JP2919262B2 - 脱酸素システムの制御方法 - Google Patents
脱酸素システムの制御方法Info
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- JP2919262B2 JP2919262B2 JP6013194A JP1319494A JP2919262B2 JP 2919262 B2 JP2919262 B2 JP 2919262B2 JP 6013194 A JP6013194 A JP 6013194A JP 1319494 A JP1319494 A JP 1319494A JP 2919262 B2 JP2919262 B2 JP 2919262B2
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- Japan
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- vacuum pump
- vacuum
- water supply
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、冷熱機器等への給水
ラインに適用される脱酸素システムに関するものであ
り、とくに給水ラインの流水検知に関連して作動する水
封式真空ポンプと、この水封式真空ポンプへの封水供給
ラインに設けたバルブとを制御する脱酸素システムの制
御方法に関するものである。
ラインに適用される脱酸素システムに関するものであ
り、とくに給水ラインの流水検知に関連して作動する水
封式真空ポンプと、この水封式真空ポンプへの封水供給
ラインに設けたバルブとを制御する脱酸素システムの制
御方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ボイラ，温水器あるいは
冷却器等の冷熱機器類への給水に関しては、これら冷熱
機器類の腐食防止を目的とする脱酸素システムを組み込
んでおく必要がある。この脱酸素システムは、使用機器
への給水ラインに脱酸素モジュールを接続しておき、こ
の脱酸素モジュール内へ原水（水道水，井戸水，その他
の工業用水）を通水し、この通水過程において、脱酸素
モジュール内を真空引きして、原水中の容存気体を脱気
除去する構成のものである。
冷却器等の冷熱機器類への給水に関しては、これら冷熱
機器類の腐食防止を目的とする脱酸素システムを組み込
んでおく必要がある。この脱酸素システムは、使用機器
への給水ラインに脱酸素モジュールを接続しておき、こ
の脱酸素モジュール内へ原水（水道水，井戸水，その他
の工業用水）を通水し、この通水過程において、脱酸素
モジュール内を真空引きして、原水中の容存気体を脱気
除去する構成のものである。
【０００３】従来、この脱酸素システムにおいて、真空
引き処理のための手段として、構造が簡単で安価な水封
式真空ポンプが多用されている。この水封式真空ポンプ
は、たとえば楕円形をしたポンプ室を持つケーシング内
に適量の封水を入れ、インペラの回転により、遠心力作
用で封水をケーシングの内壁に沿わせて流し、ケーシン
グの中央部に楕円形の空所を生ぜしめ、インペラの回転
に伴う空所の変位によって、吸込みと吐出の作用を行う
装置である。
引き処理のための手段として、構造が簡単で安価な水封
式真空ポンプが多用されている。この水封式真空ポンプ
は、たとえば楕円形をしたポンプ室を持つケーシング内
に適量の封水を入れ、インペラの回転により、遠心力作
用で封水をケーシングの内壁に沿わせて流し、ケーシン
グの中央部に楕円形の空所を生ぜしめ、インペラの回転
に伴う空所の変位によって、吸込みと吐出の作用を行う
装置である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の脱酸素システム
は、図２に示すように、原水供給源２１と処理水給配部
２２との間の給水ライン２３に接続した脱酸素モジュー
ル２５およびフロースイッチ２６と、給水ライン２３と
水封式真空ポンプ２７との間の封水供給ライン２８に設
けた封水用電磁弁３１と、脱酸素モジュール２５と水封
式真空ポンプ２７との間の真空脱気ライン２９に設けた
停止時真空保持用の電磁弁３３とを備えており、前記給
水ライン２３へ原水が供給されると、前記フロースイッ
チ２６が作動して、流水検知信号を出力し、この出力信
号に応答して前記水封式真空ポンプ２７を駆動するとと
もに、前記２つの電磁弁３１，３３を開いて真空脱気す
る。そして、給水が止まると、前記水封式真空ポンプ２
７が停止し、前記２つの電磁弁３１，３３が閉じる。
は、図２に示すように、原水供給源２１と処理水給配部
２２との間の給水ライン２３に接続した脱酸素モジュー
ル２５およびフロースイッチ２６と、給水ライン２３と
水封式真空ポンプ２７との間の封水供給ライン２８に設
けた封水用電磁弁３１と、脱酸素モジュール２５と水封
式真空ポンプ２７との間の真空脱気ライン２９に設けた
停止時真空保持用の電磁弁３３とを備えており、前記給
水ライン２３へ原水が供給されると、前記フロースイッ
チ２６が作動して、流水検知信号を出力し、この出力信
号に応答して前記水封式真空ポンプ２７を駆動するとと
もに、前記２つの電磁弁３１，３３を開いて真空脱気す
る。そして、給水が止まると、前記水封式真空ポンプ２
７が停止し、前記２つの電磁弁３１，３３が閉じる。
【０００５】前記給水ライン２３に対して再び給水が始
まると、前記フロースイッチ２６が作動し、その出力信
号に応答して前記水封式真空ポンプ２７を駆動し、前記
２つの電磁弁３１，３３を開いて真空脱気を再開する。
この場合、先の真空脱気作用時に、前記脱酸素モジュー
ル２５から停止時真空保持用の電磁弁３３までの区間は
真空状態に保持されているため、前記封水供給ライン２
８側からの封水が、負圧作用によって前記水封式真空ポ
ンプ２７内へ急激に流れ込むことになる。この流れ込み
現象は、前記脱酸素モジュール２５から停止時真空保持
用の電磁弁３３までの区間は、真空状態に保持されてい
るため、一層急激となる。ところで、この種の水封式真
空ポンプ２７は、前記のように、ケーシング内で一定量
の封水が、ケーシング内壁に沿って流れることにより作
動する。しかしながら、前記再起動時のように、多量の
封水がケーシング内へ急激に流入してしまうと、インペ
ラの根元，すなわちケーシングの中央部に空間が生じ難
くなる。さらに、封水は、給水側から定流量弁３０を介
して常時供給されているため、所定量の封水がケーシン
グ内壁に沿って流れる定常運転状態に移行しない場合が
ある。この状態では、ポンプ内部でのキャビテーション
に起因して騒音が発生し、ポンプの駆動動力も増加する
と云う難点を有している。このようなキャビテーション
等の状態から抜け出るには、ポンプ内へ空気を導入すれ
ばよいが、このような手段では、前記脱酸素モジュール
２５が機能する真空度まで、再び真空引きする必要が生
じ、動力のロスが増大することはもちろん、処理水中の
容存酸素の残留値が高くなってしまうと云う問題点を有
している。
まると、前記フロースイッチ２６が作動し、その出力信
号に応答して前記水封式真空ポンプ２７を駆動し、前記
２つの電磁弁３１，３３を開いて真空脱気を再開する。
この場合、先の真空脱気作用時に、前記脱酸素モジュー
ル２５から停止時真空保持用の電磁弁３３までの区間は
真空状態に保持されているため、前記封水供給ライン２
８側からの封水が、負圧作用によって前記水封式真空ポ
ンプ２７内へ急激に流れ込むことになる。この流れ込み
現象は、前記脱酸素モジュール２５から停止時真空保持
用の電磁弁３３までの区間は、真空状態に保持されてい
るため、一層急激となる。ところで、この種の水封式真
空ポンプ２７は、前記のように、ケーシング内で一定量
の封水が、ケーシング内壁に沿って流れることにより作
動する。しかしながら、前記再起動時のように、多量の
封水がケーシング内へ急激に流入してしまうと、インペ
ラの根元，すなわちケーシングの中央部に空間が生じ難
くなる。さらに、封水は、給水側から定流量弁３０を介
して常時供給されているため、所定量の封水がケーシン
グ内壁に沿って流れる定常運転状態に移行しない場合が
ある。この状態では、ポンプ内部でのキャビテーション
に起因して騒音が発生し、ポンプの駆動動力も増加する
と云う難点を有している。このようなキャビテーション
等の状態から抜け出るには、ポンプ内へ空気を導入すれ
ばよいが、このような手段では、前記脱酸素モジュール
２５が機能する真空度まで、再び真空引きする必要が生
じ、動力のロスが増大することはもちろん、処理水中の
容存酸素の残留値が高くなってしまうと云う問題点を有
している。
【０００６】そこで、この発明は、給水ラインの流水検
知に関連して作動する水封式真空ポンプと、この水封式
真空ポンプへの封水供給ラインに設けたバルブとを制御
し、水封式真空ポンプの再起動時に生じるキャビテーシ
ョン現象等に起因する騒音の発生や水封式真空ポンプの
駆動動力のロスを防止する脱酸素システムの制御方法を
提供することにある。
知に関連して作動する水封式真空ポンプと、この水封式
真空ポンプへの封水供給ラインに設けたバルブとを制御
し、水封式真空ポンプの再起動時に生じるキャビテーシ
ョン現象等に起因する騒音の発生や水封式真空ポンプの
駆動動力のロスを防止する脱酸素システムの制御方法を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記課題を
解決するためになされたもので、原水供給源と処理水給
配部との間の給水ラインに脱酸素モジュールとフロース
イッチとを設け、前記脱酸素モジュールに真空脱気ライ
ンを介して水封式真空ポンプを接続し、該水封式真空ポ
ンプの封水供給ラインにバルブを設けるとともに、前記
真空脱気ラインに前記水封式真空ポンプの停止時は真空
状態を保持し、前記水封式真空ポンプの駆動時は真空状
態を解除する真空保持手段を設けた構成の脱酸素システ
ムの制御方法において、前記フロースイッチの出力信号
に応答して前記水封式真空ポンプを駆動し、該駆動後予
め設定したディレータイム経過後に前記バルブを開放し
て前記水封式真空ポンプへ封水の供給を開始するように
制御することを特徴としている。
解決するためになされたもので、原水供給源と処理水給
配部との間の給水ラインに脱酸素モジュールとフロース
イッチとを設け、前記脱酸素モジュールに真空脱気ライ
ンを介して水封式真空ポンプを接続し、該水封式真空ポ
ンプの封水供給ラインにバルブを設けるとともに、前記
真空脱気ラインに前記水封式真空ポンプの停止時は真空
状態を保持し、前記水封式真空ポンプの駆動時は真空状
態を解除する真空保持手段を設けた構成の脱酸素システ
ムの制御方法において、前記フロースイッチの出力信号
に応答して前記水封式真空ポンプを駆動し、該駆動後予
め設定したディレータイム経過後に前記バルブを開放し
て前記水封式真空ポンプへ封水の供給を開始するように
制御することを特徴としている。
【０００８】
【作用】この発明によれば、フロースイッチが給水ライ
ンの流水を検知すると、その出力信号に応答して水封式
真空ポンプが駆動する。この駆動と同時に、真空脱気ラ
インに設けた真空保持手段の真空保持が解除される。そ
して、フロースイッチの出力信号は、水封式真空ポンプ
を駆動した後、予め設定したディレータイム経過後に封
水供給ラインに設けたバルブを開放する。すなわち、水
封式真空ポンプの駆動後、予め設定したディレータイム
経過後に封水供給ラインのバルブが開かれ、水封式真空
ポンプへ封水が供給される。このとき、真空保持手段の
真空保持が解除されているので、水封式真空ポンプ内は
負圧状態から解除されている。したがって、再起動時に
おける水封式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを
阻止し、封水の過剰流れ込み時のキャビテーションに起
因する騒音並びにポンプの駆動動力のロスを低減する。
ンの流水を検知すると、その出力信号に応答して水封式
真空ポンプが駆動する。この駆動と同時に、真空脱気ラ
インに設けた真空保持手段の真空保持が解除される。そ
して、フロースイッチの出力信号は、水封式真空ポンプ
を駆動した後、予め設定したディレータイム経過後に封
水供給ラインに設けたバルブを開放する。すなわち、水
封式真空ポンプの駆動後、予め設定したディレータイム
経過後に封水供給ラインのバルブが開かれ、水封式真空
ポンプへ封水が供給される。このとき、真空保持手段の
真空保持が解除されているので、水封式真空ポンプ内は
負圧状態から解除されている。したがって、再起動時に
おける水封式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを
阻止し、封水の過剰流れ込み時のキャビテーションに起
因する騒音並びにポンプの駆動動力のロスを低減する。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図１は、この発明の脱酸素システ
ムの制御方法の好ましい実施例を示すものである。
いて詳細に説明する。図１は、この発明の脱酸素システ
ムの制御方法の好ましい実施例を示すものである。
【００１０】図１において、原水供給部１と処理水給配
部２との間の給水ライン３には、減圧バルブ４，脱酸素
モジュール５およびフロースイッチ６が接続されてい
る。ここにおいて、減圧バルブ４は、脱酸素モジュール
５に一定以上の供給水圧が加わらないようにするもの
で、脱酸素モジュール５の破損防止を図っている。そし
て、脱酸素モジュール５は、たとえば多数の中空糸膜を
備え、この中空糸膜の内側に原水を通し、その外側を真
空に引いて、中空糸膜内を原水が通過する過程におい
て、原水中の容存酸素を除去する，いわゆる中空糸膜脱
酸素モジュールによって構成されている。この脱酸素モ
ジュール５は、また他の構成例として、積層シート状に
形成したシート状濾過部材を海苔巻状に巻いた脱酸素モ
ジュールとして構成されたものでも良い。さらに、フロ
ースイッチ６は、前記給水ライン３において、前記脱酸
素モジュール５の出口側，すなわち下流側に接続されて
おり、前記給水ライン３から前記脱酸素モジュール５内
へ供給される流水を検知して電気信号を出力するように
なっている。
部２との間の給水ライン３には、減圧バルブ４，脱酸素
モジュール５およびフロースイッチ６が接続されてい
る。ここにおいて、減圧バルブ４は、脱酸素モジュール
５に一定以上の供給水圧が加わらないようにするもの
で、脱酸素モジュール５の破損防止を図っている。そし
て、脱酸素モジュール５は、たとえば多数の中空糸膜を
備え、この中空糸膜の内側に原水を通し、その外側を真
空に引いて、中空糸膜内を原水が通過する過程におい
て、原水中の容存酸素を除去する，いわゆる中空糸膜脱
酸素モジュールによって構成されている。この脱酸素モ
ジュール５は、また他の構成例として、積層シート状に
形成したシート状濾過部材を海苔巻状に巻いた脱酸素モ
ジュールとして構成されたものでも良い。さらに、フロ
ースイッチ６は、前記給水ライン３において、前記脱酸
素モジュール５の出口側，すなわち下流側に接続されて
おり、前記給水ライン３から前記脱酸素モジュール５内
へ供給される流水を検知して電気信号を出力するように
なっている。
【００１１】一方、この発明にあっては、前記脱酸素モ
ジュール５内を真空吸引する手段として水封式真空ポン
プ７が適用される。この水封式真空ポンプ７は、前記給
水ライン３に対して、封水供給ライン８を介して流路接
続され、また前記脱酸素モジュール５に対しては、真空
脱気ライン９を介して流路接続されている。そして、こ
の水封式真空ポンプ７は、前記フロースイッチ６に対し
て、制御器１２を介して電気的に接続されており、前記
フロースイッチ６の出力信号に応答して作動するように
なっている。
ジュール５内を真空吸引する手段として水封式真空ポン
プ７が適用される。この水封式真空ポンプ７は、前記給
水ライン３に対して、封水供給ライン８を介して流路接
続され、また前記脱酸素モジュール５に対しては、真空
脱気ライン９を介して流路接続されている。そして、こ
の水封式真空ポンプ７は、前記フロースイッチ６に対し
て、制御器１２を介して電気的に接続されており、前記
フロースイッチ６の出力信号に応答して作動するように
なっている。
【００１２】そして、前記封水供給ライン８には、定流
量バルブ１０と第一の電磁バルブ１１とが設けられてい
る。この定流量バルブ１０は、前記水封式真空ポンプ７
へ一定量の封水を供給するためのものである。また、第
一の電磁バルブ１１は、前記フロースイッチ６に対し
て、制御器１２を介して電気的に接続されており、前記
フロースイッチ６が前記給水ライン３において流水を検
知すると、前記制御器１２において予め設定されている
ディレータイム経過後に、その出力信号を受けて開弁
し、前記封水供給ライン８を開路して封水を前記水封式
真空ポンプ７内へ供給する。
量バルブ１０と第一の電磁バルブ１１とが設けられてい
る。この定流量バルブ１０は、前記水封式真空ポンプ７
へ一定量の封水を供給するためのものである。また、第
一の電磁バルブ１１は、前記フロースイッチ６に対し
て、制御器１２を介して電気的に接続されており、前記
フロースイッチ６が前記給水ライン３において流水を検
知すると、前記制御器１２において予め設定されている
ディレータイム経過後に、その出力信号を受けて開弁
し、前記封水供給ライン８を開路して封水を前記水封式
真空ポンプ７内へ供給する。
【００１３】さて、前記真空脱気ライン９には、前記水
封式真空ポンプ７の停止時の真空保持手段としての第二
の電磁バルブ１３が設けられている。この第二の電磁バ
ルブ１３は、前記フロースイッチ６に対して、制御器１
２を介して電気的に接続されており、前記フロースイッ
チ６が前記給水ライン３において流水を検知すると、そ
の検知信号に応答して開弁する。この第二の電磁バルブ
１３が開かれると、前記脱酸素モジュール５は、前記真
空脱気ライン９を介して前記水封式真空ポンプ７と連通
し、これにより前記脱酸素モジュール５の真空引きが行
われる。そして、この第二の電磁バルブ１３は、バルブ
の閉止時は、前記脱酸素モジュール５および前記真空脱
気ライン９の真空保持用として機能する。さらに、この
第二の電磁バルブ１３は、前記制御器１２によって、前
記水封式真空ポンプ７の駆動時から前記第一の電磁バル
ブ１１の開放時までの間に開放されるように制御されて
いる。すなわち、真空保持手段としての第二の電磁バル
ブ１３は、前記水封式真空ポンプ７の駆動に連動して開
閉するように構成されている。このように、前記第二の
電磁バルブ１３を前記第一の電磁バルブ１１の開放時ま
での間に開放することによって、前記水封式真空ポンプ
７内の負圧状態を解除するように構成している。したが
って、負圧作用によって前記水封式真空ポンプ７内へ封
水が急激に流れ込むことがない。
封式真空ポンプ７の停止時の真空保持手段としての第二
の電磁バルブ１３が設けられている。この第二の電磁バ
ルブ１３は、前記フロースイッチ６に対して、制御器１
２を介して電気的に接続されており、前記フロースイッ
チ６が前記給水ライン３において流水を検知すると、そ
の検知信号に応答して開弁する。この第二の電磁バルブ
１３が開かれると、前記脱酸素モジュール５は、前記真
空脱気ライン９を介して前記水封式真空ポンプ７と連通
し、これにより前記脱酸素モジュール５の真空引きが行
われる。そして、この第二の電磁バルブ１３は、バルブ
の閉止時は、前記脱酸素モジュール５および前記真空脱
気ライン９の真空保持用として機能する。さらに、この
第二の電磁バルブ１３は、前記制御器１２によって、前
記水封式真空ポンプ７の駆動時から前記第一の電磁バル
ブ１１の開放時までの間に開放されるように制御されて
いる。すなわち、真空保持手段としての第二の電磁バル
ブ１３は、前記水封式真空ポンプ７の駆動に連動して開
閉するように構成されている。このように、前記第二の
電磁バルブ１３を前記第一の電磁バルブ１１の開放時ま
での間に開放することによって、前記水封式真空ポンプ
７内の負圧状態を解除するように構成している。したが
って、負圧作用によって前記水封式真空ポンプ７内へ封
水が急激に流れ込むことがない。
【００１４】さらに、前記水封式真空ポンプ７は、排出
ライン１４を備えており、この排出ライン１４を介し
て、前記水封式真空ポンプ７内へ供給される封水の排出
並びに前記脱酸素モジュール５内の真空引きによる気体
の排気が行われるようになっている。
ライン１４を備えており、この排出ライン１４を介し
て、前記水封式真空ポンプ７内へ供給される封水の排出
並びに前記脱酸素モジュール５内の真空引きによる気体
の排気が行われるようになっている。
【００１５】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、水封
式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止し、水
封式真空ポンプ内のキャビテーション現象を抑制して、
キャビテーション現象に起因する騒音並びにポンプの駆
動動力のロスを低減することができる。
式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止し、水
封式真空ポンプ内のキャビテーション現象を抑制して、
キャビテーション現象に起因する騒音並びにポンプの駆
動動力のロスを低減することができる。
【図１】この発明に係る脱酸素システムの制御方法の好
ましい実施例のブロック線図である。
ましい実施例のブロック線図である。
【図２】従来の水封式真空ポンプによる脱酸素システム
の説明図である。
の説明図である。
１…原水供給源 ２…処理水給配部 ３…給水ライン ５…脱酸素モジュール ６…フロースイッチ ７…水封式真空ポンプ ８…封水供給ライン ９…真空脱気ライン １１…第一の電磁バルブ（バルブ） １２…制御器 １３…第二の電磁バルブ（真空保持手段）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−32792（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−265488（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−132795（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−66889（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−165986（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C02F 1/20
Claims (1)
- 【請求項１】 原水供給源１と処理水給配部２との間の
給水ライン３に脱酸素モジュール５とフロースイッチ６
とを設け、前記脱酸素モジュール５に真空脱気ライン９
を介して水封式真空ポンプ７を接続し、該水封式真空ポ
ンプ７の封水供給ライン８にバルブ１１を設けるととも
に、前記真空脱気ライン９に前記水封式真空ポンプ７の
停止時は真空状態を保持し、前記水封式真空ポンプ７の
駆動時は真空状態を解除する真空保持手段を設けた構成
の脱酸素システムの制御方法において、前記フロースイ
ッチ６の出力信号に応答して前記水封式真空ポンプ７を
駆動し、該駆動後予め設定したディレータイム経過後に
前記バルブ１１を開放して前記水封式真空ポンプ７へ封
水の供給を開始するように制御することを特徴とする脱
酸素システムの制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6013194A JP2919262B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 脱酸素システムの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6013194A JP2919262B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 脱酸素システムの制御方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16871589A Division JPH0698345B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 脱酸素システムの制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108255A JPH07108255A (ja) | 1995-04-25 |
| JP2919262B2 true JP2919262B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=11826357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6013194A Expired - Lifetime JP2919262B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 脱酸素システムの制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2919262B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59165986U (ja) * | 1983-04-25 | 1984-11-07 | 東急車輌製造株式会社 | 水封式真空ポンプの封液配管 |
| JPS6066889U (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-11 | 富士電機株式会社 | 水封式ポンプ装置 |
| JPS61132795A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | 水封式真空ポンプの補給水供給装置 |
| JPS62265488A (ja) * | 1986-05-13 | 1987-11-18 | Chiyoda Seisakusho:Kk | 水封式真空ポンプとその運転方法 |
-
1994
- 1994-01-10 JP JP6013194A patent/JP2919262B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07108255A (ja) | 1995-04-25 |
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