IT1255655B (it) * | 1992-08-06 | 1995-11-09 | Processo di decapaggio e passivazione di acciaio inossidabile senza impiego di acido nitrico | |
| DE9214890U1 (de) * | 1992-11-02 | 1993-01-07 | Poligrat GmbH, 8000 München | Mittel zum Beizen und/oder Reinigen von Metalloberflächen |
| US5407597A (en) * | 1994-04-22 | 1995-04-18 | Fremont Industries, Inc. | Galvanized metal corrosion inhibitor |
-
1995
- 1995-09-22 WO PCT/US1995/012182 patent/WO1996009899A1/en active IP Right Grant
- 1995-09-22 AT AT95935087T patent/ATE300630T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-09-22 DE DE69534340T patent/DE69534340T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-22 EP EP95935087A patent/EP0776256B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-22 JP JP8510455A patent/JP2941948B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-22 AU AU37240/95A patent/AU3724095A/en not_active Abandoned
- 1995-09-22 ES ES95935087T patent/ES2247593T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-22 CA CA002200587A patent/CA2200587C/en not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-04-21 US US08/843,727 patent/US5766684A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES2247593T3 (es) | 2006-03-01 |
| DE69534340T2 (de) | 2006-04-20 |
| US5766684A (en) | 1998-06-16 |
| DE69534340D1 (de) | 2005-09-01 |
| EP0776256B1 (en) | 2005-07-27 |
| WO1996009899A1 (en) | 1996-04-04 |
| CA2200587A1 (en) | 1996-04-04 |
| EP0776256A4 (en) | 1998-05-20 |
| ATE300630T1 (de) | 2005-08-15 |
| EP0776256A1 (en) | 1997-06-04 |
| JPH10503240A (ja) | 1998-03-24 |
| AU3724095A (en) | 1996-04-19 |
| CA2200587C (en) | 2001-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2941948B2 (ja) | ステンレス鋼酸処理 | |
| JP2941949B2 (ja) | ステンレス鋼アルカリ処理 | |
| JP3441715B2 (ja) | 水性リンス組成物及びそれを用いた方法 | |
| DE69834931T2 (de) | Verfahren zum entfernen von rückständen von einem halbleitersubstrat | |
| JP3662484B2 (ja) | ウェット処理方法及びウェット処理装置 | |
| JP3052213B2 (ja) | ステンレス鋼表面の錆除去剤 | |
| EP0357408B1 (en) | Metal cleaning process | |
| JPS62243787A (ja) | 研摩材吹き付け清浄化方法および該方法に用いる組成物 | |
| US4590100A (en) | Passivation of steel with aqueous amine solutions preparatory to application of non-aqueous protective coatings | |
| JP2003277960A (ja) | マグネシウム合金の表面処理方法 | |
| JPS6325071B2 (ja) | ||
| JP3491657B2 (ja) | 金属の乾燥前処理剤および乾燥方法 | |
| JP3181151B2 (ja) | 鉄鋼表面の塗装下地処理剤 | |
| RU2026325C1 (ru) | Способ удаления ржавчины с поверхности изделий из черных металлов | |
| JP3573178B2 (ja) | ノンリンス洗浄剤 | |
| JP3458873B2 (ja) | 金属乾燥方法 | |
| JPH0617264A (ja) | 銅および銅合金の表面清浄化方法 | |
| JPH09249980A (ja) | 金属材料の湿式エッチング方法 | |
| JPH03146684A (ja) | 洗浄防錆剤 | |
| JP2002097587A (ja) | 銅及び銅合金表面の錯体皮膜除去方法 | |
| JPH07278769A (ja) | メッキ前処理用組成物 | |
| JPH0617265A (ja) | 銅および銅合金の表面清浄化剤 | |
| JPS6039177A (ja) | 腐食抑制方法 | |
| JPH0657463A (ja) | アルミフィン清浄剤 | |
| JPS5815542B2 (ja) | ボウシヨウエキ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |