JP2729204B2 - 多結晶セラミックス製品及びその製造方法 - Google Patents
多結晶セラミックス製品及びその製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する利用分野】本発明はボンディングキャピ
ラリー、光コネクター、ワイヤーガイド、或いは装飾品
として用いるホワイトサファイヤ等の多結晶セラミック
ス製品の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体チップ表面の電極とリードフレー
ムのフィンガーとをつなぐ金ワイヤーのキャリアー等と
して従来からホワイトサファイヤ等の多結晶セラミック
ス製品が用いられている。 【０００３】斯かる多結晶セラミックス製品は酸化アル
ミニウムを主体とした焼結体として製造され、特に焼結
助剤として酸化マグネシウムを微量添加し、酸化アルミ
ニウム粒子間にスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を生成せし
め、酸化アルミニウム粒子の異常な粒成長を抑制し、緻
密で均一な構造の製品を得るようにしている。 【０００４】しかしながら、酸化マグネシウムの添加量
は微量なため酸化アルミニウム粒子間に均一に分散させ
ることが困難で、部分的に異常粒成長することがある。
そこで、塩化マグネシウム又は硫酸マグネシウムを含む
水溶液を０．１〜３ｍｏｌ％の割合で酸化アルミニウム
微粉末に添加して焼結する方法が特開昭６１−２９１４
４９号公報として知られている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】上述した従来の方法に
あっては焼結温度が比較的高温であるため、焼結助剤と
して塩化マグネシウム又は硫酸マグネシウムを用いない
と結晶の異常粒成長が生じやすく、また焼結も必ず真空
中で行わなければならず装置が大がかりとなる。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る多結晶セラミックス製品は、自己焼結性に富
む酸化アルミニウム単独又は自己焼結性に富む酸化アル
ミニウムに0.05ｗｔ％以下の酸化マグネシウムが固溶し
た平均粒径2.0μｍ以下の結晶から構成され、内部に４
μｍ以上の粗大粒を含まず、内在するポアの径が0.1μ
ｍ以下で、硬度が2000ＨＶ以上で且つ曲げ強度が70ｋｇ
／ｍｍ2以上で、比重が3.99で且つ透光性を有するよう
にした。 【０００７】また本発明に係る多結晶セラミックス製品
の製造方法は、自己焼結性に富む酸化アルミニウム単独
又は自己焼結性に富む酸化アルミニウムに0.05ｗｔ％以
下の酸化マグネシウムが固溶した平均粒径2.0μｍ以下
の結晶から構成され、内部に４μｍ以上の粗大粒を含ま
ず、内在するポアの径が0.1μｍ以下で、硬度が2000Ｈ
Ｖ以上で且つ曲げ強度が70ｋｇ／ｍｍ2以上で、比重が
3.99で且つ透光性を有する多結晶セラミックス製品の製
造方法であって、アルミニウム塩溶液を噴霧乾燥法にて
乾燥して微粉末とし、この微粉末を加熱分解することで
酸化アルミニウムとし、この酸化アルミニウム単独又は
この酸化アルミニウムに０．０５ｗｔ％以下の酸化マグ
ネシウムを添加したものに有機バインダーを加えて所望
の形状に成形し、この成形体を大気中又は１０-3〜１０
-6Torrで焼結する場合は１２８０〜１３００℃で焼結
し、Ｎ2，Ａr又はＨ2雰囲気で焼する場合は１３００〜
１３５０℃で焼結し、次いでこの焼結体に１３００〜１
３１０℃且つ１０００〜２０００ａｔｍの条件下で熱間
静水圧プレスをかけるようにした。 【０００８】 【作用】本発明によれば、アルミニウム塩を熱分解して
得られる自己焼結性に富む酸化アルミニウムを用いるた
め、焼結温度を低くでき異常粒成長も生じることがな
い。したがって、ポア径が0.1μｍ以下で４μｍ以上の
粗大粒を含まず、硬度2000ＨＶ以上且つ曲げ強度70ｋｇ
／ｍｍ2以上の超精密セラミックス製品とすることがで
きる。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は本発明を工程順に示し
たブロック図であり、本発明にあっては出発原料として
噴霧乾燥後に熱分解すると純度99.99％以上の酸化アル
ミニウムになるアルミニウム塩を単独で用いるか、噴霧
乾燥後に熱分解すると純度99.99％以上の酸化マグネシ
ウムになるマグネシウム塩を上記アルミニウム塩と混合
して用いる。ここでアルミニウム塩としては例えばアン
モニウム明ばん、アルミニウム・アンモニウム・カーボ
ネイト・ハイドロオキサイド（ＡＡＣＨ：ＮＨ4ＡｌＣ
Ｏ3（ＯＨ）2）を用い、またマグネシウム塩としては硝
酸マグネシウムＭｇ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏを用いる。更
にアルミニウム塩とマグネシウム塩とを混合する場合に
は酸化マグネシウムに換算して0.05ｗｔ％以下となる量
のマグネシウム塩を秤量する。 【００１０】次いで上記のアルミニウム塩又はアルミニ
ウム塩とマグネシウム塩との混合溶液を噴霧乾燥法によ
って乾燥した後に熱分解して酸化アルミニウム又は酸化
アルミニウムと酸化マグネシウムとの混合物からなる酸
化物微粉末を得る。或いは図２に示す工程のように、ア
ルミニウム塩とマグネシウム塩とをそれぞれ単独に噴霧
乾燥法によって乾燥した後に熱分解した酸化アルミニウ
ムと酸化マグネシウムを得て、この酸化アルミニウムと
酸化マグネシウムを秤量し、混合溶液をつくり、この混
合溶液を噴霧乾燥して酸化アルミニウム又は酸化アルミ
ニウムと酸化マグネシウムとの混合物からなる酸化物粉
末を得る。 【００１１】ここで噴霧乾燥法を行うにはアルミニウム
塩等を樹脂ボールを入れた樹脂ポット内で蒸留水及び分
散剤とともに混式混合してスラリーとして行い、熱分解
は500〜1050℃、例えば780℃で２時間行う。 【００１２】そして上記の酸化物微粉末をエタノール等
の溶剤を用いて湿式粉砕して凝集体をほぐし再び噴霧乾
燥した後、熱可塑性樹脂を主体とした有機バインダーを
加えて所定形状にインジェクション成形する。 【００１３】次いでインジェクション成形によって得た
成形体を脱脂後焼結する。焼結は通常行われる真空中の
みならず、大気中或いはＮ2，Ａｒ又はＨ2の雰囲気中で
も行える。ただし、大気中又は１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒ
の真空中で行う場合には1280〜1300℃で行い、Ｎ2，Ａ
ｒ又はＨ2の雰囲気中で行う場合には1300〜1350℃で行
う。 【００１４】以上のようにして得られた焼結体に熱間静
水圧プレスをかける。この時の条件としては1300〜1310
℃、圧力1000〜2000ａｔｍでアルゴン雰囲気中で１時間
行う。このようにして得られた製品にダイヤモンド精密
研削及び精密研磨を施して最終製品を得る。 【００１５】 【発明の効果】図３は本発明によって製造した製品と従
来品と比較した図表であり、本発明品は純度99.99％
の酸化アルミニウムを焼結した製品、本発明品は純度
99.99％の酸化アルミニウムと0.05ｗｔ％の酸化マグネ
シウムの混合物を焼結した製品であり、また従来品は9
9.3％の酸化アルミニウムを出発原料とし、これを1575
℃×１ｈｒで真空焼結した後、1500℃×1000ａｔｍ×１
ｈｒの条件で熱間静水圧ブレスを施したものである。 【００１６】尚、図３において耐久性試験はウルトラソ
ニックタイプのボンディングキャピラリーを試作し、20
000回ワイヤーボンディングを繰り返した後に王水洗浄
して先端使用面の状態を電子顕微鏡（400倍）で観察
し、全く変化がない場合をＡ、多少の摩耗がある場合を
Ｂ、脱落やチッピングが認められた場合をＣとした。 【００１７】また、加工性試験は60ｒｐｍで回転する摺
り合せ精密研削・精密研磨機に荷重500ｇをかけて以下
の精密研削及び精密研磨を行った。 研削 水・湿式200#メタルボンドダイヤモンド・砥石
10ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式８μｍダイヤモンドペースト・陶板
上 10ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式１μｍダイヤモンドペースト・銅板
上 20ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式0.5μｍダイヤモンドペーストバフ
上 10ｍｉｎ そして、精密研削・精密研磨後に鏡面となった場合を
Ａ、一部に傷が残っている場合をＢ、チッピングが著し
い場合をＣとした。また、透光性の良否については、得
られた焼結体を厚さ0.3mmにスライス研磨したものを通
して、１cm離れた新聞紙面上の文字が見えるか否かで判
定した。 【００１８】図３に示した図表から明かなように本発明
品は従来品に比べ、耐久性、加工性、硬度及び透光性等
において大幅に向上している。これは以下の理由によ
る。即ち、出発原料にアルミニウム塩を用いたことによ
り低い温度で焼結させることができる。つまりアルミニ
ウム塩を熱分解して得た高純度酸化アルミニウムは表面
が活性化しているため、低い温度で焼結を完了させるこ
とができる。そして焼結温度が低いと仮りに酸化マグネ
シウムを添加しなくとも異常粒成長が生じにくく均一で
微細な結晶粒となる。 【００１９】また、熱間静水圧ブレスを施すため結晶に
力学的格子ひずみが生じ、製品の硬度を高めることがで
きる。特に焼結温度を1280℃以上、熱間静水圧プレスを
1300℃以上で且つ1000ａｔｍ以上としたため0.1μｍ以
上のポアが残ることがなく、また焼結温度を1350℃未
満、熱間静水圧プレスを1310℃以下で且つ2000ａｔｍ以
下としたため４μｍ以上の異常粒成長がない。 【００２０】したがって本発明方法によれば、透光性に
優れ、結晶粒径が均質で、緻密で且つ微細な組織となり
強度、硬度、耐久性及び加工性に優れた多結晶セラミッ
クス製品を得ることができる。
ラリー、光コネクター、ワイヤーガイド、或いは装飾品
として用いるホワイトサファイヤ等の多結晶セラミック
ス製品の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体チップ表面の電極とリードフレー
ムのフィンガーとをつなぐ金ワイヤーのキャリアー等と
して従来からホワイトサファイヤ等の多結晶セラミック
ス製品が用いられている。 【０００３】斯かる多結晶セラミックス製品は酸化アル
ミニウムを主体とした焼結体として製造され、特に焼結
助剤として酸化マグネシウムを微量添加し、酸化アルミ
ニウム粒子間にスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）を生成せし
め、酸化アルミニウム粒子の異常な粒成長を抑制し、緻
密で均一な構造の製品を得るようにしている。 【０００４】しかしながら、酸化マグネシウムの添加量
は微量なため酸化アルミニウム粒子間に均一に分散させ
ることが困難で、部分的に異常粒成長することがある。
そこで、塩化マグネシウム又は硫酸マグネシウムを含む
水溶液を０．１〜３ｍｏｌ％の割合で酸化アルミニウム
微粉末に添加して焼結する方法が特開昭６１−２９１４
４９号公報として知られている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】上述した従来の方法に
あっては焼結温度が比較的高温であるため、焼結助剤と
して塩化マグネシウム又は硫酸マグネシウムを用いない
と結晶の異常粒成長が生じやすく、また焼結も必ず真空
中で行わなければならず装置が大がかりとなる。 【０００６】 【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明に係る多結晶セラミックス製品は、自己焼結性に富
む酸化アルミニウム単独又は自己焼結性に富む酸化アル
ミニウムに0.05ｗｔ％以下の酸化マグネシウムが固溶し
た平均粒径2.0μｍ以下の結晶から構成され、内部に４
μｍ以上の粗大粒を含まず、内在するポアの径が0.1μ
ｍ以下で、硬度が2000ＨＶ以上で且つ曲げ強度が70ｋｇ
／ｍｍ2以上で、比重が3.99で且つ透光性を有するよう
にした。 【０００７】また本発明に係る多結晶セラミックス製品
の製造方法は、自己焼結性に富む酸化アルミニウム単独
又は自己焼結性に富む酸化アルミニウムに0.05ｗｔ％以
下の酸化マグネシウムが固溶した平均粒径2.0μｍ以下
の結晶から構成され、内部に４μｍ以上の粗大粒を含ま
ず、内在するポアの径が0.1μｍ以下で、硬度が2000Ｈ
Ｖ以上で且つ曲げ強度が70ｋｇ／ｍｍ2以上で、比重が
3.99で且つ透光性を有する多結晶セラミックス製品の製
造方法であって、アルミニウム塩溶液を噴霧乾燥法にて
乾燥して微粉末とし、この微粉末を加熱分解することで
酸化アルミニウムとし、この酸化アルミニウム単独又は
この酸化アルミニウムに０．０５ｗｔ％以下の酸化マグ
ネシウムを添加したものに有機バインダーを加えて所望
の形状に成形し、この成形体を大気中又は１０-3〜１０
-6Torrで焼結する場合は１２８０〜１３００℃で焼結
し、Ｎ2，Ａr又はＨ2雰囲気で焼する場合は１３００〜
１３５０℃で焼結し、次いでこの焼結体に１３００〜１
３１０℃且つ１０００〜２０００ａｔｍの条件下で熱間
静水圧プレスをかけるようにした。 【０００８】 【作用】本発明によれば、アルミニウム塩を熱分解して
得られる自己焼結性に富む酸化アルミニウムを用いるた
め、焼結温度を低くでき異常粒成長も生じることがな
い。したがって、ポア径が0.1μｍ以下で４μｍ以上の
粗大粒を含まず、硬度2000ＨＶ以上且つ曲げ強度70ｋｇ
／ｍｍ2以上の超精密セラミックス製品とすることがで
きる。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は本発明を工程順に示し
たブロック図であり、本発明にあっては出発原料として
噴霧乾燥後に熱分解すると純度99.99％以上の酸化アル
ミニウムになるアルミニウム塩を単独で用いるか、噴霧
乾燥後に熱分解すると純度99.99％以上の酸化マグネシ
ウムになるマグネシウム塩を上記アルミニウム塩と混合
して用いる。ここでアルミニウム塩としては例えばアン
モニウム明ばん、アルミニウム・アンモニウム・カーボ
ネイト・ハイドロオキサイド（ＡＡＣＨ：ＮＨ4ＡｌＣ
Ｏ3（ＯＨ）2）を用い、またマグネシウム塩としては硝
酸マグネシウムＭｇ（ＮＯ3）3・６Ｈ2Ｏを用いる。更
にアルミニウム塩とマグネシウム塩とを混合する場合に
は酸化マグネシウムに換算して0.05ｗｔ％以下となる量
のマグネシウム塩を秤量する。 【００１０】次いで上記のアルミニウム塩又はアルミニ
ウム塩とマグネシウム塩との混合溶液を噴霧乾燥法によ
って乾燥した後に熱分解して酸化アルミニウム又は酸化
アルミニウムと酸化マグネシウムとの混合物からなる酸
化物微粉末を得る。或いは図２に示す工程のように、ア
ルミニウム塩とマグネシウム塩とをそれぞれ単独に噴霧
乾燥法によって乾燥した後に熱分解した酸化アルミニウ
ムと酸化マグネシウムを得て、この酸化アルミニウムと
酸化マグネシウムを秤量し、混合溶液をつくり、この混
合溶液を噴霧乾燥して酸化アルミニウム又は酸化アルミ
ニウムと酸化マグネシウムとの混合物からなる酸化物粉
末を得る。 【００１１】ここで噴霧乾燥法を行うにはアルミニウム
塩等を樹脂ボールを入れた樹脂ポット内で蒸留水及び分
散剤とともに混式混合してスラリーとして行い、熱分解
は500〜1050℃、例えば780℃で２時間行う。 【００１２】そして上記の酸化物微粉末をエタノール等
の溶剤を用いて湿式粉砕して凝集体をほぐし再び噴霧乾
燥した後、熱可塑性樹脂を主体とした有機バインダーを
加えて所定形状にインジェクション成形する。 【００１３】次いでインジェクション成形によって得た
成形体を脱脂後焼結する。焼結は通常行われる真空中の
みならず、大気中或いはＮ2，Ａｒ又はＨ2の雰囲気中で
も行える。ただし、大気中又は１０-3〜１０-6Ｔｏｒｒ
の真空中で行う場合には1280〜1300℃で行い、Ｎ2，Ａ
ｒ又はＨ2の雰囲気中で行う場合には1300〜1350℃で行
う。 【００１４】以上のようにして得られた焼結体に熱間静
水圧プレスをかける。この時の条件としては1300〜1310
℃、圧力1000〜2000ａｔｍでアルゴン雰囲気中で１時間
行う。このようにして得られた製品にダイヤモンド精密
研削及び精密研磨を施して最終製品を得る。 【００１５】 【発明の効果】図３は本発明によって製造した製品と従
来品と比較した図表であり、本発明品は純度99.99％
の酸化アルミニウムを焼結した製品、本発明品は純度
99.99％の酸化アルミニウムと0.05ｗｔ％の酸化マグネ
シウムの混合物を焼結した製品であり、また従来品は9
9.3％の酸化アルミニウムを出発原料とし、これを1575
℃×１ｈｒで真空焼結した後、1500℃×1000ａｔｍ×１
ｈｒの条件で熱間静水圧ブレスを施したものである。 【００１６】尚、図３において耐久性試験はウルトラソ
ニックタイプのボンディングキャピラリーを試作し、20
000回ワイヤーボンディングを繰り返した後に王水洗浄
して先端使用面の状態を電子顕微鏡（400倍）で観察
し、全く変化がない場合をＡ、多少の摩耗がある場合を
Ｂ、脱落やチッピングが認められた場合をＣとした。 【００１７】また、加工性試験は60ｒｐｍで回転する摺
り合せ精密研削・精密研磨機に荷重500ｇをかけて以下
の精密研削及び精密研磨を行った。 研削 水・湿式200#メタルボンドダイヤモンド・砥石
10ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式８μｍダイヤモンドペースト・陶板
上 10ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式１μｍダイヤモンドペースト・銅板
上 20ｍｉｎ 研磨 オイル・湿式0.5μｍダイヤモンドペーストバフ
上 10ｍｉｎ そして、精密研削・精密研磨後に鏡面となった場合を
Ａ、一部に傷が残っている場合をＢ、チッピングが著し
い場合をＣとした。また、透光性の良否については、得
られた焼結体を厚さ0.3mmにスライス研磨したものを通
して、１cm離れた新聞紙面上の文字が見えるか否かで判
定した。 【００１８】図３に示した図表から明かなように本発明
品は従来品に比べ、耐久性、加工性、硬度及び透光性等
において大幅に向上している。これは以下の理由によ
る。即ち、出発原料にアルミニウム塩を用いたことによ
り低い温度で焼結させることができる。つまりアルミニ
ウム塩を熱分解して得た高純度酸化アルミニウムは表面
が活性化しているため、低い温度で焼結を完了させるこ
とができる。そして焼結温度が低いと仮りに酸化マグネ
シウムを添加しなくとも異常粒成長が生じにくく均一で
微細な結晶粒となる。 【００１９】また、熱間静水圧ブレスを施すため結晶に
力学的格子ひずみが生じ、製品の硬度を高めることがで
きる。特に焼結温度を1280℃以上、熱間静水圧プレスを
1300℃以上で且つ1000ａｔｍ以上としたため0.1μｍ以
上のポアが残ることがなく、また焼結温度を1350℃未
満、熱間静水圧プレスを1310℃以下で且つ2000ａｔｍ以
下としたため４μｍ以上の異常粒成長がない。 【００２０】したがって本発明方法によれば、透光性に
優れ、結晶粒径が均質で、緻密で且つ微細な組織となり
強度、硬度、耐久性及び加工性に優れた多結晶セラミッ
クス製品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を工程順に示したブロック図
【図２】別実施例の工程を示す図
【図３】本発明品と従来品を比較した図表
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．自己焼結性に富む酸化アルミニウム単独又は自己焼
結性に富む酸化アルミニウムに0.05ｗｔ％以下の酸化マ
グネシウムが固溶した平均粒径2.0μｍ以下の結晶から
構成され、内部に４μｍ以上の粗大粒を含まず、内在す
るポアの径が0.1μｍ以下で、硬度が2000ＨＶ以上で且
つ曲げ強度が70ｋｇ／ｍｍ2以上で、比重が3.99で且つ
透光性を有することを特徴とする多結晶セラミックス製
品。 ２．自己焼結性に富む酸化アルミニウム単独又は自己焼
結性に富む酸化アルミニウムに0.05ｗｔ％以下の酸化マ
グネシウムが固溶した平均粒径2.0μｍ以下の結晶から
構成され、内部に４μｍ以上の粗大粒を含まず、内在す
るポアの径が0.1μｍ以下で、硬度が2000ＨＶ以上で且
つ曲げ強度が70ｋｇ／ｍｍ2以上で、比重が3.99で且つ
透光性を有する多結晶セラミックス製品の製造方法であ
って、アルミニウム塩溶液を噴霧乾燥法にて乾燥して微
粉末とし、この微粉末を加熱分解することで酸化アルミ
ニウムとし、この酸化アルミニウム単独又はこの酸化ア
ルミニウムに０．０５ｗｔ％以下の酸化マグネシウムを
添加したものに有機バインダーを加えて所望の形状に成
形し、この成形体を大気中又は１０-3〜１０-6Torrで焼
結する場合は１２８０〜１３００℃で焼結し、Ｎ2，Ａr
又はＨ2雰囲気で焼する場合は１３００〜１３５０℃で
焼結し、次いでこの焼結体に１３００〜１３１０℃且つ
１０００〜２０００ａｔｍの条件下で熱間静水圧プレス
をかけるようにしたことを特徴とする多結晶セラミック
ス製品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7206868A JP2729204B2 (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 多結晶セラミックス製品及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7206868A JP2729204B2 (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 多結晶セラミックス製品及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08169755A JPH08169755A (ja) | 1996-07-02 |
| JP2729204B2 true JP2729204B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=16530376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7206868A Expired - Lifetime JP2729204B2 (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | 多結晶セラミックス製品及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2729204B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006087915A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Tosoh Corp | 歯列矯正ブラケット及びその製造方法 |
| US8133051B2 (en) | 2004-08-27 | 2012-03-13 | Tosoh Corporation | Orthodontic bracket and process for producing the same |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6083451A (en) * | 1995-04-18 | 2000-07-04 | Applied Materials, Inc. | Method of producing a polycrystalline alumina ceramic which is resistant to a fluorine-comprising plasma |
| JP2006315878A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透光性セラミックスおよびその製造方法 |
| JP2007214288A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Toto Ltd | 静電チャック |
| TWI511826B (zh) * | 2013-01-25 | 2015-12-11 | Toto Ltd | Welding needle |
| JP5614603B1 (ja) * | 2013-12-03 | 2014-10-29 | Toto株式会社 | ボンディングキャピラリ |
| WO2019163710A1 (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | 日本碍子株式会社 | 複合焼結体、半導体製造装置部材および複合焼結体の製造方法 |
-
1995
- 1995-08-14 JP JP7206868A patent/JP2729204B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006087915A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-04-06 | Tosoh Corp | 歯列矯正ブラケット及びその製造方法 |
| US8133051B2 (en) | 2004-08-27 | 2012-03-13 | Tosoh Corporation | Orthodontic bracket and process for producing the same |
| US8215019B2 (en) | 2004-08-27 | 2012-07-10 | Tosoh Corporation | Process for producing an orthodontic bracket |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08169755A (ja) | 1996-07-02 |
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