JP2775955B2 - 耐摩耗性に優れたコーティングサーメットの製造法 - Google Patents
耐摩耗性に優れたコーティングサーメットの製造法Info
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- JP2775955B2 JP2775955B2 JP2021048A JP2104890A JP2775955B2 JP 2775955 B2 JP2775955 B2 JP 2775955B2 JP 2021048 A JP2021048 A JP 2021048A JP 2104890 A JP2104890 A JP 2104890A JP 2775955 B2 JP2775955 B2 JP 2775955B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/36—Carbonitrides
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- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、耐摩耗性が一段と改善されたコーティン
グサーメットの製造法に関するものであり、さらに詳細
には、サーメットの表面に900℃以下の低温で窒化チタ
ン（以下、TiNと記す）および炭窒化チタン（以下、TiC
Nと記す）の１種または２種を化学蒸着することによ
り、TiNおよびTiCNコーティング層中にサーメットの結
合相形成成分であるCo,FeなどのFe族金属が拡散してい
ないTiNおよびTiCNコーティング層を形成し、耐摩耗性
が一段と改善されたコーティングサーメットを製造する
方法に関するものである。
グサーメットの製造法に関するものであり、さらに詳細
には、サーメットの表面に900℃以下の低温で窒化チタ
ン（以下、TiNと記す）および炭窒化チタン（以下、TiC
Nと記す）の１種または２種を化学蒸着することによ
り、TiNおよびTiCNコーティング層中にサーメットの結
合相形成成分であるCo,FeなどのFe族金属が拡散してい
ないTiNおよびTiCNコーティング層を形成し、耐摩耗性
が一段と改善されたコーティングサーメットを製造する
方法に関するものである。
従来、Ti,Zr,Hf,Ta,Nb,W,Mo,Crの炭化物、窒化物、炭
窒化物の１種または２種以上の硬質分散相とCo,Ni等のF
e族金属の結合相とからなるサーメットは、鋼の仕上げ
切削に広く利用されている。
窒化物の１種または２種以上の硬質分散相とCo,Ni等のF
e族金属の結合相とからなるサーメットは、鋼の仕上げ
切削に広く利用されている。
さらに、近年、上記サーメットにTiN,TiCN等をコーテ
ィングして耐摩耗性を向上させたコーティングサーメッ
トも提供されている。
ィングして耐摩耗性を向上させたコーティングサーメッ
トも提供されている。
上記サーメットにTiNまたはTiCNをコーティングする
には、通常、物理蒸着法または化学蒸着法が採用されて
いるが、物理蒸着法により形成されたTiNまたはTiCNコ
ーティング層は付着強度が低いために、一般に化学蒸着
法が広く用いられている。
には、通常、物理蒸着法または化学蒸着法が採用されて
いるが、物理蒸着法により形成されたTiNまたはTiCNコ
ーティング層は付着強度が低いために、一般に化学蒸着
法が広く用いられている。
上記化学蒸着法により、TiNコーティング層を形成す
る方法として、TiCl4:4％、N2:8％、およびH2:88％（以
上、容量％）の混合ガスを、温度:980℃、圧力:100Torr
の条件で化学蒸着装置に流しながら通常のサーメット表
面にTiNコーティング層を形成する方法が知られてお
り、この場合の反応は、 TiCl4＋1/2N2＋2H2→TiN＋4HCl ……（１）′ であると考えられている。
る方法として、TiCl4:4％、N2:8％、およびH2:88％（以
上、容量％）の混合ガスを、温度:980℃、圧力:100Torr
の条件で化学蒸着装置に流しながら通常のサーメット表
面にTiNコーティング層を形成する方法が知られてお
り、この場合の反応は、 TiCl4＋1/2N2＋2H2→TiN＋4HCl ……（１）′ であると考えられている。
一方、化学蒸着法によりTiCNコーティング層を形成す
る方法として、TiCl4:4％、CH4:3％、N2:4％、および
H2:89％（以上、容量％）の混合ガスを、温度:1000℃、
圧力:100Torrの条件で化学蒸着装置に流しながら通常の
サーメ表面にTiCNコーティング層を形成する方法が知ら
れており、この場合の反応式は、 TiCl4＋CH4＋1/2N2＋H2→TiCN＋4HCl＋H2 ……
（２）′ であると考えられている（これら従来技術に関する文献
として、例えば、ファインセラミックス技術集成、昭和
57年、（株）サイエンスフォーラム発行を参照）。
る方法として、TiCl4:4％、CH4:3％、N2:4％、および
H2:89％（以上、容量％）の混合ガスを、温度:1000℃、
圧力:100Torrの条件で化学蒸着装置に流しながら通常の
サーメ表面にTiCNコーティング層を形成する方法が知ら
れており、この場合の反応式は、 TiCl4＋CH4＋1/2N2＋H2→TiCN＋4HCl＋H2 ……
（２）′ であると考えられている（これら従来技術に関する文献
として、例えば、ファインセラミックス技術集成、昭和
57年、（株）サイエンスフォーラム発行を参照）。
しかし、上記従来の化学蒸着法でTiNまたはTiCNをコ
ーティングするには、TiNのコーティング温度が980℃で
あるTiCNのコーティング温度が1000℃と高いために、形
成されたTiNまたはTiCNコーティング層中に、上記サー
メットの結合相形成成分であるCo,Ni等のFe族金属が拡
散し、そのためTiNまたはTiCNが本来もつ耐摩耗性が損
なわれ、耐摩耗性の低いコーティング層が形成されると
いう問題点があった。
ーティングするには、TiNのコーティング温度が980℃で
あるTiCNのコーティング温度が1000℃と高いために、形
成されたTiNまたはTiCNコーティング層中に、上記サー
メットの結合相形成成分であるCo,Ni等のFe族金属が拡
散し、そのためTiNまたはTiCNが本来もつ耐摩耗性が損
なわれ、耐摩耗性の低いコーティング層が形成されると
いう問題点があった。
また、上記結合相形成成分がコーティング層へ拡散す
る可能性が極めて少ない900℃以下の低温度で上記従来
法によりTiNまたはTiCNを化学蒸着すると、結合相形成
成分を含まないTiNまたはTiCNコーティング層が形成さ
れはするが、反応ガスとして用いるメタン、窒素などの
活性化が低下し、反応が遅くなるために効率よくTiNま
たはTiCNコーティング層を形成することができず、コス
トが高くなるという問題点があった。
る可能性が極めて少ない900℃以下の低温度で上記従来
法によりTiNまたはTiCNを化学蒸着すると、結合相形成
成分を含まないTiNまたはTiCNコーティング層が形成さ
れはするが、反応ガスとして用いるメタン、窒素などの
活性化が低下し、反応が遅くなるために効率よくTiNま
たはTiCNコーティング層を形成することができず、コス
トが高くなるという問題点があった。
そこで、本発明者等は、上記結合相形成成分がコーテ
ィング層に拡散することの極めて少ない900℃以下の低
温度において、TiNまたはTiCNコーティング層を効率よ
く化学蒸着し、耐摩耗性の優れたTiNおよびTiCNコーテ
ィング層を得べく研究を行った結果、 従来の化学蒸着法によりTiNコーティング層形成時に
使用する混合ガス中のN2の代りにアンモニア（以下、NH
3と記す）を用い、 また従来の化学蒸着法によるTiCNコーティング層を形
成する際に使用する混合ガス中のCH4およびN2の代りに
アセトニトリル（以下、CH3CNと記す）を用いると、温
度:900℃以下の低温（好ましくは、700〜900℃）で化学
蒸着しても効率よくTiNまたはTiCNコーティング層をサ
ーメット表面に形成することができ、このようにして形
成されたTiNコーティング層、またはTiN層およびTiCN層
からなる複合コーティング層は、上記結合相形成成分が
拡散し混入することがないために耐摩耗性が極めて優れ
ているという知見を得たのである。
ィング層に拡散することの極めて少ない900℃以下の低
温度において、TiNまたはTiCNコーティング層を効率よ
く化学蒸着し、耐摩耗性の優れたTiNおよびTiCNコーテ
ィング層を得べく研究を行った結果、 従来の化学蒸着法によりTiNコーティング層形成時に
使用する混合ガス中のN2の代りにアンモニア（以下、NH
3と記す）を用い、 また従来の化学蒸着法によるTiCNコーティング層を形
成する際に使用する混合ガス中のCH4およびN2の代りに
アセトニトリル（以下、CH3CNと記す）を用いると、温
度:900℃以下の低温（好ましくは、700〜900℃）で化学
蒸着しても効率よくTiNまたはTiCNコーティング層をサ
ーメット表面に形成することができ、このようにして形
成されたTiNコーティング層、またはTiN層およびTiCN層
からなる複合コーティング層は、上記結合相形成成分が
拡散し混入することがないために耐摩耗性が極めて優れ
ているという知見を得たのである。
この発明は、かかる知見にもとづいてなされたもので
あって、 （１） 四塩化チタン、アンモニアおよび水素からなる
混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学蒸着すること
により、サーメット表面に、サーメットの結合相形成成
分が拡散していない耐摩耗性に優れたTiNコーティング
層を形成する方法、 （２） 上記（１）で形成したTiNコーティング層の上
に、四塩化チタン、アセトニトリルおよび水素からなる
混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学蒸着すること
によりTiCN層を形成し、サーメット表面にTiN層およびT
iCN層を含む複合コーティング層を形成する方法、 に特徴を有するものである。
あって、 （１） 四塩化チタン、アンモニアおよび水素からなる
混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学蒸着すること
により、サーメット表面に、サーメットの結合相形成成
分が拡散していない耐摩耗性に優れたTiNコーティング
層を形成する方法、 （２） 上記（１）で形成したTiNコーティング層の上
に、四塩化チタン、アセトニトリルおよび水素からなる
混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学蒸着すること
によりTiCN層を形成し、サーメット表面にTiN層およびT
iCN層を含む複合コーティング層を形成する方法、 に特徴を有するものである。
この発明で用いるサーメットは、Ti,Zr,Hf,Ta,Nb,W,M
o,Crの炭化物、窒化物、炭窒化物の１種または２種以上
の硬質分散相形成成分:70〜95重量％と、Co,Ni,Alの１
種または２種以上の結合相形成成分:5〜30重量％とから
なるものであり、硬質分散相形成成分が70重量％未満お
よび結合相形成成分が30重量％を越えるとコーティング
サーメットの耐摩耗性が悪く、一方、硬質分散相形成成
分が95重量％を越えかつ結合相形成成分が５重量％未満
の場合は、コーティングサーメットの耐欠損性が悪いの
で好ましくない。
o,Crの炭化物、窒化物、炭窒化物の１種または２種以上
の硬質分散相形成成分:70〜95重量％と、Co,Ni,Alの１
種または２種以上の結合相形成成分:5〜30重量％とから
なるものであり、硬質分散相形成成分が70重量％未満お
よび結合相形成成分が30重量％を越えるとコーティング
サーメットの耐摩耗性が悪く、一方、硬質分散相形成成
分が95重量％を越えかつ結合相形成成分が５重量％未満
の場合は、コーティングサーメットの耐欠損性が悪いの
で好ましくない。
上記サーメットの表面に形成するTiNおよびTiCNの１
種または２種からなるコーティング層の厚さは、0.5μ
ｍ未満ではコーティングサーメットの耐摩耗性が向上せ
ず、また20μｍを越えると耐欠損性が低下することか
ら、コーティング層の厚みを0.5〜20μｍとすることが
好ましい。
種または２種からなるコーティング層の厚さは、0.5μ
ｍ未満ではコーティングサーメットの耐摩耗性が向上せ
ず、また20μｍを越えると耐欠損性が低下することか
ら、コーティング層の厚みを0.5〜20μｍとすることが
好ましい。
さらに、この発明のTiNコーティング層は四塩化チタ
ン、NH3ガスおよび水素ガスからなる混合ガスを用いた
化学蒸着により形成し、またTiCNコーティング層は四塩
化チタン、CH3CNガスおよび水素ガスからなる混合ガス
を用いた化学蒸着により形成するものであるが、上記化
学蒸着する際の反応式は、 TiCl4＋NH3＋H2→TiN＋4HCl＋1/2H2 ……（１） TiCl4＋CH3CN＋5/2H2→TiCN＋4HCl＋CH4 ……（２） となり、〔従来の技術〕で示した反応式（１）′と上記
反応式（１）を対比すると、従来の混合ガスに含まれる
N2ガスをNH3ガスで置換した混合ガスを化学蒸着用ガス
として用いており、さらに〔従来の技術〕で示した反応
式（２′）と上記反応式（２）を対比すると、従来の混
合ガスに含まれるCH4ガスおよびN2ガスをCH3CNガスで置
換した混合ガスを化学蒸着用ガスとして用いていること
になる。このように従来と異なった組成の混合ガスを用
いても化学蒸着するための温度が700℃未満では反応が
遅くなり、TiNおよびTiCNのコーティング層を経済的に
効率よく形成することができず、一方900℃を越えると
サーメットの結合相形成成分が拡散してTiNおよびTiCN
コーティング層に混入し、耐摩耗性の低いコーティング
層が形成されるので好ましくない。
ン、NH3ガスおよび水素ガスからなる混合ガスを用いた
化学蒸着により形成し、またTiCNコーティング層は四塩
化チタン、CH3CNガスおよび水素ガスからなる混合ガス
を用いた化学蒸着により形成するものであるが、上記化
学蒸着する際の反応式は、 TiCl4＋NH3＋H2→TiN＋4HCl＋1/2H2 ……（１） TiCl4＋CH3CN＋5/2H2→TiCN＋4HCl＋CH4 ……（２） となり、〔従来の技術〕で示した反応式（１）′と上記
反応式（１）を対比すると、従来の混合ガスに含まれる
N2ガスをNH3ガスで置換した混合ガスを化学蒸着用ガス
として用いており、さらに〔従来の技術〕で示した反応
式（２′）と上記反応式（２）を対比すると、従来の混
合ガスに含まれるCH4ガスおよびN2ガスをCH3CNガスで置
換した混合ガスを化学蒸着用ガスとして用いていること
になる。このように従来と異なった組成の混合ガスを用
いても化学蒸着するための温度が700℃未満では反応が
遅くなり、TiNおよびTiCNのコーティング層を経済的に
効率よく形成することができず、一方900℃を越えると
サーメットの結合相形成成分が拡散してTiNおよびTiCN
コーティング層に混入し、耐摩耗性の低いコーティング
層が形成されるので好ましくない。
したがって、上記TiNおよびTiCNコーティング層を形
成するための化学蒸着温度は700〜900℃に定めた。
成するための化学蒸着温度は700〜900℃に定めた。
〔実施例〕 つぎに、この発明を実施例にもとづいて具体的に説明
する。
する。
まず、原料粉末として、いずれも1.0〜2.5μｍの範囲
内の所定の平均粒径を有するTiN粉末、TiC粉末、TaC粉
末、WC粉末、Mo2C粉末、NbC粉末、ZrC粉末、Co粉末、Ni
粉末およびAl粉末を用意し、これら粉末を第４表に示さ
れる配合組成となるように配合し、ボールミルで72時間
湿式混合し、乾燥したのち、1.5ton/cm2の圧力で圧粉体
にプレス成形し、この圧粉体を、4TorrのN2雰囲気中、
温度:1470℃に60分間保持の条件で焼結し、上記第３表
に示した配合組成と実質的に同一の成分組成をもったサ
ーメットＡおよびＣを製造した。
内の所定の平均粒径を有するTiN粉末、TiC粉末、TaC粉
末、WC粉末、Mo2C粉末、NbC粉末、ZrC粉末、Co粉末、Ni
粉末およびAl粉末を用意し、これら粉末を第４表に示さ
れる配合組成となるように配合し、ボールミルで72時間
湿式混合し、乾燥したのち、1.5ton/cm2の圧力で圧粉体
にプレス成形し、この圧粉体を、4TorrのN2雰囲気中、
温度:1470℃に60分間保持の条件で焼結し、上記第３表
に示した配合組成と実質的に同一の成分組成をもったサ
ーメットＡおよびＣを製造した。
実施例 １ 上記第３表に示されたサーメットＡの表面に、第１表
に示される条件で厚さ:5μｍのTiNを化学蒸着し、本発
明法１〜５、比較法１〜２および従来法１によるTiNコ
ーティング層を形成し、TiNコーティング層の成分組成
を測定してその結果を第１表に示すとともに、TiNコー
ティング層を被覆したコーティングサーメットを用いて
以下の条件で連続切削試験し、切刃の逃げ面摩耗幅を測
定し、その結果を第１表に示し、耐摩耗性を評価した。
に示される条件で厚さ:5μｍのTiNを化学蒸着し、本発
明法１〜５、比較法１〜２および従来法１によるTiNコ
ーティング層を形成し、TiNコーティング層の成分組成
を測定してその結果を第１表に示すとともに、TiNコー
ティング層を被覆したコーティングサーメットを用いて
以下の条件で連続切削試験し、切刃の逃げ面摩耗幅を測
定し、その結果を第１表に示し、耐摩耗性を評価した。
連続切削試験条件 被削材 :SCM415（硬さ150）、 切削速度:250m/min、 送 り:0.2mm/rev、 切込み :1.0mm、 切削時間:30min、 切削油 ：なし、 第１表に示された結果から、本発明法１〜５で形成さ
れたTiNコーティング層には、サーメットの結合相形成
成分が含まれていないのに対し、比較法２および従来法
１により形成されたTiNコーティング層にはサーメット
の結合相形成成分が含まれており、したがって、本発明
法１〜５で作製されたコーティングサーメットの方が耐
摩耗性が優れていることがわかる。
れたTiNコーティング層には、サーメットの結合相形成
成分が含まれていないのに対し、比較法２および従来法
１により形成されたTiNコーティング層にはサーメット
の結合相形成成分が含まれており、したがって、本発明
法１〜５で作製されたコーティングサーメットの方が耐
摩耗性が優れていることがわかる。
なお、比較例１により形成されたTiNコーティング層
は、化学蒸着温度が低すぎるために、十分な厚さのTiN
コーティング層を得ることができず、比較例１により作
製されたコーティングサーメットの耐摩耗性は低いもの
と考えられる。
は、化学蒸着温度が低すぎるために、十分な厚さのTiN
コーティング層を得ることができず、比較例１により作
製されたコーティングサーメットの耐摩耗性は低いもの
と考えられる。
実施例２ 第３表に示されるサーメットＣの表面に、 温 度:800℃、 混合ガス:4％TiCl4−８％NH3−88％H2（容量％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:1μｍのTiNコーティング層を形成し、つ
いで、上記TiNコーティング層の上に、 温 度:800℃、 混合ガス:4％TiCl4−８％CH3CN−88％H2（容量％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:4μｍのTiCNコーティング層を形成し、さ
らに、上記TiCNコーティング層の上に１μｍのTiNを前
記条件でコーティングし、本発明法６によるTiN−TiCN
−TiNの複合コーティング層を形成した。
いで、上記TiNコーティング層の上に、 温 度:800℃、 混合ガス:4％TiCl4−８％CH3CN−88％H2（容量％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:4μｍのTiCNコーティング層を形成し、さ
らに、上記TiCNコーティング層の上に１μｍのTiNを前
記条件でコーティングし、本発明法６によるTiN−TiCN
−TiNの複合コーティング層を形成した。
一方、比較のために、同一成分組成のサーメットＣの
表面に、 温 度:980℃、 混合ガス:4％TiCl4−８％N2−88％H2（容量％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:1μｍのTiNコーティング層を形成し、つ
いで、上記TiNコーティング層の上に、 温 度:1000℃、 混合ガス:4％TiCl4−３％CH4−４％N2−89％H2（容量
％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:4μｍのTiCNコーティング層を形成し、さ
らに、上記TiCNコーティング層の上に１μｍのTiNを前
記条件でコーティングし、従来法２によるTiN−TiCN−T
iNの複合コーティング層を形成した。
表面に、 温 度:980℃、 混合ガス:4％TiCl4−８％N2−88％H2（容量％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:1μｍのTiNコーティング層を形成し、つ
いで、上記TiNコーティング層の上に、 温 度:1000℃、 混合ガス:4％TiCl4−３％CH4−４％N2−89％H2（容量
％）、 圧 力:100Torr、 の条件で厚さ:4μｍのTiCNコーティング層を形成し、さ
らに、上記TiCNコーティング層の上に１μｍのTiNを前
記条件でコーティングし、従来法２によるTiN−TiCN−T
iNの複合コーティング層を形成した。
これら本発明法６によるTiN−TiCN−TiNの複合コーテ
ィング層並びに従来法２によるTiN−TiCN−TiNの複合コ
ーティング層の成分組成を顕微鏡で観察するとともに、
上記本発明法６による複合コーティングサーメットおよ
び従来法２による複合コーティングサーメットを用いて
実施例１で示された条件と同一条件で連続切削試験を行
い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定して、その結果を第２表
に示した。
ィング層並びに従来法２によるTiN−TiCN−TiNの複合コ
ーティング層の成分組成を顕微鏡で観察するとともに、
上記本発明法６による複合コーティングサーメットおよ
び従来法２による複合コーティングサーメットを用いて
実施例１で示された条件と同一条件で連続切削試験を行
い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定して、その結果を第２表
に示した。
本発明法６によるTiN−TiCN−TiNの複合コーティング
層と従来法２によるTiN−TiCN−TiN複合コーティング層
とは共に６μｍの層厚を有するが、第２表の測定結果に
よると、本発明法６によるTiN−TiCN−TiN複合コーティ
ング層には結合相形成成分がほとんど含まれていないの
に対し、従来法２によるTiN−TiCN−TiNの複合コーティ
ング層には結合相形成成分が含まれており、また本発明
法６で作製された複合コーティングサーメットおよび従
来法２で作製された複合コーティングサーメットを連続
切削試験した結果をみても、本発明法６により作製され
た複合コーティングサーメットの方が切刃逃げ面摩耗幅
が小さく、したがって対摩耗性に優れていることがわか
る。
層と従来法２によるTiN−TiCN−TiN複合コーティング層
とは共に６μｍの層厚を有するが、第２表の測定結果に
よると、本発明法６によるTiN−TiCN−TiN複合コーティ
ング層には結合相形成成分がほとんど含まれていないの
に対し、従来法２によるTiN−TiCN−TiNの複合コーティ
ング層には結合相形成成分が含まれており、また本発明
法６で作製された複合コーティングサーメットおよび従
来法２で作製された複合コーティングサーメットを連続
切削試験した結果をみても、本発明法６により作製され
た複合コーティングサーメットの方が切刃逃げ面摩耗幅
が小さく、したがって対摩耗性に優れていることがわか
る。
第１表および第２表の結果から、本発明法１〜６によ
り製造されたコーティングサーメットは、従来法１〜２
により製造されたコーティングサーメットおよび比較法
１〜２により製造されたコーティングサーメットよりも
耐摩耗性が高く、従来よりも長時間使用可能なコーティ
ングサーメットを提供することができる。
り製造されたコーティングサーメットは、従来法１〜２
により製造されたコーティングサーメットおよび比較法
１〜２により製造されたコーティングサーメットよりも
耐摩耗性が高く、従来よりも長時間使用可能なコーティ
ングサーメットを提供することができる。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 16/34 - 16/44 C22C 29/00 - 29/18
Claims (2)
- 【請求項１】Ti,Zr,Hf,Ta,Nb,W,Mo,Crの炭化物、窒化
物、炭窒化物の１種または２種以上の硬質分散相形成成
分:70〜95重量％と、Co,Ni,Alの１種または２種以上の
結合相形成成分:5〜30重量％とからなるサーメット（以
下、サーメットという）の表面に窒化チタン層を化学蒸
着するコーティングサーメットの製造方法において、 上記窒化チタン層は、四塩化チタン、アンモニアおよび
水素からなる混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学
蒸着することにより形成することを特徴とする耐摩耗性
に優れたコーティングサーメットの製造法。 - 【請求項２】サーメットの表面に窒化チタン層を化学蒸
着し、ついで炭窒化チタン層を含むコーティング層を化
学蒸着することにより複合コーティング層を有するコー
ティングサーメットの製造方法において、 上記窒化チタン層は、四塩化チタン、アンモニアおよび
水素からなる混合ガスを用い、温度:700〜900℃で化学
蒸着することにより形成し、 上記炭窒化チタン層は、四塩化チタン、アセトニトリル
および水素からなる混合ガスを用い、温度:700〜900℃
で化学蒸着することにより形成することを特徴とする耐
摩耗性に優れたコーティングサーメットの製造法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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