JP2772167B2 - 超音波洗浄用ノズル装置 - Google Patents
超音波洗浄用ノズル装置Info
- Publication number
- JP2772167B2 JP2772167B2 JP3188814A JP18881491A JP2772167B2 JP 2772167 B2 JP2772167 B2 JP 2772167B2 JP 3188814 A JP3188814 A JP 3188814A JP 18881491 A JP18881491 A JP 18881491A JP 2772167 B2 JP2772167 B2 JP 2772167B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- cleaning liquid
- vibrator
- cleaning
- vibrating body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高い清浄度が要求され
る被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄用ノズル装置に
関する。
る被洗浄物を洗浄するための超音波洗浄用ノズル装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、半導体装置の製造工程におい
ては、被洗浄物としての半導体ウエハを高い清浄度で洗
浄することが要求される工程がある。半導体ウエハを洗
浄する方式には、複数枚を洗浄液中に一度に浸漬して洗
浄するディップ方式やノズルから洗浄液を噴出させて１
枚づつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が
得られるとともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用さ
れることが多くなってきている。
ては、被洗浄物としての半導体ウエハを高い清浄度で洗
浄することが要求される工程がある。半導体ウエハを洗
浄する方式には、複数枚を洗浄液中に一度に浸漬して洗
浄するディップ方式やノズルから洗浄液を噴出させて１
枚づつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が
得られるとともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用さ
れることが多くなってきている。
【０００３】枚葉方式の従来技術としては、特開昭６３
−３０５５１７号公報に示されるものがある。この従来
技術は、細長状のノズル口を有するノズル本体に、上記
ノズル口と対向して振動子を設けるとともに、上記ノズ
ル本体の側壁の上記ノズル口と振動子との間に洗浄液導
入管を接続して構成されている。そして、洗浄液に上記
振動子によって振動を付与し、上記ノズル口から帯状に
流出させ、このノズル口の長手方向に対して直交する方
向に上記半導体ウエハを相対的に移動させることで、こ
の半導体ウエハを洗浄するようになっている。
−３０５５１７号公報に示されるものがある。この従来
技術は、細長状のノズル口を有するノズル本体に、上記
ノズル口と対向して振動子を設けるとともに、上記ノズ
ル本体の側壁の上記ノズル口と振動子との間に洗浄液導
入管を接続して構成されている。そして、洗浄液に上記
振動子によって振動を付与し、上記ノズル口から帯状に
流出させ、このノズル口の長手方向に対して直交する方
向に上記半導体ウエハを相対的に移動させることで、こ
の半導体ウエハを洗浄するようになっている。
【０００４】しかしながら、このような従来の構成によ
ると、ノズル口が細長状であるのに対して洗浄液導入管
がパイプ状である。そのため、ノズル口から流出する洗
浄液の流速は、このノズル口の長手方向において、上記
洗浄液導入管と対応する部分が最も速く、洗浄液導入管
から離れるにしたがい次第に遅くなる速度分布を示す。
つまり、ノズル口から流出する洗浄液の速度は均一とな
らない。また、流量が不均一となり、干渉で液流が乱れ
るということもある。そのため、半導体ウエハに対する
洗浄効果も洗浄液の流速に影響を受けるから、均一に洗
浄できないということがある。
ると、ノズル口が細長状であるのに対して洗浄液導入管
がパイプ状である。そのため、ノズル口から流出する洗
浄液の流速は、このノズル口の長手方向において、上記
洗浄液導入管と対応する部分が最も速く、洗浄液導入管
から離れるにしたがい次第に遅くなる速度分布を示す。
つまり、ノズル口から流出する洗浄液の速度は均一とな
らない。また、流量が不均一となり、干渉で液流が乱れ
るということもある。そのため、半導体ウエハに対する
洗浄効果も洗浄液の流速に影響を受けるから、均一に洗
浄できないということがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は細
長状のノズル口の長手方向において洗浄液の流出速度を
均一にできなかったので、被洗浄物に対する洗浄効果も
不均一になるということがあった。
長状のノズル口の長手方向において洗浄液の流出速度を
均一にできなかったので、被洗浄物に対する洗浄効果も
不均一になるということがあった。
【０００６】この発明は、細長いスリット状のノズル口
の長手方向全長からほぼ均一な速度で洗浄液を流出させ
ることができるようにした超音波洗浄用ノズル装置を提
供することを主要な目的とする。
の長手方向全長からほぼ均一な速度で洗浄液を流出させ
ることができるようにした超音波洗浄用ノズル装置を提
供することを主要な目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明の第１の手段は、ノズル口がスリット状に形
成されたノズル本体と、このノズル本体に上記ノズル口
と対向して設けられた超音波振動する振動体と、この振
動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズル口に洗浄
液を供給されるスリット状の洗浄液流通部とを具備した
ことを特徴とする。この発明の第２の手段は、上記洗浄
液流通部の一端部は上記振動体に向かって傾斜している
ことを特徴とする。
にこの発明の第１の手段は、ノズル口がスリット状に形
成されたノズル本体と、このノズル本体に上記ノズル口
と対向して設けられた超音波振動する振動体と、この振
動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズル口に洗浄
液を供給されるスリット状の洗浄液流通部とを具備した
ことを特徴とする。この発明の第２の手段は、上記洗浄
液流通部の一端部は上記振動体に向かって傾斜している
ことを特徴とする。
【０００８】この発明の第３の手段は、上記ノズル口と
上記洗浄液流通部の一端との間には第１の貯液部が形成
され、上記ノズル口の長さ寸法は上記第１の貯液部の長
さ寸法よりもわずかに短く形成されていることを特徴と
する。この発明の第４の手段は、上記ノズル口は、断面
形状がほぼ指数関数ホ−ンとなるよう２段のテ−パ部か
ら形成されていることを特徴とする。この発明の第５の
手段は、上記振動体の幅寸法は、上記スリット口の幅寸
法とほぼ同じあるいはそれよりも小さく設定されている
ことを特徴とする。
上記洗浄液流通部の一端との間には第１の貯液部が形成
され、上記ノズル口の長さ寸法は上記第１の貯液部の長
さ寸法よりもわずかに短く形成されていることを特徴と
する。この発明の第４の手段は、上記ノズル口は、断面
形状がほぼ指数関数ホ−ンとなるよう２段のテ−パ部か
ら形成されていることを特徴とする。この発明の第５の
手段は、上記振動体の幅寸法は、上記スリット口の幅寸
法とほぼ同じあるいはそれよりも小さく設定されている
ことを特徴とする。
【０００９】この発明の第６の手段は、上記洗浄液流通
部の他端には第２の貯液部が接続され、この第２の貯液
部には少なくとも１つの供給部から洗浄液が供給される
ことを特徴とする。
部の他端には第２の貯液部が接続され、この第２の貯液
部には少なくとも１つの供給部から洗浄液が供給される
ことを特徴とする。
【００１０】この発明の第７の手段は、上記発振器から
出力される上記振動体の駆動信号は、変調手段によって
上記振動体の共振周波数を基準にして所定幅で変調され
ることを特徴とする。この発明の第８の手段は、上記振
動体側には、上記発振器とのインピ−ダンスのマッチン
グをとる電気部品が取付けられていることを特徴とす
る。
出力される上記振動体の駆動信号は、変調手段によって
上記振動体の共振周波数を基準にして所定幅で変調され
ることを特徴とする。この発明の第８の手段は、上記振
動体側には、上記発振器とのインピ−ダンスのマッチン
グをとる電気部品が取付けられていることを特徴とす
る。
【００１１】
【作用】上記第１の手段によれば、洗浄液をノズル口の
ほぼ全長から均一な速度で流出させることができる。上
記第２の手段によれば、振動体に洗浄液が接触していな
い状態で上記振動体が駆動されるのが防止される。上記
第３の手段によれば、ノズル口の両端部で洗浄液の流速
が低下するのを防止できる。上記第４の手段によれば、
振動する洗浄液を効率よく反射させてノズル口から流出
させることができる。上記第５の手段によれば、振動体
の振動をほとんど減衰させることなくノズル口から洗浄
液とともに外部へ伝達することができる。上記第６の手
段によれば、スリット状の洗浄液流通部へほぼ均一な流
速で洗浄液を流すことができる。上記第７の手段によれ
ば、振動体から発生する振動の強さをその振動体の面内
において平均化することができる。上記第８の手段によ
れば、振動体を発振器によって効率よく確実に振動させ
ることができる。
ほぼ全長から均一な速度で流出させることができる。上
記第２の手段によれば、振動体に洗浄液が接触していな
い状態で上記振動体が駆動されるのが防止される。上記
第３の手段によれば、ノズル口の両端部で洗浄液の流速
が低下するのを防止できる。上記第４の手段によれば、
振動する洗浄液を効率よく反射させてノズル口から流出
させることができる。上記第５の手段によれば、振動体
の振動をほとんど減衰させることなくノズル口から洗浄
液とともに外部へ伝達することができる。上記第６の手
段によれば、スリット状の洗浄液流通部へほぼ均一な流
速で洗浄液を流すことができる。上記第７の手段によれ
ば、振動体から発生する振動の強さをその振動体の面内
において平均化することができる。上記第８の手段によ
れば、振動体を発振器によって効率よく確実に振動させ
ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１３】図１はノズル装置の断面図であり、同図中
１はポリプロピレン、フッ素樹脂あるいはアルミナなど
の材料によって形成されたノズル本体である。このノズ
ル本体１は上部材１ａと、この上部材１ａの下面に接合
された下部材１ｂとによってほぼ直方体状をなしてい
る。
１はポリプロピレン、フッ素樹脂あるいはアルミナなど
の材料によって形成されたノズル本体である。このノズ
ル本体１は上部材１ａと、この上部材１ａの下面に接合
された下部材１ｂとによってほぼ直方体状をなしてい
る。
【００１４】上記上部材１ａの幅方向中央部分には、そ
の上面側に開放した矩形断面の凹部２が形成されてい
る。この凹部２によって上記上部材１ａの幅方向の中央
部分には薄肉部３が形成されている。この薄肉部３には
第１の貯液部４が薄肉部３の厚さ方向に貫通し、かつ上
部材１ａの長手方向ぼぼ全長にわたって形成されてい
る。この第１の貯液部４の下半分の断面形状は、下端に
ゆくにしたがって次第に狭幅となる錐状部４ａに形成さ
れている。
の上面側に開放した矩形断面の凹部２が形成されてい
る。この凹部２によって上記上部材１ａの幅方向の中央
部分には薄肉部３が形成されている。この薄肉部３には
第１の貯液部４が薄肉部３の厚さ方向に貫通し、かつ上
部材１ａの長手方向ぼぼ全長にわたって形成されてい
る。この第１の貯液部４の下半分の断面形状は、下端に
ゆくにしたがって次第に狭幅となる錐状部４ａに形成さ
れている。
【００１５】上記第１の貯液部４の上端開口は振動体５
によって閉塞されている。この振動体５は、第１の貯液
部４の幅寸法に比べて十分に広幅な金属製の振動板６
と、この振動板６の上面に接合固定された圧電素子から
なる振動子７とから形成されている。
によって閉塞されている。この振動体５は、第１の貯液
部４の幅寸法に比べて十分に広幅な金属製の振動板６
と、この振動板６の上面に接合固定された圧電素子から
なる振動子７とから形成されている。
【００１６】上記下部材１ｂの上記第１の貯液部４と対
応する部位には、ノズル口８が下部材１ｂの長手方向に
沿って形成されている。図２に示すようにノズル口８の
長さ寸法をＬとすると、その長さ寸法Ｌは上記第１の貯
液部４の長さ寸法Ｌ1 よりも短く設定されている。それ
によって、ノズル口８の長手方向両端は、第１の貯液部
４の両端よりも所定寸法である（Ｌ1 −Ｌ）／２だけ内
方に位置している。
応する部位には、ノズル口８が下部材１ｂの長手方向に
沿って形成されている。図２に示すようにノズル口８の
長さ寸法をＬとすると、その長さ寸法Ｌは上記第１の貯
液部４の長さ寸法Ｌ1 よりも短く設定されている。それ
によって、ノズル口８の長手方向両端は、第１の貯液部
４の両端よりも所定寸法である（Ｌ1 −Ｌ）／２だけ内
方に位置している。
【００１７】ノズル口８の長さ寸法が第１の貯液部４よ
りも短ければ、後述するごとく噴出した洗浄液が先端に
ゆくほどその幅狭となることにより、ノズル口８の両端
から流出する洗浄液の流速を、他の部分から流出する洗
浄液の流速とほぼ同じにすることができる（図７参
照）。つまり、上記ノズル口８の長さ方向全長にわたっ
て同じ流速で洗浄液を流出させることができる。
りも短ければ、後述するごとく噴出した洗浄液が先端に
ゆくほどその幅狭となることにより、ノズル口８の両端
から流出する洗浄液の流速を、他の部分から流出する洗
浄液の流速とほぼ同じにすることができる（図７参
照）。つまり、上記ノズル口８の長さ方向全長にわたっ
て同じ流速で洗浄液を流出させることができる。
【００１８】上記振動体５で発生する超音波振動は上記
ノズル口８の内面で反射しながらその先端開口から外部
へ放出される。したがって、上記ノズル口８の断面形状
は振動体５の振動に対する反射効率が高いことが要求さ
れる。そのような断面形状としては指数関数ホ−ン形状
が知られている。しかしながら、ノズル口８を指数関数
ホ−ン形状に加工することは、ノズル口８が小さいこと
や下部材１ｂが樹脂で形成されているなどのことによ
り、非常に困難である。
ノズル口８の内面で反射しながらその先端開口から外部
へ放出される。したがって、上記ノズル口８の断面形状
は振動体５の振動に対する反射効率が高いことが要求さ
れる。そのような断面形状としては指数関数ホ−ン形状
が知られている。しかしながら、ノズル口８を指数関数
ホ−ン形状に加工することは、ノズル口８が小さいこと
や下部材１ｂが樹脂で形成されているなどのことによ
り、非常に困難である。
【００１９】そこで、上記ノズル口８は、図３に示すよ
うに下部材１ｂの上面に一端を開放させた第１のテ−パ
部８ａと、一端を第１のテ−パ部８ａに接続し他端を下
部材１ｂの下面に開放させた上記第１のテ−パ部８ａに
比べて傾斜角度が大きい第２のテ−パ部８ｂとによって
断面形状がほぼ指数関数ホ−ン形状に近似するよう設定
されている。したがって、上記振動体５で発生する超音
波振動は、ノズル口８の第１、第２のテ−パ部８ａ、８
ｂで効率よく反射して外部に放出されることになる。
うに下部材１ｂの上面に一端を開放させた第１のテ−パ
部８ａと、一端を第１のテ−パ部８ａに接続し他端を下
部材１ｂの下面に開放させた上記第１のテ−パ部８ａに
比べて傾斜角度が大きい第２のテ−パ部８ｂとによって
断面形状がほぼ指数関数ホ−ン形状に近似するよう設定
されている。したがって、上記振動体５で発生する超音
波振動は、ノズル口８の第１、第２のテ−パ部８ａ、８
ｂで効率よく反射して外部に放出されることになる。
【００２０】なお、振動子７から発生する超音波振動は
直進性が高い。そのため、振動体５の振動子７の幅寸法
を上記ノズル口８の幅寸法とほぼ同じあるいはそれ以下
に設定すれば、振動子７で発生する超音波振動をノズル
口８の内面でほとんど反射吸収させることなく効率よく
外部に放出させることができる。この場合、ノズル口８
の断面形状は指数関数ホ−ンに近似させなくともよい。
直進性が高い。そのため、振動体５の振動子７の幅寸法
を上記ノズル口８の幅寸法とほぼ同じあるいはそれ以下
に設定すれば、振動子７で発生する超音波振動をノズル
口８の内面でほとんど反射吸収させることなく効率よく
外部に放出させることができる。この場合、ノズル口８
の断面形状は指数関数ホ−ンに近似させなくともよい。
【００２１】上記ノズル本体１の上部材１ａには、その
長手方向に沿って長いスリット状の洗浄液流通部１１が
上記第１の貯液部４と同じ長さ寸法で形成されている。
この洗浄液流通部１１の一端部は上部材１ａの下面側か
ら上面側に向かって傾斜した傾斜部１１ａに形成され、
この傾斜部１１ａの先端は上記第１の貯液部４の一側に
連通している。したがって、上記洗浄液流通部１１に後
述するごとく供給された洗浄液は傾斜部１１ａから振動
体５に向かって流出するようになっている。
長手方向に沿って長いスリット状の洗浄液流通部１１が
上記第１の貯液部４と同じ長さ寸法で形成されている。
この洗浄液流通部１１の一端部は上部材１ａの下面側か
ら上面側に向かって傾斜した傾斜部１１ａに形成され、
この傾斜部１１ａの先端は上記第１の貯液部４の一側に
連通している。したがって、上記洗浄液流通部１１に後
述するごとく供給された洗浄液は傾斜部１１ａから振動
体５に向かって流出するようになっている。
【００２２】上記洗浄液流通部１１の他端側はクランク
状に曲成され、その末端は円筒あるいは楕円筒状の空間
からなる第２の貯液部１２に連通している。この第２の
貯液部１２は洗浄液流通部１１と同様、上部材１ａの長
手方向ほぼ全長にわたって形成されている。
状に曲成され、その末端は円筒あるいは楕円筒状の空間
からなる第２の貯液部１２に連通している。この第２の
貯液部１２は洗浄液流通部１１と同様、上部材１ａの長
手方向ほぼ全長にわたって形成されている。
【００２３】上記第２の貯液部１２には、図２に示すよ
うに長手方向に沿って所定間隔で形成された複数の供給
口１３の一端が連通している。これら供給口１３の他端
には、図示しない洗浄液の供給源に連通した供給管１４
がそれぞれ接続されている。
うに長手方向に沿って所定間隔で形成された複数の供給
口１３の一端が連通している。これら供給口１３の他端
には、図示しない洗浄液の供給源に連通した供給管１４
がそれぞれ接続されている。
【００２４】上記各供給管１４から供給口１３を介して
第２の貯液部１２に供給された洗浄液は、この第２の貯
液部１２で滞留してスリット状の洗浄液流通部１１へ流
れる。それによって、上記洗浄液流通部１１へ流入する
洗浄液は、この流通部１１の長手方向における流速があ
る程度、均一化される。
第２の貯液部１２に供給された洗浄液は、この第２の貯
液部１２で滞留してスリット状の洗浄液流通部１１へ流
れる。それによって、上記洗浄液流通部１１へ流入する
洗浄液は、この流通部１１の長手方向における流速があ
る程度、均一化される。
【００２５】洗浄液がスリット状の洗浄液流通部１１を
流れ、しかもこの流通部１１がクランク状に屈曲してい
ることで、その長手方向における流速はさらに均一化さ
れて第１の貯液部４に流入し、この第１の貯液部４に連
通したノズル口８から流出する。それによって、ノズル
口８からは、その長手方向全長から洗浄液をほぼ均一な
速度で、かつ洗浄液の幅が進行方向前部側で拡大せず、
むしろ縮小するように流出させることができる。その結
果、洗浄液が衝突する半導体ウエハ３１上における洗浄
効果は，どの部位においても均一となり、より効率的な
洗浄が可能となる。
流れ、しかもこの流通部１１がクランク状に屈曲してい
ることで、その長手方向における流速はさらに均一化さ
れて第１の貯液部４に流入し、この第１の貯液部４に連
通したノズル口８から流出する。それによって、ノズル
口８からは、その長手方向全長から洗浄液をほぼ均一な
速度で、かつ洗浄液の幅が進行方向前部側で拡大せず、
むしろ縮小するように流出させることができる。その結
果、洗浄液が衝突する半導体ウエハ３１上における洗浄
効果は，どの部位においても均一となり、より効率的な
洗浄が可能となる。
【００２６】上記振動体５の振動子７は図５に示すよう
に発振器１５に同軸ケ−ブル１６およびマッチング回路
１７を介して接続されている。マッチング回路１７は発
振器１５とのインピ−ダンスの整合をとるためのもので
あって、発振器１５から送り出された電流を効率よく振
動体５で共振させるためには不可欠である。
に発振器１５に同軸ケ−ブル１６およびマッチング回路
１７を介して接続されている。マッチング回路１７は発
振器１５とのインピ−ダンスの整合をとるためのもので
あって、発振器１５から送り出された電流を効率よく振
動体５で共振させるためには不可欠である。
【００２７】マッチング回路１７を形成する電気部品
は、上記振動体５の振動板６を上記上部材１ａに取付け
固定する矩形枠状のフランジ金具１８に設けられてい
る。つまり、このフランジ金具１８の両側上面には、図
１と図４に示すように複数のコンデンサ１９の一方の電
極１９ａが固着されている。各コンデンサ１９の他方の
電極１９ｂには導電板２１が接続されている。この導電
板２１と振動子７との間にはコイルばね兼用の電気部品
としてのコイル２２が設けられ、これら振動子７、コン
デンサ１９およびコイル２２に上記同軸ケ−ブル１６が
接続されている。
は、上記振動体５の振動板６を上記上部材１ａに取付け
固定する矩形枠状のフランジ金具１８に設けられてい
る。つまり、このフランジ金具１８の両側上面には、図
１と図４に示すように複数のコンデンサ１９の一方の電
極１９ａが固着されている。各コンデンサ１９の他方の
電極１９ｂには導電板２１が接続されている。この導電
板２１と振動子７との間にはコイルばね兼用の電気部品
としてのコイル２２が設けられ、これら振動子７、コン
デンサ１９およびコイル２２に上記同軸ケ−ブル１６が
接続されている。
【００２８】振動子７と発信器１５とのインピ−ダンス
のマッチングは、通常、これらを接続する同軸ケ−ブル
１６の長さを調整し、その長さに見合った電気部品を発
信器１５に組み込むことで行われる。その場合、インピ
−ダンスの設定後に、同軸ケ−ブル１５と振動子７との
間でインピ−ダンスに種々のロスが生じることが避けら
れないので、最適のマッチングがとれなくなるというこ
とがある。
のマッチングは、通常、これらを接続する同軸ケ−ブル
１６の長さを調整し、その長さに見合った電気部品を発
信器１５に組み込むことで行われる。その場合、インピ
−ダンスの設定後に、同軸ケ−ブル１５と振動子７との
間でインピ−ダンスに種々のロスが生じることが避けら
れないので、最適のマッチングがとれなくなるというこ
とがある。
【００２９】しかしながら、振動子７側に電気部品を設
けてマッチングを取るようにすれば、設定後に、振動子
７側のインピ−ダンスが変動するということがほとんど
ないから、発信器１５からの出力のロスを少なくするこ
とができる。
けてマッチングを取るようにすれば、設定後に、振動子
７側のインピ−ダンスが変動するということがほとんど
ないから、発信器１５からの出力のロスを少なくするこ
とができる。
【００３０】上記振動子７は共振周波数が６００ＫＨｚ
以上であって、発信器１５には図５に示すように振動子
７の共振周波数ｆを基準にして、周波数が±αで変調す
るＦＭ波（変調波）を与える変調器２３が設けられてい
る。この変調器２３によって、振動体５で発生する振動
の強さを平均化することができる。
以上であって、発信器１５には図５に示すように振動子
７の共振周波数ｆを基準にして、周波数が±αで変調す
るＦＭ波（変調波）を与える変調器２３が設けられてい
る。この変調器２３によって、振動体５で発生する振動
の強さを平均化することができる。
【００３１】つまり、振動体５の振動が６００ＫＨｚ以
上の高周波であると、振動子７や振動板６の面内におけ
るわずかな寸法誤差や局部的な接合状態の違いにより、
振動体５を単一の周波数で振動させても、部分的に振動
の強さに違いが生じることが避けられない。つまり、共
振周波数に差異がある。
上の高周波であると、振動子７や振動板６の面内におけ
るわずかな寸法誤差や局部的な接合状態の違いにより、
振動体５を単一の周波数で振動させても、部分的に振動
の強さに違いが生じることが避けられない。つまり、共
振周波数に差異がある。
【００３２】そこで、振動子７にその共振周波数を基準
にして周波数が±αで変調するＦＭ波を与えれば、振動
体５の面内において局部的に共振周波数に差異があって
も、全体を平均的に共振させることができる。つまり、
振動の強さを平均化することができる。
にして周波数が±αで変調するＦＭ波を与えれば、振動
体５の面内において局部的に共振周波数に差異があって
も、全体を平均的に共振させることができる。つまり、
振動の強さを平均化することができる。
【００３３】実験によれば、振動子７の共振周波数が１
４００ＫＨｚである場合、ＦＭ波を与えないと、振動子
７に加わる電圧の変動は５〜１０Ｖであった。これに対
して、振動子７に１３００〜１４００ＫＨｚのＦＭ波を
与えたところ、振動子７に加わる電圧の変動は７〜８Ｖ
であった。つまり、振動子７にＦＭ波を与えることによ
って振動子７に加わる電圧（振動の強さ）が平均化され
ることが確認できた。
４００ＫＨｚである場合、ＦＭ波を与えないと、振動子
７に加わる電圧の変動は５〜１０Ｖであった。これに対
して、振動子７に１３００〜１４００ＫＨｚのＦＭ波を
与えたところ、振動子７に加わる電圧の変動は７〜８Ｖ
であった。つまり、振動子７にＦＭ波を与えることによ
って振動子７に加わる電圧（振動の強さ）が平均化され
ることが確認できた。
【００３４】このように、振動の強さが平均化されれ
ば、ノズル口８の長さ方向において洗浄液に付与される
振動の強さも平均化されるから、ノズル口８の長さ方向
における洗浄効果も均一化されることになる。
ば、ノズル口８の長さ方向において洗浄液に付与される
振動の強さも平均化されるから、ノズル口８の長さ方向
における洗浄効果も均一化されることになる。
【００３５】このような構成によれば、ノズル装置を図
６に示すように被洗浄物である半導体ウエハ３１の上方
に配置し、ノズル本体１に接続された供給管１４に洗浄
液を供給するとともに、発振器１５から振動体５の振動
子７に、この振動子７の共振周波数である、たとえば１
４００ＫＨｚの高周波信号を変調器２３で所定幅で変調
して与え、振動子７を振動板６とともに振動させる。
６に示すように被洗浄物である半導体ウエハ３１の上方
に配置し、ノズル本体１に接続された供給管１４に洗浄
液を供給するとともに、発振器１５から振動体５の振動
子７に、この振動子７の共振周波数である、たとえば１
４００ＫＨｚの高周波信号を変調器２３で所定幅で変調
して与え、振動子７を振動板６とともに振動させる。
【００３６】上記供給管１４から供給された洗浄液は第
２の貯液部１２に流入し、この第２の貯液部１２の長手
方向において流速が平均化されてから、洗浄液流通部１
１へ流れる。洗浄液流通部１１はスリット状であり、し
かもクランク状に屈曲しているから、洗浄液はこの流通
部１１でさらに長手方向に沿う流速が平均化されて第１
の貯液部４へ流入する。
２の貯液部１２に流入し、この第２の貯液部１２の長手
方向において流速が平均化されてから、洗浄液流通部１
１へ流れる。洗浄液流通部１１はスリット状であり、し
かもクランク状に屈曲しているから、洗浄液はこの流通
部１１でさらに長手方向に沿う流速が平均化されて第１
の貯液部４へ流入する。
【００３７】上記洗浄液流通部１１の第１の貯液部４に
連通する一端部は振動体５に向かって高く傾斜してい
る。そのため、洗浄液は振動体５の振動板６に接触し、
振動板５の表面の気泡を確実に除去できるばかりか、第
１の貯液部４に気泡が残留するのも防止できるから、気
泡による振動の減衰が避けられるとともに、振動体５が
空発振して損傷するのを防ぐこともできる。
連通する一端部は振動体５に向かって高く傾斜してい
る。そのため、洗浄液は振動体５の振動板６に接触し、
振動板５の表面の気泡を確実に除去できるばかりか、第
１の貯液部４に気泡が残留するのも防止できるから、気
泡による振動の減衰が避けられるとともに、振動体５が
空発振して損傷するのを防ぐこともできる。
【００３８】このようにして流速が均一化され、しかも
振動体５から振動が付与された洗浄液はスリット状のノ
ズル口８から帯状かつ先端にいくほど狭幅となるように
流出する。したがって、上記半導体ウエハ３１を図６に
矢印で示すノズル口８の長手方向に対して直交する方向
へ相対的に移動させれば、この半導体ウエハ３１の表面
から微細なダストを効率よく、しかも長手方向全長にわ
たって均一に除去することができる。
振動体５から振動が付与された洗浄液はスリット状のノ
ズル口８から帯状かつ先端にいくほど狭幅となるように
流出する。したがって、上記半導体ウエハ３１を図６に
矢印で示すノズル口８の長手方向に対して直交する方向
へ相対的に移動させれば、この半導体ウエハ３１の表面
から微細なダストを効率よく、しかも長手方向全長にわ
たって均一に除去することができる。
【００３９】なお、上記一実施例ではノズル口と洗浄液
流通部との間に第１の貯液部を形成したが、この第１の
貯液部はなくてもよい。その場合、上記洗浄液流通部の
一端部の長さ寸法に対してノズル口の長さ寸法を短くす
ることで、このノズル口の両端からの洗浄液の流出速度
を、他の部分とほぼ同じにすることができる。つまり、
第１の貯液部は洗浄液流通部の一部と見なすことができ
る。
流通部との間に第１の貯液部を形成したが、この第１の
貯液部はなくてもよい。その場合、上記洗浄液流通部の
一端部の長さ寸法に対してノズル口の長さ寸法を短くす
ることで、このノズル口の両端からの洗浄液の流出速度
を、他の部分とほぼ同じにすることができる。つまり、
第１の貯液部は洗浄液流通部の一部と見なすことができ
る。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、ノ
ズル本体に形成されたスリット状のノズル口に連通す
る、同じくスリット状の洗浄液流通部を形成し、この洗
浄液流通部を経て上記ノズル口へ洗浄液を供給するよう
にした。
ズル本体に形成されたスリット状のノズル口に連通す
る、同じくスリット状の洗浄液流通部を形成し、この洗
浄液流通部を経て上記ノズル口へ洗浄液を供給するよう
にした。
【００４１】そのため、上記洗浄液流通部により、ノズ
ル口の長手方向全長にわたって流速を均一化して洗浄液
を供給することができるから、上記ノズル口から流出す
る洗浄液によって被洗浄物の洗浄を均一かつ能率よく行
える。
ル口の長手方向全長にわたって流速を均一化して洗浄液
を供給することができるから、上記ノズル口から流出す
る洗浄液によって被洗浄物の洗浄を均一かつ能率よく行
える。
【００４２】また、洗浄液流通部の一端部を振動体に向
かって傾斜させたから、この振動体の表面の気泡を確実
に除去し、気泡による振動の減衰や空発振を防止するこ
とができる。
かって傾斜させたから、この振動体の表面の気泡を確実
に除去し、気泡による振動の減衰や空発振を防止するこ
とができる。
【００４３】また、ノズル口の長さ寸法を、洗浄液流通
部の長さ寸法よりもわずかに短くしたので、上記ノズル
口の両端からの洗浄液の流出速度を他の部分と同じにす
ることができる。つまり、洗浄液をノズル口のほぼ全長
から均一な速度で流出させることができる。
部の長さ寸法よりもわずかに短くしたので、上記ノズル
口の両端からの洗浄液の流出速度を他の部分と同じにす
ることができる。つまり、洗浄液をノズル口のほぼ全長
から均一な速度で流出させることができる。
【００４４】また、ノズル口の断面形状がほぼ指数関数
ホ−ンとなるよう、２段のテ−パ部によって形成したか
ら、このノズル口による振動の反射が効率よく行われる
ばかりか、ノズル口の加工も容易となる。
ホ−ンとなるよう、２段のテ−パ部によって形成したか
ら、このノズル口による振動の反射が効率よく行われる
ばかりか、ノズル口の加工も容易となる。
【００４５】また、振動体の幅寸法をスリット口の幅寸
法とほぼ同じあるいはそれよりも小さくすれば、振動体
からの振動をスリット口の内部で反射吸収させずに直接
放出させることができるから、その振動の減衰を小さく
できる。
法とほぼ同じあるいはそれよりも小さくすれば、振動体
からの振動をスリット口の内部で反射吸収させずに直接
放出させることができるから、その振動の減衰を小さく
できる。
【００４６】また、少なくとも１つの供給部から供給さ
れる洗浄液を、洗浄液流通部の他端に接続された第２の
貯液部を介して上記洗浄液供給部へ供給するようにし
た。そのため、洗浄液の上記洗浄液供給部の長さ方向に
沿う流速は、上記第２の貯液部によっても均一化され
る。また、振動体の振動を、その共振周波数を中心にし
て所定幅で変調したから、振動体の面内における振動の
強さを平均化することができる。
れる洗浄液を、洗浄液流通部の他端に接続された第２の
貯液部を介して上記洗浄液供給部へ供給するようにし
た。そのため、洗浄液の上記洗浄液供給部の長さ方向に
沿う流速は、上記第２の貯液部によっても均一化され
る。また、振動体の振動を、その共振周波数を中心にし
て所定幅で変調したから、振動体の面内における振動の
強さを平均化することができる。
【００４７】また、発振器と振動体とのインピ−ダンス
のマッチングをとる電気部品を、上記振動体側に取付け
るようにしたから、これらのマッチングを確実に行うこ
とができる。
のマッチングをとる電気部品を、上記振動体側に取付け
るようにしたから、これらのマッチングを確実に行うこ
とができる。
【図１】この発明の一実施例を示すノズル本体の拡大断
面図。
面図。
【図２】同じく下面側から見た平面図。
【図３】同じくノズル口の部分の拡大断面図。
【図４】同じく振動体の上面側の一部分の平面図。
【図５】同じく電気回路図。
【図６】同じくノズル装置の使用状態の斜視図。
【図７】同じくスリットからの洗浄液の流出状態を示す
正面図。
正面図。
１…ノズル本体、４…第１の貯液部、５…振動体、６…
振動板、７…振動子、８…ノズル口、８ａ…第１のテ−
パ部、８ｂ…第２のテ−パ部、１１…洗浄液流通部、１
１ａ…傾斜部、１２…第２の貯液部、１４…供給管、１
５…発振器、１７…マッチング回路、１９…コンデン
サ、２２…コイル。
振動板、７…振動子、８…ノズル口、８ａ…第１のテ−
パ部、８ｂ…第２のテ−パ部、１１…洗浄液流通部、１
１ａ…傾斜部、１２…第２の貯液部、１４…供給管、１
５…発振器、１７…マッチング回路、１９…コンデン
サ、２２…コイル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−12202（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−305517（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−93230（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−224670（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−47578（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−280876（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−101283（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−236498（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/02 - 3/12
Claims (8)
- 【請求項１】 ノズル口がスリット状に形成されたノズ
ル本体と、このノズル本体に上記ノズル口と対向して設
けられた超音波振動する振動体と、この振動体を超音波
振動させる発振器と、上記ノズル口に洗浄液を供給する
スリット状の洗浄液流通部とを具備したことを特徴とす
る超音波洗浄用ノズル装置。 - 【請求項２】 上記洗浄液流通部の一端部は上記振動体
に向かって傾斜していることを特徴とする請求項１に記
載の超音波洗浄用ノズル装置。 - 【請求項３】 上記ノズル口と上記洗浄液流通部の一端
との間には第１の貯液部が形成され、上記ノズル口の長
さ寸法は上記第１の貯液部の長さ寸法よりもわずかに短
く形成されていることを特徴とする請求項１に記載の超
音波洗浄用ノズル装置。 - 【請求項４】 上記ノズル口は、断面形状が指数関数ホ
−ンとなるよう２段のテ−パ部から形成されていること
を特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄用ノズル装
置。 - 【請求項５】 上記振動体の幅寸法は、上記スリット口
の幅寸法と同じあるいはそれよりも小さく設定されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄用ノズ
ル装置。 - 【請求項６】 上記洗浄液流通部の他端には第２の貯液
部が接続され、この第２の貯液部には少なくとも１つの
供給部から洗浄液が供給されることを特徴とする請求項
１に記載の超音波洗浄用ノズル装置。 - 【請求項７】 上記発振器から出力される上記振動体の
駆動信号は、変調手段によって上記振動体の共振周波数
を基準にして所定幅で変調されることを特徴とする請求
項１に記載の超音波振動用ノズル装置。 - 【請求項８】 上記振動体側には、上記発振器とのイン
ピ−ダンスのマッチングをとる電気部品が取付けられて
いることを特徴とする請求項１に記載の超音波洗浄用ノ
ズル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188814A JP2772167B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 超音波洗浄用ノズル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188814A JP2772167B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 超音波洗浄用ノズル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0531469A JPH0531469A (ja) | 1993-02-09 |
| JP2772167B2 true JP2772167B2 (ja) | 1998-07-02 |
Family
ID=16230283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3188814A Expired - Lifetime JP2772167B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 超音波洗浄用ノズル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2772167B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170125781A (ko) * | 2017-11-06 | 2017-11-15 | (주)햇빛일루콤 | 디스펜서 및 이를 이용한 광 실린더 제조 방법 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3195483B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2001-08-06 | キヤノン株式会社 | カメラの像振れ補正装置 |
| JPH0919665A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
| JPH0994544A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shibaura Eng Works Co Ltd | 超音波洗浄装置 |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP3188814A patent/JP2772167B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170125781A (ko) * | 2017-11-06 | 2017-11-15 | (주)햇빛일루콤 | 디스펜서 및 이를 이용한 광 실린더 제조 방법 |
| KR101950766B1 (ko) | 2017-11-06 | 2019-05-31 | (주)햇빛일루콤 | 디스펜서 및 이를 이용한 광 실린더 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531469A (ja) | 1993-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100777854B1 (ko) | 초음파 세정 장치 | |
| KR101437301B1 (ko) | 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 방법 | |
| CN210497445U (zh) | 超声波洗净装置及超声波洗净系统 | |
| JP2772167B2 (ja) | 超音波洗浄用ノズル装置 | |
| KR100445121B1 (ko) | 초음파 세정 장치 및 세정 방법 | |
| JP3075356B1 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3338175B2 (ja) | 噴射型超音波洗浄装置 | |
| JPH06106144A (ja) | 超音波洗浄方式及び超音波洗浄装置 | |
| JP2862458B2 (ja) | 被洗浄基板の洗浄方法およびその装置 | |
| JP4144201B2 (ja) | ウエット洗浄処理装置 | |
| JP2887113B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2821396B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH05184993A (ja) | 超音波霧化装置 | |
| JP3390497B2 (ja) | 超音波発生装置および超音波洗浄装置 | |
| JP3154685B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2004148231A (ja) | 超音波洗浄機 | |
| KR101448580B1 (ko) | 미세세정 노즐장치 | |
| JP3783174B2 (ja) | 流水式超音波洗浄装置 | |
| JP3808951B2 (ja) | 超音波振動装置およびそれを用いた超音波洗浄装置 | |
| JPH05129266A (ja) | 洗浄方法及びその装置 | |
| JPH10296199A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPH1128432A (ja) | 超音波洗浄機 | |
| JP3309749B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3182386B2 (ja) | 超音波洗浄装置の構造及び該構造を備えた超音波洗浄装置 | |
| JP2001246338A (ja) | 超音波処理方法及びその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080417 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090417 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100417 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100417 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110417 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417 Year of fee payment: 14 |