JP2782498B2 - 銅電解用母板の自動研磨装置 - Google Patents

銅電解用母板の自動研磨装置

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JP2782498B2
JP2782498B2 JP6021744A JP2174494A JP2782498B2 JP 2782498 B2 JP2782498 B2 JP 2782498B2 JP 6021744 A JP6021744 A JP 6021744A JP 2174494 A JP2174494 A JP 2174494A JP 2782498 B2 JP2782498 B2 JP 2782498B2
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    • C25C7/02—Electrodes; Connections thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
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    • C25C—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC PRODUCTION, RECOVERY OR REFINING OF METALS; APPARATUS THEREFOR
    • C25C7/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells; Servicing or operating of cells
    • C25C7/06—Operating or servicing
    • C25C7/08—Separating of deposited metals from the cathode

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、銅電解用母板の表面
を種板自動剥ぎ取りラインにおいて、母板両表面を同時
に研磨する方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の研磨方法では、不良母板
を種板自動剥ぎ取りラインから作業者が手作業で取外し
て作業台まで運搬し、表面研磨作業をしていた。また研
磨作業においては片面の研磨が終了すればホイストで吊
り上げ、裏返して反対面を同じ作業により研磨するよう
にしていた。そして作業終了後、再びラインまで運搬し
て種板剥ぎ取りラインに装入していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記のように従来の方
法では、不良母板を剥ぎ取りラインから１枚１枚手作業
で取外し、研磨していたため、作業性が著しく悪く、安
全性の面から好ましくなかった。
【０００４】そこでこの発明は、前記のような従来の問
題点を解決し、自動種板剥ぎ取りラインから母板を取り
外すことなく、母板両表面を自動的かつ迅速に研磨する
ことができ、作業性と安全性の向上を図ることができる
方法と装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、銅電解用母板の搬入装置、該母
板から種板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板
を搬出する搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインに
おいて、剥取装置の母板搬送方向前方に種板を剥ぎ取っ
た後の母板の両表面を回転ブラシローラにより研磨する
研磨装置を設けている。
【０００６】この研磨装置は、それぞれ母板の両表面と
対向する位置に上下に２個対となって設けられ、かつ母
板に対して接離可能となった回転ブラシローラと、これ
らブラシローラを接離させる作動部材と、ブラシローラ
を回転駆動する第１駆動部材と、ブラシローラを上下方
向に移動させる第２駆動部材と、母板が所定位置に停止
したとき、ブラシローラを下方ブラシローラが母板の下
部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部両表面に
接近してそれぞれ接触するように作動部材を制御し、接
触後ブラシローラが上方に移動するように第２駆動部材
を制御し、下方ブラシローラが母板の中間部両表面に、
上方ブラシローラが母板の上部両表面にそれぞれ到達し
たとき、ブラシローラが母板の両表面から離間するよう
に作動部材を制御する制御部材とを具えている。この制
御部材は、ブラシローラが上方に移動するにしたがって
下方ブラシローラに対して上方ブラシローラの回転速度
が速くなるように第１駆動部材を制御する。
【０００７】請求項２の発明は、銅電解用母板の搬入装
置、該母板から種板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取
った母板を搬出する搬出装置を有する種板自動剥ぎ取り
ラインにおいて、剥取装置の母板搬送方向前方に種板を
剥ぎ取った後の母板の両表面を回転ブラシローラにより
研磨する研磨装置を設けている。
【０００８】この研磨装置は、それぞれ母板の両表面と
対向する位置に上下に２個対となって設けられ、かつ母
板に対して接離可能となった回転ブラシローラと、これ
らブラシローラを接離させる作動部材と、ブラシローラ
を回転駆動する第１駆動部材と、ブラシローラを上下方
向に移動させる第２駆動部材と、母板が所定位置に停止
したとき、ブラシローラを下方ブラシローラが母板の下
部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部両表面に
接近してそれぞれ接触するように作動部材を制御し、接
触後ブラシローラが上方に移動するように第２駆動部材
を制御し、下方ブラシローラが母板の中間部両表面に、
上方ブラシローラが母板の上部両表面にそれぞれ到達し
たとき、ブラシローラが母板の両表面から離間するよう
に作動部材を制御する制御部材とを具えている。この制
御部材は、ブラシローラが上方に移動するにしたがって
上方に移動する速度が遅くなるように第２駆動部材を制
御する。
【０００９】
【作用】前記のように種板自動剥ぎ取りラインで種板を
剥ぎ取られた後の母板が所定位置に停止したとき、母板
の両表面に回転ブラシローラを接触させ上下方向に移動
させることにより該表面を同時に研磨するため、母板両
表面の自動的かつ迅速な研磨が可能となり、従来のよう
に不良母板を剥ぎ取りラインから１枚１枚手作業で取外
し、研磨する必要がなくなる。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の一実施例で用いられる銅電
解用母板（陰極板）を示し、この母板１の両表面には種
板（金属板）２が電着される。母板１は例えばＳＵＳ板
や圧延銅板図からなり、その下端部及び両側部には絶縁
体部３が設けられている。この母板１は上端部に設けた
クロスバー４を介して後記トロリーコンベアのフックに
係止されて懸吊されながら搬送される。図２は母板１の
両表面に電着された種板２を自動的に剥ぎ取るラインの
全体概略図を示している。この自動剥ぎ取りラインは無
端状につながった母板搬送路５上に母板１を吊り下げて
搬送するトロリーコンベア（図示せず）を母板搬送手段
として具えている。母板搬送路５にはトロリーコンベア
進行方向に沿って母板１の搬入装置６、母板１から種板
２が剥がれ易くするための口付装置（ハンマリング装
置）７及び口明け装置８、母板１から種板２を剥ぎ取る
剥取装置10、研磨装置11、剥離液塗布装置13、母板搬出
装置14が設置されている。12の位置では不良母板をライ
ン外に搬出したり、新母板を装入する。15は搬入装置６
に搬入前の母板１に付着した電解液を洗浄する洗浄装置
である。
【００１１】そしてこのラインにおいて、種板電解槽で
１日電解して電着させられた母板数十枚（半槽分）はク
レーンによりまず、洗浄装置15の前部のチェーンコンベ
ア17に装入され、ここで温水を吹き掛けられ電解液が洗
浄される。洗浄された母板１はチェーンコンベア17によ
り搬入装置６まで運ばれ、１枚１枚トロリーコンベアに
載せられる。トロリーコンベアは後記の作業（工程）ご
とに一旦停止しながら進むように間歇移動運転される。
次に母板１はトロリーコンベアにより口付装置７に装入
され、図１に丸印で示すように種板２上部の左右位置を
ハンマリングされて種板２が母板１から剥がれやすくさ
れる。次に母板１はトロリーコンベアにより口明け装置
８に装入され、ハンマリングされて剥がれやすくなった
種板２上部を吸盤により吸引されて種板２が母板１から
上部のみ剥がされた状態にされる。次に母板１はトロリ
ーコンベアにより剥取装置10に装入され、剥がされた種
板２上部に差し込まれる剥ぎ取りアームの下降により種
板２が剥ぎ取られる。剥ぎ取られた種板２は表裏２枚一
緒にコンベアによりコンテナに運ばれる。
【００１２】種板２が剥がされた母板１はトロリーコン
ベアによりさらに研磨装置11に装入され、その両表面が
研磨されることとなるが、この研磨については後にさら
に詳しく説明する。研磨された母板１のうち、不良母板
は12の位置に設けた装置によりライン外に搬出される。
そして代りの新母板がここからトロリーコンベアに載せ
られる。次に母板１はトロリーコンベアにより剥離液塗
布装置13に装入され、剥離液が塗布される。塗布はシャ
ワリングにより行なわれる。次に母板１はトロリーコン
ベアにより搬出装置14に装入され、ここでトロリーコン
ベアから１枚１枚搬出され、チェーンコンベア18上に一
定ピッチで並べられる。チェーンコンベア18上に並べら
れた母板は一定枚数になると、クレーンにより電解槽に
装入される。これで銅電解用母板から種板を自動的に剥
ぎ取る１サイクルが終了するようになっている。
【００１３】図３は前記の種板自動剥ぎ取りラインに設
置された研磨装置11の正面図、図４は同平面図、図５は
同側面図をそれぞれ一部省略して示している。研磨装置
11は台盤21上に１対の架台22，22ａを具え、両架台22，
22ａ間にはトリーコンベアで搬送される母板搬送路５を
形成するための隙間が形成されている。両架台22，22ａ
にはブラシローラフレーム25，25ａが設置され、該フレ
ーム25，25ａの相対向する側の上下部にはブラシローラ
26，26ａ，27，27ａが回転可能に設けられている。この
ブラシローラはナイロンにアルミナを含浸させたもの等
からなっている。ブラシローラ26，26ａ，27，27ａの背
部となるフレーム25，25ａ上には第１駆動部材としての
駆動モータ28，28ａ，29，29ａが設置され、駆動モータ
28，28ａが駆動ベルト31，31ａにより上ブラシローラ2
6，26ａを、駆動モータ29，29ａが駆動ベルト32，32ａ
により下ブラシローラ27，27ａをそれぞれ回転する。前
記のようなモータを設置したブラシローラフレーム25，
25ａはそれぞれ架台22ａ22ａに設けた昇降フレーム34，
34ａの底部のガイドレール35，35ａに沿って相対向する
方向へ進退可能に設置されており、36，36ａはその進退
をさせる作動部材としてのシリンダである。
【００１４】図３でＳはブラシローラフレーム25，25ａ
の進退ストロークを示し、前進位置でブラシローラ26，
26ａ，27，27ａは所定の位置（研磨位置）にきて停止す
る母板１の両表面に接触するようになっている。ブラシ
ローラフレーム25，25ａを設置した昇降フレーム34，34
ａは架台22，22ａ内に昇降可能に設置されている。昇降
フレーム34，34ａは両側に縦向きボールねじ軸38，38
ａ，39，39ａにねじ嵌合したねじ駒40，40ａ，41，41ａ
を有し、ボールねじ軸が回転することによりねじ駒を介
して昇降される。図５で42，43はスライドガイド、45，
47はショックダンパである。
【００１５】ボールねじ軸38，39はその下端部に回転軸
51，52の一端部に設けたベベルギヤとギヤボックス53，
54内で螺合したベベルギヤを有している。回転軸51，52
の他端部に設けたベベルギヤは架台22の外側に直交する
向きに配設された回転軸56，57のそれぞれ一端部に設け
たベベルギヤにギヤボックス58，59内で螺合している。
回転軸56，57の互いに対向する他端部に設けたベベルギ
ヤは架台22に固定のブラケット60上に倒立して設置され
た正逆転可能の第２駆動部材としての駆動モータ61のモ
ータ軸62とギヤボックス63内で螺合している。一方、ボ
ールねじ軸38ａ，39ａの下端部に設けたベベルギヤは回
転軸51，52と同軸に設けた回転軸65，66の一端部に設け
たベベルギヤにギヤボックス67，68内で螺合している。
回転軸65，66の他端部に設けたベベルギヤは前記ギヤボ
ックス53，54内でベベルギヤと螺合している。したがっ
て駆動モータ61を駆動すると、モータ軸62、回転軸56，
57、回転軸51，52及び回転軸65，66を介してボールねじ
軸38，38ａ，39，39ａが回転され、該ねじ軸と螺合した
ねじ駒40，40ａ，41，41ａにより昇降フレーム34，34ａ
が該ねじ軸に沿って昇降される。
【００１６】図３に示すように研磨位置で停止した母板
１の下方位置には母板１の下端部に設けられている絶縁
体部３を覆って保護する保護カバー装置70が設置されて
いる。図６，７にさらに詳しく示すように台盤21上の前
後には前後１対の支持フレーム71が設けられ、該フレー
ム上には支持台72が設けられ、該支持台間には支持ピン
73が架設されている。支持ピン73の前後端部にはそれぞ
れリンク75，76が枢支されている。前後のリンク間には
それぞれプレート78，78ａが取付けられ、このプレート
78，78ａには板状のブレード79，79ａが取付けられてい
る。リンク75，76のプレート78，78ａが取付けられてい
ない方の端部にはロッド81，82の一端部が取付けられ、
該ロッドの他端部はフレーム71に設置されたシリンダ83
のロッド先端に取付けられている。尚、このシリンダ83
の作動機構は図７から明らかなように片側のリンク75，
76にのみ設けられる。したがって、シリンダ83を作動す
ると、ロッド81，82によりリンク75，76のプレート78が
接近する方向に回動され、これにより両ブレード79が図
６の開放した鎖線状態から閉鎖した実線状態になり、母
板１の絶縁体部３を両側から覆う。
【００１７】また研磨位置で停止した母板１の上方位置
には母板１の両側部を規正するセンタリング装置86が設
置されている。すなわち、図８に詳しく示すように架台
22上のほぼ中央部に設けた支持台87にリンク88が支持軸
89を介して回動可能に取付けられ、このリンク88の両端
部にロッド90，91の一端部が枢支されている。このロッ
ド90，91の他端部は架台22の架台22ａ側の側面の前後端
部に設けた軸受92，93で回転自在に支持されたリンク9
4，95に枢支されている。リンク94，95の下端部には母
板１の上端部に設けたクロスバー４の両側端面を押える
押え部94ａ，95ａが設けられている。リンク88の一方の
端部には架台22に設置したシリンダ96のロッド先端が取
付けられており、シリンダ96の作動によりリンク88、ロ
ッド90，91、及びリンク94，95を図８の鎖線状態から実
線状態にさせ、リンク94，95の押え部94ａ，95ａでクロ
スバー４の両側端面を押えるようになっている。
【００１８】次に実施例の作用を図９も参照して説明す
る。口付装置７及び口明け装置８により種板２の上辺部
が口明けされた母板１がトロリーコンベアにより間欠的
に搬送され研磨装置11の研磨位置に到達すると、まずセ
ンタリング装置86のシリンダ96が作動してリンク94，95
を回動して押え部94ａ，95ａで母板１のクロスバー４の
両側端面を押さえ、母板１の両側部を規正してセンタリ
ングする。次に保護カバー装置70のシリンダ83が作動し
てブレード79，79ａが閉じ、母板１の下端部の絶縁体部
３を覆って保護する（図９Ａ）。これにより母板１は上
端部がセンタリング装置86で保持され、下端部が保護カ
バー装置70でしっかりと保持された形となる。尚、セン
タリング装置86と保護カバー装置70の作動順序は逆でも
よいし、あるいは同時でもよい。
【００１９】次にモータ28，29，28ａ，29ａが同時に駆
動され、これによりブラシローラ26，26ａ，27，27ａが
図３に矢印で示すように互いに対向する方向に回転され
る。これと並行してシリンダ36，36ａが作動され、これ
によりブラシローラフレーム25，25ａをガイドレール3
5，35ａに沿って前進させ、回転中のブラシローラ26，2
6ａ，27，27ａを母板１の両表面に接近させて接触させ
研磨を開始する（図９Ｂ）。この際、下方ブラシローラ
27，27ａが母板１の下部両表面に、上方ブラシローラ2
6，26ａが母板１の中間部両表面にそれぞれ接触する。
【００２０】ブラシローラ26，26ａ，27，27ａの接触後
にモータ61が正転駆動され、これにより回転するボール
ねじ軸38，39により昇降フレーム34，34ａが該ねじ軸に
沿って上昇される。この上昇によりブラシローラ26，26
ａ，27，27ａはモータ28，29，28ａ，29ａ、シリンダ3
6，36ａごとフレーム34，34ａとともに持ち上げられ、
その上昇中に母板１の両表面を研磨することとなる（図
９Ｃ）。この研磨に際し、この実施例ではブラシローラ
26，26ａ，27，27ａの回転速度と昇降速度につき、モー
タ28，29，28ａ，29ａ及びモータ61をつぎのようにイン
バータ制御している。すなわち、ブラシローラ26，26
ａ，27，27ａが上方に移動するにしたがって、上方、下
方のブラシローラ26，26ａ，27，27ａの回転速度が増
し、かつ下方ブラシローラ27，27ａに対して上方ブラシ
ローラ26，26ａの回転速度が速くなり、またブラシロー
ラ26，26ａ，27，27ａが上方に移動するにしたがって上
方に移動する速度が遅くなるようになっている。そのた
め、研磨される母板１の両表面は下部が粗い面に、上部
がきめの細かい光沢面にされる。
【００２１】そして下方ブラシローラ27，27ａが母板１
の中間部両表面に、上方ブラシローラ26，26ａが母板１
の上部両表面にそれぞれ到達すると、シリンダ36，36ａ
の作動が解放され、これによりブラシローラフレーム2
5，25ａがガイドレール35，35ａに沿って後退して母板
１の両表面から離間し、ブラシローラ26，26ａ，27，27
ａによる母板１の両表面の研磨が終了する（図９Ｄ）。
ブラシローラフレーム25，25ａの後退とともに、モータ
28，29，28ａ，29ａの駆動が停止され、ブラシローラ2
6，26ａ，27，27ａは回転が停止する。
【００２２】またモータ61が逆転駆動され、ボールねじ
軸38，39により昇降フレーム34，34ａが該ねじ軸に沿っ
て下降され、ブラシローラ26，26ａ，27，27ａは元の待
機位置にもたらされる。しかる後、センタリング装置86
のシリンダ96の作動が解放され、押え部94ａ，95ａによ
る母板１のセンタリングが解放されるとともに、保護カ
バー装置70のシリンダ83の作動が解放され、ブレード7
9，79ａが開いて母板１の絶縁体部３の保護が解放され
る（図９Ｅ）。
【００２３】前記によりセンタリング装置86によるセン
タリング及び保護カバー装置70による保護が解放された
母板１は、次にトロリーコンベアにより図２に示す12の
位置へ搬送されることとなる。これで１枚の母板１の両
表面に対する研磨の１サイクルが終了する。このように
従来のように自動種板剥ぎ取りラインから作業者が手作
業により母板１を取り外すことなく、研磨装置11で母板
両表面を自動的かつ迅速に研磨するものである。
【００２４】前記作用においてブラシローラフレーム2
5，25ａなどの各作動部材の位置決めは図示しない公知
の近接スイッチ等による検知とサーボユニット機構によ
り行なっている。また、これら機構を含んで公知の部材
により制御部材を構成し、各作動部材や駆動部材を制御
している。またブラシローラ26，26ａ，27，27ａの回転
方向や回転速度、昇降速度は好ましい一例を示したにす
ぎず、この実施例に限定するものではないことは言うま
でもない。この発明は明細書に記載した事項の範囲内に
おいて図示した実施例以外の実施例、変形例を含むもの
である。
【００２５】
【発明の効果】請求項１ないし請求項２の発明は前記の
ような構成からなるので、自動種板剥ぎ取りラインから
従来のように母板を手作業により取り外すことなく、母
板両表面を自動的かつ迅速に研磨することができ、作業
性と安全性を著しく高めることができる。また従来１枚
当たり１時間もかかっていた母板のラインからの搬出、
研磨の作業時間を10秒程度で行なうことが可能となり、
作業時間を大幅に短縮することができるとともに、従来
必要であった種板剥ぎ取りラインからの母板の取外し作
業、研磨作業台への移載作業、剥ぎ取りラインへの装入
作業が不要となるので、作業量が大幅に軽減するという
効果も期待できる。また従来電着不良母板のみを研磨し
ていたものを全母板研磨可能となるので、製品品質の改
善にもつながる。
【００２６】また、従来は母板表面の粗さが上下均一で
あったので、表面が細かい場合、口明けは良好であった
が、剥取装置に入る前に母板から種板が落下し剥離装置
等を破損するトラブルが発生していた。逆に、母板表面
が粗い場合、種板は落下しないが口明けできずラインが
停止し作業性を著しく悪くしていた。しかしながら、請
求項１，２の発明により母板表面の上部を細かく、下部
を粗く研磨ができるようになったので、口明けが良好
で、種板落下のない母板が得られ、装置破損やライン停
止がなくなり、作業性、安全性の著しい向上が図れると
いう効果も期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例で用いられる銅電解用母板
（陰極板）の正面図である。
【図２】母板に電着された種板を自動的に剥ぎ取るライ
ンの全体概略図である。
【図３】種板自動剥ぎ取りラインに設置された研磨装置
の一部省略の正面図である。
【図４】同上の研磨装置の一部省略の平面図である。
【図５】同上の研磨装置の一部省略の側面図である。
【図６】保護カバー装置の拡大正面図である。
【図７】保護カバー装置の拡大側面図である。
【図８】センタリング装置の拡大平面図である。
【図９】(Ａ)ないし(Ｅ)は作用を説明するための作用図
である。
【符号の説明】
１ 母板 ２ 種板 ３ 絶縁体部 ４ クロスバー ５ 搬送路 11 研磨装置 21 台盤 22，22ａ 架台 25，25ａ ブラシローラフレーム 26，26ａ，27，27ａ ブラシローラ 28，28ａ，29，29ａ 駆動モータ 34，34ａ 昇降フレーム 36，36ａ 作動シリンダ 38，38ａ，39，39ａ ボールねじ軸 61 駆動モータ 70 保護カバー装置 86 センタリング装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C25C 7/02

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 銅電解用母板の搬入装置、該母板から種
    板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板を搬出す
    る搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインにおいて、 剥取装置の母板搬送方向前方に種板を剥ぎ取った後の母
    板の両表面を回転ブラシローラにより研磨する研磨装置
    を設け、この研磨装置は、それぞれ母板の両表面と対向
    する位置に上下に２個対となって設けられ、かつ母板に
    対して接離可能となった回転ブラシローラと、これらブ
    ラシローラを接離させる作動部材と、前記ブラシローラ
    を回転駆動する第１駆動部材と、前記ブラシローラを上
    下方向に移動させる第２駆動部材と、母板が所定位置に
    停止したとき、前記ブラシローラを下方ブラシローラが
    母板の下部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部
    両表面に接近してそれぞれ接触するように作動部材を制
    御し、接触後前記ブラシローラが上方に移動するように
    第２駆動部材を制御し、下方ブラシローラが母板の中間
    部両表面に、上方ブラシローラが母板の上部両表面にそ
    れぞれ到達したとき、前記ブラシローラが母板の両表面
    から離間するように作動部材を制御する制御部材とを具
    え、この制御部材は、ブラシローラが上方に移動するに
    したがって下方ブラシローラに対して上方ブラシローラ
    の回転速度が速くなるように第１駆動部材を制御するこ
    とを特徴とする銅電解用母板の自動研磨装置。
  2. 【請求項２】 銅電解用母板の搬入装置、該母板から種
    板を剥ぎ取る剥取装置、種板を剥ぎ取った母板を搬出す
    る搬出装置を有する種板自動剥ぎ取りラインにおいて、 剥取装置の母板搬送方向前方に種板を剥ぎ取った後の母
    板の両表面を回転ブラシローラにより研磨する研磨装置
    を設け、この研磨装置は、それぞれ母板の両表面と対向
    する位置に上下に２個対となって設けられ、かつ母板に
    対して接離可能となった回転ブラシローラと、これらブ
    ラシローラを接離させる作動部材と、前記ブラシローラ
    を回転駆動する第１駆動部材と、前記ブラシローラを上
    下方向に移動させる第２駆動部材と、母板が所定位置に
    停止したとき、前記ブラシローラを下方ブラシローラが
    母板の下部両表面に、上方ブラシローラが母板の中間部
    両表面に接近してそれぞれ接触するように作動部材を制
    御し、接触後前記ブラシローラが上方に移動するように
    第２駆動部材を制御し、下方ブラシローラが母板の中間
    部両表面に、上方ブラシローラが母板の上部両表面にそ
    れぞれ到達したとき、前記ブラシローラが母板の両表面
    から離間するように作動部材を制御する制御部材とを具
    え、この制御部材は、ブラシローラが上方に移動するに
    したがって上方に移動する速度が遅くなるように第２駆
    動部材を制御することを特徴とする銅電解用母板の自動
    研磨装置。
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