JPH07273484A - 磁気シールド装置 - Google Patents
磁気シールド装置Info
- Publication number
- JPH07273484A JPH07273484A JP6252594A JP6252594A JPH07273484A JP H07273484 A JPH07273484 A JP H07273484A JP 6252594 A JP6252594 A JP 6252594A JP 6252594 A JP6252594 A JP 6252594A JP H07273484 A JPH07273484 A JP H07273484A
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- Japan
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- joint
- shielding
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気シールドルームやボックス等の比較的大
面積のシールド装置の電磁気シールド性を改善し、高性
能化する事と、シールド施工が簡単で、軽量化が図れ、
効果的にシールド性能を高めたシールド装置を提供する
ものである。 【構成】 強磁性材料にて構成される磁気シールド装置
において、磁気シールド材料の継ぎ目部分に2方向性電
磁鋼板もしくは2方向性電磁鋼帯を目地材として配設さ
れた磁気シールド装置。
面積のシールド装置の電磁気シールド性を改善し、高性
能化する事と、シールド施工が簡単で、軽量化が図れ、
効果的にシールド性能を高めたシールド装置を提供する
ものである。 【構成】 強磁性材料にて構成される磁気シールド装置
において、磁気シールド材料の継ぎ目部分に2方向性電
磁鋼板もしくは2方向性電磁鋼帯を目地材として配設さ
れた磁気シールド装置。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電気機器、電子機器等に
関連して用いられる磁気を遮蔽するシールドルームやシ
ールド容器等の装置に関する。
関連して用いられる磁気を遮蔽するシールドルームやシ
ールド容器等の装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電気、電子機器の高性能化と急激な利用
拡大に伴って、これらの機器使用磁界範囲は広くなる一
方、操作室や試験室または人体等を磁界から保護した
り、電子機器相互の磁気による障害を防ぐ為、機器から
でる磁界を遮蔽する能動遮蔽や、機器に侵入してくる磁
界を遮蔽する受動遮蔽が行われ、磁気遮蔽材が使用され
ている。
拡大に伴って、これらの機器使用磁界範囲は広くなる一
方、操作室や試験室または人体等を磁界から保護した
り、電子機器相互の磁気による障害を防ぐ為、機器から
でる磁界を遮蔽する能動遮蔽や、機器に侵入してくる磁
界を遮蔽する受動遮蔽が行われ、磁気遮蔽材が使用され
ている。
【0003】例えば核磁気共鳴(NMR)を用いたイメ
ージング装置においては、超電導磁石等による高磁界を
必要とするので、測定領域外への漏れ磁束が大きくな
る。そこで環境への漏れ磁界を少なくするため、磁気シ
ールドが行われる。また、電子線描画装置では、地磁気
による影響を遮蔽するため、設置装置やルームの磁気シ
ールドが行われる。
ージング装置においては、超電導磁石等による高磁界を
必要とするので、測定領域外への漏れ磁束が大きくな
る。そこで環境への漏れ磁界を少なくするため、磁気シ
ールドが行われる。また、電子線描画装置では、地磁気
による影響を遮蔽するため、設置装置やルームの磁気シ
ールドが行われる。
【0004】この様な磁気妨害を回避する為には、シー
ルド材として鉄をはじめとする強磁性材料(軟質磁性材
料)が用いられている。例えば、核磁気共鳴(NMR)
装置に超電導磁石を利用した場合の様に大磁界を発生す
る際は厚板鉄板等で磁気シールドを行う。また、部屋を
シールドする場合は、小型、軽量化の要請を受けて、最
近では電磁鋼板やパーマロイ、アモルファス等の磁性薄
帯も使用されるようになって来ている。
ルド材として鉄をはじめとする強磁性材料(軟質磁性材
料)が用いられている。例えば、核磁気共鳴(NMR)
装置に超電導磁石を利用した場合の様に大磁界を発生す
る際は厚板鉄板等で磁気シールドを行う。また、部屋を
シールドする場合は、小型、軽量化の要請を受けて、最
近では電磁鋼板やパーマロイ、アモルファス等の磁性薄
帯も使用されるようになって来ている。
【0005】磁気シールドには、一般に透磁率の高い材
料が使用される。しかし、実際にはシールドされるべき
磁場の強さによって透磁率が変わる為、適切な材料の選
択が必要とされる。また、磁気シールドはシールドすべ
き磁界の磁束を集めてシールドを行うものであるため、
その磁界が大きくなると、材料の断面積を大きくした
り、磁束密度の高い材料を使用する事が必要になる。し
かし、この様に材料を選択しても、材料特性から期待さ
れるシールド性能はなかなか得られない事が多い。特
に、数ガウス以下の低磁場でのシールドを行う場合、効
果的なシールドが得られない場合がある。
料が使用される。しかし、実際にはシールドされるべき
磁場の強さによって透磁率が変わる為、適切な材料の選
択が必要とされる。また、磁気シールドはシールドすべ
き磁界の磁束を集めてシールドを行うものであるため、
その磁界が大きくなると、材料の断面積を大きくした
り、磁束密度の高い材料を使用する事が必要になる。し
かし、この様に材料を選択しても、材料特性から期待さ
れるシールド性能はなかなか得られない事が多い。特
に、数ガウス以下の低磁場でのシールドを行う場合、効
果的なシールドが得られない場合がある。
【0006】シールドルームの様に比較的大面積をシー
ルドするには、一般にシールド材はパネル化して使用さ
れる。しかし、パネルでシールドを行う場合、パネルの
接続部から磁気漏れを生じ、シールド性を低下させる。
そのため、通常は、磁性材料パネル間の継目にさらに当
て板を当て目地処理を行い継ぎ目からの磁気漏れ対策を
行う方法がとられる。
ルドするには、一般にシールド材はパネル化して使用さ
れる。しかし、パネルでシールドを行う場合、パネルの
接続部から磁気漏れを生じ、シールド性を低下させる。
そのため、通常は、磁性材料パネル間の継目にさらに当
て板を当て目地処理を行い継ぎ目からの磁気漏れ対策を
行う方法がとられる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シール
ドパネルの継ぎ目はいわゆる磁気回路におけるギャップ
を形成し、板端面からの漏れ磁界強さはシールド磁界の
大きさをはるかに超える大きさとなる場合が多い。ま
た、漏れ磁界の方向も、シールド板の磁気方向特性と継
ぎ目の位置によって複雑に変化する。従来、強磁性材料
で磁気シールド板やパネルを用いシールドルームを施工
する際には、板継ぎ目の目地板はシールド材料と同じ磁
性材料が用いられる場合が多い。この場合、シールド板
と同等のシールド性を得るには目地板枚数を増やしたり
する必要があり、シールド施工上技術的、納期的に問題
になる。また、目地板枚数を増やしても目地板端からの
漏れ磁界がかえって増加する場合もある。さらに、目地
板に磁気方向特性があれば、継ぎ目の方向によって漏れ
磁界の方向が異なってくる場合も多く、目地板枚数を増
やすことでは漏れ磁界方向を変えるだけで漏れ磁界の低
減にならない、本発明の目的は、磁気シールドルームや
ボックス等の比較的大面積のシールド装置の電磁気シー
ルド性を改善し、高性能化する事を目的とする。更に、
シールド施工が簡単で、軽量化する方法と効果的にシー
ルド性能を高めたシールド装置を提供するものである。
ドパネルの継ぎ目はいわゆる磁気回路におけるギャップ
を形成し、板端面からの漏れ磁界強さはシールド磁界の
大きさをはるかに超える大きさとなる場合が多い。ま
た、漏れ磁界の方向も、シールド板の磁気方向特性と継
ぎ目の位置によって複雑に変化する。従来、強磁性材料
で磁気シールド板やパネルを用いシールドルームを施工
する際には、板継ぎ目の目地板はシールド材料と同じ磁
性材料が用いられる場合が多い。この場合、シールド板
と同等のシールド性を得るには目地板枚数を増やしたり
する必要があり、シールド施工上技術的、納期的に問題
になる。また、目地板枚数を増やしても目地板端からの
漏れ磁界がかえって増加する場合もある。さらに、目地
板に磁気方向特性があれば、継ぎ目の方向によって漏れ
磁界の方向が異なってくる場合も多く、目地板枚数を増
やすことでは漏れ磁界方向を変えるだけで漏れ磁界の低
減にならない、本発明の目的は、磁気シールドルームや
ボックス等の比較的大面積のシールド装置の電磁気シー
ルド性を改善し、高性能化する事を目的とする。更に、
シールド施工が簡単で、軽量化する方法と効果的にシー
ルド性能を高めたシールド装置を提供するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、強磁性材料を
用いてシールド体とするに際して、シールド材料の継ぎ
目接続部の目地処理材として2方向性電磁鋼板を使用す
ることを特徴とする。シールドパネルの継ぎ目目地板と
して使用する2方向性電磁鋼板は、コイル状、テープ状
の鋼帯、または長尺板とする。シールドパネルへの接合
は、従来の釘等による穴あけ部接合や接着による。ま
た、シールド性に応じて複数枚使用しても良い。
用いてシールド体とするに際して、シールド材料の継ぎ
目接続部の目地処理材として2方向性電磁鋼板を使用す
ることを特徴とする。シールドパネルの継ぎ目目地板と
して使用する2方向性電磁鋼板は、コイル状、テープ状
の鋼帯、または長尺板とする。シールドパネルへの接合
は、従来の釘等による穴あけ部接合や接着による。ま
た、シールド性に応じて複数枚使用しても良い。
【0009】
【作用】2方向性電磁鋼板は圧延方向と幅方向に磁化容
易軸<100>を持ち、板面2方向に磁気特性が優れた
鋼板である。図1に2方向性電磁鋼板の磁化特性を、一
方向性電磁鋼板と無方向性電磁鋼板と比較して示す。図
1で曲線は2方向性電磁鋼板の圧延方向(RD)及び
直角方向(TD)の磁化特性を示し、曲線、は一方
向性電磁鋼板のRD、TD特性をそれぞれ示す。曲線
は、無方向性電磁鋼板の磁化特性を示す。図1より一方
向性電磁鋼板は圧延方向の磁化特性(曲線)は良好で
あるが、圧延直角方向の磁化特性(曲線)は悪い。無
方向性電磁鋼板は圧延方向及び直角方向の磁化特性差は
小さくなるが磁化特性が劣る。
易軸<100>を持ち、板面2方向に磁気特性が優れた
鋼板である。図1に2方向性電磁鋼板の磁化特性を、一
方向性電磁鋼板と無方向性電磁鋼板と比較して示す。図
1で曲線は2方向性電磁鋼板の圧延方向(RD)及び
直角方向(TD)の磁化特性を示し、曲線、は一方
向性電磁鋼板のRD、TD特性をそれぞれ示す。曲線
は、無方向性電磁鋼板の磁化特性を示す。図1より一方
向性電磁鋼板は圧延方向の磁化特性(曲線)は良好で
あるが、圧延直角方向の磁化特性(曲線)は悪い。無
方向性電磁鋼板は圧延方向及び直角方向の磁化特性差は
小さくなるが磁化特性が劣る。
【0010】磁気シールドの様に、シールド板またはパ
ネルでの平面でシールドすべき磁界を遮蔽する場合、シ
ールドパネル継ぎ目からの漏れ磁界の方向を限定するの
が難しいが、シールドパネル端では図2にしめす様に、
パネル端に平行な磁界と垂直な磁界にわかれた磁界分布
となる。図2において、1はシールドパネル、2の点線
で示されているのは目地板で、3、4はシールドパネル
1からの漏れ磁界の方向を示す。ただし、この2つの方
向のいずれが大きいかは、シールド磁界方向、シールド
パネルの形状や磁気方向特性の要因によって変化し、事
前に推測するのが難しい。一方向性電磁鋼板の様に圧延
方向のみに磁化特性が良い材料をシールド目地板とすれ
ば、圧延方向に平行な磁界はシールドできるが、垂直方
向には殆どシールド効果は期待できない。また、無方向
性電磁鋼板を使用すれば、磁化特性から高いシールド性
能は期待できず、板厚または積み枚数を増やす必要があ
る。また、これらの材料を目地板に使用すれば、目地板
の十字継ぎ目からの漏れ磁界も効果的にシールドする事
は難しい。
ネルでの平面でシールドすべき磁界を遮蔽する場合、シ
ールドパネル継ぎ目からの漏れ磁界の方向を限定するの
が難しいが、シールドパネル端では図2にしめす様に、
パネル端に平行な磁界と垂直な磁界にわかれた磁界分布
となる。図2において、1はシールドパネル、2の点線
で示されているのは目地板で、3、4はシールドパネル
1からの漏れ磁界の方向を示す。ただし、この2つの方
向のいずれが大きいかは、シールド磁界方向、シールド
パネルの形状や磁気方向特性の要因によって変化し、事
前に推測するのが難しい。一方向性電磁鋼板の様に圧延
方向のみに磁化特性が良い材料をシールド目地板とすれ
ば、圧延方向に平行な磁界はシールドできるが、垂直方
向には殆どシールド効果は期待できない。また、無方向
性電磁鋼板を使用すれば、磁化特性から高いシールド性
能は期待できず、板厚または積み枚数を増やす必要があ
る。また、これらの材料を目地板に使用すれば、目地板
の十字継ぎ目からの漏れ磁界も効果的にシールドする事
は難しい。
【0011】2方向性電磁鋼板をシールド板またはパネ
ルの継ぎ目の目地板として使用すれば、継ぎ目部の漏れ
磁界の方向、大きさを考慮することなく、図2に示すシ
ールドパネル端と平行、垂直の2方向の漏れ磁界を効果
的にシールドする事が可能となる。また、目地板どうし
の継ぎ目部も磁界が2方向になり効果的にシールドでき
る。目地板として用いる2方向性電磁鋼板は鋼帯として
用いれば施工上も、継ぎ目数が減少するため、シールド
性能上も更に効果的になる。2方向性電磁鋼板の特徴は
板厚方向にも磁化容易軸<100>を持っており、板厚
方向の磁界漏れに対しても効果的にシールドできる利点
も併せ持つ。
ルの継ぎ目の目地板として使用すれば、継ぎ目部の漏れ
磁界の方向、大きさを考慮することなく、図2に示すシ
ールドパネル端と平行、垂直の2方向の漏れ磁界を効果
的にシールドする事が可能となる。また、目地板どうし
の継ぎ目部も磁界が2方向になり効果的にシールドでき
る。目地板として用いる2方向性電磁鋼板は鋼帯として
用いれば施工上も、継ぎ目数が減少するため、シールド
性能上も更に効果的になる。2方向性電磁鋼板の特徴は
板厚方向にも磁化容易軸<100>を持っており、板厚
方向の磁界漏れに対しても効果的にシールドできる利点
も併せ持つ。
【0012】本発明者等は、すでに特開平2−2606
99号公報において2方向性電磁鋼板をシールド材とし
て使用する技術を提案している。しかし、2方向性電磁
鋼板をシールド材としたシールド装置においても、継ぎ
目部のシールド材端部からのシールド漏れを効果的にシ
ールドできなければ、高性能なシールド装置とすること
ができず、また2方向性電磁鋼板をシールドパネルとし
ない場合でも、継ぎ目部を効果的にシールドできれば高
性能のシールド装置とする事が出来るのを見いだした。
また、2方向性電磁鋼板はコスト的に高く付くため、シ
ールドパネルとするには高価になるが、シールド装置で
性能を左右する継ぎ目部の磁界漏れを効果的にシールド
する目地板として使用すれば、施工性が良く安価で効果
的なシールド装置を実現できる。
99号公報において2方向性電磁鋼板をシールド材とし
て使用する技術を提案している。しかし、2方向性電磁
鋼板をシールド材としたシールド装置においても、継ぎ
目部のシールド材端部からのシールド漏れを効果的にシ
ールドできなければ、高性能なシールド装置とすること
ができず、また2方向性電磁鋼板をシールドパネルとし
ない場合でも、継ぎ目部を効果的にシールドできれば高
性能のシールド装置とする事が出来るのを見いだした。
また、2方向性電磁鋼板はコスト的に高く付くため、シ
ールドパネルとするには高価になるが、シールド装置で
性能を左右する継ぎ目部の磁界漏れを効果的にシールド
する目地板として使用すれば、施工性が良く安価で効果
的なシールド装置を実現できる。
【0013】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて、具体的に
説明する。 (実施例1)0.35mm板厚、900mm×900mmの一
方向性電磁鋼板2枚で、1.8mm×1.8mm×1.8mm
のシールドルームを組立てた。このシールドパネルの継
ぎ目を図3の様に、150mm幅、0.35mm厚の2方向
性電磁鋼板の目地板でシールド処理を行った。目地板は
予め加工された穴にステンレス釘を用いて固定した。図
3において、1はシールドパネル、5がパネル継ぎ目、
2の点線でしめされているのが目地板である。なお、比
較の為、150mm幅、0.35mmの一方向性電磁鋼板と
0.5mm厚の無方向性電磁鋼板の目地板で同様の処理を
行い、シールド性を地磁気環境で測定した。シールド測
定は次式のシールド性Sで表した。 S=He/Hi 但し He:シールド磁界=0.4G Hi:シールド後の磁界
説明する。 (実施例1)0.35mm板厚、900mm×900mmの一
方向性電磁鋼板2枚で、1.8mm×1.8mm×1.8mm
のシールドルームを組立てた。このシールドパネルの継
ぎ目を図3の様に、150mm幅、0.35mm厚の2方向
性電磁鋼板の目地板でシールド処理を行った。目地板は
予め加工された穴にステンレス釘を用いて固定した。図
3において、1はシールドパネル、5がパネル継ぎ目、
2の点線でしめされているのが目地板である。なお、比
較の為、150mm幅、0.35mmの一方向性電磁鋼板と
0.5mm厚の無方向性電磁鋼板の目地板で同様の処理を
行い、シールド性を地磁気環境で測定した。シールド測
定は次式のシールド性Sで表した。 S=He/Hi 但し He:シールド磁界=0.4G Hi:シールド後の磁界
【0014】Sはシールドルーム中央での値を示し、2
方向性電磁鋼板の目地板ではS1 、一方向性電磁鋼板目
地板及び無方向性電磁鋼板の場合をそれぞれS2 、S3
とした。シールド性測定結果は、S1 =7.8、S2 =
5.7、S3 =5.4であった。以上の結果から明らか
なように、本発明による方法で、シールド性能が向上し
ている事が判る。
方向性電磁鋼板の目地板ではS1 、一方向性電磁鋼板目
地板及び無方向性電磁鋼板の場合をそれぞれS2 、S3
とした。シールド性測定結果は、S1 =7.8、S2 =
5.7、S3 =5.4であった。以上の結果から明らか
なように、本発明による方法で、シールド性能が向上し
ている事が判る。
【0015】(実施例2)0.35mm板厚の方向性電磁
鋼板2枚と0.5mmの無方向性電磁鋼板の複合シールド
パネルで2.7m×3.6mの壁面をシールドシールド
した。シールドパネルの大きさは0.9m×0.9mと
した。シールドパネル継ぎ目の目地処理を、150mm
幅、0.35mm厚の2方向性電磁鋼板で接着剤を用いて
行い、シールド壁面近傍の磁界漏れを測定した。比較の
ため、0.35mm厚の方向性電磁鋼板の目地板を用い同
様のシールド処理を行った。図4にシールドパネルの継
ぎ目部5の漏れ磁界強さ(mG)、図5に2方向性電磁鋼
板を目地板2とした漏れ磁界強さ、図6(a)に比較方
向性電磁鋼板1枚を、図6(b)に5枚を目地板2とし
て用いた漏れ磁界強さをしめす。
鋼板2枚と0.5mmの無方向性電磁鋼板の複合シールド
パネルで2.7m×3.6mの壁面をシールドシールド
した。シールドパネルの大きさは0.9m×0.9mと
した。シールドパネル継ぎ目の目地処理を、150mm
幅、0.35mm厚の2方向性電磁鋼板で接着剤を用いて
行い、シールド壁面近傍の磁界漏れを測定した。比較の
ため、0.35mm厚の方向性電磁鋼板の目地板を用い同
様のシールド処理を行った。図4にシールドパネルの継
ぎ目部5の漏れ磁界強さ(mG)、図5に2方向性電磁鋼
板を目地板2とした漏れ磁界強さ、図6(a)に比較方
向性電磁鋼板1枚を、図6(b)に5枚を目地板2とし
て用いた漏れ磁界強さをしめす。
【0016】図4〜6より、シールド壁面近傍のシール
ド性は2方向性電磁鋼板目地処理で格段に向上し、低コ
ストで軽量化で高性能のシールド施工が出来、シールド
壁面での精密電子機器の使用が可能となった。
ド性は2方向性電磁鋼板目地処理で格段に向上し、低コ
ストで軽量化で高性能のシールド施工が出来、シールド
壁面での精密電子機器の使用が可能となった。
【0017】
【発明の効果】以上のべた様に、本発明によれば、シー
ルド材の継ぎ目からの漏れ磁界を効果的にシールドする
ことが出来、軽量でシールド性の優れたシールド装置を
提供できる。
ルド材の継ぎ目からの漏れ磁界を効果的にシールドする
ことが出来、軽量でシールド性の優れたシールド装置を
提供できる。
【図1】本発明に係わる2方向性電磁鋼板の磁化特性を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図2】シールドパネル継ぎ目部の漏れ磁界の方向を示
す図である。
す図である。
【図3】シールドルームの目地処理の方法を示す図であ
る。
る。
【図4】シールド壁面のシールドパネル継ぎ目部の目地
処理をしない場合の磁界漏れを示す図である。
処理をしない場合の磁界漏れを示す図である。
【図5】本発明に関わる図で、2方向性電磁鋼板1枚で
目地処理を行った場合の磁界漏れを示す図である。
目地処理を行った場合の磁界漏れを示す図である。
【図6】(a)は比較のため、一方向性電磁鋼板1枚
で、(b)は一方向性電磁鋼板を5枚で、それぞれ目地
処理を行った場合の漏れ磁界を示す図である。
で、(b)は一方向性電磁鋼板を5枚で、それぞれ目地
処理を行った場合の漏れ磁界を示す図である。
1 シールドパネル 2 目地板 3,4 パネルからの漏れ磁界の方向 5 パネル継ぎ目
Claims (1)
- 【請求項1】 強磁性材料にて構成される磁気シールド
装置において、磁気シールド材料の継ぎ目部分に2方向
性電磁鋼板もしくは2方向性電磁鋼帯を目地材として配
設されたことを特徴とする磁気シールド装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6252594A JPH07273484A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気シールド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6252594A JPH07273484A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気シールド装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07273484A true JPH07273484A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13202697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6252594A Withdrawn JPH07273484A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気シールド装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07273484A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006269662A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Nippon Steel Corp | 磁気シールド壁および磁気シールドルーム |
JP2010153657A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Tokyu Construction Co Ltd | 磁気シールド構造及び磁気シールド継手 |
JP2010192843A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Nippon Steel Engineering Co Ltd | 磁気シールド装置 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6252594A patent/JPH07273484A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006269662A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Nippon Steel Corp | 磁気シールド壁および磁気シールドルーム |
JP2010153657A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Tokyu Construction Co Ltd | 磁気シールド構造及び磁気シールド継手 |
JP2010192843A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Nippon Steel Engineering Co Ltd | 磁気シールド装置 |
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