JP2946594B2 - セラミックスの複合方法 - Google Patents

セラミックスの複合方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、高温試験治具等に使用されるセラミックス
の複合方法に関し、特にムライト/ジルコニア複合セラ
ミックスを更に複合化する複合方法に関する。
(従来の技術) 一般に、ムライトは熱膨張率が低いため熱衝撃に強
く、耐酸化性も優れていることから高温材料として注目
されていたが、強度的な面で実用化には問題があった。
ところが、近年粉末調整技術の進歩により、高純度、
高強度のムライトが製造されるようになったため、その
特性を生かして高温試験治具等に実用化されるようにな
った。そして、現在では、ムライトの靭性を補うためム
ライトに高靭性のジルコニアを添加したムライト/ジル
コニアが開発され、さらに高強度高靭性化を目的にそれ
にSiC等の粒子や繊維を分散した複合セラミックスの開
発が進められている。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、ムライト/ジルコニア複合セラミック
スにSiC等の粒子や繊維を分散させる場合には、その焼
結性が著しく低下するため特別な設備が必要となりコス
トが大幅に上昇する。また、SiC等の粒子や繊維を埋め
込むことにより部分的に複合強化しようとしても従来の
技術では塑性変形を利用したものでないので、粒子や繊
維が容易にセラミックス内に埋まらず、ムライト/ジル
コニアに欠け、割れ等の損傷を与えることがある等の問
題がある。
本発明はこのような点に鑑み、ムライト/ジルコニア
複合セラミックスの必要部分にSiC等の粒子または繊維
で容易に複合化することができ、しかも複合化に際して
ムライト/ジルコニア複合セラミックスに損傷が生じる
ことがない複合方法を得ることを目的とする。
〔発明の構成〕
第1の発明は、SiC等の粒子または繊維上にムライト
/ジルコニア複合セラミックスを装置し、これらを1000
℃〜1700℃の温度で加熱しながら15kg/mm2以下の圧力で
加圧し、上記ムライト/ジルコニアセラミックスを塑性
変形させ、ムライト/ジルコニアセラミックスの表面に
SiC等の粒子または繊維を埋め込むことを特等とするも
のである。
また、第2の発明は、複数のムライト/ジルコニア複
合セラミックス板の間にそれぞれSiC等の粒子または繊
維を介装し、これらの積層体を1000℃〜1700℃の温度で
加熱しながら15kg/mm2以下の圧力で加圧して、上記ムラ
イト/ジルコニア複合セラミックスを塑性変形させムラ
イト/ジルコニア複合セラミックス板同士を接合すると
ともに、そのムライト/ジルコニアセラミックス内にSi
C等の粒子または繊維を拡散させることを特徴とする。
(作 用) SiC等の粒子または繊維上にムライト/ジルコニア複
合セラミックスを載置し、或は上記SiC等の粒子または
繊維をムライト/ジルコニア複合セラミックス板間に介
装して、これらを1000℃〜1700℃の温度で加熱しながら
15kg/mm2以下の圧力で加圧すると、ムライト/ジルコニ
ア複合セラミックスは容易に塑性変形し、SiC等の粒子
または繊維が上記ムライト/ジルコニア複合セラミック
スの表面内に埋め込まれ、上記複合セラミックスの表面
の複合強化が行なわれ、或はムライト/ジルコニア複合
セラミックス板同士が強固に一体的に拡散接合され、接
合近傍内に上記粒子等が埋め込まれてムライト/ジルコ
ニア複合セラミックス内の複合強化が行なわれる。
(実施例) 以下、添付図面を参照して本発明の実について説明す
る。
第1図において、符号1は耐熱性の受け型であって、
この受け型1上にはSiC等の粒子または繊維2を載置
し、さらにその上にムライト/ジルコニア複合セラミッ
クス3を載置し、この複合セラミックス等を1000℃〜17
00℃の温度で加熱しながら、押し型4によって上記ムラ
イト/ジルコニア複合セラミックス3を上方から15kg/m
m2以下の圧力で加圧する。
すると、上記ムライト/ジルオニア複合セラミックス
3は高温下で容易に塑性変形し、押し型4による加圧に
よって受け型1上のSiC等の粒子または繊維2が塑性変
形した上記ムライト/ジルコニア複合セラミックス3の
下面内に埋め込まれ、ムライト/ジルコニア複合セラミ
ックス3の下面の複合強化が行なわれる。
なお、本発明の対象となるムライト/ジルコニア複合
セラミックスの結晶粒径は、その結晶粒径が3μmを超
えると容易に塑性変形せずに加圧中にクラックが生ずる
ことがあるので、3μm以下が好ましく、特に2μm以
下がより好ましい、また、埋め込むための加熱温度は、
1000℃以下ではムライト/ジルコニア複合セラミックス
3が塑性変形しにくく、また1700℃以上では結晶の粒成
長が著しいため望ましくない。さらに加圧時の変形速度
は、それが1×10-31/secより速いと結晶粒界にキャビ
ティーの生成および成長が著しくなり、強度が低下する
ことがあるので、1×10-31/sec以下にすることが望ま
しい。また、変形応力は加圧中にクラックが生じること
を防止するため15kg/mm2以下であることが好ましく、さ
らに、複合強化する粒子または繊維の熱膨張率は、これ
がムライト/ジルコニアのそれよりかなり大きいと埋め
込み後の冷却中に粒子または繊維とムライト/ジルコニ
アとの間に空隙が生じ易いため、ムライト/ジルコニア
の熱膨張率より小さいか同程度とることが好ましい。
第2図は本発明の他の実施例を示す図であり、受け型
1内には、SiC等の粒子または繊維2とムライト/ジル
コニア複合セラミックス薄板5を交互に積層し、その最
上部の粒子または繊維2の上にムライト/ジルコニア複
合セラミックス体6を載置し、第1実施例の場合と同様
に1000℃〜1700℃の温度で加熱するとともに、押し型4
によって15kg/mm2以下の圧力で上記積層体を加圧する。
このことにより、ムライト/ジルコニア複合セラミッ
クスは容易に塑性変形し、ムライト/ジルコニア複合セ
ラミックス薄板5同士および最上部のムライト/ジルコ
ニア複合セラミックス体6とがすばやくかつ強固に拡散
接合し、これと同時に各ムライト/ジルコニア複合セラ
ミックス薄板5間等にあった粒子または繊維2がムライ
ト/ジルコニア複合セラミックス薄板5およびムライト
/ジルコニア複合セラミックス体6内に埋め込まれ、ム
ライト/ジルコニア複合セラミックスの表面から或範囲
内までの複合強化が行なわれる。
また、ムライト/ジルコニア複合セラミックスの側面
にも粒子または繊維を埋め込む場合には、第3図のよう
に、受け型1の底面上および側面に粒子または繊維2を
置き、その中にムライト/ジルコニア複合セラミックス
3を配設し、第2実施例等と同様に加熱しながら押し型
4で加圧する。
実例1 ゾル−ゲル法により得られたジルコニアを15vol%含
有したムライト/ジルコニア粉末を1600℃、1時間で常
圧焼結した後、切断研削し、20mm×20gm×10mmの平板と
し、第1図に示したように受け型上のSiC粒子(平均粒
径:5μm)上に上記平板を載置して、5×10-5Torrの真
空中で1550℃、30MPaの条件で圧縮して、SiC粒子をムラ
イト/ジルコニア平板に埋め込んだ。
この場合、ムライト/ジルコニアは約5%変形し、Si
Cの粒子は完全に埋め込まれた。そして、光学顕微鏡お
よび走査型電子顕微鏡による観察でも、ムライト/ジル
コニアとSiC粒子の間に空隙やクラックは認められなか
った。
実例2 SiCウィスカー(長さ10〜100μm)を実例1と同様に
して埋め込んだ。
この場合も、SiCウィスカーはムライト/ジルコニア
の表面に完全に埋め込まれた。
実例3 実例1と同じムライト/ジルコニアの平板(20mm×20
mm×10mm)と薄板(20mm×20mm×0.5mm)の3枚を重
ね、第2図のようにしてSiCの粒子(平均粒径:5μm)
を5×10-5Torrの真空中で、1550℃、30MPaの条件で圧
縮して、ムライト/ジルコニア同士を接合させて複合化
した。
この場合、ムライト/ジルコニアは約5%変形しムラ
イト/ジルコニア同士は完全に接合され、SiC粒子はそ
の間にはさみ込まれる形で複合化された。
また、光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡による観察
でも、ムライト/ジルコニア同士は接合面が判別できな
いほど完全に接合され、ムライト/ジルコニアとSiC粒
子の間に空隙やクラックは認められなかった。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明はSiC等の粒子または繊
維上にムライト/ジルコニア複合セラミックスを載置
し、或は上記粒子または繊維をムライト/ジルコニア複
合セラミックス板の間に介装し、それらを1000℃〜1700
℃の温度で加圧するとことによって複合化するようにし
たので、複合化をきわめて容易に行なうとができ、しか
も必要な部分のみの複合化が可能で全体を複合化するの
に比べ大幅なコストダウンを図ることができる。また、
塑性変形により複合化するため、粒子または繊維による
ムライト/ジルコニアの損傷を防止することができ品質
の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図はそれぞれ本発明の複合方法を示す説
明図である。 1……受け型、2……SiC等の粒子または繊維、3……
ムライト/ジルコニア複合セラミックス、4……押し
型、5……ムライト/ジルコニア複合セラミックス薄
板、6……ムライト/ジルコニア複合セラミックス体。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】SiC等の粒子または繊維上にムライト/ジ
    ルコニア複合セラミックスを載置し、これらを1000℃〜
    1700℃の温度で加熱しながら15kg/mm2以下の圧力で加圧
    して、上記ムライト/ジルコニアセラミックスを塑性変
    形させ、ムライト/ジルコニアセラミックスの表面にSi
    C等の粒子または繊維を埋め込むことを特徴とする、セ
    ラミックスの複合方法。
  2. 【請求項2】複数のムライト/ジルコニア複合セラミッ
    クス板の間にそれぞれSiC等の粒子または繊維を介装
    し、これらの積層体を1000℃〜1700℃の温度で加熱しな
    がら15kg/mm2以下の圧力で加圧して、上記ムライト/ジ
    ルコニア複合セラミックスを塑性変形させムライト/ジ
    ルコニア複合セラミックス板同士を接合するとともに、
    そのムライト/ジルコニアセラミックス内にSiC等の粒
    子または繊維を拡散させることを特徴とする、セラミッ
    クスの複合方法。
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