JP2915828B2 - 半導体の配線構造およびその製造方法 - Google Patents

半導体の配線構造およびその製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の配線構造
に係るもので、詳しくは高集積半導体の銅薄膜配線上
に、銅と反応した金属化合物のパッシベーション（pass
ivation ; 不動態化）層を形成し、銅配線の導電性を高
度化して製品の信頼性を向上し得る半導体の配線構造お
よびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体の高集積化に従い、該半導
体の速い動作速度が要求され、一層多量の電流を流し得
る半導体配線構造が必要になっている。さらに、半導体
の高集積化により該半導体の配線幅が減少されるので、
該配線を通って流れる電流密度は一層増加される。ま
た、従来の配線またはヴァイアライン（via line）にお
いては、廉価で高伝導度のアルミニウム材が用いられ、
純粋アルミニウムは低融点であるので、配線後には後続
の工程を必ず低温下で行なうようになっている。さらに
純粋アルミニウムにおいてはスパイク（spike ）および
エレクトロマイグレーション（electromigration）が発
生するので、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒなどを添加したア
ルミニウム合金が半導体の配線材料として広く用いられ
ている。一方、伝導度の良い銅をシリコン基板上に拡散
させて広用しているが、該銅は大気中で酸化し絶縁層と
の接着性が低下するので、最近、その接着性を向上させ
る方法が多く開発されている。すなわち、従来の半導体
の配線構造の一例として、米国特許（US Patent ）Ｎ
ｏ．４，７４２，０１４に記載され、図５に示すよう
に、単結晶層シリコン基板１内面上部に拡散領域２が形
成され、該拡散領域２上面に絶縁層３が積層され、該絶
縁層３の所定部位を除去して前記拡散領域２の表面が露
出されるコンタクトホール４が形成され、該コンタクト
ホール４周囲の前記絶縁層３および拡散領域２部位にス
パッタリングによりモリブデン薄膜５が積層され、該モ
リブデン薄膜５上面に銅薄膜６が積層された後、それら
銅薄膜６およびモリブデン薄膜５が順次所望のパターン
に形成され、該銅薄膜６上面にタングステン蒸着法によ
りタングステン薄膜７が選択的に積層され、該銅薄膜６
がパッシベーションされるようになる。
【０００３】そしてこのような従来の半導体配線構造の
一例においては、モリブデン薄膜５上面に銅薄膜６が形
成されて該モリブデン薄膜５は銅薄膜６の下方への拡散
障壁となり、該銅薄膜６の上面および側面にタングステ
ン薄膜７が蒸着されて該タングステン薄膜７が銅薄膜６
の上方および側方への拡散障壁となるように、該銅薄膜
６はそれらモリブデン薄膜５およびタングステン薄膜７
によりカプセル封止（encapsulation ）されている。し
たがって、前記絶縁層３に酸素が包含される場合も銅薄
膜６は酸素により酸化されず、銅薄膜６の銅原子は絶縁
層３に拡散されない。さらに、前記モリブデン薄膜５は
銅薄膜６と前記拡散領域２間の接触抵抗を減少させる。
【０００４】また、従来の半導体配線構造の他の例とし
て、米国特許（ＵＳ Ｐａｔｅｎｔ）Ｎｏ．５，１３
０，２７４に記載され、図６に示すように、単結晶シリ
コン基板（図示せず）上面に銅薄膜１１が積層された
後、１次配線のためパターニングされ、該銅薄膜１１上
面および単結晶シリコン基板上面に絶縁層１３の酸化膜
が積層され、該絶縁層１３上面所定部位が除去されてヴ
ァイアホール１４が形成される。次いで、それら銅薄膜
１１および絶縁層１３上面にアルミニウムまたはクロム
を含んだ銅合金薄膜１５がスパッタリングにより積層さ
れた後、エッチングされて前記ヴァイアホール１４のみ
に銅合金薄膜のプラグ（ｐｌｕｇ）が形成される。その
後、該銅合金薄膜１５のプラグを酸素雰囲気下で熱処理
すると、該プラグ中のアルミニウムまたはクロム原子が
該プラグ表面に移動し、該プラグと前記絶縁層１３との
界面に該絶縁層１３の酸素と反応したＡｌ２Ｏ３または
Ｃｒ２Ｏ３のような酸化膜１７が形成される。次いで、
前記ヴァイアホール１４内の銅合金薄膜１５の熱処理が
終わると、該プラグは該プラグ内部に形成される純粋銅
薄膜１６と、該プラグ外周面に形成される酸化膜１７と
を有するようになる。
【０００５】
【発明が解明しようとする課題】しかるに、このような
従来の半導体の配線構造においては、前述した１つの例
の場合、タングステン蒸着を行なうとき、大気またはタ
ングステン蒸着雰囲気下で銅薄膜表面に容易に酸化膜が
形成され、該銅薄膜表面上にタングステン薄膜を選択的
に形成することが極めて難しくなるという不都合な点が
あった。
【０００６】また、前述した他の例の場合、銅合金中の
アルミニウムまたはクロム原子が熱処理を行なうときに
絶縁膜表面の酸素により酸化膜を形成するようになるた
め、酸化膜が厚くなるほど中央部の純粋銅の配線容積は
減少し、該純粋銅配線の抵抗が大きくなるという不都合
な点があった。
【０００７】そこで、このような問題点を解決するため
本発明者らは研究を重ねた結果、次のような半導体の配
線構造およびその製造方法を提供しようとするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、基板上
に第１金属の導電薄膜を形成し、該第１金属の導電薄膜
表面上に第２金属を含有しかつ前記第１金属と反応して
金属化合物に変換されるパッシベーション層を形成し、
半導体配線の導電性を高度化して、信頼性を向上し得る
半導体配線構造およびその製造方法を提供することであ
る。
【０００９】そして、このような本発明の目的は、基板
上に積層される絶縁層と、絶縁層上面に形成される第１
金属の導電薄膜と、第１金属の導電薄膜表面上に第２金
属を含有し第１金属と反応した後第２金属化合物に変換
して形成されるパッシベーション層と、を備えた半導体
配線構造を提供することにより達成される。
【００１０】より具体的には、このような本発明の目的
は、たとえば基板上に絶縁層が積層され、該絶縁層上面
の所定領域に拡散障壁層が形成され、該拡散障壁層上面
に第１金属の銅薄膜が形成され、該銅薄膜表面上に第２
金属のＴｉを含有し前記第１金属の銅と反応した後第２
金属化合物に変換されるＴｉＣｕ層と該ＴｉＣｕ層の表
面上に形成される金属窒化物のＴｉＮ膜３１とを有した
パッシベーション層２７が形成される半導体の配線構造
を提供することにより達成される。
【００１１】また、本発明の目的は、基板内上部に拡散
領域が形成された後基板上面に絶縁層が積層され、拡散
領域の所定部位にコンタクトホールが形成された後、コ
ンタクトホールにより露出された拡散領域表面と前記絶
縁層表面とに拡散障壁層が積層され、拡散障壁層上面に
第１金属の導電薄膜が積層され、第１金属の導電薄膜表
面に金属化合物のパッシベーション層が形成され、拡散
領域と拡散障壁層間に金属シリサイド層が形成されてな
る半導体配線構造を提供することにより達成される。
【００１２】具体的には、このような本発明の目的は、
たとえば基板内上部に拡散領域が形成された後該基板上
面に絶縁層が積層され、前記拡散領域の所定部位にコン
タクトホールが形成された後、該コンタクトホールによ
り露出された拡散領域表面と前記絶縁層表面とに拡散障
壁層が積層され、該拡散障壁層上面に第１金属の銅薄膜
が積層され、該銅薄膜表面に第２金属のＴｉを含有し前
記第１金属の銅と反応した後第２金属化合物に変換され
るＴｉＣｕ層と、該ＴｉＣｕ層の表面上に形成される金
属窒化物のＴｉＮ膜とを有したパッシベーション層が形
成される半導体配線構造を提供することにより達成され
る。
【００１３】また、本発明の目的は、基板上に所望パタ
ーンの第１金属の導電薄膜を形成する工程と、該第１金
属の導電薄膜表面上に第２金属を含有し第１金属と反応
した金属化合物のパッシベーション層を形成する工程
と、を行なう半導体配線構造の製造方法を提供すること
により達成される。
【００１４】さらに、本発明の目的は、基板内上部に拡
散領域を形成する工程と、該基板上面に絶縁層を形成す
る工程と、該絶縁層上面に所定パターンのイオン注入層
を形成する工程と、前記拡散領域所定部位に前記絶縁層
を除去してコンタクトホールを形成する工程と、該コン
タクトホール内の拡散領域表面と前記絶縁層表面とに拡
散障壁層を形成した後該拡散障壁層表面に第１金属の導
電薄膜を形成する工程と、該第１金属の導電薄膜表面上
に第２金属を含有し第１金属と反応させて第１金属化合
物層を形成する工程と、該第１金属化合物層を熱処理し
第２金属化合物および金属窒化物膜を有するパッシベー
ション層に変換させる工程と、を順次行なう半導体配線
構造の製造方法を提供することにより達成される。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例に対し図面を用いて詳
細に説明する。図１に示すように、本発明に係る半導体
配線構造の第１実施例においては、基板２１上面に絶縁
層２３が積層され、該絶縁層２３上面の所定領域に拡散
障壁層２５が形成され、該拡散障壁層２５上面に第１金
属の銅薄膜２６が形成され、該銅薄膜２６表面に前記第
１金属の銅と反応した後第２金属化合物に変換された第
２金属Ｔｉを含有するＴｉＣｕ層３０と、該ＴｉＣｕ層
３０の表面上に形成された金属窒化物のＴｉＮ膜３１と
を有するパッシベーション層２７が形成される。
【００１６】そして、このように構成された本発明に係
る半導体配線構造第１実施例の製造方法を説明すると次
のようである。図２（Ａ）に示すように、まず、単結晶
シリコン基板２１上面に絶縁層２３が積層され、該絶縁
層２３上面に銅原子の拡散障壁層２５が約５００Åの厚
さに積層される。この場合、Ｓｉ3 Ｎ4 、ＴｉＮ、Ｔａ
Ｎ、ＺｒＮの窒化物、またはＭｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｔａ、Ｚ
ｒの高融点金属、もしくはＭｏＯ、ＲｕＯ2 、Ｙ2 Ｏ3
の伝導性酸化物、その他、銅と反応し金属化合物を形成
するＬａ、Ｍｇ、Ｐｔ、Ｓｒ、Ｙ等の金属中から１つの
物質が選択され、該選択された物質が絶縁層２３上面に
スパッタリングまたはＣＶＤ法により拡散障壁層２５と
して積層される。次いで、該拡散障壁層２５上面に第１
金属として銅またはアルミニウムの薄膜が形成される
が、以下、スパッタリングまたはＣＶＤ法により５００
０Åの厚さの銅薄膜２６が形成された場合について説明
する。次いで、図２（Ｂ）に示すように、該銅薄膜２６
表面に所定パターンの導電層感光膜（ホトレジスト膜）
（図示せず）が形成され、マスクによりマスキングされ
ない領域の銅薄膜２６はＳｉＣｌ4 ／Ｃｌ2 ／Ｎ2 の混
合ガスのプラズマ雰囲気下でドライエッチングされ、そ
の後マスキングされない領域の拡散障壁層２５もドライ
エッチングされ、銅薄膜２６および拡散障壁層２５はそ
れぞれ所望のパターンに形成される。
【００１７】次いで、図２（Ｃ）に示すように、第１金
属の銅と反応し金属化合物を形成する第２金属のＴｉ層
２８が絶縁層２３および銅薄膜２６表面上に５００Åの
厚さでＣＶＤ法により積層される。この場合、該第２金
属の層２８はＴｉに限定されず、その代わりに、たとえ
ば、Ｌａ、Ｍｇ、Ｐｔ、Ｓｒ、ＹおよびＺｒの中からい
ずれか１つを選択して使用することもできる。その後、
図２（Ｄ）に示すように、３５０℃の温度および不活性
ガス雰囲気下でＴｉ層２８を熱処理し銅薄膜２６の表面
に接する該Ｔｉ層２８領域のみを金属化合物に変化させ
第１金属の銅化合物層であるＴｉ2 Ｃｕ層２９を形成す
る。次いで、図２（Ｅ）に示すように、第１金属の銅化
合物に変化しなかったＴｉ層２８の他の領域は湿式エッ
チングを施して除去する。この場合、湿式エッチング液
は、ＨＣｌおよびＨＮＯ3 の混合酸またはＨ2 Ｏで希釈
したフッ酸溶液を用いる。次いで、７００℃の温度およ
び窒素雰囲気下でＴｉ2 Ｃｕ層２９を熱処理し、第２金
属化合物に変換されたＴｉＣｕ層３０と該ＴｉＣｕ層３
０表面上に形成された金属窒化物膜ＴｉＮ３１とを有す
るパッシベーション層２７を形成する。この場合、窒素
雰囲気下の熱処理は、Ｎ2 またはＮＨ3 ガスを用い、プ
ラズマ処理炉、または高速処理炉を用いることができ
る。一方、金属窒化物膜ＴｉＮ３１は、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎ
の３成分の金属窒化物に置換することもできるし、第２
金属にＺｒを代用する場合は、Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎの３成分
の金属窒化物に置換することができる。
【００１８】本発明に係る半導体配線構造の第２実施例
として次のように構成することもできる。すなわち、図
３に示すように、基板４１内上部に拡散領域４２が形成
された後、該基板４１上面に絶縁層４３が積層され、拡
散領域４２所定部位にコンタクトホールが形成された
後、該コンタクトホールにより露出された拡散領域４２
表面と絶縁層４３表面とに拡散障壁層４５が積層され
る。該拡散障壁層４５上面に第１金属の銅の薄膜４６が
積層され、該銅薄膜４６表面に第２金属のＴｉを含有し
第１金属の銅と反応した後第２金属化合物に変換された
ＴｉＣｕ層５０と、該ＴｉＣｕ層５０の表面上に形成さ
れた金属窒化物のＴｉＮ膜５１とを有するパッシベーシ
ョン層４７が形成される。
【００１９】このように構成された本発明に係る半導体
配線構造の第２実施例の製造方法を説明すると次のよう
である。図４（Ａ）に示すように、まず、基板４１内上
部に拡散領域４２が形成された後、該基板４１上面に絶
縁層４３が積層され、該絶縁層４３表面に薄く窒素イオ
ンが注入されてファイルアップ（file up ）される。次
いで、図４（Ｂ）に示すように、拡散領域４２の所定部
位に該拡散領域を露出させるコンタクトホールが切刻形
成され、該コンタクトホールにより露出された拡散領域
４２の表面と絶縁層４３の表面とにＴｉの拡散障壁層４
５が５００Åの厚さに積層され、該Ｔｉの拡散障壁層４
５上面に第１金属としてたとえば銅薄膜４６が１０００
Åの厚さに積層される。この場合、拡散障壁層４５は、
Ｔｉの代わりに、Ｚｒ、Ｔａ、Ｃｏ中から選択されるい
ずれか１つを使用し、単結晶シリコン基板と反応させて
金属シリサイド（silicide）層を形成したりまたは窒素
と反応させて金属窒化物を形成することもできる。か
つ、前記第１金属の銅はアルミニウムを用いることもで
きる。
【００２０】その後、銅薄膜４６表面上に所望パターン
の導電層感光膜（ホトレジスト膜）（図示せず）が形成
され、マスクによりマスキングされない領域の銅薄膜４
６およびＴｉの拡散領域層４５部位がドライエッチング
され、銅薄膜４６および拡散障壁層４５がそれぞれ所望
のパターンに形成される。次いで、図４（Ｃ）に示すよ
うに、銅薄膜４６表面上にＴｉ層が積層され、第１金属
の銅の化合物であるＴｉ2 Ｃｕ層が形成される。その
後、該Ｔｉ2 Ｃｕ層が窒素雰囲気で熱処理され、該Ｔｉ
層が前記第１実施例と同様に不活性ガス雰囲気で熱処理
され、第２金属化合物に変換されたＴｉＣｕ層５０と該
ＴｉＣｕ層５０表面上に形成された金属窒化物のＴｉＮ
膜５１とを有するパッシベーション層４７が形成され
る。また、該パッシベーション層４７が形成される工程
では、拡散領域４２と拡散障壁層４５との間にＴｉによ
りＴｉＳｉ2 のようなシリサイド層５３が形成され、そ
の結果、銅薄膜４６の配線抵抗が低くなる。さらに、拡
散障壁層４５のＴｉと絶縁層４３内にイオン注入された
窒素とが反応して、該拡散障壁層４５のＴｉ層はＴｉＮ
層に変化する。この場合、ＴｉＮ膜５１はＴｉ−Ｃｕ−
Ｎの３成分の金属窒化物に置換することもできる。ま
た、第２金属がＺｒの場合は、Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎの３成分
の金属窒化物層に置換し得る。
【００２１】今回開示された発明の実施例はすべての点
で例示であって制限的なものではないと考えられるべき
である。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請
求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味
および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図さ
れる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体の配線構造およびその製造方法においては、基板上に
拡散障壁層が積層されて該拡散障壁層上面に第１金属の
銅薄膜が積層され、該銅薄膜表面に第２金属Ｔｉを含有
し前記第１金属の銅と反応した後第２金属化合物に変換
されたＴｉＣｕ層と該ＴｉＣｕ層の表面に形成された金
属窒化物のＴｉＮ膜とを有するパッシベーション層が形
成されて構成されるため、二重構造のパッシベーション
層により半導体配線の導電性が高度化され、接触抵抗が
低くなって、製品の信頼性が向上されるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る半導体配線構造の第１実施例を示
す縦断面図である。
【図２】（Ａ）−（Ｅ）は、本発明に係る半導体配線構
造について第１実施例の製造工程を示す縦断面図であ
る。
【図３】本発明に係る半導体配線構造の第２実施例を示
す縦断面図である。
【図４】（Ａ）−（Ｃ）は、本発明に係る半導体配線構
造について第２実施例の製造工程を示す縦断面図であ
る。
【図５】（Ａ）−（Ｃ）は、従来の半導体配線構造の製
造方法の一例を示す断面図である。
【図６】（Ａ）−（Ｃ）は、従来の半導体配線構造の製
造方法の他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 基板 ２ 拡散領域 ３、１３ 絶縁層 ４ コンタクトホール ５ モリブデン薄膜 ６、１１ 銅薄膜 ７ タングステン薄膜 １４ ヴァイアホール（via hole） １５ 銅合金薄膜 １６ 純粋銅薄膜 １７ 酸化膜 ２１、４１ 基板 ２３、４３ 絶縁層 ２５、４５ 拡散障壁層 ２６、４６ 銅薄膜 ２７、４７ パッシベーション（passivation ）層 ２８ Ｔｉ層 ２９ Ｔｉ2 Ｃｕ層 ３０、５０ ＴｉＣｕ層 ３１、５１ ＴｉＮ膜 ４２ 拡散領域 ５３ シリサイド（silicide）層

Claims (20)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 半導体の配線構造であって、 基板上に堆積された絶縁層と、前記絶縁層上に形成され
    たＣｕの導電薄膜と、前記Ｃｕの導電薄膜上でＴｉを含
    有しかつＣｕと反応したＴｉ２Ｃｕの第１化合物が形成
    された後にその第１化合物がＴｉＣｕに変換された第２
    化合物を含むパッシベーション層と、を備えた半導体配
    線構造。
  2. 【請求項２】 前記絶縁層と前記Ｃｕの導電薄膜間に
    は、拡散障壁層が形成される請求項１記載の半導体配線
    構造。
  3. 【請求項３】 前記パッシベーション層は、ＴｉＣｕ層
    と、そのＴｉＣｕ層の表面に形成された金属窒化物膜
    と、含む請求項１記載の半導体配線構造。
  4. 【請求項４】 前記金属窒化物膜は、Ｔｉの窒化物膜で
    ある請求項３記載の半導体配線構造。
  5. 【請求項５】 半導体配線構造の製造方法であって、 基板上に所望パターンの第１金属の導電薄膜を形成する
    工程と、前記第１金属の導電薄膜表面上に第２金属を含
    有し前記第１金属と反応した金属化合物のパッシベーシ
    ョン層を形成する工程とを含み、 前記金属化合物のパッシベーション層を形成する工程
    は、前記第１金属の導電薄膜表面上に第２金属層を形成
    する段階と、それら第２金属層および導電薄膜を１次熱
    処理で反応させ前記第２金属層を第１金属化合物層に変
    換させる段階と、前記変換された第１金属化合物層を窒
    素含有雰囲気中で２次熱処理し前記導電薄膜と反応させ
    て第２金属化合物層を形成するとともに、その表面に金
    属窒化物膜を形成する段階と、を順次行なう半導体配線
    構造の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記第１金属は、銅およびアルミニウム
    からなる群から選択されるいずれか１つである請求項５
    記載の半導体配線構造の製造方法。
  7. 【請求項７】 前記第２金属は、Ｓｉ、Ｌａ、Ｍｇ、Ｐ
    ｔ、Ｓｒ、Ｙ、ＴｉおよびＺｒからなる群から選択され
    るいずれか１つである請求項５記載の半導体配線構造の
    製造方法。
  8. 【請求項８】 前記１次熱処理は、３５０℃の温度およ
    び不活性ガスの雰囲気下で行なわれる請求項５記載の半
    導体配線構造の製造方法。
  9. 【請求項９】 前記２次熱処理は、７００℃の温度およ
    び窒素雰囲気下で行なわれる請求項５記載の半導体配線
    構造の製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記第１金属化合物層はＴｉ２Ｃｕ層
    であり、前記第２金属化合物層はＴｉＣｕ層である請求
    項５記載の半導体配線構造の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記金属窒化物膜は、ＴｉＮ膜である
    請求項５記載の半導体配線構造の製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記金属窒化物膜は、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎ
    の３成分からなる請求項５記載の半導体配線構造の製造
    方法。
  13. 【請求項１３】 前記金属窒化物膜は、Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎ
    の３成分からなる請求項５記載の半導体配線構造の製造
    方法。
  14. 【請求項１４】 前記金属窒化物膜は、Ｚｒ−Ｎ膜であ
    る請求項５記載の半導体配線構造の製造方法。
  15. 【請求項１５】 基板内上部に拡散領域が形成された後
    前記基板上面に絶縁層が積層され、前記拡散領域の所定
    部位にコンタクトホールが形成された後、前記コンタク
    トホールにより露出された拡散領域表面と前記絶縁層表
    面とに拡散障壁層が積層され、前記拡散障壁層上面に第
    １金属の導電薄膜が積層され、前記第１金属の導電薄膜
    表面に金属化合物のパッシベーション層が形成され、前
    記拡散領域と前記拡散障壁層との間の反応により前記基
    板内に金属シリサイド層が形成され、前記拡散障壁層の
    うちで前記絶縁層の上面を覆う部分は金属窒化物にされ
    ており、前記パッシベーション層は、第２金属を含有し
    前記第１金属と反応して形成された金属化合物層と、前
    記金属化合物層表面上に形成された金属窒化物とを含む
    半導体配線構造。
  16. 【請求項１６】 基板内上部に拡散領域を形成する工程
    と、前記基板上面に絶縁層を形成する工程と、前記絶縁
    層上面に所定パターンのイオン注入層を形成する工程
    と、前記拡散領域における所定部位の前記絶縁層を除去
    してコンタクトホールを形成する工程と、前記コンタク
    トホール内の拡散領域表面と前記絶縁層表面とに拡散障
    壁層を形成した後、前記拡散障壁層上面に第１金属の導
    電薄膜を形成する工程と、前記第１金属の導電薄膜表面
    に第２金属層を形成する工程と、それら第２金属層およ
    び導電薄膜を１次熱処理し反応させて第１金属化合物層
    を形成する工程と、前記第１金属化合物層を前記導電薄
    膜と窒素含有雰囲気中で２次熱処理し反応させて第２金
    属化合物層とその表面に金属窒化物膜とを有するパッシ
    ベーション層に変換させる工程と、を順次行なう半導体
    配線構造の製造方法。
  17. 【請求項１７】 前記イオン注入層は、窒素イオン注入
    層である請求項１６記載の半導体配線構造の製造方法。
  18. 【請求項１８】 前記熱処理の行なわれる間に、前記絶
    縁層上の拡散障壁層は金属窒化物層に変換される請求項
    １６記載の半導体配線構造の製造方法。
  19. 【請求項１９】 前記熱処理の行なわれる間に、前記拡
    散領域と前記拡散障壁層間に金属シリサイド層が形成さ
    れる請求項１６記載の半導体配線構造の製造方法。
  20. 【請求項２０】 前記拡散障壁層の構成物は、Ｔｉ、Ｚ
    ｒ、ＴａおよびＣｏからなる群から選択されるいずれか
    １つである請求項１６記載の半導体配線構造の製造方
    法。
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