KR910009894B1 - 세라믹스 제품 및 그 제조방법 - Google Patents

세라믹스 제품 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

세라믹스 제품 및 그 제조방법
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 제조방법의 각 공정을 표시하는 블럭도.
제2도는 제1실시예의 혼합 미분말을 얻는 공정의 변경예를 표시하는 블럭도.
제3도는 제2실시예에 관한 제조방법의 각 공정을 표시하는 블럭도.
제4도는 제2실시예의 혼합 미분말을 얻는 공정의 변경예를 표시하는 블럭도.
제5도는 제1 및 제2실시예에 의하여 얻어진 세라믹스 제품 및 종래품의 물성값(物性置)을 표시하는 리스트이다.
본 발명은 세라믹스 제품 예컨대, 본딩카피러리, 광 콘넥터, 와이어 가이드 등의 초정밀 세라믹스 제품 및 그 제조방법에 관한 것이다.
반도체 칩 표면의 전극과 리이드 프레임의 핑거를 연결하는 금 와이어의 캐리어 등으로서 종래부터 세라믹제의 것이 사용되어 왔다.
이러한 세라믹스 제품은 일반적으로 산화알루미늄(Al2O3)을 주체로 하여, 여기에 산화크롬(Cr2O3), 산화마그네슘(MgO), 산화스트론튬(SrO), 산화이트륨(Y2O5) 또는 산화티탄(La2O3)등의 보조제를 첨가하여 원료분말을 하고, 이 원료분말을 사용하여 성형체를 만든 후, 이 성형체를 소결하여 얻고 있다.
구체적으로는 일본국 특허 공개 소 59-97572호 공보 및 일본국 특허 공개 소 61-291449호 공보에 개시되어 있는 제법이 알려져 있다.
일본국 특허 공개 소 59-97572호 공보에 개시되어 있는 제법은, 산화알루미늄에 대하여 0.01-5.0몰%의 산화크롬 및 0.01-0.5몰%의 산화마그네슘을 보조제로 첨가 혼합하고, 이 혼합물을 성형한 후, 10-1Torr 이상의 진공하에서 1400-1800℃의 온도에서 소결하는 것으로 소결분위기의 제어를 용이하게 함과 아울러, 보조제 사용량의 저감을 도모하는 것이다.
한편, 일본국 특허 공개 소61-291449호 공보에 개시된 제법은 미분말 상태의 산화알루미늄에 0.1-3.0몰%의 비율로서 염화마그네슘 또는 황산마그네슘을 수용액의 상태에서 첨가혼합하고, 이 혼합물을 건조 조립한 후에 성형하고, 이어서 10-3Torr의 진공하에서 1400-1600℃[열간정수압(熱間靜水壓) 프레스를 뒤에 행할 때에는 1350-1550℃]의 온도에서 소결하는 것으로서, 산화알루미늄의 결정 입계(粒界)에 균일하게 스피넬(MgAl2O3)을 석출시켜서 결정의 이상입자성장(異狀粒子成長)을 억제하고, 결정임계에 잔존하는 기공(氣孔)을 감소시키도록 한 것이다. 소 59-97572호 공보에 개시된 제법에 의하여 얻어진 제품은 평균결정입경이 커서, 투광성(透光性)이 떨어지며, 또한 경도도 2000HV이상으로 되기 어렵기 때문에 가공성 및 기계적인 내구성의 면에 문제가 있다.
또한 일본 특허 공개 소 61-291449호 공보에 개시된 제법은, 반드시 진공중에서 소결을 행하지 않으면 안되며, 장치가 대규모로 되며, 또한 어느편의 선행기술도 소결온도가 높다고 하는 결점이 있다.
본 발명은, 결정입경이 작고 균일하여서, 결정입계(粒界)에서 기공경(氣孔經)이 적어서, 경도 및 투광성이 우수한 세라믹스 제품과 이 세라믹스 제품을 낮은 온도로서 소결하여 얻어지는 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 상기한 목적을 달성하고자 본 발명은 3.05중량% 이하의 보조제를 함유한 산화알루미늄을 소결하여 얻는 세라믹스 제품이며, 세라믹스 제품을 구성하는 산화알루미늄의 결정입자의 평균직경이 2.0㎛이하, 최대직경이 4.0㎛이하, 결정입자 사이에 잔존하는 포어(Pore)의 지름이 0.1㎛이하이며 또한, 경도가 2000HV이상의 세라믹스 제품을 제공한다.
또한 본 발명은 알루미늄염을 출발원료로 하여 산화알루미늄을 만들고, 이 산화알루미늄에 필요에 따라 보조제를 첨가하여 균일한 금속산화물의 혼합 미분말을 조제하고, 이 혼합 미분말을 소정 형상의 성형체로 하고, 이 성형체를 소정의 분위기중에서 종래보다도 저온으로서 소결하고, 이어서 소결체를 소정의 분위기 및 조건하에서 열간정수압 프레스하도록 한 세라믹스 제품의 제조방법을 제공한다.
[실시예]
먼저 제1도 및 제2도에 의하여 제1실시예를 설명한다. 제1실시예에 있어서는 출발원료로서 분무건조 후에 열분해하면, 순도 99.99% 이상의 산화알루미늄으로 이루어진 알루미늄염 1, 분무건조 후에 열분해하면 순도 99.99% 이상의 산화크롬으로 이루어진 크롬염 2 및 분무건조 후에 열분해하면 순도 99.99%이상의 산화마그네슘으로 이루어진 마그네슘염 3을 준비한다. 구체적인 예를들면, 알루미늄 1로서는 암모늄 명반, 혹은 알루미늄, 암모늄ㆍ카르보나이트ㆍ하이드로 옥사이드(AACH:NH4AlCO3(OH)2)를 사용하고, 크롬염 2로서는 질산크롬 Cr(NO3)3ㆍ9H2O, 마그네슘염 3으로서는 질산마그네슘 Mg(NO3)3ㆍ6H2O를 사용한다.
그리고, 상기한 각 염 1,2,3을 칭량하고 이것들을 나일론제 등의 수지볼을 넣은 수지포트로써 일단 현탁수용액 4으로 하고 분무건조법에 의하여 건조시킨 후, 500-1050℃ 예컨대 780℃로서 약 2시간 열분해하고 산화알루미늄, 산화크롬 및 산화마그네슘을 균일하게 혼합하여 되는 산화물의 혼합미분말 5을 얻는다. 그리고, 필요에 따라 혼합미분말 5을 또다시 에탄올 등의 용매중에서 습식 분쇄하여 응집체를 풀어서, 재차 분무건조법에 의하여 건조하여 미분말체로 한다. 여기서 혼합미분말 5을 구성하는 각 산화물의 비율은 산화크롬 0.7-3.0중량%, 산화마그네슘 0-0.05중량%, 산화알루미늄을 나머지 부분으로 한다. 즉, 산화마그네슘은 전혀 첨가하지 않아도 좋다.
또한, 산화물이 혼합미분말 5을 얻기 위하여는 제2도에 표시와 같이 각 염 1,2,3을 열분해하여 산화알루미늄 1a, 산화크롬 2a 및 산화마그네슘 3a을 각각 따로따로 얻은 후, 이것을 저울로 계량하여 혼합하도록 하여도 좋다.
이상과 같이 하여 산화물이 혼합미분말 5을 얻으면 이 혼합미분말 5에 열가소성 수지를 주체로하는 유기 바인더를 첨가하여 소망하는 형상으로 인젝숀 성형한다. 이어서 인젝숀 성형에 의하여 얻은 성형체 6을 탈지후 소결한다. 소결 조건은 1280-1300℃의 대기중, 1280-1300℃에서-3-10-6Torr의 진공중 혹은 1300-1500℃에서 N2, Ar 또는 H2의 분위기중에서 행하고, 대기중에서 행하는 경우는 예컨대, 승온속도를 20℃/시(詩)로 하여 800℃ 및 1295℃에서 각각 1시간 보전한다.
이상과 같이 하여 얻어진 소결체 7에 열간정수압 프레스를 건다. 이때의 조건으로서는 1300-1310℃, 압력 1000-2000기압의 알곤 분위기중에서 1시간 행한다. 이와 같이 하여 얻어진 제품에 다이아몬드 정밀연삭 및 정밀연마를 실시하여 최종제품으로서의 본딩카피러리 8를 얻는다.
다음에, 제3도 및 제4도에 의해 제2실시예를 설명한다.
제2실시예에서는 출발원료로서 분무건조 후에 열분해하면 순도 99.99%이상의 산화알루미늄으로 된 알루미늄염 11을 단독으로서 사용하던가, 분무건조 후에 열분해하면 순도 99.99%이상의 산화마그네슘으로 이루어진 마그네슘염 12을 상기한 알루미늄염과 혼합하여 사용한다. 여기서 알루미늄염으로서는 제1실시예와 동일하게 암모늄 명반ㆍ알루미늄ㆍ카르보나이트ㆍ하이드로 옥사이드(AACH:NH4AlCO3(OH)2)를 사용하고, 또 마그네슘염으로서는 질산마그네슘 Mg(NO3)3ㆍ6H2O를 사용한다. 또한, 알루미늄염 11과 마그네슘염 12를 혼합하는 경우에는 산화마그네슘으로 환산하여 0.05중량% 이하로 되는 량의 마그네슘염을 칭량한다.
이어서, 상기 한 알루미늄염 11 또는 알루미늄염 11과 마그네슘염 12의 혼합용액 14을 상기 제1실시예와 동일하게 분무건조법에 의하여 건조한 후에 열분해하여 산화알루미늄 또는 산화알루미늄과 산화마그네슘과의 혼합물로 된 산화물의 혼합미분말 15을 얻는다. 또한, 산화물의 혼합미분말 15을 얻는데는 제4도에 표시와 같이, 각 염 11,12를 열분해하여 산화알루미늄 11a 및 산화마그네슘 12a를 각각 얻은 후, 이들을 칭량하여 혼합하도록 하여도 좋다.
그리고, 상기 산화물의 혼합미분말 15에 대하여 필요에 따라 에탄올 등의 용매를 사용하여 습식분쇄시켜 응집체를 풀어서 재차 분무건조한 후, 열가소성 수지를 주체로한 유기 바인더를 가하여 소정의 형상으로 인젝숀 성형한다.
이어서 인젝숀 성형에 의하여 얻어진 성형체 16를 탈지한 후 소결하여 소결체 17로 하고, 이 소결체 17에 열간정수압 프레스를 실시한 다음 다이아몬드 정밀연삭 및 연마를 행하여 세라믹스 제품인 본딩카피러리 18를 얻는다.
다음에 제1실시예 및 제2실시예에 의하여 얻어진 세라믹스 제품의 테스트 피이스와 종래 방법에 의하여 얻어진 세라믹스 제품의 테스트 피이스의 물성값(物性置)을 비교한 결과를 제5도에 표시한다.
제5도에 있어서, 테스트 피이스 P1-P6에 대하여서는 제1실시예에 표시한 방법으로서, 테스트 피이스 P7 및 P8에 대하여서는 제2실시예에 표시한 방법으로서, 또 테스트 피이스 P9-P12에 대하여서는 이하에서 기재하는 종래 방법으로서 작성하였다.
즉, 테스트 피이스 P9-P11에 대하여서는, 산화알루미늄, 산화크롬 및 산화마그네슘으로서 이루어진 균일한 성형체를 작성하고, 이 성형체를 10-1Torr보다 높은 진공하, 1400-2000℃에서 소결하여 얻었다. 특히, 테스트 피이스 P11에 대하여서는 원료인 산화알루미늄을 바이야법에 의하여 얻는 것과 아울러, 성형체를 1575℃로서 1시간 소결하고, 그 후 알곤분위기 중에서 1500℃, 1000기압의 조건하에서 1시간 열간정수압 프레스처리 하였다. 또한, 테스트 피이스 P12에 대하여는 원료로서 순도 99.3%의 산화알루미늄을 사용함과 아울러, 성형체를 1575℃로서 1시간 소결하고, 그후 알콘분위기 중에서 1500℃, 1000기압의 조건하에서 1시간 열간정수압 프레스 처리하였다.
내구성(Du)에 대한 시험은 울트라소닉 타입의 본딩카피러리를 시험제작하여, 200,000회 와이어 본딩을 반복한 후에 왕수로 세정하여 앞쪽 끝 사용면의 상태를 전자 현미경(400배)으로서 관찰하여, 전혀 변화가 없는 경우를 A, 다소의 마모가 있는 경우를 B, 탈락이나 치핑이 인정된 경우를 C로 하였다.
가공성(Ma)에 대한 시험은 60rpm으로 회전하는 상호마찰 정밀연삭, 정밀연마기에 하중 500g을 걸어서 이하의 정밀연삭 및 정밀연마를 행하였다.
연막 물ㆍ습식 200# 메탈본드다이아몬드ㆍ지석 10분
연마 오일ㆍ습식 8㎛ 다이아몬드페이스트ㆍ도판상(陶板上) 10분
연마 오일ㆍ습식 1㎛ 다이아몬드페이스트ㆍ동판상 20분
연마 오일ㆍ습식 0.5㎛ 다이아몬드페이스트ㆍ파프상 10분
그리고 정밀연삭ㆍ정밀연마 후에 경면(鏡面)으로 되었을 경우를 A, 일부를 손상이 남아있는 경우를 B, 치핑이 현저한 경우를 C로 하였다.
직경 0.1㎛이상의 포어(P1) 및 지름 4.0㎛이상의 조잡하고 큰 입자(粗大粒)(CP)대하여서는 없는 경우를 N, 있는 경우를 E로 하여서 표시하였다. 투과성(Tr)의 양호한지의 여부에 대하여서는, 얻어진 소결체를 두께 0.3㎜로 슬라이드 연마한 것을 통하여 1㎝ 떨어진 신문지면 위의 문자가 읽을 수 있는지 아닌지로서 판정하여 읽을 수 있는 경우를 O, 읽을 수 없는 경우를 X로 하였다.
또한 결정의 평균지름 Da, 상온 3점 만곡강도 I, 비카스 경도 H, 비중 Sg, 열전도도에 대하여서는 도면에 표시한 것 같으며 만곡강도 I 및 비카스 경도 H는 실온에서 계측하였다.
제5도에서 명백한 바와 같이, 본 발명품은 종래 제품에 비하여 내구성, 가공성, 경도 및 투과성 등에 있어서 대폭적으로 향상하고 있다. 이것은 이하의 이유에 의한다.
즉, 출발원료에 알루미늄염을 사용한 것에 의하여 낮은 온도로서 소결시킬 수가 있다. 즉, 알루미늄염을 열분해하여 얻은 높은 순도의 산화알루미늄은 표면이 활성화하고 있기 때문에, 낮은 온도로서 소결을 완료시킬 수가 있다. 그리고 소결온도가 낮으면 설령 산화마그네슘을 첨가하지 않아도 이상입자(異狀粒子)의 성장이 생기기 어렵고, 균일하고 미세한 결정입자로 된다.
또한, 열간정수압 프레스를 실시하기 때문에 결정에 역학적 격자모양의 왜곡이 생겨서 제품의 경도를 높일 수가 있다. 특히, 소결온도를 1280℃이상, 열간정수압 프레스를 1300℃이상이며 또한 1000기압 이상으로 하였기 때문에 0.1㎛이상의 포어가 남는 일이 없으며, 또 소결온도를 1350℃미만, 열간정수압 프레스를 1310℃이하이며, 또한 2000기압 이하로 하였기 때문에 ㎛이상의 이상입자 성장이 없다.
특히, 크롬을 첨가하여 다결정 인조 루비를 제조하느 경우에는 크롬은 물질표면에 자기확산(自己擴散)하기 쉽고, 세라믹스의 표면에 크롬 리치한 산화피막을 형성하기 때문에, 탄소의 부착이 억제되고, 경도 및 내식성이 향상한다. 다만, 산화크롬의 비율이 0.7중량% 이하이면 소망하는 경도나 내식성이 얻어지지 못하고, 3중량%이상으로 되면 열간정수압 프레스후의 제품에 0.1㎛이상의 포어가 남아서, 소망하는 인성(靭性)과 강도가 기대될 수 없기 때문에, 산화크롬(크롬염의 경우는 산화크롬으로 환산한다)의 비율(산화알루미늄, 산화크롬 및 산화마그네슘의 혼합물을 100으로 한다)은 0.7-3.0중량%로 하는 것이 바람직하다.
그리고, 크롬이온의 반경과, 알루미늄이온의 반경은 대략 같기(약 12%의 차)때문에 크롬이온과 알루미늄이온이 소결할 때에 치환하며 그 결과, 결정에 격자형상의 왜곡이 생기고, 이 격자형상의 왜곡에 의하여 열간정수압 프레스를 실시하지 아니한 경우에 비교하여 경도가 향상한다.
따라서, 본 발명 방법에 의하면 투과성이 우수하고, 결정입경이 균일하게 되어 치밀하고 미세한 조직으로 되며, 강도, 경도, 내구성 및 가공성이 우수한 세라믹스 제품을 만들수가 있다.

Claims (8)

  1. 산화알루미늄에 0.7-0.3중량%의 산화크롬이 고용(固溶)한 평균입경 2.0㎛이하의 결정 또는 산화알루미늄에 0.7-3.0중량%의 산화크롬 및 0.05중량%이하의 산화마그네슘이 고용한 평균입경 2.0㎛이하의 결정으로 되고, 내부에 존재하는 포어의 직경이 0.1㎛ 이하이며, 4㎛ 이상의 조대립(粗大粒)이 존재하지 않고, 경도가 2000HV 이상인 것을 특징으로 하는 세라믹스 제품.
  2. 산화크롬을 0.7-3.0중량%, 산화마그네슘을 0-0.05중량%, 산화알루미늄을 잔부로 한 산화물의 혼합미분말에 유기 바인더를 가하여 일정형상으로 성형하고, 이 성형체를 1280-1350℃에서 소결하고, 이어서 이 소결체에 1300-1310℃, 1000-2000기압 조건하에서 열간정수압(熱間淨水壓) 프레스를 하는 것을 특징으로 하는 세라믹스 제품의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 산화물의 혼합분말이 알루미늄염, 크롬염 및 마그네슘염을 칭량하여 현탁수용액으로 하고, 이 현탁수용액을 분무건조법으로 건조하여 미분말화하고, 이 미분말을 가열분해하여 얻어지는 것이 특징인 세라믹스 제품의 제조방법.
  4. 제2항에 있어서, 성형체의 소결을 대기중, 10-3-10-6Torr의 진공중 또는 N2, Ar, 또는 H2의 분위기하에서 수행함이 특징인 세라믹스 제품의 제조방법.
  5. 산화알루미늄 단독 또는 산화알루미늄에 0.05중량% 이하의 산화마그네슘이 고용한 평균입경 2.0㎛이하의 결정으로 구성되며 내부에 4㎛이상의 조대립(粗大粒)을 함유하지 않으며, 내재하는 포어의 직경이 0.1㎛이하에서 경도가 2000HV이상이며, 또한 만곡강도가 70㎏/㎠이상인 것을 특징으로 하는 세라믹스 제품.
  6. 산화알루미늄 또는 0.5중량% 이하의 산화마그네슘을 함유하는 산화알루미늄에 유기 바인더를 가해 일정형상으로 성형하고, 이 성형체를 1280-1350℃에서 소결하고, 이어서 이 소결체에 1300-1310℃, 1000-2000기압의 조건하에 열간정수압(熱間淨水壓) 프레스를 하는 것을 특징으로 하는 세라믹스 제품의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 산화알루미늄을 알루미늄염 용액을 분무건조법으로 건조하여 미분말화하고, 이 미분말을 가열분해하여 얻어지도록 한 것이 특징인 세라믹스 제품의 제조방법.
  8. 제6항에 있어서, 성형체의 소결을 대기중, 10-3-10-6Torr의 진공중 혹은 N2, Ar 또는 H2의 분위기중에서 수행함이 특징인 세라믹스 제품의 제조방법.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03168140A (ja) * 1989-11-29 1991-07-19 Tosoh Corp 歯列矯正ブラケット及びその製造方法
WO1994007812A1 (en) * 1992-10-01 1994-04-14 Nihon Cement Co., Ltd. Sintered oxide ceramics and method of making said ceramics
US5352643A (en) * 1992-11-03 1994-10-04 Board Of Control Of Michigan Technological University High strength alumina and process for producing same
US5731251A (en) * 1993-07-12 1998-03-24 Nihon Cement Co., Ltd. Oxide ceramic sintered bodies
EP0678489A1 (de) * 1994-04-19 1995-10-25 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Alumina-Sinterprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
GB9526339D0 (en) * 1995-12-22 1996-02-21 Cohen A N Modified sintered material
CA2308933C (en) 1999-05-19 2008-07-22 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Translucent polycrystalline ceramic and method for making same
US6648638B2 (en) 2001-12-28 2003-11-18 3M Innovative Properties Company Orthodontic appliances including polycrystalline alumina-based ceramic material, kits, and methods
US6878456B2 (en) 2001-12-28 2005-04-12 3M Innovative Properties Co. Polycrystalline translucent alumina-based ceramic material, uses, and methods
EP1787601B1 (en) * 2004-08-27 2015-04-15 Tosoh Corporation Orthodontic bracket and process for producing the same
JP4983545B2 (ja) * 2007-10-30 2012-07-25 東ソー株式会社 高靭性透光性アルミナ焼結体及びその製造方法並びに用途
US8253233B2 (en) * 2008-02-14 2012-08-28 Infineon Technologies Ag Module including a sintered joint bonding a semiconductor chip to a copper surface
EP3219691B1 (fr) * 2016-03-15 2019-02-27 The Swatch Group Research and Development Ltd. Céramique polycristalline rouge opaque

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3377178A (en) * 1966-05-23 1968-04-09 Harbison Walker Refractories High alumina brick
US3725094A (en) * 1971-09-20 1973-04-03 Grace W R & Co Doped alumina powder
DE2314442A1 (de) * 1973-03-23 1974-10-03 Rosenthal Stemag Tech Keramik Verfahren zum herstellen einer hochverschleissfesten al tief 2 o tief 3-keramik
JPS5037806A (ko) * 1973-06-27 1975-04-08
US3862845A (en) * 1974-02-25 1975-01-28 Taylors Sons Co Chas Alumina refractories having a permanent expansion upon heating
US4126654A (en) * 1977-01-18 1978-11-21 Union Carbide Corporation Alumina or alumina-chromia refractories
JPS6059189B2 (ja) * 1977-09-14 1985-12-24 黒崎窯業株式会社 超緻密質ガラス炉用焼結耐火レンガ及びその製造法
US4418024A (en) * 1982-05-25 1983-11-29 General Electric Company Process for producing optically translucent ceramic
US4427785A (en) * 1982-05-25 1984-01-24 General Electric Company Optically translucent ceramic
JPS5997572A (ja) * 1982-11-22 1984-06-05 科学技術庁無機材質研究所長 多結晶人造ルビ−の製造法
JPS60103090A (ja) * 1983-11-07 1985-06-07 京セラ株式会社 高アルミナ含有焼結体及びその製造方法
NZ210805A (en) * 1984-01-19 1988-04-29 Norton Co Aluminous abrasive grits or shaped bodies
ZA854133B (en) * 1984-06-14 1986-05-28 Norton Co Process for producing alumina bodies
JPS61291449A (ja) * 1985-06-19 1986-12-22 並木精密宝石株式会社 アルミナ焼結体の製造方法
US4762655A (en) * 1985-11-27 1988-08-09 Gte Laboratories Incorporated Method of sintering translucent alumina

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