JP2818350B2 - 石英ガラス母材の製造方法 - Google Patents
石英ガラス母材の製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は石英ガラス母材の製造方
法、特には大型の多孔質ガラス母材を焼結してなる石英
ガラス母材を効率よく処理するように改良した焼結装置
を用いる石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
る。
法、特には大型の多孔質ガラス母材を焼結してなる石英
ガラス母材を効率よく処理するように改良した焼結装置
を用いる石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用石英ガラス母材は気相軸付
法（ＶＡＤ法）や外付法（ＯＶＤ法）などで製造されて
いるが、この場合には四塩化けい素などのけい素化合物
やドーパントとしての四塩化ゲルマニウムとの混合ガス
の火炎加水分解で発生したガラス微粒子を担体上に堆積
して多孔質ガラス母材を作成し、この多孔質ガラス母材
を脱水、透明ガラス化するという方法で作られている
が、この石英ガラス母材の製造に当っては、担体上に堆
積される多孔質ガラス母材を焼結炉に取付け、これを順
次垂直方向に引下げ脱水、透明ガラス化したのち、得ら
れた石英ガラス母材を引上げるための引上装置が必要と
される。
法（ＶＡＤ法）や外付法（ＯＶＤ法）などで製造されて
いるが、この場合には四塩化けい素などのけい素化合物
やドーパントとしての四塩化ゲルマニウムとの混合ガス
の火炎加水分解で発生したガラス微粒子を担体上に堆積
して多孔質ガラス母材を作成し、この多孔質ガラス母材
を脱水、透明ガラス化するという方法で作られている
が、この石英ガラス母材の製造に当っては、担体上に堆
積される多孔質ガラス母材を焼結炉に取付け、これを順
次垂直方向に引下げ脱水、透明ガラス化したのち、得ら
れた石英ガラス母材を引上げるための引上装置が必要と
される。
【０００３】しかし、この多孔質ガラス母材の焼結は従
来図４の（ａ）に示したように、炉芯管22の中に通常約
2,000mmに成長された多孔質ガラス母材をヒーター23で
1,300〜 1,500℃に加熱している焼結炉21中で脱水、透
明ガラス化して石英ガラス母材とするのであるが、ここ
に得られた長さが 1,000mmの石英ガラス母材25にはこれ
を焼結炉21内に上下させるための長さが 2,500mmである
支持棒27に、キャリッジ26が連結されたものとされてい
るので、これを焼結炉21から炉外に引上げるためには長
さ 4,800mmの有効ストロークが必要となり、したがって
この引上装置は全長が10,800mmのものとする必要があ
る。
来図４の（ａ）に示したように、炉芯管22の中に通常約
2,000mmに成長された多孔質ガラス母材をヒーター23で
1,300〜 1,500℃に加熱している焼結炉21中で脱水、透
明ガラス化して石英ガラス母材とするのであるが、ここ
に得られた長さが 1,000mmの石英ガラス母材25にはこれ
を焼結炉21内に上下させるための長さが 2,500mmである
支持棒27に、キャリッジ26が連結されたものとされてい
るので、これを焼結炉21から炉外に引上げるためには長
さ 4,800mmの有効ストロークが必要となり、したがって
この引上装置は全長が10,800mmのものとする必要があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような長
尺な引上装置は製作コストが高くなるし、長尺部分には
高精度が要求されるために製造技術に困難性が発生し、
さらにはこれを設置する建物も天井高に制約を受けるた
めに光ファイバ用石英ガラス母材の生産性を向上させる
ために多孔質ガラス母材を大型化するとますますこの焼
結装置が長尺化されて光ファイバ用ガラス母材のコスト
高が上昇するということから、この解決方法が求められ
ている。
尺な引上装置は製作コストが高くなるし、長尺部分には
高精度が要求されるために製造技術に困難性が発生し、
さらにはこれを設置する建物も天井高に制約を受けるた
めに光ファイバ用石英ガラス母材の生産性を向上させる
ために多孔質ガラス母材を大型化するとますますこの焼
結装置が長尺化されて光ファイバ用ガラス母材のコスト
高が上昇するということから、この解決方法が求められ
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
り、これは石英ガラス母材の製造方法における多孔質ガ
ラス母材の焼結装置において、該焼結装置におけるこの
母材の回転を行なうキャリッジ部が垂直方向に移動する
ための引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に移動
するための横移動機構を有するものとしてなることを特
徴とするものであり、これはまた石英ガラス母材の製造
方法における多孔質ガラス母材の焼結装置において、該
焼結装置に対する多孔質ガラス母材の取りつけあるいは
脱水、透明ガラス化した石英ガラス母材の取出しを、こ
の母材の取付、取出装置が支持棒を介さず直接この母材
の種棒を把持するようにしてなることを特徴とするもの
である。
を解決した石英ガラス母材の製造方法に関するものであ
り、これは石英ガラス母材の製造方法における多孔質ガ
ラス母材の焼結装置において、該焼結装置におけるこの
母材の回転を行なうキャリッジ部が垂直方向に移動する
ための引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に移動
するための横移動機構を有するものとしてなることを特
徴とするものであり、これはまた石英ガラス母材の製造
方法における多孔質ガラス母材の焼結装置において、該
焼結装置に対する多孔質ガラス母材の取りつけあるいは
脱水、透明ガラス化した石英ガラス母材の取出しを、こ
の母材の取付、取出装置が支持棒を介さず直接この母材
の種棒を把持するようにしてなることを特徴とするもの
である。
【０００６】すなわち、本発明者らは多孔質ガラス母材
の大型化に伴なう焼結装置の長尺化を防止する方法につ
いて種々検討した結果、これについては焼結装置の石英
ガラス母材引上装置におけるキャリッジ部に垂直方向に
移動するための引上機構と、これを引上軸に直角の水平
方向に移動する横移動機構をもたせ、多孔質ガラス母材
の取付けの際、または脱水、透明ガラス化が終わった石
英ガラス母材の取出しの際、種棒と支持棒を切り離して
キャリッジを横方向に移動させたのち、このガラス母材
だけを取付、取出装置で上下に移動上昇させればこれに
は支持棒が介在しないので引上機の有効ストロークを
2,600mmとすることができ、その装置の全高も 7,300mm
で済むので、コストを低下させることができることを見
出して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述す
る。
の大型化に伴なう焼結装置の長尺化を防止する方法につ
いて種々検討した結果、これについては焼結装置の石英
ガラス母材引上装置におけるキャリッジ部に垂直方向に
移動するための引上機構と、これを引上軸に直角の水平
方向に移動する横移動機構をもたせ、多孔質ガラス母材
の取付けの際、または脱水、透明ガラス化が終わった石
英ガラス母材の取出しの際、種棒と支持棒を切り離して
キャリッジを横方向に移動させたのち、このガラス母材
だけを取付、取出装置で上下に移動上昇させればこれに
は支持棒が介在しないので引上機の有効ストロークを
2,600mmとすることができ、その装置の全高も 7,300mm
で済むので、コストを低下させることができることを見
出して本発明を完成させた。以下にこれをさらに詳述す
る。
【０００７】
【作用】本発明は石英ガラス母材の製造方法に関するも
のであり、これは石英ガラス母材の製造方法における多
孔質ガラス母材の焼結装置において、該焼結装置におけ
るこの母材の回転を行なうキャリッジを垂直方向に移動
するための引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に
移動するための横移動機構を有するものとしてなること
を特徴とするものであるが、これはまた多孔質ガラス母
材の焼結炉への取付けや取出しの際、支持棒を切り離し
てキャリッジを横方向に移動させたのちにこの母材だけ
を上下に移動させることができるので、引上装置の有効
ストロークを短くすることができ、さらにはその装置の
全高も短くすることができるので、この引上装置を短小
化することができ、したがって石英ガラス母材を安価に
かつ効率よく製造することができるという有利性が与え
られる。
のであり、これは石英ガラス母材の製造方法における多
孔質ガラス母材の焼結装置において、該焼結装置におけ
るこの母材の回転を行なうキャリッジを垂直方向に移動
するための引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に
移動するための横移動機構を有するものとしてなること
を特徴とするものであるが、これはまた多孔質ガラス母
材の焼結炉への取付けや取出しの際、支持棒を切り離し
てキャリッジを横方向に移動させたのちにこの母材だけ
を上下に移動させることができるので、引上装置の有効
ストロークを短くすることができ、さらにはその装置の
全高も短くすることができるので、この引上装置を短小
化することができ、したがって石英ガラス母材を安価に
かつ効率よく製造することができるという有利性が与え
られる。
【０００８】本発明は石英ガラス母材の製造時における
多孔質ガラス母材の焼結装置において、キャリッジに垂
直方向に移動する引上機構とこれを引上軸に直角の水平
方向に移動するための横移動機構を設けたものであり、
これは例えば図１に示したものとされる。この図１につ
いて本発明を説明すると、図１は本発明による多孔質ガ
ラス母材焼結装置の縦断面図を示したものであるが、ま
ず図１（ｄ）に示すように焼結炉１の上部で多孔質ガラ
ス母材11が取付、取出装置９に接続される。支持棒７と
キャリッジ６は結合されてキャリッジ横移動装置10で多
孔質ガラス母材11の左に配置されている。次いで図１
（ｃ）に示すように取付、取出装置９により多孔質ガラ
ス母材11は下に降下し焼結炉１の上部に配置され、支持
装置（１）12によって多孔質ガラス母材11の種棒13を把
持し取付、取出装置９を外す。そして図１（ｂ）に示す
ようにキャリッジ６と支持棒７を右に移動して支持棒７
を種棒13に接続し、支持装置（１）12を外して多孔質ガ
ラス母材の焼結炉１への取付けが終了する。図１（ａ）
に示したようにこの焼結炉１は炉芯管２にヒータ３を有
する加熱炉４を設置したものとされているが、多孔質ガ
ラス母材はこの焼結炉１の中を徐々に降下させ、脱水、
透明ガラス化した石英ガラス母材５がここに収容されて
いる。この石英ガラス母材５は炉外への引出しのために
図１の（ｂ）に示したように上方に引上げられる。
多孔質ガラス母材の焼結装置において、キャリッジに垂
直方向に移動する引上機構とこれを引上軸に直角の水平
方向に移動するための横移動機構を設けたものであり、
これは例えば図１に示したものとされる。この図１につ
いて本発明を説明すると、図１は本発明による多孔質ガ
ラス母材焼結装置の縦断面図を示したものであるが、ま
ず図１（ｄ）に示すように焼結炉１の上部で多孔質ガラ
ス母材11が取付、取出装置９に接続される。支持棒７と
キャリッジ６は結合されてキャリッジ横移動装置10で多
孔質ガラス母材11の左に配置されている。次いで図１
（ｃ）に示すように取付、取出装置９により多孔質ガラ
ス母材11は下に降下し焼結炉１の上部に配置され、支持
装置（１）12によって多孔質ガラス母材11の種棒13を把
持し取付、取出装置９を外す。そして図１（ｂ）に示す
ようにキャリッジ６と支持棒７を右に移動して支持棒７
を種棒13に接続し、支持装置（１）12を外して多孔質ガ
ラス母材の焼結炉１への取付けが終了する。図１（ａ）
に示したようにこの焼結炉１は炉芯管２にヒータ３を有
する加熱炉４を設置したものとされているが、多孔質ガ
ラス母材はこの焼結炉１の中を徐々に降下させ、脱水、
透明ガラス化した石英ガラス母材５がここに収容されて
いる。この石英ガラス母材５は炉外への引出しのために
図１の（ｂ）に示したように上方に引上げられる。
【０００９】ついで図１の（ｃ）に示すように石英ガラ
ス母材５を炉芯管２の上端にまで引上げたときに石英ガ
ラス母材５を支持装置（１）12で把持して支持棒７と切
離し、キャリッジ６に取りつけられている横移動装置10
を用いてキャリッジ６と支持棒７を石英ガラス母材５の
横にずらしてから、取付、取出装置９を種棒に取付け、
支持装置（１）12を外し図１の（ｄ）に示したようにこ
れを取出せば、この空間ストロークはこの石英ガラス母
材の長さだけですむのでこれを短いものとすることがで
き、したがってこの引上装置の有効ストロークを 4,200
mmから 2,600mmと短くすることができ、したがってこの
焼結装置の全高も10,800mmから 7,300mmと短くすること
ができるという有利性が与えられる。
ス母材５を炉芯管２の上端にまで引上げたときに石英ガ
ラス母材５を支持装置（１）12で把持して支持棒７と切
離し、キャリッジ６に取りつけられている横移動装置10
を用いてキャリッジ６と支持棒７を石英ガラス母材５の
横にずらしてから、取付、取出装置９を種棒に取付け、
支持装置（１）12を外し図１の（ｄ）に示したようにこ
れを取出せば、この空間ストロークはこの石英ガラス母
材の長さだけですむのでこれを短いものとすることがで
き、したがってこの引上装置の有効ストロークを 4,200
mmから 2,600mmと短くすることができ、したがってこの
焼結装置の全高も10,800mmから 7,300mmと短くすること
ができるという有利性が与えられる。
【００１０】図１で取付、取出装置としてキャリッジ部
を用いた場合の例を図２、図３に示すが、図３はキャリ
ッジ部の横サイドに種棒を直接把持するための支持装置
を有するものとされており、これによればこの引上装置
の全高が従来法にくらべて68％と短くなるので経済的な
ものになる。
を用いた場合の例を図２、図３に示すが、図３はキャリ
ッジ部の横サイドに種棒を直接把持するための支持装置
を有するものとされており、これによればこの引上装置
の全高が従来法にくらべて68％と短くなるので経済的な
ものになる。
【００１１】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例 図１に示した装置を使用し、直径が 200mm、長さ 4,500
mmの石英製の炉芯管を用いた。まず直径 150mmφ×長さ
2,000mmの多孔質ガラス母材11を図１（ｄ）に示すよう
に種棒の部分で取付、取出装置に接続し、これを図１
（ｃ）に示す炉芯管の上端まで降下させ、支持装置によ
り把持したのち、取付、取出装置を外し、ついで図１
（ｂ）に示すよう多孔質ガラス母材の横に配置している
キャリッジを横移動装置を用いて多孔質ガラス母材の上
まで移動させ、これにキャリッジに連結した長さ 2,500
mmの支持棒を連結し、支持装置を外して取付けが完了し
た。ついで炉芯管内をヒーター３を用いて 1,500℃に加
熱してからこの中に多孔質ガラス母材を10mm／分の速度
で降下させて焼結したところ、図１（ａ）に示すように
多孔質ガラス母材は焼結されて透明な石英ガラス母材５
となった。
mmの石英製の炉芯管を用いた。まず直径 150mmφ×長さ
2,000mmの多孔質ガラス母材11を図１（ｄ）に示すよう
に種棒の部分で取付、取出装置に接続し、これを図１
（ｃ）に示す炉芯管の上端まで降下させ、支持装置によ
り把持したのち、取付、取出装置を外し、ついで図１
（ｂ）に示すよう多孔質ガラス母材の横に配置している
キャリッジを横移動装置を用いて多孔質ガラス母材の上
まで移動させ、これにキャリッジに連結した長さ 2,500
mmの支持棒を連結し、支持装置を外して取付けが完了し
た。ついで炉芯管内をヒーター３を用いて 1,500℃に加
熱してからこの中に多孔質ガラス母材を10mm／分の速度
で降下させて焼結したところ、図１（ａ）に示すように
多孔質ガラス母材は焼結されて透明な石英ガラス母材５
となった。
【００１２】ついで、図１（ｂ）に示すようにこの焼結
された石英ガラス母材５をキャリッジ６を上昇させて炉
芯管２の上端まで引上げたのち、図１（ｃ）に示すよう
に石英ガラス母材の種棒を支持装置12で支持してこれか
ら支持棒を外し、キャリッジをその横移動装置を用いて
側方にずらしてキャリッジ６および支持棒を石英ガラス
母材５から外し、取付、取出装置を接続したのち支持装
置を外して上方に移動して石英ガラス母材を炉芯管から
上方に引出し、この取付、取出装置から外して製品とし
て回収したところ、直径 100mmφ×長さ 1,000mmの石英
ガラス母材が得られた。なお、このときの引上装置の有
効ストロークは 2,600mmであり、焼結炉の全高は 7,300
mmであった。
された石英ガラス母材５をキャリッジ６を上昇させて炉
芯管２の上端まで引上げたのち、図１（ｃ）に示すよう
に石英ガラス母材の種棒を支持装置12で支持してこれか
ら支持棒を外し、キャリッジをその横移動装置を用いて
側方にずらしてキャリッジ６および支持棒を石英ガラス
母材５から外し、取付、取出装置を接続したのち支持装
置を外して上方に移動して石英ガラス母材を炉芯管から
上方に引出し、この取付、取出装置から外して製品とし
て回収したところ、直径 100mmφ×長さ 1,000mmの石英
ガラス母材が得られた。なお、このときの引上装置の有
効ストロークは 2,600mmであり、焼結炉の全高は 7,300
mmであった。
【００１３】実施例２ 図２に示した装置を使用することとし、気相軸付法で製
造した直径 150mm×長さ 2,000mmの多孔質ガラス母材の
種棒部をキャリッジで把持したものを焼結炉の直上に移
動させたのち、これを引下げて焼結炉の上端部まで降下
させ、この種棒を他の支持装置に把持してここに支持棒
を接続させた。ついでこの炉芯管内をヒーター３を用い
て加熱して 1,500℃まで昇温させたのち、支持棒を10mm
／分の速度で降下させて多孔質ガラス母材を焼結したと
ころ、直径 100mmφ×長さ 1,000mmの石英ガラス母材が
得られた。
造した直径 150mm×長さ 2,000mmの多孔質ガラス母材の
種棒部をキャリッジで把持したものを焼結炉の直上に移
動させたのち、これを引下げて焼結炉の上端部まで降下
させ、この種棒を他の支持装置に把持してここに支持棒
を接続させた。ついでこの炉芯管内をヒーター３を用い
て加熱して 1,500℃まで昇温させたのち、支持棒を10mm
／分の速度で降下させて多孔質ガラス母材を焼結したと
ころ、直径 100mmφ×長さ 1,000mmの石英ガラス母材が
得られた。
【００１４】つぎに、この石英ガラス母材をキャリッジ
により焼結炉の上端まで引上げたのち、種棒を支持装置
により支持した後、支持棒を外してキャリッジを種棒に
接続させ支持装置を外してキャリッジにより石英ガラス
母材を焼結炉の上まで引上げて横に移動し、キャリッジ
から取外して石英ガラス母材を得た。このガラス母材の
焼結炉への取付け、取出しには支持棒が連結されていな
いので焼結炉上部の空間ストロークは短くてすみ、焼結
炉の全高も 7,300mmでよいという結果が得られた。
により焼結炉の上端まで引上げたのち、種棒を支持装置
により支持した後、支持棒を外してキャリッジを種棒に
接続させ支持装置を外してキャリッジにより石英ガラス
母材を焼結炉の上まで引上げて横に移動し、キャリッジ
から取外して石英ガラス母材を得た。このガラス母材の
焼結炉への取付け、取出しには支持棒が連結されていな
いので焼結炉上部の空間ストロークは短くてすみ、焼結
炉の全高も 7,300mmでよいという結果が得られた。
【００１５】実施例３ 図３に示すように実施例２において支持装置14を取付け
た支持棒のついたままのキャリッジを用いた外は実施例
２と同様に行なったところ、実施例２と同様の効果が得
られた。
た支持棒のついたままのキャリッジを用いた外は実施例
２と同様に行なったところ、実施例２と同様の効果が得
られた。
【００１６】
【発明の効果】本発明は石英ガラス母材の製造方法に関
するものであり、これは前記したように石英ガラス母材
の製造方法における多孔質ガラス母材の焼結装置におい
て、該焼結装置におけるこの母材の回転を行なうキャリ
ッジ部を軸方向に移動するための引上機構と共に、引上
軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を有す
るものとしてなることを特徴とするものであるが、これ
によれば多孔質ガラス母材の取付け時、または焼結終了
後の石英ガラス母材を取出すときに、ガラス母材を支持
棒から外しキャリッジを横に移動するとガラス母材を引
き出すときに上方に支持棒がなくなるので、引上装置の
有効ストロークおよび装置の全高を短くすることがで
き、したがって引上装置全体を短くできるし、その上下
移動精度も向上させることができるので、石英ガラス母
材の製造を容易に、かつ効率的に行なうことができると
いう有利性が与えられる。
するものであり、これは前記したように石英ガラス母材
の製造方法における多孔質ガラス母材の焼結装置におい
て、該焼結装置におけるこの母材の回転を行なうキャリ
ッジ部を軸方向に移動するための引上機構と共に、引上
軸に直角の水平方向に移動するための横移動機構を有す
るものとしてなることを特徴とするものであるが、これ
によれば多孔質ガラス母材の取付け時、または焼結終了
後の石英ガラス母材を取出すときに、ガラス母材を支持
棒から外しキャリッジを横に移動するとガラス母材を引
き出すときに上方に支持棒がなくなるので、引上装置の
有効ストロークおよび装置の全高を短くすることがで
き、したがって引上装置全体を短くできるし、その上下
移動精度も向上させることができるので、石英ガラス母
材の製造を容易に、かつ効率的に行なうことができると
いう有利性が与えられる。
【図１】本発明の方法による多孔質母材焼結装置の縦断
面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状態
図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完了
時のキャリッジと支持棒および多孔質ガラス母材または
石英ガラス母材との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方
向に移動したときのキャリッジ、支持棒、支持装置およ
び多孔質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図、
（ｄ）は多孔質ガラス母材または石英ガラス母材を焼結
炉に取付け前または取出したときのキャリッジ、支持
棒、支持装置および多孔質ガラス母材または石英ガラス
母材との関係図を示したものである。
面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状態
図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完了
時のキャリッジと支持棒および多孔質ガラス母材または
石英ガラス母材との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方
向に移動したときのキャリッジ、支持棒、支持装置およ
び多孔質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図、
（ｄ）は多孔質ガラス母材または石英ガラス母材を焼結
炉に取付け前または取出したときのキャリッジ、支持
棒、支持装置および多孔質ガラス母材または石英ガラス
母材との関係図を示したものである。
【図２】本発明の方法による他の多孔質母材焼結装置の
縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状
態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完
了時のキャリッジと支持棒および石英ガラス母材との関
係図、（ｃ）はキャリッジを横方向に移動したときのキ
ャリッジ、支持棒、支持装置および多孔質ガラス母材ま
たは石英ガラス母材との関係図、（ｄ）は多孔質ガラス
母材または石英ガラス母材を焼結炉に取付け前または取
出したときのキャリッジ、支持棒、支持装置および多孔
質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図を示した
ものである。
縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状
態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完
了時のキャリッジと支持棒および石英ガラス母材との関
係図、（ｃ）はキャリッジを横方向に移動したときのキ
ャリッジ、支持棒、支持装置および多孔質ガラス母材ま
たは石英ガラス母材との関係図、（ｄ）は多孔質ガラス
母材または石英ガラス母材を焼結炉に取付け前または取
出したときのキャリッジ、支持棒、支持装置および多孔
質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図を示した
ものである。
【図３】本発明の方法による他の多孔質ガラス母材焼結
装置の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了
時の状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または
焼結完了時のキャリッジと支持棒および石英ガラス母材
との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方向に移動したと
きのキャリッジ、支持棒、支持装置および多孔質ガラス
母材または石英ガラス母材との関係図、（ｄ）は多孔質
ガラス母材または石英ガラス母材を焼結炉に取付け前ま
たは取出したときのキャリッジ、支持棒、支持装置およ
び多孔質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図を
示したものである。
装置の縦断面図で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了
時の状態図、（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または
焼結完了時のキャリッジと支持棒および石英ガラス母材
との関係図、（ｃ）はキャリッジを横方向に移動したと
きのキャリッジ、支持棒、支持装置および多孔質ガラス
母材または石英ガラス母材との関係図、（ｄ）は多孔質
ガラス母材または石英ガラス母材を焼結炉に取付け前ま
たは取出したときのキャリッジ、支持棒、支持装置およ
び多孔質ガラス母材または石英ガラス母材との関係図を
示したものである。
【図４】比較例による多孔質母材焼結装置の縦断面図
で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状態図、
（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完了時の
キャリッジ、支持棒および多孔質ガラス母材または石英
ガラス母材との関係図、（ｃ）は多孔質ガラス母材また
は石英ガラス母材を炉芯管外に配置させたときのキャリ
ッジ、支持棒および石英ガラス母材との関係図、（ｄ）
は石英ガラス母材とキャリッジ、支持棒とを切り離した
ときの両者の関係図を示したものである。
で、（ａ）は多孔質ガラス母材焼結終了時の状態図、
（ｂ）は多孔質ガラス母材の焼結前または焼結完了時の
キャリッジ、支持棒および多孔質ガラス母材または石英
ガラス母材との関係図、（ｃ）は多孔質ガラス母材また
は石英ガラス母材を炉芯管外に配置させたときのキャリ
ッジ、支持棒および石英ガラス母材との関係図、（ｄ）
は石英ガラス母材とキャリッジ、支持棒とを切り離した
ときの両者の関係図を示したものである。
１，21…焼結炉、 ２，22…炉芯管、３，23…
ヒーター、 ４，24…加熱炉、５，25…石英ガラ
ス母材、 ６，26…キャリッジ、７，27…支持棒、
８，28…引上機構、９…取付、取出装置、
10…キャリッジ横移動機構、11…多孔質ガラス母材、
12 支持装置（１）、13…種棒、 14
支持装置（２） Ｌ1 …本発明の焼結炉の有効ストローク長、Ｌ2 …本発
明の焼結炉の全高、Ｌ3 …従来例の焼結炉の有効ストロ
ーク長、Ｌ4 …従来例の焼結炉の全高。
ヒーター、 ４，24…加熱炉、５，25…石英ガラ
ス母材、 ６，26…キャリッジ、７，27…支持棒、
８，28…引上機構、９…取付、取出装置、
10…キャリッジ横移動機構、11…多孔質ガラス母材、
12 支持装置（１）、13…種棒、 14
支持装置（２） Ｌ1 …本発明の焼結炉の有効ストローク長、Ｌ2 …本発
明の焼結炉の全高、Ｌ3 …従来例の焼結炉の有効ストロ
ーク長、Ｌ4 …従来例の焼結炉の全高。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱口 一宏 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 20/00 C03B 8/04 C03B 37/012
Claims (4)
- 【請求項１】石英ガラス母材の製造方法における多孔質
ガラス母材の焼結装置において、該焼結装置におけるこ
の母材の回転を行なうキャリッジ部が垂直方向に移動す
るための引上機構と共に、引上軸に直角の水平方向に移
動するための横移動機構を有するものとしてなることを
特徴とする石英ガラス母材の製造方法。 - 【請求項２】石英ガラス母材の製造方法における多孔質
ガラス母材の焼結装置において、該焼結装置に対する多
孔質ガラス母材の取りつけあるいは脱水、透明ガラス化
した石英ガラス母材の取出しを、この母材の取付、取出
装置が支持棒を介さず直接この母材の種棒を把持するよ
うにしてなることを特徴とする石英ガラス母材の製造方
法。 - 【請求項３】取付、取出装置がキャリッジ部よりなるも
のである請求項２に記載した石英ガラス母材の製造方
法。 - 【請求項４】石英ガラス母材が光ファイバ用ガラス母材
である請求項１または２に記載した石英ガラス母材の製
造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5058591A JP2818350B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
| US08/207,541 US5423898A (en) | 1993-03-18 | 1994-03-07 | Method of lowering and raising a optical fiber preform in a sintering furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5058591A JP2818350B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06271324A JPH06271324A (ja) | 1994-09-27 |
| JP2818350B2 true JP2818350B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=13088736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5058591A Expired - Fee Related JP2818350B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 石英ガラス母材の製造方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2818350B2 (ja) |
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| KR100346112B1 (ko) | 1999-12-22 | 2002-08-01 | 삼성전자 주식회사 | 솔-젤 공법을 채용한 광섬유 모재 제조공정의 소결공정에서 오버 자켓팅 튜브 소결장치 및 그 방법 |
| JP4615085B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2011-01-19 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材吊下げ支持装置 |
| DE10020033C2 (de) * | 2000-04-22 | 2003-04-03 | Heraeus Quarzglas | Vorrichtung zum Sintern eines Formkörpers |
| US8047023B2 (en) * | 2001-04-27 | 2011-11-01 | Corning Incorporated | Method for producing titania-doped fused silica glass |
| JP2003040638A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法 |
| US20110100064A1 (en) * | 2004-12-23 | 2011-05-05 | Nextrom Holling, S. A. | Method and apparatus for manufacturing an optical fiber core rod |
| US20060162390A1 (en) * | 2004-12-23 | 2006-07-27 | Nextrom Oy | Method and apparatus for sintering porous optical fiber preforms |
| JP5345352B2 (ja) * | 2008-08-04 | 2013-11-20 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用母材の製造方法 |
| EP3490946A1 (en) * | 2016-07-29 | 2019-06-05 | Corning Incorporated | System and method for positioning an optical preform in a furnace |
| CN108218217A (zh) * | 2018-04-11 | 2018-06-29 | 王丽 | 一种用于光纤制造的光纤预制棒制造器 |
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|---|---|---|---|---|
| US1213285A (en) * | 1908-11-27 | 1917-01-23 | Pittsburgh Plate Glass Co | Apparatus for handling glass cylinders. |
| US3981369A (en) * | 1974-01-18 | 1976-09-21 | Dolphin International, Inc. | Riser pipe stacking system |
| US4350569A (en) * | 1980-07-02 | 1982-09-21 | Phillips Petroleum Company | Fractional distillation column control |
| US5221309A (en) * | 1984-05-15 | 1993-06-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing glass preform for optical fiber |
| FR2585066B1 (fr) * | 1985-07-19 | 1988-05-13 | Brissonneau & Lotz | Procede et installation de rangement vertical de tiges de forage sur une tour de forage |
| GB2179340B (en) * | 1985-08-21 | 1989-03-22 | Stc Plc | Optical fibre manufacture |
| US4906268A (en) * | 1986-01-30 | 1990-03-06 | Corning Incorporated | Heating oven for preparing optical waveguide fibers |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP5058591A patent/JP2818350B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-03-07 US US08/207,541 patent/US5423898A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06271324A (ja) | 1994-09-27 |
| US5423898A (en) | 1995-06-13 |
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