JP2803111B2 - セラミックスの接合方法 - Google Patents
セラミックスの接合方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】 a. 産業上の利用分野 本発明はアルミナを含む複合セラミックスの接合方法
に関する。
に関する。
b. 従来の技術と解決しようとする課題 アルミナ（Al2O3）は、その電気絶縁性のため点火プ
ラグ,IC基板等に数多く使用されている。そのため大量
生産されておりコストが安いというメリットがあるが、
靭性が低く構造材料としての応用範囲はかなり限定され
ている。近年，ジルコニア（ZrO2）添加によるアルミナ
の高強度，高靭性化が盛んに行われているが、コストの
上昇を招来するという問題点がある。また、セラミック
ス同志の拡散による接合は従来から行われているが、セ
ラミックスがある温度域で容易に塑性変形することを利
用した例はない。従来の技術では接合面における接触面
積を大きくするため、平滑な接合面と大きな圧力を必要
とし、迅速な接合が行えなかった。
ラグ,IC基板等に数多く使用されている。そのため大量
生産されておりコストが安いというメリットがあるが、
靭性が低く構造材料としての応用範囲はかなり限定され
ている。近年，ジルコニア（ZrO2）添加によるアルミナ
の高強度，高靭性化が盛んに行われているが、コストの
上昇を招来するという問題点がある。また、セラミック
ス同志の拡散による接合は従来から行われているが、セ
ラミックスがある温度域で容易に塑性変形することを利
用した例はない。従来の技術では接合面における接触面
積を大きくするため、平滑な接合面と大きな圧力を必要
とし、迅速な接合が行えなかった。
また、熱間静水圧プレス（HIP）、あるいは熱間プレ
ス（HP）により焼結されたアルミナ／ジルコニア複合セ
ラミックスは高強度セラミックスとして注目されている
が、これらの焼結法は高温で高圧を必要とするため、大
きなものを焼結する場合には、装置および技術面におい
て困難な点が多い。
ス（HP）により焼結されたアルミナ／ジルコニア複合セ
ラミックスは高強度セラミックスとして注目されている
が、これらの焼結法は高温で高圧を必要とするため、大
きなものを焼結する場合には、装置および技術面におい
て困難な点が多い。
また、近年、アルミナにSicウイスカー等を分散させ
ることにより、高強度，高靭性化がはかられている。と
ころが、Sicウイスカー，ファイバーは高価であるた
め、これらで分散強化をおこなうと、コストが大幅に上
昇するとともに、焼結性が著しく低下し、大きな焼結体
を得ることが困難であった。
ることにより、高強度，高靭性化がはかられている。と
ころが、Sicウイスカー，ファイバーは高価であるた
め、これらで分散強化をおこなうと、コストが大幅に上
昇するとともに、焼結性が著しく低下し、大きな焼結体
を得ることが困難であった。
c. 課題を解決するための手段 本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、前記課題
を解決してなるセラミックスの接合方法を提供しようと
するものである。
を解決してなるセラミックスの接合方法を提供しようと
するものである。
すなわち、本発明においてはアルミナ／ジルコニア複
合セラミックスとアルミナとの接合、HIPあるいはHPに
より焼結されたアルミナ／ジルコニア複合セラミックス
同志、あるいは、この複合セラミックスと常圧焼結され
たアルミナ／ジルコニア複合セラミックスとの接合、層
状に重ねた組成の異なるアルミナ／ジルコニア複合セラ
ミックスと、この層状複合セラミックスを介設しておこ
なうアルミナとジルコニアの接合、アルミナと、アルミ
ナ／ウイスカーあるいはファイバー複合セラミックスと
の接合について本発明の方法を適用するものである。
合セラミックスとアルミナとの接合、HIPあるいはHPに
より焼結されたアルミナ／ジルコニア複合セラミックス
同志、あるいは、この複合セラミックスと常圧焼結され
たアルミナ／ジルコニア複合セラミックスとの接合、層
状に重ねた組成の異なるアルミナ／ジルコニア複合セラ
ミックスと、この層状複合セラミックスを介設しておこ
なうアルミナとジルコニアの接合、アルミナと、アルミ
ナ／ウイスカーあるいはファイバー複合セラミックスと
の接合について本発明の方法を適用するものである。
本発明はアルミナを含む複合セラミックスの接合条件
を温度1000〜1600℃，加圧応力15kg/mm2以下，歪速度10
-3/sec以下，結晶粒径アルミナ３μｍ以下として、拡散
により接合することによって前記課題を解消した。
を温度1000〜1600℃，加圧応力15kg/mm2以下，歪速度10
-3/sec以下，結晶粒径アルミナ３μｍ以下として、拡散
により接合することによって前記課題を解消した。
さらに互いに組成の近似したアルミナ／ジルコニア複
合セラミックスを複数層に重ね、これをアルミナとジル
コニアの間に介設して、前記接合条件により一体に接合
することによって前記課題を解消した。
合セラミックスを複数層に重ね、これをアルミナとジル
コニアの間に介設して、前記接合条件により一体に接合
することによって前記課題を解消した。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳
細に説明する。
細に説明する。
本発明の方法を適用する第１の対象としてアルミナ／
ジルコニア複合セラミックスとアルミナの接合について
述べる。
ジルコニア複合セラミックスとアルミナの接合について
述べる。
本発明ではアルミナの複合セラミックスとして、アル
ミナ／ジルコニア複合セラミックスを用いる。このアル
ミナ／ジルコニア複合セラミックスは、そのなかにSic
粒子あるいはSicファイバー、ウイスカー等を含むもの
でもよい。結晶粒の粒径は、アルミナ，ジルコニアとも
に３μｍ以下であることがよく、２μｍ以下であること
がより好ましい。結晶粒が３μｍを越える場合は、容易
に塑性変形せず、加圧中にクラックが生ずるおそれがあ
る。
ミナ／ジルコニア複合セラミックスを用いる。このアル
ミナ／ジルコニア複合セラミックスは、そのなかにSic
粒子あるいはSicファイバー、ウイスカー等を含むもの
でもよい。結晶粒の粒径は、アルミナ，ジルコニアとも
に３μｍ以下であることがよく、２μｍ以下であること
がより好ましい。結晶粒が３μｍを越える場合は、容易
に塑性変形せず、加圧中にクラックが生ずるおそれがあ
る。
一方、接合されるアルミナとして、大気中で例えば約
1600℃で焼結されたアルミナ焼結品を用いる。
1600℃で焼結されたアルミナ焼結品を用いる。
アルミナ／ジルコニア複合セラミックスと、これと接
合するアルミナとは1000〜1600℃の接合温度範囲をもっ
て接合する。1000℃未満の接合温度では容易に塑性変形
しないため不可である。また1600℃を超える接合温度に
なると結晶粒の成長が著しく弱くなり、完全な接合がで
きない。
合するアルミナとは1000〜1600℃の接合温度範囲をもっ
て接合する。1000℃未満の接合温度では容易に塑性変形
しないため不可である。また1600℃を超える接合温度に
なると結晶粒の成長が著しく弱くなり、完全な接合がで
きない。
加圧条件は、変形応力が15kg/mm2以下であって、その
加圧時の変形速度は１×10-3/sec以下とする。変形応力
が15kg/mm2以上となると、加圧中にクロックが発生す
る。また変形速度を１×10-3/sec以上とすると結晶粒界
にキャビティの生成と成長が著しくなり、強度が低下す
る。
加圧時の変形速度は１×10-3/sec以下とする。変形応力
が15kg/mm2以上となると、加圧中にクロックが発生す
る。また変形速度を１×10-3/sec以上とすると結晶粒界
にキャビティの生成と成長が著しくなり、強度が低下す
る。
次に本発明の方法を適用する第２の対象としてアルミ
ナ／ジルコニア複合セラミックス同志の接合に用いる。
すなわち、HIPもしくはHPにより焼結される高強度，高
靭性アルミナ／ジルコニア複合セラミックス同志、もし
くはこの複合セラミックスと常圧焼結されたアルミナ／
ジルコニア複合セラミックスを接合するものである。
ナ／ジルコニア複合セラミックス同志の接合に用いる。
すなわち、HIPもしくはHPにより焼結される高強度，高
靭性アルミナ／ジルコニア複合セラミックス同志、もし
くはこの複合セラミックスと常圧焼結されたアルミナ／
ジルコニア複合セラミックスを接合するものである。
この接合対象の接合方法は前記第１の対象の場合と同
一の条件によっておこなえばよい。
一の条件によっておこなえばよい。
また、本発明の方法を適用する第３の対象は、組成の
近似した複数のアルミナ／ジルコニア複合セラミックス
を層状に重ね、これを介してアルミナとジルコニアとを
接合するものである。
近似した複数のアルミナ／ジルコニア複合セラミックス
を層状に重ね、これを介してアルミナとジルコニアとを
接合するものである。
すなわち、アルミナ／ジルコニア複合セラミックス
は、アルミナと直接々合する側において、アルミナの組
成の多い複合セラミックスとし、ジルコニアと直接々合
する側においてジルコニアの組成の多い複合セラミック
スとして、このいくつかの組成の異なる複数のアルミナ
／ジルコニア複合セラミックスを重ねて、層状のアルミ
ナ／ジルコニア複合セラミックスとして、この複合セラ
ミックスを介設してアルミナとジルコニアとを接合する
ものである。
は、アルミナと直接々合する側において、アルミナの組
成の多い複合セラミックスとし、ジルコニアと直接々合
する側においてジルコニアの組成の多い複合セラミック
スとして、このいくつかの組成の異なる複数のアルミナ
／ジルコニア複合セラミックスを重ねて、層状のアルミ
ナ／ジルコニア複合セラミックスとして、この複合セラ
ミックスを介設してアルミナとジルコニアとを接合する
ものである。
この接合対象の接合要領は前記第１の対象における接
合条件と同様である。
合条件と同様である。
さらに、本発明の方法における第４の対象は、アルミ
ナと、Sicウイスカー、ファイバー等を分散したアルミ
ナ複合セラミックスとを接合するものである。
ナと、Sicウイスカー、ファイバー等を分散したアルミ
ナ複合セラミックスとを接合するものである。
その接合条件は前記第１の対象の場合と同じに処理す
ればよい。
ればよい。
d. 実施例 実施例１ 第１図に示すように冷間静水圧プレスにより
成形され大気中1600℃で焼結されたアルミナ（材寸25×
20×15mm）1aと、冷間静水圧プレスにより大気中1600℃
で焼結されたイットリアを３モル％固溶したジルコニア
を15体積％含んだアルミナ／ジルコニア複合セラミック
ス（材寸25×20×15mm）2aとを第１図に示す要領で当接
し接合した。接合条件は大気中1450℃，圧縮速度0.05mm
/min,変形量1mm（加圧方向）とした。
成形され大気中1600℃で焼結されたアルミナ（材寸25×
20×15mm）1aと、冷間静水圧プレスにより大気中1600℃
で焼結されたイットリアを３モル％固溶したジルコニア
を15体積％含んだアルミナ／ジルコニア複合セラミック
ス（材寸25×20×15mm）2aとを第１図に示す要領で当接
し接合した。接合条件は大気中1450℃，圧縮速度0.05mm
/min,変形量1mm（加圧方向）とした。
また、接合前の曲げ強度はアルミナが40kg/mm2,アル
ミナ／ジルコニア複合セラミックスが70kg/mm2である。
接合強度を求めるため接合体から３×４×40mmの曲げ試
験片に加工し、JISR1601に従って４点曲げ試験を行っ
た。求められた接合強度は約30kg/mm2であり、これはア
ルミナ単味の約80％という高い値を示した。
ミナ／ジルコニア複合セラミックスが70kg/mm2である。
接合強度を求めるため接合体から３×４×40mmの曲げ試
験片に加工し、JISR1601に従って４点曲げ試験を行っ
た。求められた接合強度は約30kg/mm2であり、これはア
ルミナ単味の約80％という高い値を示した。
実施例２ アルゴンガス中1500℃,100MPaで熱間静水圧
プレスにより焼結されたアルミナを20重量％含んだイッ
トリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミッ
クス（材寸25×20×15mm）同志1b,2bを、第１図に示す
容量で当接し接合した。また、接合条件は大気中1450
℃，圧縮速度0.05mm/min,変形量2mm（加圧方向）とし
た。
プレスにより焼結されたアルミナを20重量％含んだイッ
トリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミッ
クス（材寸25×20×15mm）同志1b,2bを、第１図に示す
容量で当接し接合した。また、接合条件は大気中1450
℃，圧縮速度0.05mm/min,変形量2mm（加圧方向）とし
た。
接合前の曲げ強度は約180kg/mm2である。接合強度を
求めるため接合体から３×４×40mmの曲げ試験片に加工
し、JISR1601に従って４点曲げ試験を行った。求められ
た接合強度は約80kg/mm2と高い強度を示した。
求めるため接合体から３×４×40mmの曲げ試験片に加工
し、JISR1601に従って４点曲げ試験を行った。求められ
た接合強度は約80kg/mm2と高い強度を示した。
実施例３ アルゴンガス中1550℃,100MPaで熱間静水圧
プレスにより焼結されたアルミナを80重量％含んだイッ
トリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミッ
クスと、冷間静水圧プレスにより成形され、大気中1600
℃で常圧焼結されたアルミナを80重量％含んだイットリ
ア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミックス
とを接合した。
プレスにより焼結されたアルミナを80重量％含んだイッ
トリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミッ
クスと、冷間静水圧プレスにより成形され、大気中1600
℃で常圧焼結されたアルミナを80重量％含んだイットリ
ア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラミックス
とを接合した。
材寸および接合条件は実施例２と同様である。
接合前の曲げ強度は熱間静水圧プレスしたものが約10
0kg/mm2,常圧焼結したものが約70kg/mm2である。接合強
度を求めるため実施例２と同様に曲げ試験を行った。求
められた接合強度は約50kg/mm2と高い強度を示した。
0kg/mm2,常圧焼結したものが約70kg/mm2である。接合強
度を求めるため実施例２と同様に曲げ試験を行った。求
められた接合強度は約50kg/mm2と高い強度を示した。
実施例４ 第２図に示すようにアルミナ（材寸20×25×
15mm）３とイットリア３モル％固溶した部分安定化ジル
コニア（材寸20×25×15mm）７との間に、組成を変えた
イットリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラ
ミックス（材寸20×25×3mm）を３層インサートし接合
した。すなわち、イットリア３モル％固溶ジルコニア25
％vol％／アルミナ75vol％複合セラミックス４と、イッ
トリア３モル％固溶ジルコニア50vol％／アルミナ50vol
％複合セラミックス５と、イットリア３モル％固溶ジル
コニア75vol％／アルミナ25vol％複合セラミックス６と
を重ねて接合した。接合条件は大気中1500℃，圧縮速度
0.05mm/min,全体の変形量2mm（加圧方向）とした。
15mm）３とイットリア３モル％固溶した部分安定化ジル
コニア（材寸20×25×15mm）７との間に、組成を変えた
イットリア３モル％固溶ジルコニア／アルミナ複合セラ
ミックス（材寸20×25×3mm）を３層インサートし接合
した。すなわち、イットリア３モル％固溶ジルコニア25
％vol％／アルミナ75vol％複合セラミックス４と、イッ
トリア３モル％固溶ジルコニア50vol％／アルミナ50vol
％複合セラミックス５と、イットリア３モル％固溶ジル
コニア75vol％／アルミナ25vol％複合セラミックス６と
を重ねて接合した。接合条件は大気中1500℃，圧縮速度
0.05mm/min,全体の変形量2mm（加圧方向）とした。
また、接合前の曲げ強度はアルミナが40kg/mm2、イッ
トリア３モル％固溶ジルコニア25vol％／アルミナ75vol
％が約70kg/mm2,イットリア３モル％固溶ジルコニア50v
ol％／アルミナ50vol％が約100kg/mm2,イットリア３モ
ル％固溶ジルコニア75vol％／アルミナ25vol％／が約12
0kg/mm2,イットリア３モル％固溶部分安定化ジルコニア
が約100kg/mm2であった。
トリア３モル％固溶ジルコニア25vol％／アルミナ75vol
％が約70kg/mm2,イットリア３モル％固溶ジルコニア50v
ol％／アルミナ50vol％が約100kg/mm2,イットリア３モ
ル％固溶ジルコニア75vol％／アルミナ25vol％／が約12
0kg/mm2,イットリア３モル％固溶部分安定化ジルコニア
が約100kg/mm2であった。
接合強度を求めるため接合体を加工して３×４×40mm
の曲げ試験片を作り、JISR1601に定める方法に従って４
点曲げ試験を行ったところ約30kg/mm2と高い接合強度が
得られた。
の曲げ試験片を作り、JISR1601に定める方法に従って４
点曲げ試験を行ったところ約30kg/mm2と高い接合強度が
得られた。
実施例５ 冷間静水圧プレスにより成形され、大気中16
00℃で焼結されたアルミナ（材寸25×20×15mm）1cと、
アルゴンガス中1800℃,30MPaで熱間プレスにより焼結さ
せたSicウイスカーを20vol％含んだアルミナ/Sicウイス
カー複合セラミックス（材寸25×20×15mm）2cとを第１
図に示す要領で当接し、接合した。
00℃で焼結されたアルミナ（材寸25×20×15mm）1cと、
アルゴンガス中1800℃,30MPaで熱間プレスにより焼結さ
せたSicウイスカーを20vol％含んだアルミナ/Sicウイス
カー複合セラミックス（材寸25×20×15mm）2cとを第１
図に示す要領で当接し、接合した。
接合条件は大気中1500℃，圧縮速度0.05mm/min,変形
量1mm（加圧方向）とした。
量1mm（加圧方向）とした。
また、接合前の曲げ強度はアルミナが約40kg/mm2,ア
ルミナ/Sicウイスカー複合セラミックスが約60kg/mm2で
あった。
ルミナ/Sicウイスカー複合セラミックスが約60kg/mm2で
あった。
接合強度を求めるため接合体を加工して３×４×40mm
の曲げ試験片を作りJISR1601に定める方法に従って４点
曲げ試験を行った。求められた接合強度は約30kg/mm2と
アルミナ単味の約80％という高い値を示した。
の曲げ試験片を作りJISR1601に定める方法に従って４点
曲げ試験を行った。求められた接合強度は約30kg/mm2と
アルミナ単味の約80％という高い値を示した。
e. 発明の効果 以上、本発明の方法により次のような効果がえられ
る。
る。
第1,第3,第４の各適用対象によって低コストであり
ながら強度と靭性が低いため適用範囲が限られていたア
ルミナの応用範囲を大幅に広げることができ、工業的価
値は極めて大である。
ながら強度と靭性が低いため適用範囲が限られていたア
ルミナの応用範囲を大幅に広げることができ、工業的価
値は極めて大である。
また第２の適用対象によってHIPもしくはHPにより
焼結される高強度，高靭性の複合セラミックスを容易に
大型化することができ、上記と同様な効果がえられる。
焼結される高強度，高靭性の複合セラミックスを容易に
大型化することができ、上記と同様な効果がえられる。
いずれの適用対象においても、塑性変形により接触
面積が急速に増加するため従来の拡散接合に比べ、すば
やく接合でき接合面の表面粗さの影響も少ない。しかも
低い応力で容易に変形するため加圧する圧力も小さくて
良い。
面積が急速に増加するため従来の拡散接合に比べ、すば
やく接合でき接合面の表面粗さの影響も少ない。しかも
低い応力で容易に変形するため加圧する圧力も小さくて
良い。
第1,第2,第３の適用対象において、必要な部分のみ
高強度，高靭性化することが可能となり、全体をジルコ
ニアで強化することに比べて大幅なコストダウンにつな
がる。また第４の適用対象においても、Sicウイスカー
等で強化することに比べて大幅なコストダウンにつなが
る。
高強度，高靭性化することが可能となり、全体をジルコ
ニアで強化することに比べて大幅なコストダウンにつな
がる。また第４の適用対象においても、Sicウイスカー
等で強化することに比べて大幅なコストダウンにつなが
る。
第３の適用対象において、ジルコニアは熱膨張係数
が大きいため、金属との嵌合に適しており、ジルコニア
を介してアルミナと金属との接合も可能となる。
が大きいため、金属との嵌合に適しており、ジルコニア
を介してアルミナと金属との接合も可能となる。
【図面の簡単な説明】 第１図及び第２図は、本発明に係るセラミックスの接合
方法の接合要領を説明する説明図である。 1a・1c……アルミナ、 1b……ジルコニア／アルミナ複合セラミックス、 2a・2b……アルミナ／ジルコニア複合セラミックス、 2c……アルミナ/Sicウイスカー複合セラミックス、 ３……アルミナ、 4,5,6……アルミナ／ジルコニア複合セラミックス、 ７……ジルコニア。
方法の接合要領を説明する説明図である。 1a・1c……アルミナ、 1b……ジルコニア／アルミナ複合セラミックス、 2a・2b……アルミナ／ジルコニア複合セラミックス、 2c……アルミナ/Sicウイスカー複合セラミックス、 ３……アルミナ、 4,5,6……アルミナ／ジルコニア複合セラミックス、 ７……ジルコニア。
Claims (3)
- 【請求項１】アルミナを含む複合セラミックスの接合条
件を、 温度 1000〜1600℃ 加圧応力 15kg/mm2以下， 歪速度 10-3/sec以下， 結晶粒径 アルミナ３μｍ以下 として、拡散により接合することを特徴とするセラミッ
クスの接合方法。 - 【請求項２】接合するセラミックスが、アルミナ／ジル
コニア複合セラミックス同志、またはその一方または両
方が高強度の複合セラミックス、またはアルミナ／ジル
コニア複合セラミックスとアルミナ、またはアルミナ／
ジルコニア複合セラミックスとジルコニア、またはアル
ミナとウイスカーあるいはファイバーを含む複合セラミ
ックスであることを特徴とする特許請求の範囲第１項に
記載のセラミックスの接合方法。 - 【請求項３】互いに組成の近似したアルミナ／ジルコニ
ア複合セラミックスを複数層に重ね、これをアルミナと
ジルコニアの間に介設して前記接合条件により一体に接
合することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
セラミックスの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29170088A JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29170088A JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137777A JPH02137777A (ja) | 1990-05-28 |
| JP2803111B2 true JP2803111B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=17772268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29170088A Expired - Lifetime JP2803111B2 (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | セラミックスの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803111B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4447998B4 (de) * | 1993-04-13 | 2005-12-22 | Denso Corp., Kariya | Sauerstoffsensor |
| JP3324195B2 (ja) * | 1993-04-13 | 2002-09-17 | 株式会社デンソー | 酸素センサの製造方法 |
| DE4412525B4 (de) * | 1993-04-13 | 2005-05-25 | Denso Corp., Kariya | Sauerstoffsensor |
| US5660661A (en) * | 1993-04-13 | 1997-08-26 | Nippondenso Co., Ltd. | Oxygen sensor |
| JP4601136B2 (ja) * | 2000-08-11 | 2010-12-22 | 京セラ株式会社 | 耐食性部材 |
| DE102008040260A1 (de) * | 2007-07-13 | 2009-01-15 | Frauenhofer-Gesellschaft | Diffusionsgefügtes keramisches Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP4089066A4 (en) * | 2020-01-10 | 2023-12-27 | Kyocera Corporation | CERAMIC SEAL, METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC SEAL, STATOR FOR FLOW PATH SWITCHING VALVE AND FLOW PATH SWITCHING VALVE |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP29170088A patent/JP2803111B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02137777A (ja) | 1990-05-28 |
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