JPS59210516A - 磁気記録再生薄膜ヘツド - Google Patents
磁気記録再生薄膜ヘツドInfo
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- JPS59210516A JPS59210516A JP59047203A JP4720384A JPS59210516A JP S59210516 A JPS59210516 A JP S59210516A JP 59047203 A JP59047203 A JP 59047203A JP 4720384 A JP4720384 A JP 4720384A JP S59210516 A JPS59210516 A JP S59210516A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive layer
- coil
- layer
- insulating layer
- thin film
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/17—Construction or disposition of windings
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、磁気記録再生用薄膜ヘッドに関するものであ
り、より具体的には、薄膜状の磁気的読み出し/書き込
みヘッドの平らに巻かれたら線状導電体を駆動させるた
めの配線の配置に関するものである。
り、より具体的には、薄膜状の磁気的読み出し/書き込
みヘッドの平らに巻かれたら線状導電体を駆動させるた
めの配線の配置に関するものである。
一般に薄膜状の磁気部材は、磁気記録技術においてよく
知られている。この薄膜状の磁気的読み出し、書き込み
ヘッドは、第1図及び第2図において従来技術として図
示されている。これは本件特許出願と同じ出願人による
米国特許出願第613.841号の第1図及び第2図に
対応するものである。これらの図において、薄膜記録ヘ
ッド10は、支持体60の上に形成された底部導電層2
0と、第一導電層20の上に析出させた第一絶縁層60
aとからなる。巻線40略ま第一絶縁層60aの頂部に
配置され、第二絶縁層60bは巻線40の頂部に配置さ
れている。次いで極片50は、その一端が第一絶縁層6
0&によって導電J*j 20から分離されて空隙52
を形成するように第二絶縁J@60 bの上表面に設け
られている。極片50はその他端54が巻線40の軸中
心のところで底部等電層20と直接接触するように巻線
40の一つの側の上をのびている。橋のようになってい
る電線46は巻線40の内側の端を第一の接続部42に
接続する。第二の電線48は巻線4oの外側の端を第二
の接続パッド42に接続する。その接続パッド42.4
2’は、換言すればそれぞれ電流ドライバ44.44’
に接続されているのである。操作時にはその電流ドライ
バからの電流は巻、1140を辿って流れ、上述の空隙
52のところで磁場を生ずる。生成した磁場は磁気テー
プ、他の同様な記録媒体70の」−に磁気的斑点を記録
するのに役たつ。逆のやり方では読み出し/書き込みヘ
ッドはあらかじめ記録媒体70上に記録された磁気的デ
ーターを読み出すように働く。
知られている。この薄膜状の磁気的読み出し、書き込み
ヘッドは、第1図及び第2図において従来技術として図
示されている。これは本件特許出願と同じ出願人による
米国特許出願第613.841号の第1図及び第2図に
対応するものである。これらの図において、薄膜記録ヘ
ッド10は、支持体60の上に形成された底部導電層2
0と、第一導電層20の上に析出させた第一絶縁層60
aとからなる。巻線40略ま第一絶縁層60aの頂部に
配置され、第二絶縁層60bは巻線40の頂部に配置さ
れている。次いで極片50は、その一端が第一絶縁層6
0&によって導電J*j 20から分離されて空隙52
を形成するように第二絶縁J@60 bの上表面に設け
られている。極片50はその他端54が巻線40の軸中
心のところで底部等電層20と直接接触するように巻線
40の一つの側の上をのびている。橋のようになってい
る電線46は巻線40の内側の端を第一の接続部42に
接続する。第二の電線48は巻線4oの外側の端を第二
の接続パッド42に接続する。その接続パッド42.4
2’は、換言すればそれぞれ電流ドライバ44.44’
に接続されているのである。操作時にはその電流ドライ
バからの電流は巻、1140を辿って流れ、上述の空隙
52のところで磁場を生ずる。生成した磁場は磁気テー
プ、他の同様な記録媒体70の」−に磁気的斑点を記録
するのに役たつ。逆のやり方では読み出し/書き込みヘ
ッドはあらかじめ記録媒体70上に記録された磁気的デ
ーターを読み出すように働く。
第1図及び第2図の薄膜ヘッドの形成は、詳細には次の
ように説明されてもよい。すなわちシリコンあるいはセ
ラミックの支持体60はパーマロイ[NiFe]磁性材
利からなる第一導電層2゜で被Wtされている。二酸化
珪素からなる屹−絶縁層60aはパーマロイ層20の上
に形成される。
ように説明されてもよい。すなわちシリコンあるいはセ
ラミックの支持体60はパーマロイ[NiFe]磁性材
利からなる第一導電層2゜で被Wtされている。二酸化
珪素からなる屹−絶縁層60aはパーマロイ層20の上
に形成される。
次にアルミニウム(あるいは金、銀あるいは銅のような
他の導電体)は巻線40になるように析出され固形化さ
れる。巻線40は、第二の二酸化珪素絶縁層60bによ
って被すされる。橋かけの電線46は′よりM Di
sk Storage Technology”誌
(1980年2月刊行)第7頁に論述されているように
、巻線40と同じ句料あるいはパーマロイからなってい
る。第2図における僑かけ電線は、ある従来技術の薄膜
装飯においては第二絶縁層60bの下に配置されている
けれども橋かけ電線は、第二絶縁層60bの」二表面に
設けられる。加えて第二の図形の巻線が設けられていて
もよい。たとえば、IB Mは1層につき4つの曲りを
もつ2層の巻線を使った記録ヘッドを生産しており、’
D A S T E K社は1つのj〜に5つの曲り
をもち、他の層に4つの曲りをもつ改良された記録ヘッ
ドを生産している。本発明は、巻線の1つの層に関して
1つの層を参照して説明されているけれども、本発明は
それに限定されないことは明らかである。巻+1tii
140の形成ののち、イ弘片5゜がパーマロイで形成さ
れ、その端部54の1つが底部パーマロイ層2oと接触
し、他の端部56は記録突膝52をつくるように第1絶
縁層60&によって底部パーマロイとは分離されている
。
他の導電体)は巻線40になるように析出され固形化さ
れる。巻線40は、第二の二酸化珪素絶縁層60bによ
って被すされる。橋かけの電線46は′よりM Di
sk Storage Technology”誌
(1980年2月刊行)第7頁に論述されているように
、巻線40と同じ句料あるいはパーマロイからなってい
る。第2図における僑かけ電線は、ある従来技術の薄膜
装飯においては第二絶縁層60bの下に配置されている
けれども橋かけ電線は、第二絶縁層60bの」二表面に
設けられる。加えて第二の図形の巻線が設けられていて
もよい。たとえば、IB Mは1層につき4つの曲りを
もつ2層の巻線を使った記録ヘッドを生産しており、’
D A S T E K社は1つのj〜に5つの曲り
をもち、他の層に4つの曲りをもつ改良された記録ヘッ
ドを生産している。本発明は、巻線の1つの層に関して
1つの層を参照して説明されているけれども、本発明は
それに限定されないことは明らかである。巻+1tii
140の形成ののち、イ弘片5゜がパーマロイで形成さ
れ、その端部54の1つが底部パーマロイ層2oと接触
し、他の端部56は記録突膝52をつくるように第1絶
縁層60&によって底部パーマロイとは分離されている
。
微小化への全体的な傾向をもって、上述の薄膜磁気記録
/再生ヘッドがサイズを小さくするようニ[i!4発さ
れる必要があった。薄膜装置のサイズを小さくする1つ
の方法は支持体上に塗設された1つあるいはそれ以−H
の層を除くことである。しかしながら従来技術において
は薄膜磁気記録/男性ヘッドがその所定の目的の為には
件部しない装置にしてしまうことなく除去されつるとい
う構造や方法を開発する者はいなかった。
/再生ヘッドがサイズを小さくするようニ[i!4発さ
れる必要があった。薄膜装置のサイズを小さくする1つ
の方法は支持体上に塗設された1つあるいはそれ以−H
の層を除くことである。しかしながら従来技術において
は薄膜磁気記録/男性ヘッドがその所定の目的の為には
件部しない装置にしてしまうことなく除去されつるとい
う構造や方法を開発する者はいなかった。
本発明の目的は、薄膜磁気記録/再生ヘッドの支持体上
に析出されるあるいは設けられる少なくとも1つの層を
除去して、装置の全厚を小ならしめることにある。
に析出されるあるいは設けられる少なくとも1つの層を
除去して、装置の全厚を小ならしめることにある。
本発明の他の目的は、薄膜磁気記録/再生ヘッドを製造
するために必要なプロセス工程の数音減少せしめること
にある。
するために必要なプロセス工程の数音減少せしめること
にある。
本発明の他の目的T;′l: 、薄膜磁気記録/再生ヘ
ッドの構造を簡略化することにある。
ッドの構造を簡略化することにある。
これらの諸目的及び他の目的は、巻線の内側の端を電流
導入部に接続している4〜かけのパーマロイ導電体を除
去することによって実現される。底部パーマロイ層と巻
線の内側總部の間に直接電気接触がなされる。その電流
ドライバは底部パーマロイ層に直接結合されている。こ
のように電気的接触は槁わたしのパーマロイ導電体を挿
入する必要もなく、巻線と電流ドライバの間に達成され
る。
導入部に接続している4〜かけのパーマロイ導電体を除
去することによって実現される。底部パーマロイ層と巻
線の内側總部の間に直接電気接触がなされる。その電流
ドライバは底部パーマロイ層に直接結合されている。こ
のように電気的接触は槁わたしのパーマロイ導電体を挿
入する必要もなく、巻線と電流ドライバの間に達成され
る。
さらに巻線の磁場発生の側から巻線の電気的にドライブ
された部分を分離するために、底部パーマロイ層はそれ
が記録間隙のところで磁束で障害とならないように切除
されうる。
された部分を分離するために、底部パーマロイ層はそれ
が記録間隙のところで磁束で障害とならないように切除
されうる。
本発明の前述の及び他の観点はその好ましい実m態様の
H゛1.細な記述で明らかにされるであろう。
H゛1.細な記述で明らかにされるであろう。
本発明の第一の実施態様は、第6図と第4図を参照して
説明されよう。図においては、両図と同様にして参照符
号が付せられている。底部パーマロイ層20が支持体6
0の一つの表面上に配置されている。第−絶縁層60a
は、K部パーマロイ層20の上表面に配置されている。
説明されよう。図においては、両図と同様にして参照符
号が付せられている。底部パーマロイ層20が支持体6
0の一つの表面上に配置されている。第−絶縁層60a
は、K部パーマロイ層20の上表面に配置されている。
複数の巻線40は、該第−絶縁層60&の上方表面に付
着されて、その上に51−らなコイルを形成しており、
第二絶縁R・;60bは、巻、f44[Jの上に付着さ
れる。パーマロイ層るζ片50は、第二絶縁島60bの
上表面上に配置されてN 秘)4’ 50の一幼54か
、巻線40の軸中心のところでパーマロイ層20と接触
し、極片50の他端52は、ムう一絶縁層60aの厚さ
によってル成される空1績52によってパーマロイ層2
0から分トルされるようになっている。第6図と第4図
にツ6いて示されでいるような本丸l!IJの第一の態
様と第1図と第2図に示されるような従来技術の薄膜磁
気記録ヘッドとの間の相違は、巻線40と電流ドライバ
44,414’との間の配線接触にある。第4図におい
て最も明確に示されているように、せ線40の白画側4
1aは、第一絶縁層60aを通してのびて、巻線40と
底部パーマロイ層20との間の直接の電気的接触をなす
。底部パーマロイ層20は電線46′とバッド42を通
して電流l゛ライバ4に接続されている。電線46は底
部パーマロイ20の外側端部に接続されていることに注
意されたい。すなわち電線46′は、従来技術の橋かけ
電線の場合のように、薄膜磁気記録ヘッドの厚さには加
わらないのである。この方法では、電流ドライバ44か
らの電流は、電線46′を通って巻線40の内側の端部
41aに直接接続されている底部パーマロイ層20へ供
給されるのである。巻線40の外側の端部41bは電線
48を通ってパッド42に接続されており、すなわち−
流ドライバ44′へ(従来技術におけるように)接続さ
れているのである。
着されて、その上に51−らなコイルを形成しており、
第二絶縁R・;60bは、巻、f44[Jの上に付着さ
れる。パーマロイ層るζ片50は、第二絶縁島60bの
上表面上に配置されてN 秘)4’ 50の一幼54か
、巻線40の軸中心のところでパーマロイ層20と接触
し、極片50の他端52は、ムう一絶縁層60aの厚さ
によってル成される空1績52によってパーマロイ層2
0から分トルされるようになっている。第6図と第4図
にツ6いて示されでいるような本丸l!IJの第一の態
様と第1図と第2図に示されるような従来技術の薄膜磁
気記録ヘッドとの間の相違は、巻線40と電流ドライバ
44,414’との間の配線接触にある。第4図におい
て最も明確に示されているように、せ線40の白画側4
1aは、第一絶縁層60aを通してのびて、巻線40と
底部パーマロイ層20との間の直接の電気的接触をなす
。底部パーマロイ層20は電線46′とバッド42を通
して電流l゛ライバ4に接続されている。電線46は底
部パーマロイ20の外側端部に接続されていることに注
意されたい。すなわち電線46′は、従来技術の橋かけ
電線の場合のように、薄膜磁気記録ヘッドの厚さには加
わらないのである。この方法では、電流ドライバ44か
らの電流は、電線46′を通って巻線40の内側の端部
41aに直接接続されている底部パーマロイ層20へ供
給されるのである。巻線40の外側の端部41bは電線
48を通ってパッド42に接続されており、すなわち−
流ドライバ44′へ(従来技術におけるように)接続さ
れているのである。
巻線40とパーマロイ層20との間の接続は、達成する
のが容易である。1つの例として、絶縁体60&の付着
に続き、しかし金!Jt40においてパターンを付着し
形成する前に ii(孔部はパーマロイへ下降してのび
てM2Oにつくられる。金属析出の間、金属41aは開
孔部を満たす。
のが容易である。1つの例として、絶縁体60&の付着
に続き、しかし金!Jt40においてパターンを付着し
形成する前に ii(孔部はパーマロイへ下降してのび
てM2Oにつくられる。金属析出の間、金属41aは開
孔部を満たす。
このように本発明は、従来技術の橋かけ電線がなくなる
ということにおいて薄膜磁気記録ヘッドのための配線接
続を提供する。橋かけ電線を除去することによって、薄
膜磁気記録ヘッドの厚さは少なくなり、薄膜記録ヘッド
を製造するために必要なプロセス工程の数はそれに伴な
って少なくなる。
ということにおいて薄膜磁気記録ヘッドのための配線接
続を提供する。橋かけ電線を除去することによって、薄
膜磁気記録ヘッドの厚さは少なくなり、薄膜記録ヘッド
を製造するために必要なプロセス工程の数はそれに伴な
って少なくなる。
ある記録応用において、底部パーマロイ層も磁気記録コ
アの1つの側として役立つので、該層へ電流を与えるこ
とは不利であるかもしれない。言いかえれば、底部パー
マロイ層へ電気的励起を与えることによって底部パーマ
ロイ層20ト極片50によってつくられる磁気コアによ
って生じる磁束はたとえその両者間の空隙がより大きな
抵抗の道をつくるとしても逆に作用するかもしれない。
アの1つの側として役立つので、該層へ電流を与えるこ
とは不利であるかもしれない。言いかえれば、底部パー
マロイ層へ電気的励起を与えることによって底部パーマ
ロイ層20ト極片50によってつくられる磁気コアによ
って生じる磁束はたとえその両者間の空隙がより大きな
抵抗の道をつくるとしても逆に作用するかもしれない。
従って、第5図に示されるような本発明の第二の実施態
様においては、パーマロイ層20は、第一パーマロイ層
部分20aと第二パーマロイ層部分20bに分割される
。パーマロイ層部分20aと20bは、空隙22によっ
て分割される。第一の絶縁層6D&がパーマロイ層部分
20&と20bの上に析出されるとき、その部分60a
′は空隙22の中に詰まる。このやり方では、巻線40
の電気的入力機能はその磁気的出力機能からは分離され
る。
様においては、パーマロイ層20は、第一パーマロイ層
部分20aと第二パーマロイ層部分20bに分割される
。パーマロイ層部分20aと20bは、空隙22によっ
て分割される。第一の絶縁層6D&がパーマロイ層部分
20&と20bの上に析出されるとき、その部分60a
′は空隙22の中に詰まる。このやり方では、巻線40
の電気的入力機能はその磁気的出力機能からは分離され
る。
すなわち、パーマロイ層部分20&と20bの間に配置
されている絶縁部分60aはパーマロイ層部分20aと
極片5Qによってつくられる磁気コアを巻線40の磁気
的励起から絶縁する。
されている絶縁部分60aはパーマロイ層部分20aと
極片5Qによってつくられる磁気コアを巻線40の磁気
的励起から絶縁する。
本発明においては、それゆえに薄膜磁気記録ヘッドの巻
線の内側の端を電流ドライバに接続する橋かけ電線が排
除される。本発明のも′q造は、記述された特定の材料
に限定されるべきでないことは理解されるべきである。
線の内側の端を電流ドライバに接続する橋かけ電線が排
除される。本発明のも′q造は、記述された特定の材料
に限定されるべきでないことは理解されるべきである。
たとえば底部導電体層は、パーマロイからなっていても
よく、同様な磁気的及び電気的導電性の性質をもってい
る他の月利からなっていてもよい。さらに従来技術の薄
ね磁気記録ヘッドの橋かけ電線を排除するという技術は
、他の薄膜電気装置において、不必要な導電j〜を排除
するために使用されてもよい。
よく、同様な磁気的及び電気的導電性の性質をもってい
る他の月利からなっていてもよい。さらに従来技術の薄
ね磁気記録ヘッドの橋かけ電線を排除するという技術は
、他の薄膜電気装置において、不必要な導電j〜を排除
するために使用されてもよい。
最後に付属の特許請求の範囲の精神及び範囲から逸脱す
ることなく、本発明の上述の実施LQ e<に対して変
更がなされるうると理解されるべきである。
ることなく、本発明の上述の実施LQ e<に対して変
更がなされるうると理解されるべきである。
第1図は、従来技術による薄膜記録ヘッドの上面図、
第2図は第1図の薄膜記録ヘッドの断面図、第3図は本
発明の第一の実施M様による薄膜記録ヘッドの上面図、 第4図は第6図のN膜記録ヘッドの脚1面図、第5図は
本発明の第二の実施態様の断面図である。 図中 10・・記録ヘッド 6o・・支持体40・・巻 線
44.44’・・電流ドライバ46.48・・
電 線 20・・第一導電層60a、6ob・・第一絶
縁層 50・・極片 (他 6名)
発明の第一の実施M様による薄膜記録ヘッドの上面図、 第4図は第6図のN膜記録ヘッドの脚1面図、第5図は
本発明の第二の実施態様の断面図である。 図中 10・・記録ヘッド 6o・・支持体40・・巻 線
44.44’・・電流ドライバ46.48・・
電 線 20・・第一導電層60a、6ob・・第一絶
縁層 50・・極片 (他 6名)
Claims (7)
- (1)支持体、該支持体の表面上に配置されている第一
導電層、該第−導電層上に配置されている第一絶縁層、
該第−絶縁層上に配置されており、コイルの中心をなし
、少なくとも一つのまがり(turn)をもつ分離した
平らなコイルの形態をなす第二導電層、該第二導電層上
に配置されている第二絶縁層、該第二絶縁層からのびて
おり、該第二絶縁層上に配置されている極片からなり、
該コイルは内側の端部と外側の端部をもち、該コイルの
内側の端部は該第−絶縁層を通してのびて第一導電層に
接触しており、該極片は該第二絶縁層、該コイルのうず
まき中心及び第一絶縁層を通してのびて該第−導電層に
接触していることを特徴とする磁気記録再生用薄膜ヘッ
ド。 - (2)支持体、該支持体の表面上に配置されている第−
導電層、該第−導電層上に配置されている第一絶縁層、
該第−絶縁層上に配置されている第二導電層、該第二導
電層上に配置されている第二絶縁層、該第−絶縁層から
のびており、該第二絶縁層と該コイルの第二の側の上を
のびている極片、第一の導電層に結合している第一のコ
ネクター及び該コイルの外側に結合している第二のコネ
クターからなり、該第二の導電層はうずまきの中心をな
す少なくとも一つのまがりのある平らなコイルの形態を
なしており、該コイルは内側の端部、外側の端部及び第
二と第二の側を有し、該コイルの内側と外側の端部は該
コイルの第一の側の上に位置しており、該コイルの内側
の端部は該第−絶縁層を通してのびて該第−導電層に接
触し、該極片は該第二絶縁Ji# 1該コイルのうずま
き中心及び該第−絶縁層にのびて該第−導電層に接触し
ていることを特徴とする磁気記録再生用薄膜ヘッド。 - (3)該第−導電層は、該第−絶縁層によって分離され
た第一と第二の部分を有し、該第−導電層の上記第一の
部分は第一の電気的コネクターに接合されており、該第
−導電層の第二の部分は該電極片に接合されている特許
請求の範囲第1項に記載の磁気記録再生用薄膜ヘッド。 - (4)該第−導電層は該第−絶縁層によって分離された
第一と第二の部分を有し、該コイルの該第−の側は該第
−の導電層の第一の部分の上に配置されており、該コイ
ルの該第二の側は該第−導電層の第二の部分の上に配置
されており、該極片は該第−導電層の第二の部分に接触
している特許請求の範囲第2項に記載の磁気記録再生用
薄膜ヘッド。 - (5)ii−導電層は、パーマロイからなる特許請求の
範囲第1項に記載の磁気記録再生用薄膜ヘッド。 - (6)該極片はパーマロイからなる特許請求の範囲第1
項に記載の磁気記録再生用薄膜ヘッド。 - (7) 該Kg 二の7’+を気的コネクターは該コイ
ルの一部分からなる特許請求の範囲第1項に記載の磁気
記録再生用薄膜ヘッド。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/494,474 US4583143A (en) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | Wiring for thin film magnetic head |
US494474 | 1983-05-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59210516A true JPS59210516A (ja) | 1984-11-29 |
Family
ID=23964642
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59047203A Pending JPS59210516A (ja) | 1983-05-13 | 1984-03-14 | 磁気記録再生薄膜ヘツド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4583143A (ja) |
JP (1) | JPS59210516A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990002399A1 (de) * | 1988-08-19 | 1990-03-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Dünnfilm-magnetkopf |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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