JP2809688B2 - 熱磁気記録ヘッド - Google Patents

熱磁気記録ヘッド

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JP2809688B2 JP1109007A JP10900789A JP2809688B2 JP 2809688 B2 JP2809688 B2 JP 2809688B2 JP 1109007 A JP1109007 A JP 1109007A JP 10900789 A JP10900789 A JP 10900789A JP 2809688 B2 JP2809688 B2 JP 2809688B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は熱磁気記録ヘッドに関するものである。
磁気媒体、特にテープの上に情報の要素を高密度で高
速記録するには、高速の応答を有するコンパクトな磁気
記録ヘッドが必要である。
本出願人が1985年10月4日に出願したフランス特許第
8514766号は、これらの条件に合った熱磁気形のヘッド
を既に開示している。このヘッドはゆるやかなキュリー
温度、すなわち例えば100℃程度の周囲温度より少し高
い温度を持つ磁気基板を有する。またこのヘッドには少
し離れた2個の電極がある。これらの2個の電極に電位
差が加えられると、2個の電極の間に置かれる磁気材料
の部分に電流が流れる。電流はこの部分をキュリー点以
上に加熱する。こうして加熱された材料はそのとき非磁
気性となり、ギャップを形成し、つまり情報の要素を磁
気媒体の上に記録することができる。
熱磁気形のヘッドに関する本発明は、記録できる情報
の密度および記録速度を大幅に改善させる。
本発明による磁気ヘッドでは、ギャップ両側の磁極片
はこのギャップの熱電流を伝える電気導線を構成する。
磁極片のキュリー温度はギャップの材料のキュリー温度
よりも高いことが望ましい。また、ギャップの材料の抵
抗率が磁極片を形成する材料の抵抗率よりも大きいこと
が望ましい。
ギャップは磁極片の材料とは違った材料で作られてい
るので、その厚さは制限される。これによって磁気媒体
の上に記録される区域の範囲が制限され、したがってこ
の媒体上の情報の高密度が助長される。さらに、磁極片
自体が導電性であるときは、ヘッドの製作が極めて簡単
になる。また、もし磁極片のキュリー点が高いならば、
(ギャップ材料のキュリー温度と同じ位の)動作温度
で、これらの磁極片の磁化の高振幅が得られ、したがっ
て磁気媒体上の情報の要素の書込みは一段と効率が良く
なる。
磁極片を形成する材料は、例えばパーマロイとして知
られる鉄およびニッケル合金であったり、センダストと
して知られるシリコンおよびアルミニウム合金であった
り、コバルトおよびジルコニウム合金である。これらの
磁極片は10〜100μΩcmの範囲の抵抗率を有する純鉄製
でもよい。これらの材料のキュリー点は約200℃〜400℃
の範囲である。
ギャップ層は例えばマンガン、亜鉛およびリチウムの
フェライトのような酸化鉄で作られることが望ましい。
この種の酸化物の磁気飽和は20℃で2000〜5000ガウスの
範囲であり、またキュリー点は60℃〜150℃の範囲であ
る。ギャップを形成する材料の抵抗率は2価鉄と3価鉄
との割合を調整することによって調節することができ
る。こうして、0.1〜10Ωcmの範囲の抵抗率を達成する
ことができる。
ヘッドは、例えば、基板上にまず第1磁極片の薄層を
付着させ、次に第1磁極片層の厚さよりも薄い層のギャ
ップ材料を付着させ、さらにギャップ層の上に第2磁極
片の材料を付着させて作る本出願人のために出力された
フランス特許第8614974号に開示された方法の薄層で作
られることが望ましい。最後に、こうして3つの層でお
おわれた表面はそのギャップを裸にするように研磨され
る。この方法により極めて小さい幅のギャップが得ら
れ、つまり媒体に記録される情報の密度は最適となる。
本発明の上記以外の特徴および利点は、その若干の実
施例の付図に関する下記説明により明らかになると思
う。
第1図の例では、基板10は非磁気材料、例えば厚さ30
0μのシリコンで作られている。
この基板10の上に、磁気ヘッドの主素子、すなわち2
個の磁極片11および12ならびにギャップ13が薄層の形に
付着されている。
ギャップ13の厚さは層11の厚さよりも薄い。このギャ
ップ13は、基板10と第2磁極片を形成する層12との間に
入れられる層14の肩を形成する。この副層14は、第3図
に関して下記に詳しく説明する通り作られる。
層11は電気導線11aに接続されている。同様に、層12
はもう1つの電気導線12aに接続されている。
それぞれ磁極片11および12に面する2個のアーム16な
らびに17を持つ磁石15によって、基板すなわち「ウェー
ハ」10に向かい合った磁気回路が閉じられる。読出しま
たは書込みコイル18,19はこれらの各アームに巻かれて
いる。
磁極片11および12は、約150℃より高いキューリ点を
持ちかつ同時に導電特性を有する磁気材料で作られてい
る。その抵抗率は10〜100μΩcmの範囲内であることが
望ましい。層11および12を作るために、鉄約20%とニッ
ケル約80%とから成るパーマロイまたは鉄約80%とシリ
コン約10%とアルミニウム約10%とから成るセンダスト
を使用することができる。コバルト約95%とジルコニウ
ム約5%とから成る合金を使用することもできる。ま
た、純鉄を使用することもできる。
層14は周囲温度で磁気材料である。しかしそのキュー
リ点は層11および12の材料のキューリ点より低い。この
層14(つまりギャップ13)の材料のキュリー温度は60℃
〜150℃の範囲である。さらに、この層14の抵抗率は層1
1および12の抵抗率より大きい。与えられた例では、こ
の抵抗率の範囲は0.1〜10Ωcmである。それは、陽イオ
ン成分としてマンガン約40%、亜鉛約50%およびリチウ
ム約10%を有するマンガン、亜鉛およびリチウムのフェ
ライトのような酸化鉄から成る。この種の酸化物の磁気
飽和は20℃で2000〜5000ガウス程度である。
どんな場合でも、ギャップ層13の抵抗率は2価鉄(Fe
++またはMn++あるいはZn++)および3価鉄(Fe+++)の
割合を選択することによって調節することができる。
情報の要素は、ギャップ13がキュリー温度を越えてそ
の磁気特性を失うようにギャップ13を加熱するように、
電流が層11,13および12を経て導線11a,12aによって注入
されるとき磁気ヘッドにより記録される。
この種の磁気ヘッドでは、コイル18および19をアドレ
スする装置を具備する必要はない。さらに詳しく述べれ
ば、情報の要素を記録するために、コイルは永久に供給
されかつ書込みはアドレス電流が導線11a,12aによって
伝送されるときにのみ行われる。
ギャップの加熱を効率良くするには、層13の材料の抵
抗率と層11および12の材料の抵抗率との比が10,000より
大きいことが望ましい。その上、層13の材料の抵抗率が
破壊を回避するために10Ωcmを越えてはならないことが
望ましい。実際に、層13の抵抗率が過度に低い場合は、
磁極11および12は過度に加熱されることになる。この層
13の抵抗率が過度に高い場合は、この層の加熱を作るに
要する電位差は、磁極11と12との間のこのギャップを通
して電弧、すなわち火花を作る。
第2図に示される変形が第1図の形と違う点は、基板
10の上に熱および電気絶縁特性を持つ層20があり、また
この層20と層11との間に金属層21がある点である。ギャ
ップ層13、14と層12との間には別の金属層22も置かれて
いる。層21および22を形成する金属は例えば銅である。
層21および22はギャップ13を加熱するためにそれに伝
送される電流の導電率を改善する。1つの変形では、層
11および12は導電性ではなく、電流は金属層21ならびに
22を経てのみギャップ13を加熱するようにギャップ13に
伝送される。
ギャップおよび磁極11,12の冷却は、熱および電気絶
縁層20が厚いので、すべて時間がかかる。すなわち、磁
気ヘッドの応答の速度、特に各信号が記録される時間
は、層10の厚さを調節することによって調節可能であ
る。
印加電界2×107V/m(ボルト/メートル)、層13を形
成するフェライトの抵抗率10-2Ωcm、このフェライトの
密度5000kg/m3、この同じフェライトの発熱容器1.5キロ
ジュール/kg℃である場合、この層13のキュリー点は周
囲温度20℃から約20ナノ秒の時間内に達成される。セン
ダスト製の磁極片11および12の場合は、ヘッドは約100
ナノ秒で冷却される。
長さ5μ、幅0.4μ、深さ0.5μのギャップを持つ点を
記録するのに必要なエネルギーは約50ピコジュールであ
る。こうして、1ギガビット/秒の周波数で情報の要素
を記録するように設計された1組の磁界ヘッドは、その
アドレス用に1ワット弱の値の電力を必要とするに過ぎ
ない。
第1図に示されるヘッドを作る手順が、第3a図〜第3d
図を参照して以下に説明される。
絶縁ウェーハ10の上には、磁気および電気導通の両特
性を持つ層11(第3a図)がまず付着される。
次に、ホトエッチングによってこうして作られた部分
11の上には、低いキュリー点を有する磁気特性を持つギ
ャップ材料の層14が付着される。この付着は、層11によ
っておおわれないウェーハ10の部分にも、層11自体の上
にも作られて、層11の少なくとも1つの縁25を含む。ウ
ェーハ10に直接付着された部分と結合する層14の部分、
および層11に付着された部分はギャップ14(第3b図)を
形成する。層14の厚さは層11の厚さよりも薄い。
次に(第3c図)、層10と同じ材料の層26が付着され
る。この層26は第2磁極片12を形成するように設計され
ており、ギャップ層13で終る層14の部分をおおい、この
ギャップ13は層14の一部27と共に層11の上に重ねられ
る。
ギャップ13は既に重ねられた層の研磨によって裸にさ
れる(第3d図)。この研磨により、層11をおおうととも
に層11の上でもある層26の部分をおおう層14の部分が除
去される。
この極めて簡単な方法は最小幅のギャップ13を得るの
に用いられるが、前記幅は薄層14の厚さである。
我々が第1図〜第3図に関していま開示した磁気ヘッ
ドは、磁気媒体にデータを高速記録できるように数個の
かかるヘッドを含む装置に使用することができる。この
種の装置は第4図に示されている。
この例では、ウェーハ10はダイオード30を形成するシ
リコンのような半導体で作られている。これらのダイオ
ードには、まず電流引込み導線31が接続され、次に上述
の磁気おおび導電特性を持つ磁極片11が接続される。
磁極片11は電流引込み導線31に垂直である。
ダイオード30の数は磁気ヘッドの数に等しい。他方で
は、導線31の数がそれより少ないのは、各導線31が数個
のダイオードに接続されているからである。こうして、
導線31aはダイオード311a、302aおよび303aに接続され
ている。図面により明白にするために3つの部分で示さ
れた導線31bは、ダイオード301b、302bおよび303bに接
続されている。
磁極片121、122、123、……は数個の、本例では4個
の磁気ヘッドに共通である。こうして、磁極片121は磁
極片111a、111b、111cならびに1111dと組み合わされ
る。
このようにして、マトリックス形のアドレス動作はす
べてのヘッドについて行われる。一例として、2000個の
ヘッドを持つ装置は20個の入力導線31および100個の出
力磁極片12と組み合わされる。
こうして、100個の磁気ヘッドで情報の要素を同時に
記録することができる。例えば、導線31aに正電位が加
えられ、すべての層12に負電位が加えられるとき、ギャ
ップ131a、132a、133aなどに電流が流れ、したがってこ
れらのギャップは加熱されてキュリー点を越えるように
なる。
ギャップの加熱は熱の拡散により、例えば基板(ウェ
ーハ10)を通して隣接ギャップを加熱させることを認め
るべきである。もちろん、異なる材料のパラメータ、特
にウェーハ10の熱絶縁特性は、この隣接するギャップの
温度がキュリー点以下に保たれるようなものである。し
かし、もしこのすぐ隣りのギャップが前に加熱されてい
たならば、熱拡散によるわずかな加熱がこのギャップを
キュリー点以上に加熱させる考えられる可能性が残され
ていたであろう。これが、2個の近接磁気ヘッドが同時
にアドレスされない理由である。例えば、図4に示すよ
うに各磁極片12が4個の磁気ヘッドと組み合わされると
き、電流は1,3,2,4のヘッド順にヘッドを流れる。
1つの変形では、ダイオード30は用済みとなり、ギャ
ップ13がこれらのダイオードの役割を演じる。この趣旨
で、ギャップの材料は負の温度係数(NTC)を持つ導線
である。こうして、ギャップ13の温度が充分高いとき、
ギャップは周囲温度で一段と導電性になることが認めら
れる。すなわち、電流はそのとき非アドレスのヘッドで
はなくアドレスされるべきヘッドを優先的に流れる。ギ
ャップがこのNTC導電特性を有するために、それは例え
ば上述の通りマンガン、亜鉛およびリチウムのフェライ
トで作られる。
もう1つの実施例(第5図)では、磁気ヘッドM1
M2、M3などは、磁気媒体に記録される2個の隣接トラッ
ク間のピッチを最小にすることができるように組み立て
られている。この趣旨で、ギャップ131、132、133、134
などは2つの平行線40および41に沿って互い違いに置か
れている。さらに詳しく述べれば、磁極片111、112、11
3などは磁気媒体に記録すべきトラックの幅を有し、そ
れらは2組の平行ストリップ群に組み立てられ、1組は
行40の左に、他の組は行41の右に組み立てられる。これ
らの行40と41との間に、共通磁極片12が具備されてい
る。同じ組のストリップ11に最も近い平行縁、例えばス
トリップ112および114の縁43ならびに44は各ストリップ
の幅に等しい距離だけ分離される。縁43と44との間の間
隔は第2組のストリップ113によって占められるが、部
分12の他の側に占められる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による磁気ヘッドの断面図、第2図は第
1図の変形ヘッドの部分断面図、第3a図〜第3d図は第1
図によるヘッドを作る方法を示す工程断面図、第4図は
本発明による磁気ヘッドの組立図、第5図は第4図に示
す磁気ヘッドの変形例を示す図である。 10……ウェーハ(基板)、11,12……磁極片、13……ギ
ャップ、14……層、11a,12a……導線、15……磁石、16,
17……アーム。

Claims (23)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】周囲温度で磁気特性を有するギャップと、
    ギャップの磁気特性を失わせるようにギャップの材料を
    キュリー温度以上にさせる加熱装置とを含む熱磁気記録
    ヘッドにおいて、ギャップの両側の磁極片がギャップの
    加熱電流を伝送する電気導体を形成することを特徴とす
    る熱磁気記録ヘッド。
  2. 【請求項2】磁極片の材料のキュリー温度はギャップ材
    料のキュリー温度より高いことを特徴とする請求項1記
    載の熱磁気記録ヘッド。
  3. 【請求項3】ギャップの材料の抵抗率は磁極片の材料の
    抵抗率より大きいことを特徴とする請求項1または2記
    載の熱磁気記録ヘッド。
  4. 【請求項4】ギャップの材料の抵抗率と磁極片の材料の
    抵抗率との比が10,000より大であることを特徴とする請
    求項3記載の熱磁気記録ヘッド。
  5. 【請求項5】磁極片の抵抗率が10〜100μΩcmの範囲内
    であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記
    載の熱磁気記録ヘッド。
  6. 【請求項6】ギャップの材料の抵抗率が多くて10Ωcmで
    あることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載
    の熱磁気記録ヘッド。
  7. 【請求項7】ギャップの材料の抵抗率が0.1Ωcmより大
    きいことを特徴とする請求項6記載の熱磁気記録ヘッ
    ド。
  8. 【請求項8】磁極片を形成する材料が下記の属、すなわ
    ち鉄・ニッケル合金、鉄・シリコン・アルミニウム合
    金、コバルト・ジルコニウム合金、および純鉄から選択
    されることを特徴とする請求項1記載の熱磁気記録ヘッ
    ド。
  9. 【請求項9】ギャップを形成する材料が酸化鉄である、
    ことを特徴とする請求項1記載の熱磁気記録ヘッド。
  10. 【請求項10】ギャップを形成する材料がマンガン、亜
    鉛およびリチウムのフェライトであることを特徴とする
    請求項9記載の熱磁気記録ヘッド。
  11. 【請求項11】このギャップの材料のキュリー温度は60
    ゜〜150℃の範囲内であることを特徴とする請求項1乃
    至10のいずれかに記載の熱磁気記録ヘッド。
  12. 【請求項12】磁極片およびギャップが基板上に薄層の
    形で付着されることを特徴とする請求項1乃至11のいず
    れかに記載の熱磁気記録ヘッド。
  13. 【請求項13】各磁極片が導電性金属層と組み合わされ
    ることを特徴とする請求項12記載の熱磁気記録ヘッド。
  14. 【請求項14】金属層が磁極片と基板との間に入れられ
    ることを特徴とする請求項13記載の熱磁気記録ヘッド。
  15. 【請求項15】電気絶縁および熱絶縁層が基板と磁極片
    およびギャップの層との間に入れられることを特徴とす
    る請求項12ないし14のいずれかに記載の熱磁気記録ヘッ
    ド。
  16. 【請求項16】ギャップ層は隣接する磁極片層よりも薄
    い層の肩を形成し、その上に第2磁極片が付着されてい
    ることを特徴とする請求項12ないし15のいずれかに記載
    の熱磁気記録ヘッド。
  17. 【請求項17】ギャップを形成する材料は負抵抗の特性
    (NTC)を示すように温度が増加するときに抵抗率が低
    くなることを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記
    載の熱磁気記録ヘッド。
  18. 【請求項18】ギャップ材料が酸化鉄、特にマンガン、
    亜鉛およびリチウムのフェライトであることを特徴とす
    る請求項17記載の熱磁気記録ヘッド。
  19. 【請求項19】磁極片のキュリー温度は200℃〜400℃の
    範囲内であることを特徴とする請求項1記載の熱磁気記
    録ヘッド。
  20. 【請求項20】ギャップによって分離される薄層の形を
    した2個の磁極片を持つ磁気ヘッドにおいて、前記ギャ
    ップは、一方の磁極片の下面に付着された層の肩を形成
    し、このギャップの厚さは他方の磁極片層の厚さよりも
    薄く、またギャップを形成する材料は周囲温度で磁気材
    料であり、ギャップの温度をキュリー点以上にする加熱
    装置が具備されていることを特徴とする熱磁気記録ヘッ
    ド。
  21. 【請求項21】ギャップが1行に配列され、かつ数個の
    素子群の形のヘッドを順次加熱する装置が具備され、そ
    の順序は2個の隣接するヘッドが連続して加熱されない
    ような順序であることを特徴とする請求項1乃至20のい
    ずれかに記載の数個の熱磁気記録ヘッドを含む装置。
  22. 【請求項22】数個の熱磁気記録ヘッドが1つの共通磁
    極片を有し、その両側にいろいろなヘッドの第2磁極片
    が互い違いに配置されることを特徴とする請求項1ない
    し20のいずれかに記載の数個の熱磁気記録ヘッドを含む
    装置。
  23. 【請求項23】ヘッドの第2磁極片は同じ幅の平行スト
    リップの形をして、共通磁極片の1つの同じ側に置かれ
    るストリップは各ストリップの幅に等しい間隔だけ分離
    されていることを特徴とする請求項22記載の装置。
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