JP2748417B2 - マイクロホン装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。

Ａ産業上の利用分野 Ｂ発明の概要 Ｃ従来の技術 Ｄ発明が解決しようとする問題点（第９図〜第11図） Ｅ問題点を解決するための手段（第１図） Ｆ作用（第１図） Ｇ実施例（第１図〜第６図） （G1）本発明の基本構成（第１図） （G2）第１の実施例（第２図及び第３図） （G3）第２の実施例（第４図） （G4）第３の実施例（第５図） （G5）第４の実施例（第６図） （G6）他の実施例 Ｈ発明の効果 Ａ産業上の利用分野 本発明はマイクロホン装置に関し、例えばカメラ一体
型ビデオテープレコーダ（VTR）、テープレコーダ等の
マイクロホン装置に適用して好適なものである。

Ｂ発明の概要 本発明は、マイクロホン装置において、振動電気変換
部が対向するように２つのマイクロホンユニツトを配置
し、共通の電界効果トランジスタによつてマイクロホン
出力を得ると共に、互いに独立な内側空洞を設けること
により、小型かつ簡易な構成で異常な雑音を抑圧するこ
とができる。

Ｃ従来の技術 カメラ一体型ビデオテープレコーダ（VTR）において
は、テープ駆動系、テープ走行系等の動作部分を有する
ことから、当該テープ駆動系、テープ走行系で機械的振
動が発生する。

従つてカメラ一体型VTRにおいては、マイクロホン装
置で当該機械的振動がピツクアツプされ、マイクロホン
装置から出力される出力信号に当該機械的振動による振
動雑音が混入する場合がある。

このため従来、この種のマイクロホン装置において
は、サスペンシヨン機構又はハイパスフイルタ回路を用
いて、当該振動雑音を低減するようになされている。

すなわち、サスペンシヨン機構を介して、マイクロホ
ン装置をカメラ一体型VTRに固定することにより、マイ
クロホン装置に伝搬する機械的振動を低減し、これによ
り出力信号に混入する振動雑音を低減する。

これに対して、ハイパスフイルタ回路を用いる場合に
おいては、出力信号から振動雑音成分を多く含む低い周
波数成分を抑圧することにより、振動雑音を低減するよ
うになされている。

Ｄ発明が解決しようとする問題点 ところが、サスペンシヨン機構を用いる場合において
は、当該サスペンシヨン機構の構造が複雑になると共
に、全体の形状が大きくなることを避け得ない。

これに対して、ハイパスフイルタ回路を用いる場合に
おいては、振動雑音が低減した分、同時に出力信号の音
質劣化を避け得ない。

このため、音質劣化を未然に防止して振動雑音を低減
し得るようになされた小型形状のマイクロホン装置が提
案されている（特願昭62−230278号）。

すなわち第９図において、１は全体としてマイクロホ
ン装置を示し、マイクロホンユニツト２及び３が、結合
子４で周りを囲むように同軸上に保持され、当該マイク
ロホン装置１を結合子４を介して例えばカメラ一体型VT
Rに取り付けることにより、当該マイクロホンユニツト
２及び３に同相の機械的振動が伝搬されるようになされ
ている。

さらにマイクロホンユニツト２及び３は、その振動板
５及び６が近接して対向するように逆向きに配設され、
これにより当該マイクロホンユニツト２及び３から、同
相の機械的振動に対して逆相の振動雑音が出力される。

これに対して結合子４は、側面に貫通孔８を有し、当
該貫通孔８を介して結合子４内に入射した音波が、振動
板５及び６を同相に振動させるようになされている。

かくして、マイクロホンユニツト２及び３から逆相の
振動雑音が出力されるのに対し、貫通孔８を介して入射
した音波に対して同相の出力信号が出力される。

従つて、当該マイクロホン装置１においては、加算回
路９を介して、マイクロホンユニツト２及び３の和信号
S_wを出力することにより、逆相の振動雑音を抑圧して同
相の出力信号だけを出力し、これにより音質劣化を未然
に防止して振動雑音を低減するようになされている。

ところが、このように２つのマイクロホンユニツト２
及び３を用いる場合においては、１個のマイクロホンユ
ニツトを用いる場合に比して、マイクロホン装置の構成
が複雑化すると共にその形状が大型化し、マイクロホン
装置の小型化の点では未だ不十分な問題がある。

この問題を解決するための１つの方法として、２つの
マイクロホンユニツト２及び３に、例えば電界効果トラ
ンジスタを内蔵したエレクトレツトコンデンサマイクロ
ホンユニツトを用いる方法が考えられる。

すなわち第10図に示すように、エレクトレツトコンデ
ンサマイクロホンユニツト10は、例えばエレクトレツト
化された高分子フイルムの片面に金属を蒸着して振動板
11を形成し、蒸着により形成された電極膜がダイアフラ
ムリング12を介して金属性のケース14と導通するように
振動板11を配置する。

さらに、高分子フイルムを間に挟んで電極膜と対向す
るように、対向電極15が振動板11に近接して配置され、
これにより電極膜及び対向電極15が、高分子フイルム上
に蓄積された電荷を間に挟んで対向するように配置され
る。

これに対してケース14は、振動板11に対向する面に貫
通孔17を有し、当該貫通孔17から入射した音波で、振動
板11が振動するようになされ、これにより当該振動に応
じて振動板11に対する対向電極15の電位が変動するよう
になされている。

さらに対向電極15は、電界効果トランジスタ16のゲー
ト端子に接続され、振動板11に対する対向電極15の電位
の変動を、当該電界効果トランジスタ16を介して出力す
るようになされている。

ちなみに、ケース14は接地され、これにより全体を静
電シールドするようになされている。

このようにすれば、全体として簡易な構成で小型形状
のマイクロホンユニツトを得ることができることから、
当該エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツト10
を用いるようにすれば、全体として小型形状で振動雑音
を抑圧したマイクロホン装置を得ることができると考え
られる。

すなわち、第10図との対応部分に添え字を代えて第11
図に示すように、貫通孔８から入射する音波に対して同
相で振動するように、振動板11A及び11Bを対向して配置
し、ケース14に代えて結合子20で全体を囲むようにす
る。

ところが、この場合結合子20が２つのエレクトレツト
コンデンサマイクロホンユニツト10A及び10Bのケース14
を兼ねている点を除いて、２つのマイクロホンユニツト
２及び３（第９図）を単に２つのエレクトレツトコンデ
ンサマイクロホンユニツト10A及び10Bに置き換えた分し
か全体の形状を小型化することができず、小型形状のマ
イクロホン装置とするためには未だ不十分である。

さらに、電界効果トランジスタ16A及び16Bの出力信号
を外部で加算しなければならず、その分使い勝手も悪
い。

この場合、２つの対向電極15A及び15Bを接続して電界
効果トランジスタのゲート端子に接続することにより、
電界効果トランジスタの数を１つに減少して、全体の構
成を簡略化すると共に小型化する方法が考えられる。

ところが、各対向電極15A及び15Bが振動板11A及び11B
によつて隔てられているため、２つの対向電極15A及び1
5Bを接続する場合、全体の構成が複雑になり、結局小型
化することが困難になる。

また、２つの対向電極15A及び15Bを接続する場合、そ
の接続結線が結合子20、振動板11A及び11B、ダイアフラ
ムリング12A及び12Bに接近することを避け得ず、その分
浮遊容量が増大し、マイクロホン装置の感度が低下す
る。

本発明は以上の点を考慮してなされたもので、全体と
して簡易かつ小型形状で、異常な雑音を生じさせないよ
うになされたマイクロホン装置を提案しようとするもの
である。

Ｅ問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため本発明においては、中空
の結合子33、51、71と、結合子33、51、71内において、
それぞれ対向電極15A、15Bを内側に向かつて対向させか
つ振動板11A、11Bを外側に向けるように、絶縁支持部材
44によつて支持された一対のエレクトレツトコンデンサ
マイクロホンユニツト41A、41Bと、結合子33、51、71内
に絶縁支持部44によつて支持され、一対のエレクトレツ
トコンデンサマイクロホンユニツト41A、41Bに共通に設
けられ、ゲート電極に一対のエレクトレツトコンデンサ
マイクロホンユニツト41A、41Bの対向電極15A、15Bが接
続されると共に、マイクロホン出力を外部に送出する電
界効果トランジスタ43と、一対のエレクトレツトコンデ
ンサマイクロホンユニツト41A、41Bの対向電極15A、15B
の内側に、それぞれ互いに独立するように設けられた２
つの内側空洞と46A、46Bとを設ける。

作用 一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツ
ト41A、41Bに共通に電界効果トランジスタ43を設けてそ
のゲート電極に一対のエレクトレツトコンデンサマイク
ロホンユニツト41A、41Bの対向電極15A、15Bを接続して
マイクロホン出力を得るようにしたことにより、一対の
エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツト41A、4
1Bにそれぞれ電界効果トランジスタ43を設けなくとも良
いので、この分マイクロホン装置の構成を簡易化し得る
と共に、一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホン
ユニツト41A、41Bの対向電極15A、15Bの内側に、それぞ
れ、互いに独立の、２つの内側空洞46A、46Bを設けたこ
とにより、各エレクトレツトコンデンサマイクロホンユ
ニツト15A、15Bの振動板15A、15Bを振動させた外部音の
音波が互いに内側空洞46A、46Bにおいて位相差、時間差
等に基づいて干渉し合つて外部音以外の異常な雑音を発
生させるような現象を生じさせないようにできる。

Ｇ実施例 以下図面について本発明の一実施例を詳述する。

（G1）本発明の基本構成 第１図において、30は全体としてマイクロホン装置を
示し、マイクロホンユニツト31及び32が、結合子33で周
りを囲むように同軸上に保持され、結合子33を介して、
当該マイクロホンユニツト31及び32に同相の機械的振動
が伝搬されるようになされている。

さらにマイクロホンユニツト31及び32は、その振動板
34及び35の振動を電気信号に変換する変換部37及び38
（すなわちエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニ
ツトにおいては、対向電極及び電界効果トランジスタで
なり、動電型のマイクロホンユニツトにおいては、ボイ
スコイル及び磁気回路でなり、以下振動電気変換部と呼
ぶ）が、結合子33の中央部で近接して対向するように逆
向きに配置され、これにより当該マイクロホンユニツト
31及び32から、同相の機械的振動に対して逆相の振動雑
音を出力するようになされている。

従つて、マイクロホンユニツト31及び32においては、
当該振動電気変換部37及び38を対向するように配置した
ことにより、必要に応じて振動電気変換部37及び38の一
部を共用化することができ、その分全体として簡易な構
成で小型形状のマイクロホン装置を得ることができる。

これに対して結合子33は、側面に貫通孔８を有し、当
該貫通孔８を介して結合子33内に入射した音波で、振動
板34及び35が同相で振動するようになされている。

かくしてマイクロホンユニツト31及び32から、逆相の
振動雑音が出力されるのに対し、貫通孔８を介して入射
した音波に対して同相の出力信号が出力され、加算回路
９を介して和信号S_wを出力することにより、音質劣化を
未然に防止して振動雑音を抑圧することができる。

かくして結合子33は、振動板34及び35が、機械的振動
に対して逆相で振動するように、マイクロホンユニツト
31及び32を保持する保持部材を構成する。

このとき、振動電気変換部37及び38を対向するように
配置したことにより、当該振動電気変換部37及び38の出
力信号を加算する際に、例えば振動電気変換部37及び38
の出力を結線するだけの簡易な構成で和信号S_wを得るこ
とができ、その分全体構成を簡略化して、小型形状のマ
イクロホン装置30を得ることができる。

以上の構成によれば、振動電気変換部37及び38が対向
するようにマイクロホンユニツト31及び32を配置したこ
とにより、必要に応じて振動電気変換部37及び38を共用
化することができると共に当該振動電気部37及び38の接
続結線を簡略化し得、かくして全体として簡易な構成で
振動雑音出力を抑圧し得る小型形状のマイクロホン装置
を得ることができる。

（G2）第１の実施例 第11図との対応部分に同一符号を付して示す第２図に
おいて、40はマイクロホン装置を示し、エレクトレツト
コンデンサマイクロホンユニツト41A及び41Bを用いるよ
うにしたものである。

すなわち、エレクトレツトコンデンサマイクロホンユ
ニツト41A及び41Bは、音圧型のマイクロホンユニツトで
なり、結合子33の中央部で、対向電極15A及び15Bが対向
するように、即ち第２図に示されているように、対向電
極15A及び15Bが各々のマイクロホンユニツトの振動板11
A及び11Bと相対向しない側の面が電界効果トランジスタ
43を挟んで対向するように結合子33内に配設される。

さらに対向電極15A及び15Bは、電界効果トランジスタ
43のゲート端子に接続され、これにより対向電極15A及
び15Bから得られるエレクトレツトコンデンサマイクロ
ホンユニツト41A及び41Bの出力信号を電界効果トランジ
スタ43の入力で加算して出力するようになされている。

かくして、対向電極15A及び15Bが対向するように、当
該エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツト41及
び41Bを配置したことにより、対向電極15A及び15Bを接
続するだけで、加算回路を省略し得ると共に、電界効果
トランジスタ43を２つのエレクトレツトコンデンサマイ
クロホンユニツト41A及び41Bで共用することができる。

従つて、上述の通り、電界効果トランジスタを１個省
略することができるのでその分全体として簡易な構成
で、小型形状のマイクロホン装置を得ることができる。

ちなみに、対向電極15A及び15Bと電界効果トランジス
タ43は、絶縁材料で形成された支持部材44で支持される
ようになされている。

さらに、当該マイクロホン装置40においては、貫通光
８から入射した音波が、各エレクトレツトコンデンサマ
イクロホンユニツト41A及び41Bの振動板11A及び11Bに同
相で伝搬し得るように、結合子33及びエレクトレツトコ
ンデンサマイクロホンユニツト41A及び41B間に空洞45A
及び45Bが形成される。

即ち貫通孔８から入射した音波は、支持部材44と結合
子33の内壁面との間に形成された細隙45Eを通り、外側
空洞45A及び45Bを形成するためにマイクロホンユニツト
41A及び41Bの振動板11A及び11Bの前面側に設けられるリ
ング状部材39A及び39Bの側面が切欠かれて形成された通
路45C及び45Dを通り、さらにこれらの通路45C及び45Dに
それぞれ連通する外側空洞45A及び45Bを通つて振動板11
A及び11Bに伝わる。

さらに対向電極15A及び15B間にそれぞれ互いに連通せ
ずに独立に内側空洞46A及び46Bが形成され、当該内側空
洞46A及び46Bで各エレクトレツトコンデンサマイクロホ
ンユニツト41A及び41Bの音響回路を形成するようになさ
れている。

かくして、貫通孔８から入射した音波に対して、エレ
クトレツトコンデンサマイクロホンユニツト41A及び41B
から同相の出力信号を得ることができるのに対し、振動
雑音に対しては逆相の出力を得ることができる。

すなわち、マイクロホンユニツトに印加される機械的
振動を単位加速度α_０とおいて、このときのマイクロホ
ンユニツトの出力をE_vとおくと、機械的振動に対する感
度（以下振動感度と呼ぶ）S_vは、次式 S_v＝E_v/α_０ ……（１） で表される。

これに対して、マイクロホンユニツトに単位音圧P₀が
印加された場合の出力をE_aとおくと、当該音圧に対する
感度（以下音圧感度と呼ぶ）S_aは、次式 S_a＝E_a/P₀ ……（２） で表される。

従つて、音圧感度S_aに対する振動感度S_vは、次式 で表される。

このことは、（３）式で表される値が小さい程、出力
信号に対して振動雑音が小さいことを意味し、これを次
式 とおいて、エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニ
ツト41A及び41Bの音圧感度を、それぞれaS_a及びbS_aとお
くと、エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツト
41A及び41Bの振動感度は、それぞれaRS_a及びbRS_aで表さ
れる。

従つて第３図に示すように、出力aS_a及びbS_aの同相の
電源、出力aRS_a及びbRS_aの逆相の電源と、振動板11A及
び11Bと対向電極15A及び15Bで形成される静電容量CA及
びCBで、当該マイクロホン装置40の等価回路が表わされ
る。

ここでａ及びｂは音圧感度の基準をS_aとしたときの各
マイクロホンユニツト41A、41Bの出力を表すための定数
である。

従つて、当該マイクロホン装置40においては、振動感
度S_vout及び音圧感度S_aoutは、静電容量CA及びCBを等し
いとおいて、次式 で表され、これにより、次式 で音圧感度S_aoutに対する振動感度S_voutが表される。

これにより、１つのエレクトレツトコンデンサマイク
ロホンユニツト41A又は41Bを用いる場合に比して、雑音
信号を値（ａ−ｂ）／（ａ＋ｂ）倍に抑圧することがで
き、値ａ及びｂの等しい特性の揃つたエレクトレツトコ
ンデンサマイクロホンユニツト41A及び41Bを用いること
により、雑音信号をほぼ０レベルに抑圧することができ
る。

ちなみに、結合子33の中央部に貫通孔８を設けたこと
により、この実施例においては、全指向性のマイクロホ
ン装置が得られる。

以上の構成において、貫通孔８から入射した音波で、
振動板11A及び11Bが同相で振動し、これにより電界効果
トランジスタ43を介して加算された出力信号が得られ
る。

これに対し、結合子33の振動に対して振動板11A及び1
1Bが逆相で振動し、電界効果トランジスタ43を介して振
動雑音が抑圧されて出力される。

以上の構成によれば、対向電極15A及び15Bが対向する
ように、エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツ
ト41A及び41Bを配置して、電界効果トランジスタ43を共
用化することにより、全体として簡易な構成で、振動雑
音を抑圧した小型形状のマイクロホン装置を得ることが
できる。

これと共に、内側空洞46及び46Bを互いに独立に設け
たことにより、振動板11A及び11Bを振動させかつ位相差
をもつ２つの外部音が互いに干渉し合つて外部音以外の
異常な雑音を発生させるような現象を生じさせないよう
にできる。

（G3）第２の実施例 第１図と対応する部分については同一の符号を付して
示す第４図において、50は本実施例におけるマイクロホ
ン装置を示す。

本実施例において、結合子51の振動板11A及び振動板1
1Bと対向する部分の面に貫通孔8A及び8Bがそれぞれ形成
されている。振動板11A及び11Bと結合子51の内壁面との
間に、第１の実施例と同様に外部空洞45A及び45Bを形成
するように貫通孔8A及び8Bを取り囲むようにリング状部
材47A及び47Bが配設されている。

このように構成することによつて、第１の実施例と同
様に振動雑音及び位相差に基づく異常な雑音の抑圧を可
能とする小型のマイクロホン装置を実現できる。

さらに第１の実施例のように結合子33と支持部材44と
の間に細隙45及びリング状部材39A及び39Bに切欠きを設
ける必要性がなくなるため、組立作業が容易になる。ま
た同時に細隙45が不均一な大きさになつた場合、マイク
ロホンユニツト41A及び41Bに入射する音圧が不均一にな
り、良好な雑音抑圧ができなくなる等の悪影響が生じる
が、この実施例によればこれらの悪影響を除去すること
ができる。

（G4）第３の実施例 第４図と対応部分に同一符号を付して示す第５図にお
いては、エレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツ
ト41A及び41Bの配置位置を上下にずらして、左右方向の
長さを短くしたマイクロホン装置60を得るようにしたも
のである。

すなわち、マイクロホン装置60においては、結合子61
の中心軸に対してエレクトレツトコンデンサマイクロホ
ンユニツト41A及び41Bを、それぞれ上下にずらして配置
し、支持部材62で保持する。

第５図の構成によれば、エレクトレツトコンデンサマ
イクロホンユニツト41A及び41Bの配置位置を上下にずら
して位置するようにしても、第２の実施例と同様の効果
を得ることができ、更に、この第３の実施例においては
電界効果トランジスタがマイクロホンユニツト41Bの下
方側のマイクロホンユニツト41Aの背面に位置している
ため、マイクロホン装置として全体を薄くすることがで
きる。

（G5）第４の実施例 第１図と対応する部分については同一の符号を付して
示す第６図において、70は指向性マイクロホン装置を示
し、結合子71に設けられた第１及び第２の貫通孔8F及び
8Rを結ぶ軸を対象軸にして、所望の指向性を得るように
したものである。

すなわち貫通孔8Fは、当該貫通孔8Fから入射した音波
が、通路45C及び45Dと空洞45A及び45Bを介して振動板11
A及び11Bの電極膜側に同相で伝搬し得るように、結合子
71上に形成される。

これに対して貫通孔8Rは、当該貫通孔8Rから入射した
音波が、振動板11A及び11Bの対向電極15A及び15B側に同
相で伝搬し得るように、結合子71上の貫通孔8Fと対向す
る位置に形成される。

ちなみに、貫通孔8Rと内側空洞46A及び46B間は、それ
ぞれ細隙73A及び73Bで結ばれ、これにより所定の音響回
路を形成するようになされている。

かくして、それぞれ貫通孔8F及び8Rから音波が入射し
て振動板11A及び11Bに伝搬するまでの間に互いに干渉す
ることなく位相差を生じさせることができ、これにより
全体として簡易な構成で振動雑音を抑圧して、所望の指
向性を得ることができる。

第６図の構成によれば、全体として簡易な構成で、振
動雑音を抑圧した小型形状の指向性マイクロホン装置を
得ることができる。

（G6）他の実施例 上述の実施例においては、エレクトレツト化された高
分子フイルムを用いて振動板を形成したエレクトレツト
コンデンサマイクロホンユニツトを用いる場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、例えば対向電極にエ
レクトレツト化された高分子層を付着して形成したエレ
クレツトコンデンサマイクロホンユニツトを用いるよう
にしてもよい。

さらに第４の実施例においては、２つのマイクロホン
ユニツトのそれぞれの指向軸が同一方向、つまり貫通孔
8F及び8Rを結ぶ軸にある場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、例えば貫通孔8Fに代えて振動板11A及
び11Bに対向する位置にそれぞれ貫通孔を設け、２つの
マイクロホンユニツトのそれぞれの指向軸が互いに角度
をなすようにしても良い。

このようにすれば、貫通孔を振動板11A及び11Bに対向
する位置に設けた分全体の構成を簡略化し得ると共に、
指向性をブロードにしたマイクロホン装置を得ることが
できる。

さらに上述の実施例においては、エレクトレツトコン
デンサマイクロホンユニツト及び動電型のマイクロホン
ユニツトを用いる場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、種々の形式のマイクロホンユニツトを広く適
用することができる。

さらに上述の実施例においては、本発明をカメラ一体
型VTR及びテープレコーダのマイクロホン装置に適用し
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、種々
の電子機器のマイクロホン装置に広く適用することがで
きる。

Ｈ発明の効果 以上のように本発明によれば、一対のエレクトレツト
コンデンサマイクロホンユニツトに共通に電界効果トラ
ンジスタを設けてそのゲート電極に一対のエレクトレツ
トコンデンサマイクロホンユニツトの対向電極をそれぞ
れ接続してマイクロホン出力を得るようにしたことによ
り、一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニ
ツトにそれぞれ電界効果トランジスタを設けなくとも良
いので、この分マイクロホン装置の構成を簡易化し得る
と共に、一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホン
ユニツトの対向電極の内側に、それぞれ、互いに独立
の、２つの内側空洞を設けたことにより、各エレクトレ
ツトコンデンサマイクロホンユニツトの振動板を振動さ
せた外部音の音波が互いに内側空洞において位相差、時
間差等に基づいて干渉し合つて外部音以外の異常の雑音
を発生させるような現象を生じさせないようにできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるマイクロホン装置の基本構成を示
す断面図、第２図は第１の実施例を示す断面図、第３図
はその等価回路を示す接続図、第４図は第２の実施例を
示す断面図、第５図は第３の実施例を示す断面図、第６
図は第４の実施例を示す断面図、第７図は従来のマイク
ロホン装置の基本構成を示す断面図、第８図はエレクト
レツトコンデンサマイクロホンユニツトを示す断面図、
第９図はエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツ
トを用いたマイクロホン装置を示す断面図である。 １、30、40、50、60、70、80……マイクロホン装置、
２、３、10、10A、10B、31、32、41A、41B、81A、81B…
…マイクロホンユニツト、４、20、33、51、61、71、86
……結合子、５、６、11、11A、11B、34、35、88A、88B
……振動板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−133206（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−200599（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−115099（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−39121（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−28300（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−219299（ＪＰ，Ａ) 特公 昭61−50560（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭62−28640（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭58−46618（ＪＰ，Ｙ２)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】中空の結合子と、 上記結合子内において、それぞれ対向電極を内側に向か
   つて対向させかつ振動板を外側に向けるように、絶縁支
   持部材によつて支持された一対のエレクトレツトコンデ
   ンサマイクロホンユニツトと、 上記結合子内に上記絶縁支持部によつて支持され、上記
   一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニツト
   に共通に設けられ、ゲート電極に上記一対のエレクトレ
   ツトコンデンサマイクロホンユニツトの上記対向電極が
   接続されると共に、マイクロホン出力を外部に送出する
   電界効果トランジスタと、 上記一対のエレクトレツトコンデンサマイクロホンユニ
   ツトの上記対向電極の内側に、それぞれ互いに独立する
   ように設けられた２つの内側空洞と を具えることを特徴とするマイクロホン装置。