JP2821396B2 - 超音波洗浄装置 - Google Patents
超音波洗浄装置Info
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Description
た微粒子を超音波振動が付与された洗浄液によって洗浄
する超音波洗浄装置に関する。
造工程においては、被洗浄物としての液晶用ガラス基板
や半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求され
る工程がある。このような被洗浄物を洗浄する方式とし
ては、洗浄液中に複数枚の被洗浄物を浸漬するデイップ
方式や被洗浄物に向けて洗浄液を噴射して一枚ずつ洗浄
する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られると
ともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されることが
多くなってきている。
る洗浄液に振動を付与し、その振動作用によって上記被
洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした洗浄方
式が実用化されている。
て、従来は20〜50kHz程度の超音波が用いられていた
が、最近では600 〜1.5 MHz程度の極超音波帯域の音
波を用いる超音波洗浄が開発されている。
すると、その振動の作用によって被洗浄物に付着した微
粒子の結合力が低下するため、振動を付与しない場合に
比べて洗浄効果を高めることができるということがあ
る。
洗浄装置が用いられている。この超音波洗浄装置は洗浄
液が供給される本体を有する。この本体の内部には振動
子が取着された弾性金属板からなる振動板が設けられて
いる。
れ、この給電体を介して上記振動子に給電すると、この
振動子が超音波振動する。振動子が振動すれば、この振
動子が取付けられた振動板も振動するから、上記本体内
に供給された洗浄液は上記振動板に接触することで超音
波振動が付与されることになる。
に形成されたノズル口から噴出される。したがって、ノ
ズル口から噴出する洗浄液を被洗浄物に衝突させること
で、上記被洗浄物を超音波洗浄することができるように
なっている。
動する。そのため、この振動子への給電は上記給電体を
上記振動子にはんだ付けして接続したのでは、振動が繰
り返されることによってはんだ付けが剥離してしまうと
いうことがある。
方向に沿って所定間隔で取着された複数の振動子2に、
押え板3に一端が連結された帯状の板ばねからなる給電
体4の他端をそれぞれ弾性的に接触させ、電源5からの
電力を上記押え板3および給電体4を介して上記振動子
2に給電する、つまり1つの振動子2に1つの給電体4
を接触させて給電するということが考えられている。
せると、振動子2が振動することで、これに接触した給
電体4も振動することが避けられない。通常、上記振動
子2の振動は上記給電体4が弾性変形して吸収するが、
上記振動子2に発生する振動の定在波の腹の部分に上記
給電体4が位置すると、その位置では振幅が最大となる
ため、上記振動子2の振動に給電体4が追従できず、瞬
間的にこれら両者が離間してギャップが生じるというこ
とがある。すると、そのギャップにスパ−クが発生し、
そのスパ−クで振動子2や給電体4が削られ、振動子2
が損傷したり、上記両者が良好に接触しなくなるという
ことが生じる。
成されているため、上記給電板4と接触する面が精度の
高い平面にならず、凹凸状となり易い。そのため、1つ
の振動子2に1つの給電体4を接触させる構造による
と、これらは局部的に接触した状態、たとえば点接触状
態になり易いから、その部分に集中電流が流れてスパ−
クが発生するということもある。
動子に1つの給電体を接触させる構造によると、上記給
電体が振動子に立つ定在波の腹の部分に位置したとき、
瞬間的に接触状態が維持できずにギャップが生じ、その
ギャップにスパ−クが発生して振動子や給電体を損傷さ
せるということがある。さらに、振動子と給電体とは局
部的に接触した状態となり易いから、その接触部分に集
中電流が流れてスパ−クが発生するということもある。
で、その目的とするところは、振動子と給電体との間に
スパ−クが発生するのを防止できるようにした超音波洗
浄装置を提供することにある。
に請求項1の発明は、被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音
波振動を付与する超音波洗浄装置において、上記洗浄液
が供給される本体と、この本体に供給された洗浄液に超
音波振動を付与するための振動板と、この振動板の長手
方向に沿って取着され給電されることで上記振動板を振
動させる振動子と、弾性部材から形成され上記振動子に
弾性的に接触して給電する複数の接触部を有しこれら接
触部を上記振動子の長手方向に沿って接触させて設けら
れた給電体とを具備したことを特徴とする。
に接触する複数の接触部を有するから、複数の接触部の
うちのいくつかを振動子に立つ定在波の腹の部分からず
らし、接触状態を維持することができる。それによっ
て、定在波の腹の部分に位置する接触部が振動子から瞬
間的に離れても、離れた部分でスパ−クが発生しにく
い。しかも、複数の接触部が振動子に接触していること
で、それぞれの接触部と振動子との接触状態が局部的で
あっても、電流は複数の接触部に分散して流れるから、
1つの接触部に集中電流が流れてスパ−クが発生するの
を防止できる。
乃至図3を参照して説明する。図3に示すようにこの発
明の超音波洗浄装置は装置本体11を有する。この装置
本体11は上面が開放した凹部12が長手方向に沿って
形成された上部材13と、この上部材13の下面に第1
のシ−ル材14を介して液密に接合固定された下部材1
5とによって細長い角柱状に形成されている。
って嵌合孔16が穿設され、上記下部材15の上面の幅
方向中央部分には上記嵌合孔16に嵌合した突部17が
形成されている。
方向中央部分には、一端を上面に開口させ、他端を下面
に開口させた空間部18が長手方向に沿って形成されて
いる。この空間部18の断面形状は、一端(上端)から
他端(下端)にゆくにつれて幅寸法が小さくなるテ−パ
状をなしていて、その下端開口は狭幅なノズル口19と
なっている。
薄い金属板からなる振動板21によって液密に閉塞され
ている。つまり、この振動板21は、その下面周辺部が
所定の厚さを有する枠状の第2のシ−ル材22を介して
上記上部材13の凹部12の内底面に接合されている。
え板23が接合され、上記上部材13に固定されてい
る。それによって、上記空間部18の上端開口は気密に
閉塞されている。
つまり上記空間部18と対応する部位には圧電素子から
なる複数の振動子24が上記振動板21の長手方向に沿
って取着されている。
設けられている。この給電機構30は、上記押え板23
に保持部材26を介して取り付けられた帯状の保持板2
5を有する。この保持板25の下面には、断面形状がL
字状で、各振動子24に対応する長さの複数の取付部材
27が一辺を固着して設けられている。
る板ばねによって形成された給電体28の一端部が固着
されている。この給電体28には、図1に示すように下
端側に開放した溝部29aによって複数の接触部29b
が長手方向に沿って所定間隔で形成されている。各接触
部29bは下端部(他端部)がほぼJ字状になるよう曲
成されている。
上記振動子24の上面に弾性的に接触している。つま
り、振動子24の上面には、給電体28に形成された複
数の接触部29bが長手方向に対して所定間隔で接触し
ている。
けられている。このコイル31と上記振動板21との間
には電源32がスイッチ33を介して接続される。この
スイッチ33を閉成することで、上記振動子24に給電
することができるから、それによって上記振動子24を
超音波振動させ、その超音波振動に上記振動板21を連
動させることができるようになっている。
空間部18の幅方向両側に位置する一対の供給路34が
長手方向に貫通して形成されている。この供給路34の
両端には図示しない供給源が同じく図示しないチュ−ブ
を介して接続され、純水や薬液などの洗浄液を供給する
ようになっている。
路35が一端を連通させて設けられている。つまり、噴
出路35は上記装置本体11の上部材13と下部材15
との接合する部分に形成されていて、他端を上記上部材
13の凹部12の内底面の上記振動板21によって覆わ
れた部分、つまり上記空間部18の上端側に連通するよ
う開口させている。
て空間部18へ流入させるとともに、振動子24に所定
の電圧を印加して振動板21を超音波振動させれば、空
間部18に流入した洗浄液は上記振動板21に接触して
超音波振動が付与され、ノズル口19から噴出すること
になる。
いては、給電体28に複数の接触部29bを形成し、こ
れら接触部29bを振動子24に弾性的接触させること
で、上記給電体28から振動子24へ給電するようにし
ている。
24が振動板21とともに超音波振動する。振動子24
が振動すると、その振動に応じて給電体28の接触部2
9bが弾性変形して追従し、上記振動子24への給電状
態を維持する。
振動子24には定在波が立ち、その定在波の振幅が最大
となる腹の部分に接触した給電体28の接触部29bは
上記振動子24の変位に追従しきれず、振動子24と接
触部29bとが瞬間的に離れることがある。
接触部29bが形成されている。そのため、複数の接触
部29bのうちのいくつかが定在波の腹の部分に位置し
て給電体28から瞬間的に離れても、残りの接触部29
bが上記腹の部分からずれた位置にあれば、接触状態を
維持できるから、その接触部29bから振動子24へ確
実に給電される。したがって、定在波の腹の部分に位置
する接触部29bが振動子24から瞬間的に離れても、
その接触部29bにスパ−クが発生するのが防止され
る。
ば、その振動子24の形状などの条件によって上記振動
子24に立つ定在波の波形が定まる。したがって、その
ような場合には、上記給電体28をその接触部29bが
上記振動子24に立つ定在波の腹の部分からずれるよう
に取り付ければよい。
には給電体28に形成される接触部29bの間隔を不規
則にしておけば、複数の接触部29bのうちのいくつか
を定在波の腹の部分からずらし、良好な接触状態を維持
することができる。
形成したことで、上記振動子24に対して常に複数の接
触部29bが接触した状態が維持される。そのため、振
動子24の上面の平面度が悪く、各接触部29bと振動
子24との接触状態が局部的であっても、複数の接触部
29bから振動子24へ給電されることで、1つの接触
部29bに電流が集中してスパ−クが発生するというこ
とが避けられる。
発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能である。た
とえば、上記一実施例では給電体28を1枚の板ばねに
よって複数の接触部29bを有する形状に形成したが、
図4に示すように給電体128を帯板状の複数の給電部
材129aから構成し、各給電部材129aの下端部を
接触部129bに折曲形成するとともに、上端部を取付
部材127に所定間隔でそれぞれ取付固定することで、
各給電体128から振動子24へ給電するようにしても
よい。
給電するための給電体に複数の接触部を設け、各接触部
を上記振動子の長手方向に沿って弾性的に接触させるよ
うにした。
在波が立ち、その定在波の腹の部分に位置する接触部が
上記振動子から瞬間的に離れても、他の接触部は上記振
動子に対して接触状態が維持されて給電されるから、瞬
間的に離れた接触部にス−パクが発生するのを防止でき
る。
つの接触部と振動子との接触状態が局部的であっても、
複数の接触部が振動子に接触していることで、集中電流
が流れるのが防止されるから、そのことによっても接触
部にスパ−クが発生するのが防止される。
図。
図。
体、29b…接触部。
Claims (1)
- 【請求項1】 被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動
を付与する超音波洗浄装置において、 上記洗浄液が供給される本体と、 この本体に供給された洗浄液に超音波振動を付与するた
めの振動板と、 この振動板の長手方向に沿って取着され給電されること
で上記振動板を振動させる振動子と、 弾性部材から形成され上記振動子に弾性的に接触して給
電する複数の接触部を有しこれら接触部を上記振動子の
長手方向に沿って接触させて設けられた給電体とを具備
したことを特徴とする超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22307395A JP2821396B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 超音波洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22307395A JP2821396B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 超音波洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0969507A JPH0969507A (ja) | 1997-03-11 |
JP2821396B2 true JP2821396B2 (ja) | 1998-11-05 |
Family
ID=16792416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22307395A Expired - Fee Related JP2821396B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 超音波洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2821396B2 (ja) |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22307395A patent/JP2821396B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH0969507A (ja) | 1997-03-11 |
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