JP2930866B2 - Ｘ線分析方法およびこれに用いる装置 - Google Patents
Ｘ線分析方法およびこれに用いる装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、鋼板の表面に形成され
た塗膜のような有機物からなる膜体の膜厚を測定するた
めのＸ線分析方法およびこれに用いる装置に関するもの
である。
た塗膜のような有機物からなる膜体の膜厚を測定するた
めのＸ線分析方法およびこれに用いる装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来は次のような方法で、鋼板の表面に
形成された有機物からなる膜体の膜厚を測定していた。
まず、有機物からなり膜厚が既知でかつその膜厚が互い
に相違する膜体が形成された複数の標準試料に１次Ｘ線
を照射して、標準試料から発生するコンプトン散乱Ｘ線
のピーク強度を検出し、コンプトン散乱Ｘ線のピーク強
度と膜厚との相関を示す検量線を作成しておく。次に、
有機物からなる分析対象の膜体に１次Ｘ線を照射して、
膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を検
出し、そのコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を前記検量
線にあてはめて分析対象の膜体の膜厚を求める。
形成された有機物からなる膜体の膜厚を測定していた。
まず、有機物からなり膜厚が既知でかつその膜厚が互い
に相違する膜体が形成された複数の標準試料に１次Ｘ線
を照射して、標準試料から発生するコンプトン散乱Ｘ線
のピーク強度を検出し、コンプトン散乱Ｘ線のピーク強
度と膜厚との相関を示す検量線を作成しておく。次に、
有機物からなる分析対象の膜体に１次Ｘ線を照射して、
膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を検
出し、そのコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を前記検量
線にあてはめて分析対象の膜体の膜厚を求める。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】有機物からなる膜体か
ら発生するコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度と膜体の膜
厚との相関は、その膜体の品種によって異なる。したが
って、従来の方法では、膜体の品種ごとに検量線を作成
しなければならず、また、品種が不明な膜体や多層有機
膜のように複雑な構造の膜体については膜厚の測定が実
質上不可能であった。
ら発生するコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度と膜体の膜
厚との相関は、その膜体の品種によって異なる。したが
って、従来の方法では、膜体の品種ごとに検量線を作成
しなければならず、また、品種が不明な膜体や多層有機
膜のように複雑な構造の膜体については膜厚の測定が実
質上不可能であった。
【０００４】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たもので、有機物からなる膜体の膜厚を測定する場合
に、その膜体の品種によらない共通の検量線を用いて膜
厚を測定することが可能なＸ線分析方法およびこれに用
いる装置を提供することを目的とする。
たもので、有機物からなる膜体の膜厚を測定する場合
に、その膜体の品種によらない共通の検量線を用いて膜
厚を測定することが可能なＸ線分析方法およびこれに用
いる装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】前記目的を達
成するために、発明者らによる研究の結果、有機物から
なる膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度の積分
値と膜体の膜厚との相関は、その膜体の品種によらない
ことを見い出して、本発明をなすに至った。請求項１の
方法においては、まず、有機物からなる膜厚が既知の膜
体を備えた標準試料に１次Ｘ線を照射し、前記標準試料
から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する。次
に、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコ
ンプトン散乱強度の変化を示す曲線を求め、前記曲線の
波長変化に対する積分値を求める。そして、前記積分値
と膜厚との相関を示す検量線を作成する。
成するために、発明者らによる研究の結果、有機物から
なる膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度の積分
値と膜体の膜厚との相関は、その膜体の品種によらない
ことを見い出して、本発明をなすに至った。請求項１の
方法においては、まず、有機物からなる膜厚が既知の膜
体を備えた標準試料に１次Ｘ線を照射し、前記標準試料
から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する。次
に、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコ
ンプトン散乱強度の変化を示す曲線を求め、前記曲線の
波長変化に対する積分値を求める。そして、前記積分値
と膜厚との相関を示す検量線を作成する。
【０００６】有機物からなる膜体から発生するコンプト
ン散乱Ｘ線の強度の積分値と膜体の膜厚との相関は、そ
の膜体の品種によらず一義的に定まる。したがって、請
求項１の方法によれば、有機物からなる膜体の膜厚を測
定する場合に、膜体の品種によらない共通の検量線を作
成することができる。
ン散乱Ｘ線の強度の積分値と膜体の膜厚との相関は、そ
の膜体の品種によらず一義的に定まる。したがって、請
求項１の方法によれば、有機物からなる膜体の膜厚を測
定する場合に、膜体の品種によらない共通の検量線を作
成することができる。
【０００７】請求項２の方法においては、まず、有機物
からなる膜体に１次Ｘ線を照射し、前記膜体から発生す
るコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する。次に、コンプ
トン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプトン散
乱強度の変化を示す曲線を求め、前記曲線の波長変化に
対する積分値を求める。そして、請求項１で作成した検
量線を用いて前記膜体の膜厚を求める。
からなる膜体に１次Ｘ線を照射し、前記膜体から発生す
るコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する。次に、コンプ
トン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプトン散
乱強度の変化を示す曲線を求め、前記曲線の波長変化に
対する積分値を求める。そして、請求項１で作成した検
量線を用いて前記膜体の膜厚を求める。
【０００８】請求項２の方法によれば、有機物からなる
膜体の膜厚を測定する場合に、膜体の品種によらない共
通の検量線を用いて膜厚を測定することが可能となり、
また、品種が不明な膜体や多層有機膜のように複雑な構
造の膜体についても膜厚の測定が可能となる。
膜体の膜厚を測定する場合に、膜体の品種によらない共
通の検量線を用いて膜厚を測定することが可能となり、
また、品種が不明な膜体や多層有機膜のように複雑な構
造の膜体についても膜厚の測定が可能となる。
【０００９】請求項３の装置は、まず、有機物からなる
膜体に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記膜体から発生
するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する強度検出手段
とを備えている。また、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対
する前記検出したコンプトン散乱強度の変化を示す曲線
を求める強度変化検出手段と、前記曲線の波長変化に対
する積分値を求める積分値算出手段とを備えている。
膜体に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記膜体から発生
するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出する強度検出手段
とを備えている。また、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対
する前記検出したコンプトン散乱強度の変化を示す曲線
を求める強度変化検出手段と、前記曲線の波長変化に対
する積分値を求める積分値算出手段とを備えている。
【００１０】請求項３の装置によれば、有機物からなる
膜体の膜厚を測定する場合に、膜体の品種によらない共
通の検量線を作成し、その検量線を用いて膜厚を測定す
ることが可能となり、また、品種が不明な膜体や多層有
機膜のように複雑な構造の膜体についても膜厚の測定が
可能となる。
膜体の膜厚を測定する場合に、膜体の品種によらない共
通の検量線を作成し、その検量線を用いて膜厚を測定す
ることが可能となり、また、品種が不明な膜体や多層有
機膜のように複雑な構造の膜体についても膜厚の測定が
可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面にしたがって説
明する。図１において、本発明の装置は、試料台７と、
その上に載置された試料Ｓに対して、たとえばロジウム
をターゲットとし１次Ｘ線Ｒh −Ｋα線を照射するＸ線
源１とを備えている。この試料Ｓは、鋼板のような下地
２０の表面に有機物からなる塗膜のような膜体２を形成
したものである。この装置はさらに、前記膜体２から発
生するコンプトン散乱Ｘ線を角度θをもって回折する分
光結晶８と、前記膜体２から発生するコンプトン散乱Ｘ
線の強度を検出する強度検出手段３と、コンプトン散乱
Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプトン散乱強度の
変化を示す曲線を求める強度変化検出手段４と、前記曲
線の波長変化に対する積分値を求める積分値算出手段５
と、前記積分値を出力するプリンタのような出力手段６
を備えている。
明する。図１において、本発明の装置は、試料台７と、
その上に載置された試料Ｓに対して、たとえばロジウム
をターゲットとし１次Ｘ線Ｒh −Ｋα線を照射するＸ線
源１とを備えている。この試料Ｓは、鋼板のような下地
２０の表面に有機物からなる塗膜のような膜体２を形成
したものである。この装置はさらに、前記膜体２から発
生するコンプトン散乱Ｘ線を角度θをもって回折する分
光結晶８と、前記膜体２から発生するコンプトン散乱Ｘ
線の強度を検出する強度検出手段３と、コンプトン散乱
Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプトン散乱強度の
変化を示す曲線を求める強度変化検出手段４と、前記曲
線の波長変化に対する積分値を求める積分値算出手段５
と、前記積分値を出力するプリンタのような出力手段６
を備えている。
【００１２】〔検量線の作成方法〕まず、標準試料を用
いて検量線を作成する方法について説明する。図１にお
いて、鋼板のような下地２０の表面に有機物からなる膜
厚が既知の膜体２が形成された標準試料に、Ｘ線源１か
ら１次Ｘ線を照射し、膜体２から発生するコンプトン散
乱Ｘ線を分光結晶８で角度θをもって回折し、膜体２か
ら発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を強度検知手段３
で検出する。強度検知手段３に入射するコンプトン散乱
Ｘ線の波長λは次の式から求められる。 ２ｄ sinθ＝ｎλ ｄ：分光結晶８の面間隔 ｎ：反射の次数（１，２，３，……）
いて検量線を作成する方法について説明する。図１にお
いて、鋼板のような下地２０の表面に有機物からなる膜
厚が既知の膜体２が形成された標準試料に、Ｘ線源１か
ら１次Ｘ線を照射し、膜体２から発生するコンプトン散
乱Ｘ線を分光結晶８で角度θをもって回折し、膜体２か
ら発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を強度検知手段３
で検出する。強度検知手段３に入射するコンプトン散乱
Ｘ線の波長λは次の式から求められる。 ２ｄ sinθ＝ｎλ ｄ：分光結晶８の面間隔 ｎ：反射の次数（１，２，３，……）
【００１３】ここで、分光結晶８を入射してくるコンプ
トン散乱Ｘ線に対してある角度だけ傾け、強度検知手段
３を同方向にその２倍の角度だけ傾けると、回折現象を
維持しつつ角度θを変化させることができる。すなわ
ち、強度検知手段３に入射するコンプトン散乱Ｘ線の波
長λを変化させながら、その波長λを測定することがで
きる。同時に、その強度を強度検知手段３で検出するの
で、図２に示すような、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対
するコンプトン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を強度
変化検知手段４（図１）によって求めることができる。
このとき、たとえば膜体２の品種がポリイミドＰＩであ
るときは図２に実線で示す曲線Ａが、ポリプロピレンＰ
Ｐであるときは破線で示す曲線Ｂが得られる。
トン散乱Ｘ線に対してある角度だけ傾け、強度検知手段
３を同方向にその２倍の角度だけ傾けると、回折現象を
維持しつつ角度θを変化させることができる。すなわ
ち、強度検知手段３に入射するコンプトン散乱Ｘ線の波
長λを変化させながら、その波長λを測定することがで
きる。同時に、その強度を強度検知手段３で検出するの
で、図２に示すような、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対
するコンプトン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を強度
変化検知手段４（図１）によって求めることができる。
このとき、たとえば膜体２の品種がポリイミドＰＩであ
るときは図２に実線で示す曲線Ａが、ポリプロピレンＰ
Ｐであるときは破線で示す曲線Ｂが得られる。
【００１４】ここで従来は、膜体２の構成元素によっ
て、１次Ｘ線がコンプトン散乱Ｘ線に変化する際に失う
エネルギー量が異なることから、図２において、膜体２
の品種によってコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を示す
波長が変化すること、たとえばポリイミドＰＩについて
のλA とポリプロピレンＰＰについてのλB とが異なる
ことは既知であったが、曲線の形状については考慮して
おらず、図４に示すような、コンプトン散乱Ｘ線のピー
ク強度と膜厚との相関を示す検量線を作成していた。と
ころが、有機物からなる膜体２から発生するコンプトン
散乱Ｘ線のピーク強度と膜体２の膜厚との相関は、その
膜体２の品種によって異なるため、従来の方法では、た
とえば図４中に実線で示すポリイミドＰＩについての検
量線、破線で示すポリプロピレンＰＰについての検量
線、および二点鎖線で示すポリエステルＰＥについての
検量線のように品種ごとの検量線を作成しなければなら
なかった。
て、１次Ｘ線がコンプトン散乱Ｘ線に変化する際に失う
エネルギー量が異なることから、図２において、膜体２
の品種によってコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度を示す
波長が変化すること、たとえばポリイミドＰＩについて
のλA とポリプロピレンＰＰについてのλB とが異なる
ことは既知であったが、曲線の形状については考慮して
おらず、図４に示すような、コンプトン散乱Ｘ線のピー
ク強度と膜厚との相関を示す検量線を作成していた。と
ころが、有機物からなる膜体２から発生するコンプトン
散乱Ｘ線のピーク強度と膜体２の膜厚との相関は、その
膜体２の品種によって異なるため、従来の方法では、た
とえば図４中に実線で示すポリイミドＰＩについての検
量線、破線で示すポリプロピレンＰＰについての検量
線、および二点鎖線で示すポリエステルＰＥについての
検量線のように品種ごとの検量線を作成しなければなら
なかった。
【００１５】これに対し本発明では、図２において、膜
体２の品種によって曲線の形状が変化すること、たとえ
ばポリイミドＰＩについての曲線Ａの形状とポリプロピ
レンＰＰについての曲線Ｂの形状とが異なることに着目
し、コンプトン散乱Ｘ線の強度の積分値を積分値算出手
段５（図１）で求め、出力手段６（図１）で出力し、こ
の積分値と膜厚との相関を示す図３のような検量線を作
成することとした。
体２の品種によって曲線の形状が変化すること、たとえ
ばポリイミドＰＩについての曲線Ａの形状とポリプロピ
レンＰＰについての曲線Ｂの形状とが異なることに着目
し、コンプトン散乱Ｘ線の強度の積分値を積分値算出手
段５（図１）で求め、出力手段６（図１）で出力し、こ
の積分値と膜厚との相関を示す図３のような検量線を作
成することとした。
【００１６】積分値算出手段５によるコンプトン散乱Ｘ
線の強度の積分値の算出については、図２の曲線をガウ
ス分布やローレンツ分布で近似して、曲線から下の面積
を算出する方法等もあるが、本実施例では以下のような
簡便な方法による。標準試料の品種がポリイミドＰＩで
あるときすなわち曲線Ａの場合を例にとると、まず、コ
ンプトン散乱Ｘ線のピーク強度ＩA を示す波長λA から
左右に一定の適切な波長幅λ0 （たとえば前記回折角θ
でいえば０．５度に相当する波長幅）だけずれた波長、
すなわち波長λA −λ0 と波長λA ＋λ0 とにおける曲
線Ａ上の点Ｐ2とＰ3 を求め、これらとコンプトン散乱
Ｘ線のピーク強度ＩA を示す曲線Ａ上のピーク点Ｐ1 と
を通る２直線Ｐ1 Ｐ5 ，Ｐ1 Ｐ6 （図２中に一点鎖線で
示す）で曲線Ａの形状を近似する。
線の強度の積分値の算出については、図２の曲線をガウ
ス分布やローレンツ分布で近似して、曲線から下の面積
を算出する方法等もあるが、本実施例では以下のような
簡便な方法による。標準試料の品種がポリイミドＰＩで
あるときすなわち曲線Ａの場合を例にとると、まず、コ
ンプトン散乱Ｘ線のピーク強度ＩA を示す波長λA から
左右に一定の適切な波長幅λ0 （たとえば前記回折角θ
でいえば０．５度に相当する波長幅）だけずれた波長、
すなわち波長λA −λ0 と波長λA ＋λ0 とにおける曲
線Ａ上の点Ｐ2とＰ3 を求め、これらとコンプトン散乱
Ｘ線のピーク強度ＩA を示す曲線Ａ上のピーク点Ｐ1 と
を通る２直線Ｐ1 Ｐ5 ，Ｐ1 Ｐ6 （図２中に一点鎖線で
示す）で曲線Ａの形状を近似する。
【００１７】次に、前記２直線Ｐ1 Ｐ5 ，Ｐ1 Ｐ6 と、
図２においてコンプトン散乱Ｘ線の強度が０を示す水平
軸とから定まる三角形Ｐ1 Ｐ5 Ｐ6 において、コンプト
ン散乱Ｘ線のピーク強度ＩA の半分の値ＩA ／２におけ
る幅λS を求め、ＩA ×λSから算出される三角形Ｐ1
Ｐ5 Ｐ6 の面積で、点Ｐ1 から下の曲線Ａの面積を近似
する。コンプトン散乱Ｘ線のピーク強度が複数あると
き、たとえば曲線Ａにおいてピーク強度ＩA の他にピー
ク強度ＩC が存在するときには、ピーク強度ＩCとそれ
を示す波長λC とから前記と同様に算出される三角形の
面積で、ピーク点Ｐ4 から下の曲線Ａの面積を近似す
る。そして、このように算出された三角形の面積の合計
を、コンプトン散乱Ｘ線の強度の積分値とする。
図２においてコンプトン散乱Ｘ線の強度が０を示す水平
軸とから定まる三角形Ｐ1 Ｐ5 Ｐ6 において、コンプト
ン散乱Ｘ線のピーク強度ＩA の半分の値ＩA ／２におけ
る幅λS を求め、ＩA ×λSから算出される三角形Ｐ1
Ｐ5 Ｐ6 の面積で、点Ｐ1 から下の曲線Ａの面積を近似
する。コンプトン散乱Ｘ線のピーク強度が複数あると
き、たとえば曲線Ａにおいてピーク強度ＩA の他にピー
ク強度ＩC が存在するときには、ピーク強度ＩCとそれ
を示す波長λC とから前記と同様に算出される三角形の
面積で、ピーク点Ｐ4 から下の曲線Ａの面積を近似す
る。そして、このように算出された三角形の面積の合計
を、コンプトン散乱Ｘ線の強度の積分値とする。
【００１８】この積分値を求めることを、膜体２の膜厚
が既知でかつその膜厚が互いに相違する複数の標準試料
について行い、図３に示すような、コンプトン散乱Ｘ線
の強度の積分値と膜厚との相関を示す検量線を作成す
る。こうして実際に作成された検量線は、膜体２の品種
が異なっても、同一のものであった。
が既知でかつその膜厚が互いに相違する複数の標準試料
について行い、図３に示すような、コンプトン散乱Ｘ線
の強度の積分値と膜厚との相関を示す検量線を作成す
る。こうして実際に作成された検量線は、膜体２の品種
が異なっても、同一のものであった。
【００１９】〔分析対象試料の膜厚測定方法〕次に、前
記検量線を用いて分析対象の膜体の膜厚を測定する方法
について説明する。図１のＸ線源１から、有機物からな
る分析対象の膜体２に１次Ｘ線を照射し、膜体２から発
生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を強度検知手段３で検
出する。続いて、前記検量線作成時と同様に、図２に示
すような、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対するコンプト
ン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を強度変化検知手段
４（図１）によって求め、コンプトン散乱Ｘ線の強度の
積分値を積分値算出手段５（図１）で求め、出力手段６
（図１）で出力する。そして、その積分値を前記検量線
にあてはめて膜体２の膜厚を求める。
記検量線を用いて分析対象の膜体の膜厚を測定する方法
について説明する。図１のＸ線源１から、有機物からな
る分析対象の膜体２に１次Ｘ線を照射し、膜体２から発
生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を強度検知手段３で検
出する。続いて、前記検量線作成時と同様に、図２に示
すような、コンプトン散乱Ｘ線の波長に対するコンプト
ン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を強度変化検知手段
４（図１）によって求め、コンプトン散乱Ｘ線の強度の
積分値を積分値算出手段５（図１）で求め、出力手段６
（図１）で出力する。そして、その積分値を前記検量線
にあてはめて膜体２の膜厚を求める。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、有機物からなる膜
体の膜厚を測定する場合に、本発明によれば、その膜体
の品種によらない共通の検量線を作成して、その検量線
を用いて多品種の膜体の膜厚を測定することが可能とな
るので、測定効率が向上する。また、品種が不明な膜体
や多層有機膜のように複雑な構造の膜体についても膜厚
の測定が可能となるので、測定の適用範囲が拡大する。
体の膜厚を測定する場合に、本発明によれば、その膜体
の品種によらない共通の検量線を作成して、その検量線
を用いて多品種の膜体の膜厚を測定することが可能とな
るので、測定効率が向上する。また、品種が不明な膜体
や多層有機膜のように複雑な構造の膜体についても膜厚
の測定が可能となるので、測定の適用範囲が拡大する。
【図１】本発明の構成を示す概略側面図である。
【図２】本発明におけるコンプトン散乱Ｘ線の波長に対
するコンプトン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を示す
図である。
するコンプトン散乱Ｘ線の強度の変化を示す曲線を示す
図である。
【図３】本発明におけるコンプトン散乱Ｘ線の強度の積
分値と膜厚との相関を示す検量線である。
分値と膜厚との相関を示す検量線である。
【図４】従来のコンプトン散乱Ｘ線のピーク強度と膜厚
との相関を示す検量線である。
との相関を示す検量線である。
【符号の説明】 １…Ｘ線源、２…膜体、３…強度検知手段、４…強度変
化検知手段、５…積分値算出手段。
化検知手段、５…積分値算出手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01B 15/00 - 15/08 G01N 23/00 - 23/227
Claims (3)
- 【請求項１】 有機物からなる膜厚が既知の膜体を備え
た標準試料に１次Ｘ線を照射し、 前記標準試料から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を
検出し、 コンプトン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプ
トン散乱強度の変化を示す曲線を求め、 前記曲線の波長変化に対する積分値を求め、 前記積分値と膜厚との相関を示す検量線を求めるＸ線分
析における検量線の作成方法。 - 【請求項２】 有機物からなる膜体に１次Ｘ線を照射
し、 前記膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出
し、 コンプトン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプ
トン散乱強度の変化を示す曲線を求め、 前記曲線の波長変化に対する積分値を求め、 請求項１で作成した検量線を用いて前記膜体の膜厚を求
めるＸ線分析による膜厚測定方法。 - 【請求項３】 コンプトン散乱Ｘ線を利用して有機物か
らなる膜体の膜厚を測定する測定装置であって、 前記膜体に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 前記膜体から発生するコンプトン散乱Ｘ線の強度を検出
する強度検出手段と、 コンプトン散乱Ｘ線の波長に対する前記検出したコンプ
トン散乱強度の変化を示す曲線を求める強度変化検出手
段と、 前記曲線の波長変化に対する積分値を求める積分値算出
手段とを備えたＸ線分析による膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6136588A JP2930866B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | Ｘ線分析方法およびこれに用いる装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6136588A JP2930866B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | Ｘ線分析方法およびこれに用いる装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318334A JPH07318334A (ja) | 1995-12-08 |
| JP2930866B2 true JP2930866B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=15178801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6136588A Expired - Fee Related JP2930866B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | Ｘ線分析方法およびこれに用いる装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2930866B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5259199B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2013-08-07 | 株式会社リガク | Ｘ線回折定量分析方法、ｘ線回折定量分析装置、アスベストのｘ線回折定量分析方法及びアスベストのｘ線回折定量分析装置 |
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1994
- 1994-05-25 JP JP6136588A patent/JP2930866B2/ja not_active Expired - Fee Related
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