JP2906119B2 - 複合駆動装置 - Google Patents
複合駆動装置Info
- Publication number
- JP2906119B2 JP2906119B2 JP7036294A JP3629495A JP2906119B2 JP 2906119 B2 JP2906119 B2 JP 2906119B2 JP 7036294 A JP7036294 A JP 7036294A JP 3629495 A JP3629495 A JP 3629495A JP 2906119 B2 JP2906119 B2 JP 2906119B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output shaft
- shaft
- rotation
- index unit
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体等の小型部品の
搬送装置に適した複合駆動装置に関するものである。
搬送装置に適した複合駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体等の電子部品のような微小
ワークを搬送するための駆動装置として、特公昭５５−
４９７８に示される発明があり、これは第１に、入力軸
の回転運動を出力軸の回転及び上下方向の摺動運動に変
換する装置の発明であり、第２の発明として入力軸の回
転運動を出力軸が上下の摺動運動と揺回転運動の合成さ
れたパターンの複合運動を行う装置が開示されている。
ワークを搬送するための駆動装置として、特公昭５５−
４９７８に示される発明があり、これは第１に、入力軸
の回転運動を出力軸の回転及び上下方向の摺動運動に変
換する装置の発明であり、第２の発明として入力軸の回
転運動を出力軸が上下の摺動運動と揺回転運動の合成さ
れたパターンの複合運動を行う装置が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、平行移動と
回転の運動を１つの装置で行わせようとすると、特公昭
５５−４９７８の第１と第２の装置を組み合わせて構成
することになるが、この場合チェーン、ジョイントなど
伝達部品を使用すると大きな軸間距離が必要となり、構
造的にも複雑になり装置も大型化する問題がある。
回転の運動を１つの装置で行わせようとすると、特公昭
５５−４９７８の第１と第２の装置を組み合わせて構成
することになるが、この場合チェーン、ジョイントなど
伝達部品を使用すると大きな軸間距離が必要となり、構
造的にも複雑になり装置も大型化する問題がある。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あって、コンパクトに１台の装置で平行移動と回転の運
動を行わせようとするものである。
あって、コンパクトに１台の装置で平行移動と回転の運
動を行わせようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本体（１）の底面に、イ
ンデックスユニット（２）を固定し、本体の側面には、
摺動機構を配設し、該インデックスユニット（２）のタ
レット軸（６）と該摺動機構の間には、出力軸（７）が
インデックスユニット（２）の回転軸と同一軸線上にあ
るときは回転軸の回転を出力軸（７）に伝達するかみ合
わせ機構を設け、出力軸（７）はケース（２２）内に支
持され、該ケース（２２）は、前記摺動機構に支持さ
れ、かつ該摺動機構は出力軸（７）と共にインデックス
ユニット（２）の外部に設けられた溝カム（４）とレバ
ー（１４）によって前記出力軸（７）と直角方向に平行
移動可能に配設されている。
ンデックスユニット（２）を固定し、本体の側面には、
摺動機構を配設し、該インデックスユニット（２）のタ
レット軸（６）と該摺動機構の間には、出力軸（７）が
インデックスユニット（２）の回転軸と同一軸線上にあ
るときは回転軸の回転を出力軸（７）に伝達するかみ合
わせ機構を設け、出力軸（７）はケース（２２）内に支
持され、該ケース（２２）は、前記摺動機構に支持さ
れ、かつ該摺動機構は出力軸（７）と共にインデックス
ユニット（２）の外部に設けられた溝カム（４）とレバ
ー（１４）によって前記出力軸（７）と直角方向に平行
移動可能に配設されている。
【０００６】また、かみ合わせ機構は、タレット軸
（６）の端部にボス（８ａ，８ｂ）を固定し、ボス（８
ｂ）の上には回転自在の複数のローラ（９）を固設し、
出力軸（７）と一体となっているスライダ（１０）が該
ローラ（９）の間を移動可能に案内されている。
（６）の端部にボス（８ａ，８ｂ）を固定し、ボス（８
ｂ）の上には回転自在の複数のローラ（９）を固設し、
出力軸（７）と一体となっているスライダ（１０）が該
ローラ（９）の間を移動可能に案内されている。
【０００７】また、出力軸が、平行方向に移動できるよ
うに、ローラによってスライダの方向を規制されてい
る。
うに、ローラによってスライダの方向を規制されてい
る。
【０００８】
【作用】入力軸の回転はインデックスユニットを経てそ
の回転軸から、かみあわせ機構に伝達され、かみ合わせ
機構は、出力軸がインデックスユニットの回転軸と同一
軸線上にあるときは回転軸の回転を出力軸に伝達し、回
転出力軸が定位置で停止したとき、出力軸が平行移動さ
れる。
の回転軸から、かみあわせ機構に伝達され、かみ合わせ
機構は、出力軸がインデックスユニットの回転軸と同一
軸線上にあるときは回転軸の回転を出力軸に伝達し、回
転出力軸が定位置で停止したとき、出力軸が平行移動さ
れる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図に基
づいて説明する。図１に示すように、Ｌ型に形成された
本体（１）の底面には、インデックスユニット（２）が
固着されている。インデックスユニット（２）には入力
軸（３）が貫挿され、回転可能に支持されている。入力
軸（３）には図示しない駆動源が接続され、その駆動源
の回転により入力軸（３）が所定の方向に回転するよう
になっている。
づいて説明する。図１に示すように、Ｌ型に形成された
本体（１）の底面には、インデックスユニット（２）が
固着されている。インデックスユニット（２）には入力
軸（３）が貫挿され、回転可能に支持されている。入力
軸（３）には図示しない駆動源が接続され、その駆動源
の回転により入力軸（３）が所定の方向に回転するよう
になっている。
【００１０】また図１、図２に示すように入力軸（３）
には溝カム（４）及びインデックスユニットのグロボイ
ダルカム（５）が一体回転するように固着されている。
溝カム（４）の一方の側面には所定の形状の溝(11)が形
成されている。グロボイダルカム（５）の外周面にはテ
ーパーリブ(12)が所定の形状に刻成されている。
には溝カム（４）及びインデックスユニットのグロボイ
ダルカム（５）が一体回転するように固着されている。
溝カム（４）の一方の側面には所定の形状の溝(11)が形
成されている。グロボイダルカム（５）の外周面にはテ
ーパーリブ(12)が所定の形状に刻成されている。
【００１１】またインデックスユニット（２）にはタレ
ット軸（６）が軸支されている。タレット軸（６）の外
周面には複数の（本実施例では６個）のニードルベアリ
ングが挿入されたカムフォロア(13)が放射状に取着され
ている。カムフォロア(13)は前記クロボイダルカム
（５）のテーパーリブ(12)に沿って転動し、その転動に
よって回転軸（６）が間欠的に回転し、停止するように
なっている。尚、本実施例では60度の角度で回転し、所
定の時間停止するようにテーパーリブ(12)が刻成されて
いる。
ット軸（６）が軸支されている。タレット軸（６）の外
周面には複数の（本実施例では６個）のニードルベアリ
ングが挿入されたカムフォロア(13)が放射状に取着され
ている。カムフォロア(13)は前記クロボイダルカム
（５）のテーパーリブ(12)に沿って転動し、その転動に
よって回転軸（６）が間欠的に回転し、停止するように
なっている。尚、本実施例では60度の角度で回転し、所
定の時間停止するようにテーパーリブ(12)が刻成されて
いる。
【００１２】また図３において、かみ合わせ機構（Ｂ）
は、タレット軸（６）の端部と出力軸（７）の間に設け
られ、タレット軸の端部に固定されたボス(8a,8b) と、
ボス(8b)に固定された４つのローラ（９）と、出力軸
（７）と一体に固定されたスライダ(10)と、からなる。
は、タレット軸（６）の端部と出力軸（７）の間に設け
られ、タレット軸の端部に固定されたボス(8a,8b) と、
ボス(8b)に固定された４つのローラ（９）と、出力軸
（７）と一体に固定されたスライダ(10)と、からなる。
【００１３】また図２に示すように、Ｌ型の本体（１）
にはレバー(14)が支軸(15)によって揺動自在に支持され
ている。レバー(14)の中央付近にはカムフォロア(16a)
が設けられ、前記溝カム（４）の溝(11)に係合してい
る。また、レバー(14)の先端部にはカムフォロア(16b)
が固設されている。カムフォロア(16a) は溝カム（４）
が回転することによって溝(11)の側壁に当接し、図にお
いて上下方向に間欠的に揺動する。なお、本実施例で
は、溝(11)は溝カム（４）が１回転するときにレバー(1
4)が２回上下方向に間欠的に揺動するように刻成されて
いる。
にはレバー(14)が支軸(15)によって揺動自在に支持され
ている。レバー(14)の中央付近にはカムフォロア(16a)
が設けられ、前記溝カム（４）の溝(11)に係合してい
る。また、レバー(14)の先端部にはカムフォロア(16b)
が固設されている。カムフォロア(16a) は溝カム（４）
が回転することによって溝(11)の側壁に当接し、図にお
いて上下方向に間欠的に揺動する。なお、本実施例で
は、溝(11)は溝カム（４）が１回転するときにレバー(1
4)が２回上下方向に間欠的に揺動するように刻成されて
いる。
【００１４】また、カムフォロア(16b) はガイド(18)の
Ｕ字型溝(18a) と係合している。また、ブラケット(19)
には、ガイド(18)と直線動ベアリング(20)が固着され、
ベアリング用レール(21)がＬ型の本体（１）に固着さ
れ、出力軸（７）はケース(22)内に回転可能に軸支さ
れ、また、ケース(22)はブラケット(19)に固定されてい
る。
Ｕ字型溝(18a) と係合している。また、ブラケット(19)
には、ガイド(18)と直線動ベアリング(20)が固着され、
ベアリング用レール(21)がＬ型の本体（１）に固着さ
れ、出力軸（７）はケース(22)内に回転可能に軸支さ
れ、また、ケース(22)はブラケット(19)に固定されてい
る。
【００１５】次に、上記のように構成された複合駆動装
置の動作について説明する。駆動源の回転によって入力
軸（３）が駆動されると、インデックスユニット（２）
の外部の溝カム（４）及び内部のグロボイダルカム
（５）が一体に回転する。この時、タレット軸（６）の
カムフォロア（１３）はグロボイダルカム（５）テーパ
ーリブ（１２）に沿って転動し、タレット軸（６）が所
定の角度ずつ回動する。図４のＩからＩＩＩにおいて、
出力軸（７）は、タレット軸（６）と同一軸線上になっ
た時、タレット軸（６）の回転がボス（８ａ，８ｂ）及
びローラ（９）によってスライダ（１０）に伝達され、
従って出力軸（７）が間欠回転する（図４、ＩからＩ
Ｉ）。そして出力軸（７）が図４のＩの状態に戻り、溝
カム（４）の回転によりレバー（１４）が下方向（図
１）に移動すると、レバー（１４）の先端部に設けられ
たカムフォロア（１６ａ）に誘導されるＵ字型溝を持つ
ガイド（１８）が下方向に移動する。それによって、ブ
ラケット（１９）と一体に固定されたケース（２２）が
移動し、それに伴って出力軸（７）も移動する。移動方
向は出力軸（７）と直角方向になる（図４，ＩＩＩ）。
その結果、出力軸（７）にマニプレータを設けることに
より、小型部品を保持して旋回し、平行移動して搬送さ
せることができる。
置の動作について説明する。駆動源の回転によって入力
軸（３）が駆動されると、インデックスユニット（２）
の外部の溝カム（４）及び内部のグロボイダルカム
（５）が一体に回転する。この時、タレット軸（６）の
カムフォロア（１３）はグロボイダルカム（５）テーパ
ーリブ（１２）に沿って転動し、タレット軸（６）が所
定の角度ずつ回動する。図４のＩからＩＩＩにおいて、
出力軸（７）は、タレット軸（６）と同一軸線上になっ
た時、タレット軸（６）の回転がボス（８ａ，８ｂ）及
びローラ（９）によってスライダ（１０）に伝達され、
従って出力軸（７）が間欠回転する（図４、ＩからＩ
Ｉ）。そして出力軸（７）が図４のＩの状態に戻り、溝
カム（４）の回転によりレバー（１４）が下方向（図
１）に移動すると、レバー（１４）の先端部に設けられ
たカムフォロア（１６ａ）に誘導されるＵ字型溝を持つ
ガイド（１８）が下方向に移動する。それによって、ブ
ラケット（１９）と一体に固定されたケース（２２）が
移動し、それに伴って出力軸（７）も移動する。移動方
向は出力軸（７）と直角方向になる（図４，ＩＩＩ）。
その結果、出力軸（７）にマニプレータを設けることに
より、小型部品を保持して旋回し、平行移動して搬送さ
せることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
出力軸（７）にスライダ(10)を固着し、スライダ(10)は
ローラ（９）に案内されるため、出力軸（７）は、従来
にはない回転及び平行方向の移動運動ができる。しかも
コンパクトな装置で可能になる。また出力軸が従来に比
べ軽量であり、カムフォロア(13)にニードルベアリング
が挿入されているので、高速で運転しても、動きがなめ
らかで、残留振動が少ないという優れた効果を奏する。
出力軸（７）にスライダ(10)を固着し、スライダ(10)は
ローラ（９）に案内されるため、出力軸（７）は、従来
にはない回転及び平行方向の移動運動ができる。しかも
コンパクトな装置で可能になる。また出力軸が従来に比
べ軽量であり、カムフォロア(13)にニードルベアリング
が挿入されているので、高速で運転しても、動きがなめ
らかで、残留振動が少ないという優れた効果を奏する。
【図１】本発明を具体化した複合駆動装置の一実施例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２】本発明を具体化した複合駆動装置の一実施例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図３】本発明を具体化した複合駆動装置の一実施例を
示す背面図である。
示す背面図である。
【図４】出力軸と一体のスライダーの動きを示す、図１
Ａ−Ａ視拡大図である
Ａ−Ａ視拡大図である
１−本体、２−インデックスユニット、３−入力軸、４
−溝カム、５−グロボイダルカム、６−タレット軸、７
−出力軸、８−ボス、９−ローラ、１０−スライダ、１
１−溝、１２−テーパーリブ、１３−カムフォロア、１
４−レバー、１５−支軸、１６−カムフオロア、１８−
ガイド、１９−ブラケット 、２０−直線動ベアリン
グ、２１−ベアリング用レール、２２−ケース。
−溝カム、５−グロボイダルカム、６−タレット軸、７
−出力軸、８−ボス、９−ローラ、１０−スライダ、１
１−溝、１２−テーパーリブ、１３−カムフォロア、１
４−レバー、１５−支軸、１６−カムフオロア、１８−
ガイド、１９−ブラケット 、２０−直線動ベアリン
グ、２１−ベアリング用レール、２２−ケース。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (56)参考文献 特開 平５−141500（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−189206（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−58384（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−307562（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−77404（ＪＰ，Ａ) 実開 昭54−93984（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−196758（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−22647（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭55−4978（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F16H 25/02 F16H 25/08 F16H 25/16 F16H 27/04 F16H 37/12 B25J 9/00 H01L 21/68
Claims (3)
- 【請求項１】本体（１）の底面に、インデックスユニッ
ト（２）を固定し、本体の側面には、摺動機構を配設
し、該インデックスユニット（２）のタレット軸（６）
と該摺動機構の間には、出力軸（７）がインデックスユ
ニット（２）の回転軸と同一軸線上にあるときは回転軸
の回転を出力軸（７）に伝達する、かみ合わせ機構を設
け、出力軸（７）はケース（２２）内に支持され、該ケ
ース（２２）は、前記摺動機構に支持され、かつ該摺動
機構は出力軸（７）と共にインデックスユニット（２）
の外部に設けられた溝カム（４）とレバー（１４）によ
って前記出力軸（７）と直角方向に平行移動可能な複合
駆動装置 - 【請求項２】かみ合わせ機構は、タレット軸（６）の端
部にボス（８ａ，８ｂ）を固定し、ボス（８ｂ）の上に
は回転自在の複数のローラ（９）を固設し、出力軸
（７）と一体となっているスライダ（１０）が該ローラ
（９）の間を移動可能に案内されていることを特徴とす
る請求項１記載の複合駆動装置。 - 【請求項３】 出力軸（７）が、平行方向に移動できる
ように、ローラ（９）によってスライダの方向を規制さ
れていることを特徴とする請求項１に記載の複合駆動装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7036294A JP2906119B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 複合駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7036294A JP2906119B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 複合駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08226515A JPH08226515A (ja) | 1996-09-03 |
| JP2906119B2 true JP2906119B2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=12465797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7036294A Expired - Fee Related JP2906119B2 (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 複合駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906119B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4634575B2 (ja) * | 2000-06-26 | 2011-02-16 | 株式会社三共製作所 | カム装置 |
| CN104440943B (zh) * | 2014-10-16 | 2016-09-28 | 中南大学 | 一种单驱动双动作输出的工业机械臂 |
| CN109352642B (zh) * | 2018-12-03 | 2024-01-30 | 吉林大学 | 一种平面轨迹生成机构 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5654070Y2 (ja) * | 1977-12-16 | 1981-12-16 | ||
| JPS59196758U (ja) * | 1983-06-17 | 1984-12-27 | 株式会社 三共製作所 | 出力部材に回転運動とリフト運動の複合運動を行なわせる装置 |
| JPH0669461B2 (ja) * | 1986-09-19 | 1994-09-07 | 松下電工株式会社 | 電動歯ブラシ |
| JPS63189206A (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-04 | 株式会社 ダイモ社 | 鉄筋コンクリ−ト構築物の往復切断装置 |
| JPH01307562A (ja) * | 1988-06-02 | 1989-12-12 | Sanyo Electric Co Ltd | カム運動切替装置 |
| JPH05141500A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-06-08 | Ckd Corp | 駆動装置 |
| JPH0658384A (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-01 | Elna Co Ltd | カム装置 |
| JP2588881Y2 (ja) * | 1992-08-26 | 1999-01-20 | シーケーディ株式会社 | カム機構 |
-
1995
- 1995-01-31 JP JP7036294A patent/JP2906119B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08226515A (ja) | 1996-09-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2906119B2 (ja) | 複合駆動装置 | |
| JP2001038656A (ja) | 多関節型マニピュレータ | |
| JPH05318374A (ja) | 工業用ロボットの手首構造 | |
| JP2637148B2 (ja) | スカラ型ロボット | |
| JPH04300190A (ja) | 産業用ロボットの手首装置 | |
| JPS62502844A (ja) | ロボット式ア−ム | |
| US5611293A (en) | Sewing machine | |
| JP2969981B2 (ja) | ２軸出力モジュール及びこれを用いた駆動装置 | |
| JP3255508B2 (ja) | 回転間欠割出装置 | |
| JP3255506B2 (ja) | 回転間欠割出装置 | |
| CN218196552U (zh) | 一种多色注塑机转盘的限位随动机构 | |
| JPH0481652B2 (ja) | ||
| JPH09300072A (ja) | 自動アーク溶接用ウィービング装置 | |
| KR20040015536A (ko) | 다관절 로봇 | |
| JPS62140788A (ja) | 工業用ロボツトのハンド | |
| JPS6487960A (en) | Cam mechanism | |
| JPS60135192A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH05169389A (ja) | 工業用ロボットの手首用リミットスイッチ機構 | |
| JP2001138274A (ja) | ロボット装置 | |
| KR0133494Y1 (ko) | 산업용 로봇의 손목부 | |
| JPH0754942A (ja) | 直線移動装置 | |
| CN109623801A (zh) | 一种同步带传动型高精度机械臂关节 | |
| JPS6171990A (ja) | 産業用ロボツトの手首装置 | |
| JPH0966486A (ja) | 基板搬送用アーム及びそれを用いた搬送方法 | |
| JPS58149194A (ja) | 物品転送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080402 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090402 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |