JP2846865B2 - 製品取出し装置を備えた研摩装置 - Google Patents
製品取出し装置を備えた研摩装置Info
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- Japan
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- polishing apparatus
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- push plate
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
- B24B37/345—Feeding, loading or unloading work specially adapted to lapping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクブ
ランクのように商業的に重要な物品の研摩に関し、より
詳しくは、遊離砥粒機械加工技術を用いる物品の研摩に
関する。
ランクのように商業的に重要な物品の研摩に関し、より
詳しくは、遊離砥粒機械加工技術を用いる物品の研摩に
関する。
【０００２】
【従来の技術】薄く且つ平らな物体の研摩は、多くの商
業的用途において重要な役割を有している。例えば、ハ
ードディスクブランクは、ディスクの一方又は両方の主
面を平坦化すべく、遊離砥粒加工法を用いて機械加工さ
れる。このような平坦化は、一般に「鏡面」又は「光学
的平坦面」と呼ばれているものを作るため、高精度に行
なわれる。このような機械ファミリーの一例として、本
発明の譲受人によりモデルＳＦＤＳＭとして販売されて
いるものがある。これらの機械では、所望の表面研摩を
達成するため、ワークピースの両面が同時に加工され
る。一般的な商業的規模の作業では、幾つかのワークピ
ースが１台の機械で同時に研摩される。従って、機械作
業者の仕事として、各機械加工サイクル毎のワークピー
ス群の装填（ローディング）及び取出し（アンローディ
ング）が含まれる。一般に、研摩作業には、水又は水に
より運ばれる砥粒が使用される。これにより、ワークピ
ースと機械との間に吸引力が生じる可能性が高まり、従
ってワークピースの取出しが困難になって機械の休止時
間が増大する。しかしながら、研摩機により達成される
高度加工表面が犠牲になる、すなわち引っ掻き傷その他
の損傷を招くため、ワークピースの取出しを急いで行な
うことはできない。
業的用途において重要な役割を有している。例えば、ハ
ードディスクブランクは、ディスクの一方又は両方の主
面を平坦化すべく、遊離砥粒加工法を用いて機械加工さ
れる。このような平坦化は、一般に「鏡面」又は「光学
的平坦面」と呼ばれているものを作るため、高精度に行
なわれる。このような機械ファミリーの一例として、本
発明の譲受人によりモデルＳＦＤＳＭとして販売されて
いるものがある。これらの機械では、所望の表面研摩を
達成するため、ワークピースの両面が同時に加工され
る。一般的な商業的規模の作業では、幾つかのワークピ
ースが１台の機械で同時に研摩される。従って、機械作
業者の仕事として、各機械加工サイクル毎のワークピー
ス群の装填（ローディング）及び取出し（アンローディ
ング）が含まれる。一般に、研摩作業には、水又は水に
より運ばれる砥粒が使用される。これにより、ワークピ
ースと機械との間に吸引力が生じる可能性が高まり、従
ってワークピースの取出しが困難になって機械の休止時
間が増大する。しかしながら、研摩機により達成される
高度加工表面が犠牲になる、すなわち引っ掻き傷その他
の損傷を招くため、ワークピースの取出しを急いで行な
うことはできない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、研摩
機、特に遊離砥粒機械加工技術を使用する研摩機の改善
された作業を提供することにある。本発明の他の目的
は、ワークピースの取出し速度が改善された上記形式の
研摩機を提供することにある。本発明の他の目的は、取
り出し作業の信頼性を改善した上記形式の研摩機を提供
することにある。
機、特に遊離砥粒機械加工技術を使用する研摩機の改善
された作業を提供することにある。本発明の他の目的
は、ワークピースの取出し速度が改善された上記形式の
研摩機を提供することにある。本発明の他の目的は、取
り出し作業の信頼性を改善した上記形式の研摩機を提供
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の原理によるこれ
らの目的及び他の目的は、ワークピースを研摩する装置
において、ワークピースを支持するテーブルと、該テー
ブルの上方に配置され且つ該テーブルと協働して、研摩
すべきワークピースに圧力を加えるためテーブルに向か
って移動できる上方ヘッドとを有し、該上方ヘッドは、
ワークピースにアクセスして装置からワークピースを取
り出すことができるように、テーブルから離れる方向に
も移動でき、ワークピースを研摩するため、テーブル及
び上方ヘッドの少なくとも一方を相対移動させる手段
と、上方ヘッドに支持されたプッシュプレートと、研摩
すべきワークピースと係合できるように、上方ヘッドに
より支持された複数のプッシュロッドと、ワークピース
を上方ヘッドから分離させるため、プッシュロッドを移
動させて、研摩すべきワークピースと係合させ且つ係合
解除すべく、プッシュプレートをテーブルに近づく方向
及びテーブルから離れる方向に移動させる手段とを更に
有する研摩装置により達成される。
らの目的及び他の目的は、ワークピースを研摩する装置
において、ワークピースを支持するテーブルと、該テー
ブルの上方に配置され且つ該テーブルと協働して、研摩
すべきワークピースに圧力を加えるためテーブルに向か
って移動できる上方ヘッドとを有し、該上方ヘッドは、
ワークピースにアクセスして装置からワークピースを取
り出すことができるように、テーブルから離れる方向に
も移動でき、ワークピースを研摩するため、テーブル及
び上方ヘッドの少なくとも一方を相対移動させる手段
と、上方ヘッドに支持されたプッシュプレートと、研摩
すべきワークピースと係合できるように、上方ヘッドに
より支持された複数のプッシュロッドと、ワークピース
を上方ヘッドから分離させるため、プッシュロッドを移
動させて、研摩すべきワークピースと係合させ且つ係合
解除すべく、プッシュプレートをテーブルに近づく方向
及びテーブルから離れる方向に移動させる手段とを更に
有する研摩装置により達成される。
【０００５】
【発明の実施の形態】図面を参照すると、図１には研摩
機の全体が参照番号１０で示されている。研摩機１０
は、複数の整合歯を備えた中心コア１２を有している。
図３から分かるように、整合歯は細長く且つ全体として
垂直方向に延びている。整合歯は、参照番号１６で全体
を示す上方ヘッド組立体が、参照番号１８で全体を示す
下方テーブル組立体と係合するように案内する。例えば
図５は、テーブル組立体１８の上方に持ち上げられたヘ
ッド組立体１６を示す。好ましい実施例では、研摩機１
０は、２つの研摩板と、上方本体部材すなわち研摩板２
０と、下方研摩板２２とを支持している。好ましい実施
例では、図５に示すように、研摩すべき複数のハードデ
ィスク又は他のワークピースは、慣用的な遊星ホルダ２
４内に支持される。慣用的な研摩板２０、２２が相対回
転するとき、ディスク２６の両主面がこれらの研摩板２
０、２２により研摩される。好ましい実施例では、駆動
機構は慣用的な構造のものであり、本発明の譲受人から
市販されている「Ｓｐｅｅｄｆａｍ Ｐｌａｎｅｔａｒ
ｙ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ ａｎｄ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ
Ｍａｃｈｉｎｅ（スピードファム遊星研削／研摩機）」
（「ＤＳＭシリーズ両面研摩機とも呼ばれている）であ
る。
機の全体が参照番号１０で示されている。研摩機１０
は、複数の整合歯を備えた中心コア１２を有している。
図３から分かるように、整合歯は細長く且つ全体として
垂直方向に延びている。整合歯は、参照番号１６で全体
を示す上方ヘッド組立体が、参照番号１８で全体を示す
下方テーブル組立体と係合するように案内する。例えば
図５は、テーブル組立体１８の上方に持ち上げられたヘ
ッド組立体１６を示す。好ましい実施例では、研摩機１
０は、２つの研摩板と、上方本体部材すなわち研摩板２
０と、下方研摩板２２とを支持している。好ましい実施
例では、図５に示すように、研摩すべき複数のハードデ
ィスク又は他のワークピースは、慣用的な遊星ホルダ２
４内に支持される。慣用的な研摩板２０、２２が相対回
転するとき、ディスク２６の両主面がこれらの研摩板２
０、２２により研摩される。好ましい実施例では、駆動
機構は慣用的な構造のものであり、本発明の譲受人から
市販されている「Ｓｐｅｅｄｆａｍ Ｐｌａｎｅｔａｒ
ｙ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ ａｎｄ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ
Ｍａｃｈｉｎｅ（スピードファム遊星研削／研摩機）」
（「ＤＳＭシリーズ両面研摩機とも呼ばれている）であ
る。
【０００６】再び図１を参照すると、上方ヘッド組立体
１６は、シリンダ軸３２を備えた持上げ用空気シリンダ
３０により支持フレーム２８から吊下げられている。空
気シリンダ３０は、空気ライン３４により制御ボックス
３６に連結されている。制御ボックス３６は、上昇信号
及び下降信号を空気シリンダ３０に供給して、上方研摩
板２０を下方研摩板２２から離れる方向及び近づく方向
に移動させる。一作業サイクルでは、上方ヘッド組立体
１６は、持上げシリンダ３０に適当な信号を供給して作
動軸３２を引っ込めることにより、下方テーブル組立体
１８の上方に持ち上げられる。これにより、作業者は、
下方研摩板２２にアクセスして遊星ホルダ２４内に複数
のディスク２６を装填できる。図２から分かるように、
好ましい実施例の各遊星ホルダは３つのディスクを保持
している。図１に示す例では１４個の遊星ホルダが使用
され、従って、作業者は、機械の各作業サイクル毎に４
２個のディスク又は他のワークピースを遊星ホルダ内に
装填する。次に持上げシリンダ３０に信号が送られ、こ
れにより作動軸３２が伸長され、ディスク２６が両研摩
板２０、２２の間で押しつけられる。
１６は、シリンダ軸３２を備えた持上げ用空気シリンダ
３０により支持フレーム２８から吊下げられている。空
気シリンダ３０は、空気ライン３４により制御ボックス
３６に連結されている。制御ボックス３６は、上昇信号
及び下降信号を空気シリンダ３０に供給して、上方研摩
板２０を下方研摩板２２から離れる方向及び近づく方向
に移動させる。一作業サイクルでは、上方ヘッド組立体
１６は、持上げシリンダ３０に適当な信号を供給して作
動軸３２を引っ込めることにより、下方テーブル組立体
１８の上方に持ち上げられる。これにより、作業者は、
下方研摩板２２にアクセスして遊星ホルダ２４内に複数
のディスク２６を装填できる。図２から分かるように、
好ましい実施例の各遊星ホルダは３つのディスクを保持
している。図１に示す例では１４個の遊星ホルダが使用
され、従って、作業者は、機械の各作業サイクル毎に４
２個のディスク又は他のワークピースを遊星ホルダ内に
装填する。次に持上げシリンダ３０に信号が送られ、こ
れにより作動軸３２が伸長され、ディスク２６が両研摩
板２０、２２の間で押しつけられる。
【０００７】次に、ベース３８（図１参照）内に配置さ
れた駆動機構が付勢され、両研摩板２０、２２が相対回
転される。水により運ばれる砥粒混合物のような慣用的
な砥粒媒体が、ポンプにより、上方研摩板及び一連のホ
ース（図示せず）を通して圧送され、研摩作業中に砥粒
媒体がディスク２６を包囲するようにする。研摩は、デ
ィスク２６の主面に所望の表面特性が得られるまで続け
られる。次に、ベース３８内の駆動機構が停止され、こ
れにより、研摩板２０、２２の相対回転が停止される。
次に、研摩機からディスク２６を取り出すための取出し
作業が開始される。持上げシリンダ３０に適当な信号が
送られて作動軸３２が引っ込められ、これにより、上方
ヘッド組立体１６が図５に示すように持ち上げられ、作
業者は両研摩板の間にアクセスして研摩機から複数のデ
ィスクを掴み且つ取り出すことができる。好ましい実施
例では、遊星ホルダ２４は、研摩すべきディスクを受け
入れるための３つの円形孔が形成された薄板状のもので
ある。
れた駆動機構が付勢され、両研摩板２０、２２が相対回
転される。水により運ばれる砥粒混合物のような慣用的
な砥粒媒体が、ポンプにより、上方研摩板及び一連のホ
ース（図示せず）を通して圧送され、研摩作業中に砥粒
媒体がディスク２６を包囲するようにする。研摩は、デ
ィスク２６の主面に所望の表面特性が得られるまで続け
られる。次に、ベース３８内の駆動機構が停止され、こ
れにより、研摩板２０、２２の相対回転が停止される。
次に、研摩機からディスク２６を取り出すための取出し
作業が開始される。持上げシリンダ３０に適当な信号が
送られて作動軸３２が引っ込められ、これにより、上方
ヘッド組立体１６が図５に示すように持ち上げられ、作
業者は両研摩板の間にアクセスして研摩機から複数のデ
ィスクを掴み且つ取り出すことができる。好ましい実施
例では、遊星ホルダ２４は、研摩すべきディスクを受け
入れるための３つの円形孔が形成された薄板状のもので
ある。
【０００８】遊星ホルダ２４を下方研摩板２２上に置い
た後、ディスク２６が遊星ホルダの円形孔内に簡単に落
下される。当業者には理解されようが、ディスクを上方
研摩板に付着させるかなりの吸引力が発生され、従っ
て、研摩機からディスクを取り出すことは困難である。
従って、研摩作業後に研摩機１０からディスクを取り出
すときに作業者を補助する装置が、本発明により提供さ
れる。図３に示すように、上方研摩板２０の頂面上には
任意（オプション）の内側板４４が取り付けられてお
り、該内側板４４は研摩機の中心コア１２に隣接する内
端部を有している。任意の内側板４４は上方研摩板２０
に結合されており、持上げシリンダ３０の作動により研
摩板２０と一緒に持ち上げられるようになっている。図
５は、内側板４４の外側部分を示している。図５から理
解されようが、内側板４４には複数の段付きブシュ４６
が取り付けられており、該ブシュ４６は上方研摩板２０
内に延びている。ブシュ４６内には、プッシュロッド５
０が摺動可能に受け入れられている。図５に示すよう
に、プッシュロッドは上方研摩板２０を完全に通過し、
段付き通路５２を通って延びている。例えば図５から分
かるように、通路５２は上方研摩板２０の研摩面５４ま
で延びており、これにより、プッシュロッド５０は研摩
面５４まで（及びこれを越えて）移動できる。
た後、ディスク２６が遊星ホルダの円形孔内に簡単に落
下される。当業者には理解されようが、ディスクを上方
研摩板に付着させるかなりの吸引力が発生され、従っ
て、研摩機からディスクを取り出すことは困難である。
従って、研摩作業後に研摩機１０からディスクを取り出
すときに作業者を補助する装置が、本発明により提供さ
れる。図３に示すように、上方研摩板２０の頂面上には
任意（オプション）の内側板４４が取り付けられてお
り、該内側板４４は研摩機の中心コア１２に隣接する内
端部を有している。任意の内側板４４は上方研摩板２０
に結合されており、持上げシリンダ３０の作動により研
摩板２０と一緒に持ち上げられるようになっている。図
５は、内側板４４の外側部分を示している。図５から理
解されようが、内側板４４には複数の段付きブシュ４６
が取り付けられており、該ブシュ４６は上方研摩板２０
内に延びている。ブシュ４６内には、プッシュロッド５
０が摺動可能に受け入れられている。図５に示すよう
に、プッシュロッドは上方研摩板２０を完全に通過し、
段付き通路５２を通って延びている。例えば図５から分
かるように、通路５２は上方研摩板２０の研摩面５４ま
で延びており、これにより、プッシュロッド５０は研摩
面５４まで（及びこれを越えて）移動できる。
【０００９】図６には、ブシュ４６の拡大ヘッド４８を
通るプッシュロッド５０の一部が示されている。プッシ
ュロッド５０はＥクリップ５６を受け入れており、該Ｅ
クリップ５６はブシュヘッド４８と干渉してプッシュロ
ッド５０の下降移動を制限する。この下降移動の制限
は、プッシュロッド５０の先端５８が面５４を僅かに越
えて突出するように設定するのが好ましい。或る作業条
件では、下降移動は隔離スリーブ６６により制限され
る。図３〜図７に示すように、プッシュロッド５０の上
端部はリング状のプッシュプレート６０内に受け入れら
れている。例えば図２に示すように、好ましい実施例に
はかなりの本数のプッシュロッドが使用されている。研
摩機１０の作動中、遊星ホルダ２４は、これらの遊星ホ
ルダ自体の中心軸線の回りを回転すると同時に機械１０
の中心軸線の回りでも回転する。所望ならば、機械の作
動が停止されたときのディスクの位置の如何に係わら
ず、少なくとも１つのプッシュロッドが各ディスクと整
合するのに充分な本数のプッシュロッドを使用できる。
通るプッシュロッド５０の一部が示されている。プッシ
ュロッド５０はＥクリップ５６を受け入れており、該Ｅ
クリップ５６はブシュヘッド４８と干渉してプッシュロ
ッド５０の下降移動を制限する。この下降移動の制限
は、プッシュロッド５０の先端５８が面５４を僅かに越
えて突出するように設定するのが好ましい。或る作業条
件では、下降移動は隔離スリーブ６６により制限され
る。図３〜図７に示すように、プッシュロッド５０の上
端部はリング状のプッシュプレート６０内に受け入れら
れている。例えば図２に示すように、好ましい実施例に
はかなりの本数のプッシュロッドが使用されている。研
摩機１０の作動中、遊星ホルダ２４は、これらの遊星ホ
ルダ自体の中心軸線の回りを回転すると同時に機械１０
の中心軸線の回りでも回転する。所望ならば、機械の作
動が停止されたときのディスクの位置の如何に係わら
ず、少なくとも１つのプッシュロッドが各ディスクと整
合するのに充分な本数のプッシュロッドを使用できる。
【００１０】再び図５を参照すると、プッシュプレート
６０に形成された孔内に受け入れられたガイドロッド６
４が示されている。例えば図２から分かるように、円形
プッシュプレート６０の回りには多数のガイドロッド６
４が配置されている。一般に、使用されるガイドロッド
６４の本数は使用されるプッシュロッド５０の本数より
実質的に少ないことが好ましいけれども、所望ならば、
種々の本数及び割合のガイドロッド及びプッシュロッド
を使用することもできる。再び図５を参照すると、ガイ
ドロッド６４と圧縮ばね６８との間には隔離スリーブ６
６が設けられている。圧縮ばね６８は、上方研摩板２０
に向かうプッシュプレート６０の運動に抵抗する。図１
〜図３、図１３及び図１４を参照すると、複数の空気シ
リンダ７０が、プッシュプレート６０の回りに配置され
るようにして内側板４４に取り付けられている。空気シ
リンダ７０は、プッシュプレート６０を研摩板２０に近
づく方向及び研摩板２０から遠ざかる方向に移動させる
ように作動する。再び図３〜図７を参照すると、プッシ
ュプレート６０が内側板４４に向かって引っ張られる
と、プッシュプレート６０はばね７２を圧縮して、下向
きの力を、Ｅクリップ５６（従ってプッシュロッド５
０）に伝達する。図７に示すように、プッシュプレート
６０とばね７２との間にはワッシャ７４が配置されてい
る。ワッシャ７４はプッシュロッド５０の上端部に取り
付けられており、ばね７２によりプッシュプレート６０
に加えられる上向きの圧力を受けると共に、プッシュプ
レート６０が持ち上げられるときにプッシュロッド５０
と確実に係合してこれを持ち上げる。
６０に形成された孔内に受け入れられたガイドロッド６
４が示されている。例えば図２から分かるように、円形
プッシュプレート６０の回りには多数のガイドロッド６
４が配置されている。一般に、使用されるガイドロッド
６４の本数は使用されるプッシュロッド５０の本数より
実質的に少ないことが好ましいけれども、所望ならば、
種々の本数及び割合のガイドロッド及びプッシュロッド
を使用することもできる。再び図５を参照すると、ガイ
ドロッド６４と圧縮ばね６８との間には隔離スリーブ６
６が設けられている。圧縮ばね６８は、上方研摩板２０
に向かうプッシュプレート６０の運動に抵抗する。図１
〜図３、図１３及び図１４を参照すると、複数の空気シ
リンダ７０が、プッシュプレート６０の回りに配置され
るようにして内側板４４に取り付けられている。空気シ
リンダ７０は、プッシュプレート６０を研摩板２０に近
づく方向及び研摩板２０から遠ざかる方向に移動させる
ように作動する。再び図３〜図７を参照すると、プッシ
ュプレート６０が内側板４４に向かって引っ張られる
と、プッシュプレート６０はばね７２を圧縮して、下向
きの力を、Ｅクリップ５６（従ってプッシュロッド５
０）に伝達する。図７に示すように、プッシュプレート
６０とばね７２との間にはワッシャ７４が配置されてい
る。ワッシャ７４はプッシュロッド５０の上端部に取り
付けられており、ばね７２によりプッシュプレート６０
に加えられる上向きの圧力を受けると共に、プッシュプ
レート６０が持ち上げられるときにプッシュロッド５０
と確実に係合してこれを持ち上げる。
【００１１】好ましい実施例では、各プッシュロッド組
立体は同様に構成されており、同様に、ガイドロッド組
立体も均一に作られている。図２に示すように、可撓性
導管７６が幾つかの空気シリンダ７０に連結されてお
り、各空気シリンダに持上げ信号及び下降信号を同時に
伝達する。図２から分かるように、同数の空気シリンダ
及びガイドロッドを使用し、空気シリンダはガイドロッ
ドから等角度間隔を隔てて配置するのが一般に好ましい
けれども、他の構成も可能である。ここで図５〜図１２
を参照して、研摩機の作動を説明する。前述のように、
図５は、作業者が遊星ホルダ２４にアクセスして、研摩
すべきワークピースを装填できるようにするため、上下
の研摩板が分離されている状態を示す。研摩作業は、ワ
ークピースの片面を研摩する単面研摩の場合でも、ワー
クピースの両面を同時研摩する場合でも慣用的な方法で
行なわれる。好ましい実施例の研摩作業は当業界におい
て良く知られており、本発明の譲受人から市販されてい
る本願に記載の慣用装置を用いて行なわれる。研摩作業
中、好ましくは下方研摩板を種々の速度（回転方向は任
意である）で回転駆動することにより、上下の研摩板を
相対回転させる。
立体は同様に構成されており、同様に、ガイドロッド組
立体も均一に作られている。図２に示すように、可撓性
導管７６が幾つかの空気シリンダ７０に連結されてお
り、各空気シリンダに持上げ信号及び下降信号を同時に
伝達する。図２から分かるように、同数の空気シリンダ
及びガイドロッドを使用し、空気シリンダはガイドロッ
ドから等角度間隔を隔てて配置するのが一般に好ましい
けれども、他の構成も可能である。ここで図５〜図１２
を参照して、研摩機の作動を説明する。前述のように、
図５は、作業者が遊星ホルダ２４にアクセスして、研摩
すべきワークピースを装填できるようにするため、上下
の研摩板が分離されている状態を示す。研摩作業は、ワ
ークピースの片面を研摩する単面研摩の場合でも、ワー
クピースの両面を同時研摩する場合でも慣用的な方法で
行なわれる。好ましい実施例の研摩作業は当業界におい
て良く知られており、本発明の譲受人から市販されてい
る本願に記載の慣用装置を用いて行なわれる。研摩作業
中、好ましくは下方研摩板を種々の速度（回転方向は任
意である）で回転駆動することにより、上下の研摩板を
相対回転させる。
【００１２】図８は、研摩作業が完了したときの研摩機
の一部を示す。図面から分かるように、研摩作業を妨げ
ないようにするため、プッシュロッド５０の先端５８は
ディスク２６及びホルダ２４から上方に間隔を隔ててい
る。例えば図８から分かるように、プッシュロッド５０
を受け入れる通孔のため、上方研摩板の研摩領域の小部
分が失われている。研摩領域のこの欠損は、機械作業に
関して無視できるものであると考えられている。図８中
の矢印は、上方ヘッド組立体１６が下方ヘッド組立体１
８に対して下降されるときの上方プッシュプレート内の
プッシュロッドの相対位置を示すのに使用される。前述
のように、プッシュロッドと上方研摩板との相対位置
は、研摩作業の間中、維持される。研摩作業が完了する
と、上方ヘッド組立体を持ち上げて、上方研摩板２０を
下方の研摩板２２から分離する準備をする。
の一部を示す。図面から分かるように、研摩作業を妨げ
ないようにするため、プッシュロッド５０の先端５８は
ディスク２６及びホルダ２４から上方に間隔を隔ててい
る。例えば図８から分かるように、プッシュロッド５０
を受け入れる通孔のため、上方研摩板の研摩領域の小部
分が失われている。研摩領域のこの欠損は、機械作業に
関して無視できるものであると考えられている。図８中
の矢印は、上方ヘッド組立体１６が下方ヘッド組立体１
８に対して下降されるときの上方プッシュプレート内の
プッシュロッドの相対位置を示すのに使用される。前述
のように、プッシュロッドと上方研摩板との相対位置
は、研摩作業の間中、維持される。研摩作業が完了する
と、上方ヘッド組立体を持ち上げて、上方研摩板２０を
下方の研摩板２２から分離する準備をする。
【００１３】図２を参照すると、種々の導管７６が、入
口ライン８２及び出口ライン８４を備えたマニホルドに
連結されている。ライン８２、８４は制御ボックス３６
に連結されている。制御ボックス３６は持上げシリンダ
の作動をも制御して、研摩機の構成要素の調和作動を与
える。次に、空気シリンダ７０は、プッシュプレート６
０を下降させてばね７２、６８を圧縮する信号を受け
る。図８を参照すると、距離Ｘ1 は、ブシュヘッド４８
（該ブシュヘッドは、前述のように、上方研摩板２０に
固定されている）の頂部に対するプッシュプレート６０
の休止位置を示す。図９の距離Ｘ2 は、プッシュプレー
ト６０が図９の矢印８６の方向に下降されているため、
距離Ｘ1 より実質的に小さくなっている。図９から分か
るように、ガイドロッド５０に固定された下方のＥクリ
ップ５６がブシュヘッド４８の頂部に向かって前進され
る。プッシュプレート６０が矢印８６の方向に前進され
ると、ばね７２にばねエネルギが蓄えられ、プッシュプ
レート６０のエネルギの一部がガイドロッドの先端５８
を移動させて、ディスク２６及びホルダ２４と接触させ
る。好ましい実施例では、全てのプッシュロッドがほぼ
同時に下降されるけれども、種々のプッシュロッドを時
間をずらして下降させることもできる。
口ライン８２及び出口ライン８４を備えたマニホルドに
連結されている。ライン８２、８４は制御ボックス３６
に連結されている。制御ボックス３６は持上げシリンダ
の作動をも制御して、研摩機の構成要素の調和作動を与
える。次に、空気シリンダ７０は、プッシュプレート６
０を下降させてばね７２、６８を圧縮する信号を受け
る。図８を参照すると、距離Ｘ1 は、ブシュヘッド４８
（該ブシュヘッドは、前述のように、上方研摩板２０に
固定されている）の頂部に対するプッシュプレート６０
の休止位置を示す。図９の距離Ｘ2 は、プッシュプレー
ト６０が図９の矢印８６の方向に下降されているため、
距離Ｘ1 より実質的に小さくなっている。図９から分か
るように、ガイドロッド５０に固定された下方のＥクリ
ップ５６がブシュヘッド４８の頂部に向かって前進され
る。プッシュプレート６０が矢印８６の方向に前進され
ると、ばね７２にばねエネルギが蓄えられ、プッシュプ
レート６０のエネルギの一部がガイドロッドの先端５８
を移動させて、ディスク２６及びホルダ２４と接触させ
る。好ましい実施例では、全てのプッシュロッドがほぼ
同時に下降されるけれども、種々のプッシュロッドを時
間をずらして下降させることもできる。
【００１４】図９に関して前述したように、ばね７２は
圧縮されてばねエネルギが蓄えられる。ばね７２の圧縮
量は、上方研摩板２０が持ち上げられている間に、プッ
シュプレート６０が、プッシュロッドとディスク及びホ
ルダとの接触を維持できるように充分大きくする。実
際、これは、ばね７２が僅かに伸びて、蓄えられたエネ
ルギを幾分放出することを可能にする。しかしながら、
プッシュロッドの先端５８は、上方研摩板２０の初期分
離中の充分な時間（この間に、ディスク及びホルダと上
方研摩板との間のあらゆる吸引力が消滅される）、ディ
スク及びホルダと係合した状態に維持されるのが好まし
い。この間、距離Ｘ3 を図９に示す距離Ｘ 2 に近い距離
に保持する（すなわち、空気シリンダ７０は一定作動位
置に保持される）のが好ましい。上方ヘッド組立体が持
ち上げられたとき、プッシュロッドにより発生される押
圧力が連続的に低下しても、プッシュロッドの先端とデ
ィスクとの接触が維持されることは理解されよう。
圧縮されてばねエネルギが蓄えられる。ばね７２の圧縮
量は、上方研摩板２０が持ち上げられている間に、プッ
シュプレート６０が、プッシュロッドとディスク及びホ
ルダとの接触を維持できるように充分大きくする。実
際、これは、ばね７２が僅かに伸びて、蓄えられたエネ
ルギを幾分放出することを可能にする。しかしながら、
プッシュロッドの先端５８は、上方研摩板２０の初期分
離中の充分な時間（この間に、ディスク及びホルダと上
方研摩板との間のあらゆる吸引力が消滅される）、ディ
スク及びホルダと係合した状態に維持されるのが好まし
い。この間、距離Ｘ3 を図９に示す距離Ｘ 2 に近い距離
に保持する（すなわち、空気シリンダ７０は一定作動位
置に保持される）のが好ましい。上方ヘッド組立体が持
ち上げられたとき、プッシュロッドにより発生される押
圧力が連続的に低下しても、プッシュロッドの先端とデ
ィスクとの接触が維持されることは理解されよう。
【００１５】所望ならば、この時間中に、プッシュロッ
ド５０により加えられる押圧力の低下を抑えるため、制
御ボックス３６が付加信号を空気シリンダ７０に送っ
て、距離Ｘ3 を減じることができる。別の構成として、
空気シリンダ７０を、僅かに圧縮するように（好ましく
は、上方ヘッド組立体の持上げ量に比例するように）作
動させることができる。これにより、上方研摩板２０か
らの初期分離中（この間に、ディスクと、ホルダと、上
方研摩板との間の吸引力が消滅される）に、プッシュロ
ッドの先端５８を、ディスク２６及びホルダ２４と係合
した状態に確実に維持できる。従って、この作用を選択
した場合には、隔離スリーブ６６の長さを調節（短縮）
できるようにすべきである。
ド５０により加えられる押圧力の低下を抑えるため、制
御ボックス３６が付加信号を空気シリンダ７０に送っ
て、距離Ｘ3 を減じることができる。別の構成として、
空気シリンダ７０を、僅かに圧縮するように（好ましく
は、上方ヘッド組立体の持上げ量に比例するように）作
動させることができる。これにより、上方研摩板２０か
らの初期分離中（この間に、ディスクと、ホルダと、上
方研摩板との間の吸引力が消滅される）に、プッシュロ
ッドの先端５８を、ディスク２６及びホルダ２４と係合
した状態に確実に維持できる。従って、この作用を選択
した場合には、隔離スリーブ６６の長さを調節（短縮）
できるようにすべきである。
【００１６】ここで図１１を参照すると、上方ヘッド組
立体１６が下方研摩板から離れる方向に引き続き持ち上
げられると、空気シリンダ７０がこれらの休止位置に戻
り、図１１の距離Ｘ4 は図８の距離Ｘ1 にほぼ等しくな
る。図９〜図１１に示す作業サイクル中、プッシュプレ
ートと上方研摩板との間には相対移動がある。図１１
は、ばね７２、６８がこれらの休止位置に戻ることによ
り補助されて、空気シリンダ７０がこれら自体の休止位
置に戻って、相対移動が終了した状態を示す。一般的に
好ましいことは、この時間中、ばね６８が僅かな圧縮量
の状態に維持され、研摩機の振動及び騒音を低減させる
ことである。図１２に示すように、上方ヘッド組立体１
６は、上下の研摩板間に所望の分離を与えて、作業者が
ディスクの取出し及び再装填のために容易にアクセスで
きるようにするため、上方への移動を続ける。
立体１６が下方研摩板から離れる方向に引き続き持ち上
げられると、空気シリンダ７０がこれらの休止位置に戻
り、図１１の距離Ｘ4 は図８の距離Ｘ1 にほぼ等しくな
る。図９〜図１１に示す作業サイクル中、プッシュプレ
ートと上方研摩板との間には相対移動がある。図１１
は、ばね７２、６８がこれらの休止位置に戻ることによ
り補助されて、空気シリンダ７０がこれら自体の休止位
置に戻って、相対移動が終了した状態を示す。一般的に
好ましいことは、この時間中、ばね６８が僅かな圧縮量
の状態に維持され、研摩機の振動及び騒音を低減させる
ことである。図１２に示すように、上方ヘッド組立体１
６は、上下の研摩板間に所望の分離を与えて、作業者が
ディスクの取出し及び再装填のために容易にアクセスで
きるようにするため、上方への移動を続ける。
【００１７】所望ならば、制御ボックス３６を、ベース
３８内に収容された下方研摩板の回転駆動機構に連結す
ることもできる。下方研摩板（従って、ディスク及びホ
ルダ）を、プッシュロッドの下の既知の位置で停止させ
るための慣用的なタイミング手段を付加できる。図１に
示すように、下方研摩板の駆動モータ９０はギアボック
ス９２及び慣用的なタイミング装置９４を有し、これら
の全てが、配線９５を介して制御ボックス３６に接続さ
れている。制御ボックス３６が、下方研摩板を常に既知
の固定角度位置で停止させること、従って充分な精度で
ディスクとプッシュロッドとを整合させることができな
い場合には、研摩機が開いている間に各ディスク及びデ
ィスクホルダに対して充分な押圧力を加えて吸引力を消
滅させるのに充分な本数のプッシュロッドを設けること
ができ、これは好ましいことである。図２に示すよう
に、各ディスク及びディスクホルダは少なくとも１つの
プッシュロッドと整合し、好ましい実施例では、プッシ
ュロッド及び押圧力は、吸引力が消滅されたときでもデ
ィスク及びディスクホルダを所定位置に充分に保持でき
るように選択された。
３８内に収容された下方研摩板の回転駆動機構に連結す
ることもできる。下方研摩板（従って、ディスク及びホ
ルダ）を、プッシュロッドの下の既知の位置で停止させ
るための慣用的なタイミング手段を付加できる。図１に
示すように、下方研摩板の駆動モータ９０はギアボック
ス９２及び慣用的なタイミング装置９４を有し、これら
の全てが、配線９５を介して制御ボックス３６に接続さ
れている。制御ボックス３６が、下方研摩板を常に既知
の固定角度位置で停止させること、従って充分な精度で
ディスクとプッシュロッドとを整合させることができな
い場合には、研摩機が開いている間に各ディスク及びデ
ィスクホルダに対して充分な押圧力を加えて吸引力を消
滅させるのに充分な本数のプッシュロッドを設けること
ができ、これは好ましいことである。図２に示すよう
に、各ディスク及びディスクホルダは少なくとも１つの
プッシュロッドと整合し、好ましい実施例では、プッシ
ュロッド及び押圧力は、吸引力が消滅されたときでもデ
ィスク及びディスクホルダを所定位置に充分に保持でき
るように選択された。
【００１８】所望ならば、上方研摩板に付加チャンネル
を形成し、加圧流体の流れがディスク及びディスクホル
ダを押圧して、プッシュロッドによる吸引力消滅効果を
高めるように構成できる。空気又は水のような他の流体
を、連続モード作動又はパルスモード作動で使用するこ
ともできる。また、プッシュロッドの吸引力消滅力を強
化し及び／又は砥粒媒体のようなあらゆる異物（この異
物によって、プッシュロッドの所望作動が妨げられるこ
とがある）を通孔５２から排除するため、上方研摩板を
貫通する通孔５２（図５参照）内に加圧流体を導入する
ことができる。また、通孔５２内の加圧流体により、研
摩機の洗浄が容易に行なえる。例えば、このような洗浄
は、長い停止期間の前、又は相容れない砥粒媒体が前の
作業から残っている場合に必要である。このような洗浄
通路は容易に設けることができる。例えば、上方研摩板
２０内に配置されたブシュ４６の最も上方の段部から出
るような角度で、孔を研摩板の頂面からドリルで穿ける
ことができる。
を形成し、加圧流体の流れがディスク及びディスクホル
ダを押圧して、プッシュロッドによる吸引力消滅効果を
高めるように構成できる。空気又は水のような他の流体
を、連続モード作動又はパルスモード作動で使用するこ
ともできる。また、プッシュロッドの吸引力消滅力を強
化し及び／又は砥粒媒体のようなあらゆる異物（この異
物によって、プッシュロッドの所望作動が妨げられるこ
とがある）を通孔５２から排除するため、上方研摩板を
貫通する通孔５２（図５参照）内に加圧流体を導入する
ことができる。また、通孔５２内の加圧流体により、研
摩機の洗浄が容易に行なえる。例えば、このような洗浄
は、長い停止期間の前、又は相容れない砥粒媒体が前の
作業から残っている場合に必要である。このような洗浄
通路は容易に設けることができる。例えば、上方研摩板
２０内に配置されたブシュ４６の最も上方の段部から出
るような角度で、孔を研摩板の頂面からドリルで穿ける
ことができる。
【００１９】添付図面及び上記説明は、本発明の構造及
び作動方法に関する本発明の形態のみを表すことを意図
したものではなく、部品の形状及び比率の変更並びに均
等物との置換を考えることができる。また、特別な用語
が使用されているけれども、これらの用語は包括的な意
味を有するものであり、限定を目的とするものではな
い。本発明の範囲は特許請求の範囲の記載により定めら
れる。
び作動方法に関する本発明の形態のみを表すことを意図
したものではなく、部品の形状及び比率の変更並びに均
等物との置換を考えることができる。また、特別な用語
が使用されているけれども、これらの用語は包括的な意
味を有するものであり、限定を目的とするものではな
い。本発明の範囲は特許請求の範囲の記載により定めら
れる。
【図１】本発明の特徴を示す研摩機の側面図である。
【図２】図１の２−２線に沿う部分断面図である。
【図３】図２の一部の拡大図である。
【図４】図３の一部の拡大図である。
【図５】図３の右側から見た部分図であり、機械が部分
開放位置にあるところを示すものである。
開放位置にあるところを示すものである。
【図６】図５の一部の拡大図である。
【図７】図５の一部の拡大図である。
【図８】図５と同様な部分図であり、一作業シーケンス
を示すものである。
を示すものである。
【図９】図５と同様な部分図であり、一作業シーケンス
を示すものである。
を示すものである。
【図１０】図５と同様な部分図であり、一作業シーケン
スを示すものである。
スを示すものである。
【図１１】図５と同様な部分図であり、一作業シーケン
スを示すものである。
スを示すものである。
【図１２】図５と同様な部分図であり、一作業シーケン
スを示すものである。
スを示すものである。
【図１３】図３の左側部分から見た部分図であり、一部
を破断し且つ拡大して示すものである。
を破断し且つ拡大して示すものである。
【図１４】図１３と同様な部分図であり、次の作業シー
ケンスを示すものである。
ケンスを示すものである。
１０ 研摩機 １６ 上方ヘッド組立体 １８ 下方テーブル組立体 ２０ 上方研摩板 ２２ 下方研摩板 ２４ 遊星ホルダ ２６ ディスク ３０ 持上げシリンダ ４６ ブシュ ５０ プッシュロッド ５８ プッシュロッドの先端 ６０ プッシュプレート ６４ ガイドロッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−244643（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−249258（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−267541（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−203233（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−200965（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−46664（ＪＰ，Ｕ) 実開 平７−24552（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−24255（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−109859（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−122449（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 41/06 B24B 37/04 B24B 37/00
Claims (28)
- 【請求項１】 ワークピースを研摩する装置において、 ワークピースを支持するテーブルと、 該テーブルの上方に配置され且つ該テーブルと協働し
て、研摩すべきワークピースに圧力を加えるためテーブ
ルに向かって移動できる上方ヘッドとを有し、該上方ヘ
ッドは、ワークピースにアクセスして装置からワークピ
ースを取り出すことができるように、テーブルから離れ
る方向にも移動でき、 さらに、ワークピースを研摩するため、テーブル及び上
方ヘッドの少なくとも一方を相対移動させる手段と、 前記テーブルに近づく方向及びテーブルから離れる方向
に移動可能なように、前記上方ヘッドに対して往復運動
するための、前記上方ヘッドに支持された剛プッシュプ
レートと、 研摩すべきワークピースと係合できるように、上方ヘッ
ドにより支持された複数のプッシュロッドとを有し、該
複数のプッシュロッドは、前記プッシュプレートが前記
テーブルに近づき、遠ざかるとき、前記テーブルに近づ
き、遠ざかるように、前記上方ヘッドに対して相対移動
可能に取り付けられ、 さらに、前記プッシュプレートと前記プッシュロッドと
を互いに結合する第１弾性付勢手段と、 前記プッシュプレートを付勢して、前記テーブルから遠
ざけるための第２弾性付勢手段と、 ワークピースを上方ヘッドから分離させるため、プッシ
ュロッドを移動させて、研摩すべきワークピースと係合
させ且つ係合解除すべく、プッシュプレートをテーブル
に近づく方向及びテーブルから離れる方向に移動させる
ために、前記プッシュプレートに強固に連結された往復
手段とを有することを特徴とする研摩装置。 - 【請求項２】 前記プッシュロッドは、前記プッシュプ
レートがテーブルに近づく方向及びテーブルから離れる
方向に移動するときに、テーブルに近づく方向及びテー
ブルから離れる方向に移動できるように、上方ヘッドに
対して相対移動できるように取り付けられていることを
特徴とする請求項１に記載の研摩装置。 - 【請求項３】 前記上方ヘッドはテーブルの方向を向い
た作業面を有し、該作業面まで通路が延びていることを
特徴とする請求項１に記載の研摩装置。 - 【請求項４】 前記プッシュロッドは作業面を越えて突
出することを特徴とする請求項３に記載の研摩装置。 - 【請求項５】 前記上方ヘッドはプッシュロッドを受け
入れる通路を形成していることを特徴とする請求項４に
記載の研摩装置。 - 【請求項６】 前記通路内に受け入れられるスリーブを
更に有し、該スリーブがプッシュロッドを受け入れるこ
とを特徴とする請求項５に記載の研摩装置。 - 【請求項７】 前記上方ヘッドにより支持されるガイド
ロッドを更に有し、プッシュプレートにはガイドロッド
を受け入れるための孔が形成されており、ガイドロッド
はこれに沿ってプッシュプレートを移動させることを特
徴とする請求項１に記載の研摩装置。 - 【請求項８】 前記プッシュプレートは環状リングから
なることを特徴とする請求項１に記載の研摩装置。 - 【請求項９】 前記プッシュロッドは環状リングの回り
の少なくとも１つの円形路に沿って配置されていること
を特徴とする請求項８に記載の研摩装置。 - 【請求項１０】 ワークピースを研摩する装置におい
て、 ワークピースを支持するテーブルと、 該テーブルの上方に配置され且つ該テーブルと協働し
て、研摩すべきワークピースに圧力を加えるためテーブ
ルに向かって移動できる上方ヘッドとを有し、該上方ヘ
ッドは、ワークピースにアクセスして装置からワークピ
ースを取り出すことができるように、テーブルから離れ
る方向にも移動でき、 ワークピースを研摩するため、テーブル及び上方ヘッド
の少なくとも一方を相対移動させる手段と、 前記テーブルに近づく方向及びテーブルから離れる方向
に移動可能なように、前記上方ヘッドに対して往復運動
するための、前記上方ヘッドに支持された剛プッシュプ
レートと、 研摩すべきワークピースと係合できるように、上方ヘッ
ドにより支持された複数のプッシュロッドと有し、該複
数のプッシュロッドは、前記プッシュプレートが前記テ
ーブルに近づき、遠ざかるとき、前記テーブルに近づ
き、遠ざかるように、前記上方ヘッドに対して相対移動
可能に取り付けられ、 さらに、前記プッシュプレートと前記プッシュロッドと
を互いに結合する第１弾性付勢手段と、 前記プッシュプレートを付勢して、前記テーブルから遠
ざけるための第２弾性付勢手段と、 ワークピースを上方ヘッドから分離させるため、プッシ
ュロッドを移動させて研摩すべきワークピースと係合さ
せるべく、プッシュプレートをテーブルに近づく方向及
びテーブルから離れる方向に移動させるために、前記プ
ッシュプレートに強固に連結された往復手段手段とを有
することを特徴とする研摩装置。 - 【請求項１１】 前記プッシュロッドは、前記プッシュ
プレートがテーブルに近づく方向及びテーブルから離れ
る方向に移動するときに、テーブルに近づく方向及びテ
ーブルから離れる方向に、上方ヘッドに対して相対移動
できるように取り付けられていることを特徴とする請求
項１０に記載の研摩装置。 - 【請求項１２】 前記上方ヘッドにより支持されるガイ
ドロッドを更に有し、プッシュプレートにはガイドロッ
ドを受け入れるための孔が形成されており、ガイドロッ
ドはこれに沿ってプッシュプレートを移動させることを
特徴とする請求項１０に記載の研摩装置。 - 【請求項１３】 前記上方ヘッドはプッシュロッドを受
け入れる通路を形成していることを特徴とする請求項１
２に記載の研摩装置。 - 【請求項１４】 前記通路内に受け入れられるスリーブ
を更に有し、該スリーブがプッシュロッドを受け入れる
ことを特徴とする請求項１３に記載の研摩装置。 - 【請求項１５】 前記上方ヘッドはテーブルの方向を向
いた作業面を有し、該作業面まで通路が延びていること
を特徴とする請求項１４に記載の研摩装置。 - 【請求項１６】 前記プッシュロッドは作業面を越えて
突出することを特徴とする請求項１５に記載の研摩装
置。 - 【請求項１７】 前記プッシュプレートは、環状リング
からなることを特徴とする請求項１１に記載の研摩装
置。 - 【請求項１８】 前記プッシュロッドは環状リングの回
りの少なくとも１つの円形路に沿って配置されているこ
とを特徴とする請求項１１に記載の研摩装置。 - 【請求項１９】 ワークピースを研摩するための装置で
あって、ワークピースを支持するテーブルと、本体部材
を備え且つテーブルに向かって移動できるようにテーブ
ルの上方に配置され且つ該テーブルと協働して、研摩す
べきワークピースに圧力を加える上方ヘッド組立体とを
有し、該上方ヘッド組立体は、ワークピースにアクセス
して装置からワークピースを取り出すことができるよう
に、テーブルから離れる方向にも移動でき、さらにワー
クピースを研摩するため、テーブル及び上方ヘッドの少
なくとも一方を相対移動させるための手段を更に有する
研摩装置において、前記上方ヘッド組立体は、 前記テーブルに近づく方向及びテーブルから離れる方向
に移動可能なように、前記本体部材に対して往復運動す
るための、前記上方ヘッドに支持された剛プッシュプレ
ートと、 研摩すべきワークピースと係合できるように、本体部材
により支持された複数のプッシュロッドとを有し、該複
数のプッシュロッドは、前記プッシュプレートが前記テ
ーブルに近づき、遠ざかるとき、前記テーブルに近づ
き、遠ざかるように、前記本体部材に対して相対移動可
能に取り付けられ、 さらに、前記プッシュプレートと前記プッシュロッドと
を互いに結合する第１弾性付勢手段と、 前記プッシュプレートを付勢して、前記テーブルから遠
ざけるための第２弾性付勢手段と、 ワークピースを上方ヘッドから分離させるため、プッシ
ュロッドを移動させて、研摩すべきワークピースと係合
させ且つ係合解除すべく、プッシュプレートをテーブル
に近づく方向及びテーブルから離れる方向に移動させる
ために、前記プッシュプレートに強固に連結された往復
手段とを有することを特徴とする研摩装置。 - 【請求項２０】 前記本体部材はプッシュロッドを受け
入れる通路を形成していることを特徴とする請求項１９
に記載の研摩装置。 - 【請求項２１】 前記通路内に受け入れられるスリーブ
を更に有し、該スリーブがプッシュロッドを受け入れる
ことを特徴とする請求項１９に記載の研摩装置。 - 【請求項２２】 前記プッシュロッドは、前記プッシュ
プレートがテーブルに近づく方向及びテーブルから離れ
る方向に移動するときに、テーブルに近づく方向及びテ
ーブルから離れる方向に、本体部材に対して相対移動で
きるように取り付けられていることを特徴とする請求項
２０に記載の研摩装置。 - 【請求項２３】 前記本体部材はテーブルの方向を向い
た作業面を有し、該作業面まで通路が延びていることを
特徴とする請求項２２に記載の研摩装置。 - 【請求項２４】 前記プッシュロッドは作業面を越えて
突出することを特徴とする請求項２３に記載の研摩装
置。 - 【請求項２５】 前記上方ヘッドにより支持されるガイ
ドロッドを更に有し、プッシュプレートにはガイドロッ
ドを移動可能に受け入れるための孔が形成されているこ
とを特徴とする請求項２２に記載の研摩装置。 - 【請求項２６】 前記プッシュプレートは、環状リング
からなることを特徴とする請求項２４に記載の研摩装
置。 - 【請求項２７】 前記プッシュロッドは環状リングの回
りの少なくとも１つの円形路に沿って配置されているこ
とを特徴とする請求項２６に記載の研摩装置。 - 【請求項２８】 前記作業面はワークピースの両面を一
度に研摩できる研摩面からなることを特徴とする請求項
２３に記載の研摩装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/564,968 US5762543A (en) | 1995-11-30 | 1995-11-30 | Polishing apparatus with improved product unloading |
| US08/564968 | 1995-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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