JP2831315B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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Description
エハの製造プロセス等で用いられる超音波洗浄装置に関
するものである。
面に半導体膜や絶縁膜等を形成して構成されているが、
このような半導体ウエハを製造する場合にシリコン基板
の表面に塵等の微粒子が付着していると、半導体膜や絶
縁膜の特性が低下し、所望の半導体特性や絶縁特性を得
ることが困難になる。したがって、シリコン基板の表面
に半導体膜や絶縁膜等を形成する場合には、その前工程
でシリコン基板を洗浄して微粒子を除去しておく必要が
ある。
板(例えば液晶基板等)に付着した微粒子を除去する手
段として、超音波を利用した洗浄装置が従来から知られ
ている。この種の超音波洗浄装置は、図6に示すように
被洗浄物1を洗浄液2に浸漬するための洗浄槽3を備え
ており、この洗浄槽3の下面には圧電素子4が設けられ
ている。
電材料からなる板状の圧電体5と、この圧電体5の両面
に相対向して設けられた一対の電極板6a,6bとから
なり、これらの電極板6a,6bに高周波電圧を印加す
ると、圧電体5が厚さ方向に歪んで振動し、このとき圧
電体5から発振された超音波が電極板6aおよび洗浄槽
3を介して洗浄液2に付与されるようになっている。
は、被洗浄物1の表面等に付着した塵等の微粒子を洗浄
液2に付与された超音波により除去することができる
が、被洗浄物1の表面を均一に洗浄するためには、圧電
素子4を被洗浄物1よりも大きくし、圧電素子4から発
振された超音波を被洗浄物1の表面全体に当てる必要が
ある。
きくすると、製造コストが上昇するという問題があり、
また圧電素子4を被洗浄物1よりも大きくしても洗浄槽
3の角部3aには溶接部があるため、洗浄槽3の大きさ
によっては圧電素子4から発振された超音波を被洗浄物
1の表面全体に当てることができない場合がある。
に、洗浄槽3の底面部3bに断面が凸レンズ形状の超音
波拡散部材7(図7参照)を設け、この超音波拡散部材
7で圧電素子4から発振された超音波を屈折させて被洗
浄物1の表面全体に超音波を当てるようにした超音波洗
浄装置が考案されている。
ような超音波洗浄装置では、圧電素子4から発振された
超音波が超音波拡散部材7の内部で減衰してしまうた
め、超音波拡散部材7から放出される超音波の強度が弱
くなり、洗浄効率が低下するという問題があった。
されたもので、洗浄効率を低下させることなく被洗浄物
の表面を均一に洗浄することのできる超音波洗浄装置を
提供することを目的とするものである。
に、請求項1の発明は、被洗浄物を洗浄液に浸漬するた
めの洗浄槽と、この洗浄槽に貯えられた前記洗浄液に超
音波を付与する圧電素子とを具備してなる超音波洗浄装
置において、前記圧電素子は、圧電材料からなる板状の
振動体と、この振動体の両面に相対向して設けられ前記
被洗浄物に対して凸状に湾曲した一対の電極板とを具備
して構成されることを特徴とするものである。
漬するための洗浄槽と、この洗浄槽に貯えられた前記洗
浄液に超音波を付与する圧電素子とを具備してなる超音
波洗浄装置において、前記圧電素子は、圧電材料からな
る板状の振動体と、この振動体の両面に相対向して設け
られ前記被洗浄物に対して凸状に折曲した一対の電極板
とを具備して構成されることを特徴とするものである。
て、前記圧電素子は、前記洗浄槽内に設けられた円筒体
の内部に設けられていることを特徴とするものである。
請求項4の発明は、請求項1または請求項2の発明にお
いて、前記圧電素子は、前記洗浄槽の外表面に取付けら
れていることを特徴とするものである。
を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施形態に
係る超音波洗浄装置の縦断面図で、図中11は洗浄槽を
示している。この洗浄槽11はシリコン基板等の被洗浄
物12を洗浄液13に浸漬するためのもので、その内部
には両端部を洗浄液13の液面から突出させたU字状の
円筒体14が設けられている。
成されており、その一端には給電線15を介して高周波
電源16が接続されている。また、この円筒体14は複
数のブラケット17を介して洗浄槽11の内壁面に固定
されており、その内部には圧電素子18が設けられてい
る。
タン酸バリウム等の圧電材料からなる板状の圧電体19
と、この圧電体19の両面に相対向して設けられた電極
板20a,20bとからなり、これらの電極板20a,
20bおよび圧電体19は被洗浄物12に対して凸状に
湾曲している。
ば電極板20a)は導電性の接着剤により円筒体14の
内面に固定されており、他方の電極板(例えば電極板2
0b)には前述した高周波電源16が給電線21(図1
参照)を介して接続されている。
は、圧電素子18の電極板20a,20bに高周波電圧
を印加して圧電体19から超音波が発振させると、圧電
体19から発振された超音波は電極板20aを介して円
筒体14に伝わり、この円筒体14から洗浄槽11内に
放出される。このとき、円筒体14から洗浄槽11内に
放出される超音波は、圧電素子18の電極板20a,2
0bが被洗浄物12に対して凸状に湾曲しているので、
図3に一点鎖線で示すように末広がりの扇状となって洗
浄槽11内に放出される。
音波洗浄装置では、圧電素子18から発振される超音波
を被洗浄物12の表面全体に当てることができ、これに
より圧電素子18から発振される超音波を断面が凸レン
ズ形状の超音波拡散部材で屈折させる必要がないので、
洗浄効率を低下させることなく被洗浄物12の表面を均
一に洗浄することができる。
18が洗浄槽11内に設けられた円筒体14の内部に設
けられているので、超音波を洗浄槽11の内側から発振
させることができる。
されるものではない。たとえば上述した一実施形態では
圧電素子18を洗浄槽11の内部に配置したが、図4に
示すように圧電素子18を洗浄槽11の下面に取付けて
も良い。ただし、この場合には圧電素子18が取付けら
れた洗浄槽11の下面と底面を被洗浄物12に対して凸
状に湾曲させる必要がある。
電素子18を洗浄槽11の外表面に取付けることによ
り、洗浄槽11の内部に円筒体14を配置する必要がな
いので、洗浄槽11の小型化を図ることができる。
子18の電極板20a,20bを被洗浄物12に対して
凸状に湾曲させたが、図5に示す第2の実施形態のよう
に圧電素子18の電極板20a,20bを被洗浄物12
に対して凸状に折曲させても同様の効果を得ることがで
きる。
求項2の発明によれば、洗浄効率を低下させることなく
被洗浄物の表面全体を均一に洗浄することのできる超音
波洗浄装置を提供できる。
による効果に加えて、超音波を洗浄槽の内側から発振さ
せることができる。請求項4の発明によれば、請求項1
または請求項2の発明による効果に加えて洗浄槽の小型
化を図ることができる。
の縦断面図。
の作用を説明するための図。
の縦断面図。
面図。
図。
Claims (4)
- 【請求項1】 被洗浄物を洗浄液に浸漬するための洗浄
槽と、この洗浄槽に貯えられた前記洗浄液に超音波を付
与する圧電素子とを具備してなる超音波洗浄装置におい
て、 前記圧電素子は、圧電材料からなる板状の振動体と、こ
の振動体の両面に相対向して設けられ前記被洗浄物に対
して凸状に湾曲した一対の電極板とを具備して構成され
ることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項2】 被洗浄物を洗浄液に浸漬するための洗浄
槽と、この洗浄槽に貯えられた前記洗浄液に超音波を付
与する圧電素子とを具備してなる超音波洗浄装置におい
て、 前記圧電素子は、圧電材料からなる板状の振動体と、こ
の振動体の両面に相対向して設けられ前記被洗浄物に対
して凸状に折曲した一対の電極板とを具備して構成され
ることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 【請求項3】 前記圧電素子は、前記洗浄槽内に設けら
れた円筒体の内部に設けられていることを特徴とする請
求項1の超音波洗浄装置。 - 【請求項4】 前記圧電素子は、前記洗浄槽の外表面に
取付けられていることを特徴とする請求項1または請求
項2記載の超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP580796A JP2831315B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP580796A JP2831315B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09199463A JPH09199463A (ja) | 1997-07-31 |
JP2831315B2 true JP2831315B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=11621363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP580796A Expired - Fee Related JP2831315B2 (ja) | 1996-01-17 | 1996-01-17 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2831315B2 (ja) |
-
1996
- 1996-01-17 JP JP580796A patent/JP2831315B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09199463A (ja) | 1997-07-31 |
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