JP2720835B2 - 試料固定具 - Google Patents
試料固定具Info
- Publication number
- JP2720835B2 JP2720835B2 JP7157725A JP15772595A JP2720835B2 JP 2720835 B2 JP2720835 B2 JP 2720835B2 JP 7157725 A JP7157725 A JP 7157725A JP 15772595 A JP15772595 A JP 15772595A JP 2720835 B2 JP2720835 B2 JP 2720835B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- main body
- fixing
- fixed
- fib
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RRKGBEPNZRCDAP-UHFFFAOYSA-N [C].[Ag] Chemical compound [C].[Ag] RRKGBEPNZRCDAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡および集束
イオンビーム装置のための試料固定具に関する。
イオンビーム装置のための試料固定具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、集束イオンビーム（以下ＦＩＢ）
装置を用いて試料を加工し、加工された試料の加工面を
含む面の観察，測長および分析等を走査型電子顕微鏡
（以下ＳＥＭ）で行なう場合の試料固定具の例を図９−
図１１を用いて説明する。
装置を用いて試料を加工し、加工された試料の加工面を
含む面の観察，測長および分析等を走査型電子顕微鏡
（以下ＳＥＭ）で行なう場合の試料固定具の例を図９−
図１１を用いて説明する。
【０００３】図９を参照すると、ＦＩＢ用試料ホルダー
１１に試料４が搭載された例が示されている。この例で
は、試料４は、ＦＩＢ用試料ホルダー１１に接着剤５を
用いて固定されている。このように接着剤５で試料４の
固定されたＦＩＢ用試料ホルダー１１は、ＦＩＢ試料台
６に搭載される。このようにして試料４は、ＦＩＢ装置
に挿入される。
１１に試料４が搭載された例が示されている。この例で
は、試料４は、ＦＩＢ用試料ホルダー１１に接着剤５を
用いて固定されている。このように接着剤５で試料４の
固定されたＦＩＢ用試料ホルダー１１は、ＦＩＢ試料台
６に搭載される。このようにして試料４は、ＦＩＢ装置
に挿入される。
【０００４】図１０を参照すると、ＦＩＢにより試料４
は加工される。
は加工される。
【０００５】加工後、試料４はＳＥＭにより観察，測
長，および分析等が行なわれる。
長，および分析等が行なわれる。
【０００６】このため、ＳＥＭに試料４が挿入されなけ
ればならない。
ればならない。
【０００７】まず、接着剤５で固定されている試料４が
ＦＩＢ用試料ホルダー１１から剥がされて取られ、この
試料４が接着剤５を用いてＳＥＭ用資料ホルダー１２に
固定される。
ＦＩＢ用試料ホルダー１１から剥がされて取られ、この
試料４が接着剤５を用いてＳＥＭ用資料ホルダー１２に
固定される。
【０００８】図１１を参照すると、ＳＥＭ用試料ホルダ
ー１２に試料４が接着剤５で固定され、ＳＥＭ試料台７
に搭載された例が示されている。
ー１２に試料４が接着剤５で固定され、ＳＥＭ試料台７
に搭載された例が示されている。
【０００９】このような状態でＳＥＭが用いられ、試料
４の観察，測長および分析等が行なわれていた。
４の観察，測長および分析等が行なわれていた。
【００１０】この接着剤５ではなく、ネジで試料をはさ
み込み固定する技術の一例が特開平１−２５８３４８号
公報に示されている。
み込み固定する技術の一例が特開平１−２５８３４８号
公報に示されている。
【００１１】この公報には、ホルダーＡ（４）にホルダ
ーＢ（５）にねじ込むことにより観察すべき資料（１）
が物理的に圧着，固定される。
ーＢ（５）にねじ込むことにより観察すべき資料（１）
が物理的に圧着，固定される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】電子顕微鏡を用いて試
料を垂直にして、断面の観察，測長，分析を行う場合、
電子顕微鏡用治具とＦＩＢ用治具は、試料接着部の治具
が共用化がされていない。このため、ＦＩＢにて試料を
加工及び観察後ＳＥＭにて観察する場合、あるいは、そ
の逆の場合には、試料を必ず接着部を治具から剥し、も
う一方の治具に載せ換え、接着または固定しなければな
らないという欠点がある。この結果、試料の載せ換え時
に要する工数が増大するという問題点があり、さらに
は、載せ換え時に試料を汚したり破損したりするという
問題もしばしば発生している。また、複数の試料ホルダ
ーを組み合わせることにより、垂直面を作り上げると、
試料ホルダーが大きくなり、装置に挿入することができ
ないという問題点がある。
料を垂直にして、断面の観察，測長，分析を行う場合、
電子顕微鏡用治具とＦＩＢ用治具は、試料接着部の治具
が共用化がされていない。このため、ＦＩＢにて試料を
加工及び観察後ＳＥＭにて観察する場合、あるいは、そ
の逆の場合には、試料を必ず接着部を治具から剥し、も
う一方の治具に載せ換え、接着または固定しなければな
らないという欠点がある。この結果、試料の載せ換え時
に要する工数が増大するという問題点があり、さらに
は、載せ換え時に試料を汚したり破損したりするという
問題もしばしば発生している。また、複数の試料ホルダ
ーを組み合わせることにより、垂直面を作り上げると、
試料ホルダーが大きくなり、装置に挿入することができ
ないという問題点がある。
【００１３】また、試料の垂直断面部を１８０°変えた
り、試料を０°〜９０°まで傾斜させるような場合にお
いても、同様に試料の載せ替え等を行わなければならな
いという問題点がある。
り、試料を０°〜９０°まで傾斜させるような場合にお
いても、同様に試料の載せ替え等を行わなければならな
いという問題点がある。
【００１４】そしてまた、試料を固定する際に接着剤を
用いるため、試料を汚したり、ガスの発生により高解像
度観察，高分解能分析ができなくなるという問題点があ
る。
用いるため、試料を汚したり、ガスの発生により高解像
度観察，高分解能分析ができなくなるという問題点があ
る。
【００１５】本発明の目的は、走査型電子顕微鏡用治具
と集束イオンビーム用治具とに共用化される試料固定具
を提供することにある。
と集束イオンビーム用治具とに共用化される試料固定具
を提供することにある。
【００１６】本発明の他の目的は、集束イオンビームで
試料を加工後走査型電子顕微鏡で試料を観察するため試
料の載せ換えを不要にした試料固定具を提供することに
ある。
試料を加工後走査型電子顕微鏡で試料を観察するため試
料の載せ換えを不要にした試料固定具を提供することに
ある。
【００１７】本発明の他の目的は、走査型電子顕微鏡で
試料を観察後集束イオンビームで試料を加工するため試
料の載せ換えを不要にした試料固定具を提供することに
ある。
試料を観察後集束イオンビームで試料を加工するため試
料の載せ換えを不要にした試料固定具を提供することに
ある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の試料固定
具は、試料を搭載する試料搭載面を有する本体と、この
本体の試料搭載面に対抗する面に設けられ、集束イオン
ビーム装置に固定する集束イオンビーム用固定ネジと、
この集束イオンビーム用固定ネジの設けられた面に直角
な面に設けられ、電子顕微鏡に固定する電子顕微鏡用固
定ネジとを含む。
具は、試料を搭載する試料搭載面を有する本体と、この
本体の試料搭載面に対抗する面に設けられ、集束イオン
ビーム装置に固定する集束イオンビーム用固定ネジと、
この集束イオンビーム用固定ネジの設けられた面に直角
な面に設けられ、電子顕微鏡に固定する電子顕微鏡用固
定ネジとを含む。
【００１９】本発明の第２の試料固定具は、前記第１の
試料固定具における前記本体の前記試料搭載面に前記試
料の一面と接着する試料固定部を有し、該試料の一面に
対抗する面を押圧し該試料固定部とともに前記試料を挟
持する試料固定部材を有する。
試料固定具における前記本体の前記試料搭載面に前記試
料の一面と接着する試料固定部を有し、該試料の一面に
対抗する面を押圧し該試料固定部とともに前記試料を挟
持する試料固定部材を有する。
【００２０】本発明の第３の試料固定具は、前記第２の
試料固定具における前記試料固定部材が、前記本体の前
記試料搭載面に直角な面に、前記試料を挟持する際調節
可能な部材で固定されていることを特徴とする。
試料固定具における前記試料固定部材が、前記本体の前
記試料搭載面に直角な面に、前記試料を挟持する際調節
可能な部材で固定されていることを特徴とする。
【００２１】本発明の第４の試料固定具は前記第１の試
料固定具における前記本体が導電性の金属で形成される
ことを特徴とする。
料固定具における前記本体が導電性の金属で形成される
ことを特徴とする。
【００２２】本発明の第５の試料固定具は、前記第４の
試料固定具の前記本体を形成する金属が銅，アルミニウ
ムおよびステンレスのいずれか一つを材料とすることを
特徴とする。
試料固定具の前記本体を形成する金属が銅，アルミニウ
ムおよびステンレスのいずれか一つを材料とすることを
特徴とする。
【００２３】本発明の第６の試料固定具は、前記第４の
試料固定具における前記本体の試料搭載面に前記試料が
導電性接着剤で接着されることを特徴とする。
試料固定具における前記本体の試料搭載面に前記試料が
導電性接着剤で接着されることを特徴とする。
【００２４】本発明の第７の試料固定具は、前記第６の
試料固定具における前記導電性の接着剤が銀ペーストお
よび銀カーボンのいずれか一つを材料とすることを特徴
とする。
試料固定具における前記導電性の接着剤が銀ペーストお
よび銀カーボンのいずれか一つを材料とすることを特徴
とする。
【００２５】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２６】図１を参照すると、本発明の第１の実施例
は、方形の本体１を有し、図２では上面にあたる試料搭
載面４１と、この試料搭載面４１に対抗し図では底面に
あたる面３１に設けられたＦＩＢ用固定ネジ３と、図で
は右側面と左側面にあたり、面３１に直角で互いに対抗
する面２１および２２に設けられたＳＥＭ用固定ネジ２
とを含む。
は、方形の本体１を有し、図２では上面にあたる試料搭
載面４１と、この試料搭載面４１に対抗し図では底面に
あたる面３１に設けられたＦＩＢ用固定ネジ３と、図で
は右側面と左側面にあたり、面３１に直角で互いに対抗
する面２１および２２に設けられたＳＥＭ用固定ネジ２
とを含む。
【００２７】本体１は、銅，アルミ，またはステンレス
等を材料とした導電性の金属で形成されている。
等を材料とした導電性の金属で形成されている。
【００２８】次に本発明の第１の実施例がどのように使
用されるのか図２−図４を参照して詳細に説明する。
用されるのか図２−図４を参照して詳細に説明する。
【００２９】図２を参照すると、本体１の試料搭載面４
１に試料４が導電性の接着剤５で接着固定される。導電
性の接着剤５としては、銀ペーストや銀カーボン等が望
ましい。
１に試料４が導電性の接着剤５で接着固定される。導電
性の接着剤５としては、銀ペーストや銀カーボン等が望
ましい。
【００３０】図３を参照すると、図２で試料４が導電性
の接着剤５で試料搭載面４１に接着固定された本体１が
ＦＩＢ用試料台６上にＦＩＢ用固定ネジ３を用いて固定
される。固定されたあと、ＦＩＢ試料室に挿入された試
料４は加工される。
の接着剤５で試料搭載面４１に接着固定された本体１が
ＦＩＢ用試料台６上にＦＩＢ用固定ネジ３を用いて固定
される。固定されたあと、ＦＩＢ試料室に挿入された試
料４は加工される。
【００３１】図４を参照すると、ＳＥＭ用試料台７に図
１（Ｂ）に示される試料４の接着固定された本体１が搭
載され、ＳＥＭ用固定ネジ２で固定される。固定された
ものがＳＥＭ試料室に挿入される。この結果、加工され
た試料４が観察，測長，分析される。
１（Ｂ）に示される試料４の接着固定された本体１が搭
載され、ＳＥＭ用固定ネジ２で固定される。固定された
ものがＳＥＭ試料室に挿入される。この結果、加工され
た試料４が観察，測長，分析される。
【００３２】本発明の第１の実施例では、本体１を１８
０°回転させ、ＳＥＭ用試料台７上に固定することによ
り、試料４を本体１から取り外すことなく加工された試
料４の観察，測長および分析を行うことが可能である。
０°回転させ、ＳＥＭ用試料台７上に固定することによ
り、試料４を本体１から取り外すことなく加工された試
料４の観察，測長および分析を行うことが可能である。
【００３３】本発明の第１の実施例は、さらにまた、装
置の傾斜機能を用いて試料ホルダー１を傾斜し、ＦＩＢ
用固定ネジ３の同一面上にＳＥＭ用固定ネジ２を形成す
ることにより、試料４をあらゆる角度に傾斜でき、その
角度での観察ができる。
置の傾斜機能を用いて試料ホルダー１を傾斜し、ＦＩＢ
用固定ネジ３の同一面上にＳＥＭ用固定ネジ２を形成す
ることにより、試料４をあらゆる角度に傾斜でき、その
角度での観察ができる。
【００３４】本発明の第１の実施例は、治具固定ネジを
複数備えることにより、試料４を載せ替えることなく１
個の試料ホルダーで容易に加工，観察，測長，分析等を
行なうことができる。
複数備えることにより、試料４を載せ替えることなく１
個の試料ホルダーで容易に加工，観察，測長，分析等を
行なうことができる。
【００３５】次に本発明の第２の実施例について図面を
参照して詳細に説明する。
参照して詳細に説明する。
【００３６】本発明の第２の実施例の特徴は、試料４が
加工，観察等しやすいような位置で両側から挟持され、
取り外しが自在なように試料固定金具９で取り付けられ
ることにある。
加工，観察等しやすいような位置で両側から挟持され、
取り外しが自在なように試料固定金具９で取り付けられ
ることにある。
【００３７】図５および６を参照すると、本発明の第２
の実施例は試料固定部９を含む本体１と、この本体１に
試料固定ネジ１０で固定され試料４を挟持し調節する試
料固定部材の一例としての試料固定金具８とを備えてい
る。
の実施例は試料固定部９を含む本体１と、この本体１に
試料固定ネジ１０で固定され試料４を挟持し調節する試
料固定部材の一例としての試料固定金具８とを備えてい
る。
【００３８】この本体１１は、銅，アルミ，ステンレス
等を材料とした導電性の金属で形成されている。
等を材料とした導電性の金属で形成されている。
【００３９】前記試料固定部材は試料を固定できるもの
であればよく、材料は木やプラスチックを適用できる
が、導電性のある金属であることが望ましい。
であればよく、材料は木やプラスチックを適用できる
が、導電性のある金属であることが望ましい。
【００４０】本体１は、図５の上面にあたる試料搭載面
４１と、この試料搭載面４１に対抗し図では底面にあた
る面３１に設けられたＦＩＢ用固定ネジ３と、図では正
面と背面にあたり面３１に直角で互いに対抗する面２１
および２２に設けられたＳＥＭ用固定ネジ２とを含む。
４１と、この試料搭載面４１に対抗し図では底面にあた
る面３１に設けられたＦＩＢ用固定ネジ３と、図では正
面と背面にあたり面３１に直角で互いに対抗する面２１
および２２に設けられたＳＥＭ用固定ネジ２とを含む。
【００４１】本発明の第２の実施例の特徴の１つは、試
料搭載面４１にもある。この試料搭載面４１の一辺近傍
には試料固定部９が設けられている。この試料固定部９
のある辺に対抗する辺には、図の正面からみてＬ字状の
段差が設けられている。この段差の側面には図６に示さ
れるように試料固定ネジ１０が結合されている。この試
料固定ネジ１０の結合により断面がＬ字形状の試料固定
金具８は、本体１の試料固定部９との組合せで試料４を
挟持，調整のため用いられる。
料搭載面４１にもある。この試料搭載面４１の一辺近傍
には試料固定部９が設けられている。この試料固定部９
のある辺に対抗する辺には、図の正面からみてＬ字状の
段差が設けられている。この段差の側面には図６に示さ
れるように試料固定ネジ１０が結合されている。この試
料固定ネジ１０の結合により断面がＬ字形状の試料固定
金具８は、本体１の試料固定部９との組合せで試料４を
挟持，調整のため用いられる。
【００４２】次に本発明の第２の実施例がどのように使
用されるのか図６−図８を参照して詳細に説明する。
用されるのか図６−図８を参照して詳細に説明する。
【００４３】図６を参照すると、本体１の試料搭載面４
１上に試料４が試料固定ネジ１０を用いて固定されてい
る。
１上に試料４が試料固定ネジ１０を用いて固定されてい
る。
【００４４】図７を参照すると、図６で示されるように
試料４が試料固定金具８および試料固定部９で試料搭載
面４１に挟持固定された本体１が、ＦＩＢ用試料台６上
にＦＩＢ用固定ネジ３を用いて固定される。固定された
あと、ＦＩＢ試料室に挿入された試料４は加工される。
試料４が試料固定金具８および試料固定部９で試料搭載
面４１に挟持固定された本体１が、ＦＩＢ用試料台６上
にＦＩＢ用固定ネジ３を用いて固定される。固定された
あと、ＦＩＢ試料室に挿入された試料４は加工される。
【００４５】図８を参照すると、ＳＥＭ用試料台７に図
１（Ｂ）に示される試料４の挟持固定された本体１が搭
載され、ＳＥＭ用固定ネジ２で固定される。固定された
ものがＳＥＭ試料室に挿入される。この結果、加工され
た試料４が観察，測長，分析される。
１（Ｂ）に示される試料４の挟持固定された本体１が搭
載され、ＳＥＭ用固定ネジ２で固定される。固定された
ものがＳＥＭ試料室に挿入される。この結果、加工され
た試料４が観察，測長，分析される。
【００４６】本発明の第２の実施例では、本発明の第１
の実施例の効果に加えて、試料４を本体１に固定するた
め接着剤を使用しない。このため、ガスは発生せず、本
発明の第２の実施例では高解像度観察，高分解能分析が
できるという効果をもたらす。
の実施例の効果に加えて、試料４を本体１に固定するた
め接着剤を使用しない。このため、ガスは発生せず、本
発明の第２の実施例では高解像度観察，高分解能分析が
できるという効果をもたらす。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように電子顕微鏡を用いて
試料を垂直にして、断面の観察，測長，分析を行う場
合、本発明の試料ホルダーとすることにより、ＳＥＭ用
ホルダーとＦＩＢ用ホルダーにおいて試料ホルダーの共
用化を図ることが可能となる。このため、試料は１度試
料観察ホルダーに接着するだけでよく、ＦＩＢで試料を
加工後ＳＥＭで観察する場合、あるいは、その逆の場合
において、半導体集積回路の載せ換えが不要となり、そ
こで要した工数が大幅に短縮できるという効果がある。
さらには、載せ換え時に発生していた半導体集積回路を
汚したり破損したりするという危険もないため、容易に
試料を扱えるという効果がある。そしてまた、１個の試
料ホルダーで全ての装置に利用できるため、複数個の試
料ホルダーを用意することなく容易に装置の試料台へ着
脱することが出来るという効果がある。また、試料の垂
直断面部を１８０°変えたり、試料を０°〜９０°まで
傾斜させる場合においても、同様に試料の載せ替え等を
行うことなく容易に観察することができるという効果が
ある。
試料を垂直にして、断面の観察，測長，分析を行う場
合、本発明の試料ホルダーとすることにより、ＳＥＭ用
ホルダーとＦＩＢ用ホルダーにおいて試料ホルダーの共
用化を図ることが可能となる。このため、試料は１度試
料観察ホルダーに接着するだけでよく、ＦＩＢで試料を
加工後ＳＥＭで観察する場合、あるいは、その逆の場合
において、半導体集積回路の載せ換えが不要となり、そ
こで要した工数が大幅に短縮できるという効果がある。
さらには、載せ換え時に発生していた半導体集積回路を
汚したり破損したりするという危険もないため、容易に
試料を扱えるという効果がある。そしてまた、１個の試
料ホルダーで全ての装置に利用できるため、複数個の試
料ホルダーを用意することなく容易に装置の試料台へ着
脱することが出来るという効果がある。また、試料の垂
直断面部を１８０°変えたり、試料を０°〜９０°まで
傾斜させる場合においても、同様に試料の載せ替え等を
行うことなく容易に観察することができるという効果が
ある。
【００４８】そしてまた、試料を固定する際に接着剤を
用いないため、試料を汚すことがなく、ガスの発生がな
いため高解像度観察，高分解能分析が容易に可能とな
る。
用いないため、試料を汚すことがなく、ガスの発生がな
いため高解像度観察，高分解能分析が容易に可能とな
る。
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】第１の実施例に試料を搭載した状態を示す側面
図である。
図である。
【図３】ＦＩＢ試料台に第１の実施例を搭載した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図４】ＳＥＭ試料台に第１の実施例を搭載した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図５】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図６】第２の実施例に試料を搭載した状態を示す側面
図である。
図である。
【図７】ＦＩＢ試料台に第２の実施例を搭載した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図８】ＳＥＭ試料台に第２の実施例を搭載した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図９】従来のＦＩＢ用試料治具及びＳＥＭ用の試料治
具を説明するための図である。
具を説明するための図である。
【図１０】ＦＩＢ試料ホルダーに試料を搭載した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図１１】ＦＩＢにて試料を加工した状態を示す側面図
である。
である。
１ 本体 ２ ＳＥＭ用固定ネジ ３ ＦＩＢ用固定ネジ ４ 試料 ５ 接着剤 ６ ＦＩＢ用試料台 ７ ＳＥＭ用試料台 ８ 試料固定金具 ９ 試料固定金具 １０ 試料固定ネジ １１ ＦＩＢ用試料ホルダー １２ ＳＥＭ用試料ホルダー ４１ 試料搭載面
Claims (5)
- 【請求項１】 試料を搭載する試料搭載面を有する本体
と、 この本体の試料搭載面の対抗面に設けられ、集束イオン
ビーム装置に固定する集束イオンビーム用固定ネジと、 この集束イオンビーム用固定ネジの設けられた面に直角
な面に設けられ、電子顕微鏡に固定する電子顕微鏡用固
定ネジとを含むことを特徴とする試料固定具。 - 【請求項２】 前記本体の前記試料搭載面に前記試料の
一面と接着する試料固定部を有し、 該試料の一面に対抗する面を押圧し該試料固定部ととも
に前記試料を挟持する試料固定部材を備えたことを特徴
とする請求項１記載の試料固定具。 - 【請求項３】 前記試料固定部材が、前記本体の前記試
料搭載面に直角な面に、前記試料を挟持する際調節可能
な部材で固定されていることを特徴とする請求項２記載
の試料固定具。 - 【請求項４】 前記本体が導電性の金属で形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の試料固定具。 - 【請求項５】 前記本体の試料搭載面に前記試料が導電
性接着剤で接着されることを特徴とする請求項４記載の
試料固定具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7157725A JP2720835B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 試料固定具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7157725A JP2720835B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 試料固定具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097536A JPH097536A (ja) | 1997-01-10 |
| JP2720835B2 true JP2720835B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=15656009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7157725A Expired - Lifetime JP2720835B2 (ja) | 1995-06-23 | 1995-06-23 | 試料固定具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2720835B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB0201362D0 (en) * | 2002-01-22 | 2002-03-13 | Renishaw Plc | Reversible sample holder |
| JP3886874B2 (ja) * | 2002-09-20 | 2007-02-28 | 株式会社東芝 | 物理解析用研磨冶具及び物理解析方法 |
| JP5246995B2 (ja) * | 2005-08-19 | 2013-07-24 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束荷電粒子ビーム装置 |
| JP5367628B2 (ja) * | 2010-03-29 | 2013-12-11 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置 |
| JP2013165002A (ja) * | 2012-02-13 | 2013-08-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置、試料マスクユニット、および変換部材 |
| JP6931589B2 (ja) * | 2017-11-01 | 2021-09-08 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ |
-
1995
- 1995-06-23 JP JP7157725A patent/JP2720835B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH097536A (ja) | 1997-01-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2720835B2 (ja) | 試料固定具 | |
| JP2776415B2 (ja) | 試料ホルダ及びホルダ固定具 | |
| US6872955B1 (en) | SEM sample holder apparatus for implementing enhanced examination of multiple samples | |
| JP3751062B2 (ja) | 断面ｔｅｍ観察用試料ホルダー及びそれを備えたｔｅｍ装置 | |
| JP3469054B2 (ja) | 試料加工ホルダーシステム | |
| CN212844589U (zh) | 用于聚焦离子束制样的样品台和具有其的制样设备 | |
| CN110579384B (zh) | 样品夹具 | |
| JPH09102292A (ja) | 試料保持装置 | |
| JP2008014820A (ja) | 試料台 | |
| JP5898822B1 (ja) | ワーク保持装置、及びワーク保持装置付きアリ溝摺動ステージ | |
| JP2556277B2 (ja) | 半導体観察用ホルダー装置 | |
| JPH01258348A (ja) | 走査型電子顕微鏡用平面試料ホルダー | |
| JP2002231171A (ja) | 試料保持装置 | |
| JP2004177268A (ja) | 試料固定器具 | |
| JP2008084735A (ja) | 断面試料台及び試料ホルダ | |
| JPH07113815A (ja) | 振動センサ固定装置 | |
| JPH07262954A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用試料台 | |
| JPH11149896A (ja) | 走査電子顕微鏡用試料台 | |
| CN214844915U (zh) | 一种能够搭载微纳尺度样品的样品台 | |
| JP7396192B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料台の台座、および試料断面の観察方法 | |
| JPH08236570A (ja) | ワイヤーボンダ | |
| JPH0765767A (ja) | 走査電子顕微鏡用試料台 | |
| KR860000097Y1 (ko) | 전자 현미경용 시험편 받침대 | |
| US7183123B1 (en) | Method of surface preparation and imaging for integrated circuits | |
| KR870000639Y1 (ko) | 전자 현미경용 시험편 고정 받침대 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971021 |