JP2837595B2 - アモルファス磁気シールド板と磁気シールド工法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、外乱の変動磁場を遮蔽
し、内部の機器を保護する目的で設置される磁気シール
ドルーム用のアモルファス磁気シールド板と磁気シール
ド工法とに関する。

【０００２】

【従来の技術】最近のインテリジェントビルや精密工場
に設置される機器には、磁気に対して敏感なものが多く
なってきている。例えば、電子顕微鏡は感度を上げる為
に、磁気の変動成分を２ミリガウス以下に押えるように
なっている。また、一般のＯＡ機器でも、数ガウスとい
った弱い磁気においても悪影響が出るものがある。例え
ば、コンピューター用のＣＲＴは、１ガウス程度でも画
面が歪んだり、色ズレが生じたりする。さらに交流磁場
であれば、１０ミリガウス程度でも支障がある。

【０００３】それに対して、現在の日常環境において
は、種々の磁気発生源が近くに存在している。例えば、
電車や車、あるいは送電線等の周辺には大きな磁気が漏
れており、近くに建屋を作る場合、数１０ミリガウス位
の変動磁場が存在する。その中に設置される精密機器
は、磁気的な悪環境下に曝されることになり、満足に機
器の性能を発揮することは出来なくなる。この対処方法
として、機器周辺あるいは機器が設置される部屋全体を
パーマロイ、アモルファス、硅素鋼板、純鉄等の強磁性
体で囲み、外部からの侵入磁場を吸い採る形で磁気の侵
入を防ぐようにした磁気シールドルームを設置する方法
が採られている。

【０００４】磁気シールドルームは、使用する磁性材
料、構成方法等により性能、コストが大きく異なり、目
的に応じて最適なものが選定される。従来から、高性能
磁気シールドルームに用いられているのはパーマロイ製
であり、２層や３層構造にすればさらに高い効果が期待
できる。唯、パーマロイは応力により磁気特性が大きく
劣化するという欠点を有し、加工時のみならず施工時及
び使用時においても十分な注意が必要で、一般の建物に
は利用しにくい。またコスト面でも制約が大きい。

【０００５】そこで、最近は透磁率がパーマロイよりも
高く、応力による磁気特性の劣化の少ないアモルファス
を用いた磁気シールドルーム工法が注目されている。ア
モルファスは、鉄やコバルトを急冷させて出来る非晶質
の金属あるいは合金である。磁気シールド材料に用いら
れるものは、箔状の帯であるリボン（例えば日本非晶質
金属のMETGLAS ) 、キャビテーション法で作られるフレ
ーク状合金をシート状にしたもの（例えば、リケンのア
モリックシート）が提供されている。これらは、コスト
面でもパーマロイより有利である。尚、硅素鋼板や純鉄
は、磁気特性面でパーマロイ、アモルファスに大きく劣
り、他の材料と複合化して使用するのが一般的である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術のフレー
ク状合金片をシート状にしたものは、現在多く用いられ
ている材料であるが、自由な形状を作れるメリットの反
面、数層重ねてもフレーク間の隙間は存在するととも
に、磁気の不連続による磁気抵抗が大きく、初期の性能
を得ることは出来ない。その結果、硅素鋼板と組合わせ
た形で使われることが多く、ある程度の磁気シールド効
果は認められるが、低い磁場領域で磁気シールド性能が
高いという本来のアモルファスの特性を生かしていると
は言い難い。

【０００７】一方、前記の箔状の帯であるリボンの場
合、隙間のない密実な箔であるため、フレーク状合金片
をシート状にしたものに比べてアモルファス本来の特性
を生かすことが出来る。しかし、箔状の帯であるリボン
の特性を十分に発揮させるためには、解決すべき問題点
も多い。箔は、通常２５μｍ程度の厚さであり、磁気飽
和することなく磁気シールド効果を上げるには、相当枚
数を重ねる必要がある。また、現在製造可能な幅の最大
値が２２０ｍｍであり、大きな平面を磁気シールドする
場合に、多くの継ぎ目処理が必要になり、製造上大きな
手間になり、取り扱いにおいても、エッジで手を切る等
の危険があり、さらに現場での管理が難しい。

【０００８】そこで、プラスターボードにアモルファス
リボンを工場で必要枚数張り付け、ユニット板として現
地に取り付ける工法も用いられるが、ユニット板間の継
ぎ目処理等、製造上種々の問題がある。また、コスト面
の有利さから鉄系のアモルファスが用いられることが多
いが、鉄は錆の問題があり、アモルファスは発錆により
磁気特性が大きく劣化されやすい。以上のように、箔状
の帯であるアモルファスリボンは、一般の磁気シールド
ルーム用主要材料として期待されているものの、その取
り扱いの悪さから普及が遅れているのが現状で、その打
開策となる新工法が望まれていた。そこで本発明は、磁
気シールド材料として取り扱いが容易で、しかも磁気シ
ールド性能の高いものを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
したものであり、アモルファス磁気シールド板は、硅素
鋼板等の補強板上に複数枚のアモルファスリボンが平面
状に隙間なく複数層に敷き詰められ、積層された補強板
と複数層の平面状アモルファスとの上下面及び周縁部が
樹脂フィルムで覆われるとともに、樹脂フィルムで覆わ
れた内部が減圧されて真空パック状に形成されている。
複数層の平面状アモルファスは、上下隣り合う層でアモ
ルファスリボンの長手方向や接合境界位置が変えられ
て、アモルファスリボンの接合境界線が上下層で重なら
ないようにするのが、磁気シールド上、好ましい。本発
明の磁気シールド工法は、前記のアモルファス磁気シー
ルド板を多数同一平面上に並べて第１磁気シールド面を
形成し、次いで第１磁気シールド面に重ねて多数の磁気
シールド板を並べて第２磁気シールド面を形成する際
に、第１シールド面と第２シールド面のそれぞれのアモ
ルファス磁気シールド板間の継ぎ目が一致しないよう
に、第２シールド面のシールド板を並べることを特徴と
する。

【００１０】

【作用】上記のアモルファス磁気シールド板はユニット
板として工場で作成でき、しかも硅素鋼板等の補強板に
複数枚の薄いアモルファスリボンを平面状に隙間なく複
数層に敷き詰めて形成されるが、薄いアモルファスリボ
ンを補強板に敷き詰めるので、作業性がよいとともにそ
の取り扱いが容易である。また、各層のアモルファスリ
ボンの方向等が変えられて各アモルファスリボンの隣り
合う境界線が上下で一致しないようにされているので、
磁気シールド性が高いものとなる。さらに補強板と複数
層のアモルファス層とは積層状態で樹脂フィルムに覆わ
れて、内部が真空にされるので、鉄系の各アモルファス
リボンは発錆することはない。前記のアモルファス磁気
シールド板を使用して磁気シールド面を形成する場合
は、第１層を形成する各磁気シールド板間の継ぎ目と、
第２層の各磁気シールド板間の継ぎ目とが一致しないよ
うにされるので、磁気シールド性能がよいものとなる。
磁気シールド板を３層以上に重ねて配置させれば、より
磁気シールド性は向上し、磁気シールド板の重ね枚数は
部分的に異なる様にしても良い。

【００１１】

【実施例】本発明のアモルファス磁気シールド板の実施
例を図１、２により説明する。アモルファス磁気シール
ド板Ａは、硅素鋼板１の上にアモルファスリボン２を隙
間なく平面状に複数層敷き詰め、硅素鋼板１と複数のア
モルファス層との積層体の上下面と周縁部とを樹脂フィ
ルム３で覆い、袋状の樹脂フィルム３の内部が減圧され
て真空パック状に形成されている。このようにユニット
板状に形成されたアモルファス磁気シールド板Ａの厚さ
は、約１ｍｍ程度である。硅素鋼板１は、例えば平面が
６００×９００ｍｍの大きさで厚さが０．３５〜０．５
ｍｍに形成されている。硅素鋼板１は、薄いアモルファ
スリボン２を平面状に敷き詰めるための補強板になると
ともに、磁気シールド性能をも有する。よって硅素鋼板
１の代わりに、アモルファスリボン２を平面状に保て
て、磁気シールド性のよい板材を使用することができ
る。硅素鋼板１の上面に敷かれるアモルファスリボン２
は、例えば幅が約２２０ｍｍのものが使用され、硅素鋼
板１の上面に隙間なく敷き詰められる。また敷き詰めら
れたアモルファスリボン２は、硅素鋼板１の周縁部で溶
融接合等の方法で堅固に接着されている。

【００１２】アモルファスリボン２からなるアモルファ
ス層は、複数層重ねられ、図２に示される実施例では３
層重ねられている。これら３層のアモルファス層は、そ
れぞれのアモルファスリボン２の接合境界線が上下で一
致しないようにされて、磁気の漏れがないようにしてい
る。例えば、図２の実施例では、硅素鋼板１側の第１ア
モルファス層は長辺方向にアモルファスリボン２が配列
され、その上の第２アモルファス層は短辺方向にアモル
ファスリボン２が配列され、さらにその上の第３アモル
ファス層は第１のアモルファス層のアモルファスリボン
２と同方向で境界線位置が重ならないようにずらして配
置されている。

【００１３】上記のように構成されたアモルファス磁気
シールド板を使用して、磁気シールド壁を施工する工法
を図３により説明する。本実施例では、ユニット板状の
アモルファス磁気シールド板Ａを下地壁に２層に取り付
けるものである。１層目を施工するため、アモルファス
磁気シールド板Ａを図３に示されるように縦横に配列
し、この場合、隣り合うアモルファス磁気シールド板Ａ
間に、継ぎ目４が形成される。次いで２層目を施工する
ため１層目の各アモルファス磁気シールド板Ａに重ね
て、図２に示されるようにアモルファス磁気シールド板
Ａ’を配列し、この場合も各アモルファス磁気シールド
板Ａ’の間に継ぎ目が出来るが、その継ぎ目は１層目の
継ぎ目とは一致しないように配列されて、磁気シールド
性能が上げられる。なおアモルファス磁気シールド板Ａ
を３層以上に重ねて施工する場合は、やはり継ぎ目が上
下で重ならないように、アモルファス磁気シールド板Ａ
が配列される。またアモルファス磁気シールド板Ａを重
ねる場合、部分的に、重ねる枚数が異なる様にして磁気
遮蔽の状況に対応させることもできる。

【００１４】

【発明の効果】本発明のアモルファス磁気シールド板
は、工場において補強板に複数層のアモルファス層を積
層した状態の標準ユニット板として製作できるため、性
能、精度に対する信頼性が高く、現場における取り扱い
も容易になり、現場管理が楽になる。またアモルファス
磁気シールド板自身は、アモルファスリボンが所定枚数
隙間なく敷き詰められたものであるため、アモルファス
本来の高い磁気シールド性能を発揮する。さらに、アモ
ルファス本来の高い磁気シールド板は、樹脂フィルムで
袋状に覆われて内部を減圧にして真空パック状に作成さ
れているため、アモルファスリボンが空気と触れなくな
り、鉄系のアモルファスにおいても錆の問題がない。磁
気シールド工法では、ユニット板状のアモルファス磁気
シールド板間の継ぎ目が重ならないように複数層重ねら
れるため、隙間からの磁気漏洩のない磁気シールドルー
ムを構築できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のアモルファス磁気シールド板の断面図
である。

【図２】アモルファス磁気シールド板の分解斜視図であ
る。

【図３】磁気シールド工法の説明図である。

【符号の説明】

１ 硅素鋼板 ２ アモルファスリボン ３ 樹脂フィルム ４ 継ぎ目 Ａ アモルファス磁気シールド板

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 硅素鋼板等の補強板上に複数枚のアモル
   ファスリボンが平面状に隙間なく複数層に敷き詰めら
   れ、積層された補強板と複数層の平面状アモルファスと
   の上下面及び周縁部が樹脂フィルムで袋状に覆われて、
   袋状の樹脂フィルムで覆われた内部が減圧されて真空パ
   ック状に形成されていることを特徴とするアモルファス
   磁気シールド板。
2. 【請求項２】 複数層の平面状アモルファスは、上下隣
   り合う層でアモルファスリボンの長手方向や接合境界位
   置が変えられて、アモルファスリボンの接合境界線が上
   下層で重ならないように形成されていることを特徴とす
   る請求項１に記載のアモルファス磁気シールド板。
3. 【請求項３】 請求項１のアモルファス磁気シールド板
   を多数並べて磁気シールド面を施工する磁気シールド工
   法であって、アモルファス磁気シールド板を多数同一平
   面上に並べて第１磁気シールド面を形成し、次いで第１
   磁気シールド面に重ねて多数のアモルファス磁気シール
   ド板を並べて第２磁気シールド面を形成する際に、第１
   シールド面と第２シールド面のそれぞれのアモルファス
   磁気シールド板間の継ぎ目が一致しないように第２シー
   ルド面のシールド板を並べることを特徴とする磁気シー
   ルド工法。