JPH07262954A - 走査型プローブ顕微鏡用試料台 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡用試料台Info
- Publication number
- JPH07262954A JPH07262954A JP6051736A JP5173694A JPH07262954A JP H07262954 A JPH07262954 A JP H07262954A JP 6051736 A JP6051736 A JP 6051736A JP 5173694 A JP5173694 A JP 5173694A JP H07262954 A JPH07262954 A JP H07262954A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- specimen
- cover
- mesh
- stand
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 走査型プローブ顕微鏡において試料を安全確
実しかも複数個でも試料台に固定する。 【構成】 試料台に、台上の試料を覆うことができる導
電性材料で形成されたメッシュ状のカバーを設け、その
カバーを試料台に固定する。
実しかも複数個でも試料台に固定する。 【構成】 試料台に、台上の試料を覆うことができる導
電性材料で形成されたメッシュ状のカバーを設け、その
カバーを試料台に固定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型プローブ顕微鏡用
試料台に関するものである。
試料台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、走査型プローブ顕微鏡の試料台は
さまざまなものが考案されているが、大別すると以下の
３種類がある。 （１）図４の（ａ）や（ｂ）に示すように、Ｖ字型ワイ
ヤー３またはネジ４を使用して点で試料２を試料台１に
固定するもの。 （２）図５の（ａ）や（ｂ）に示すように、試料２を１
枚もしくは複数の（金属）板５で固定したり、試料を張
り付けたプレート６（薄い板）をホルダーに差し込むな
ど面で試料２を試料台１に固定するもの。 （３）図６の（ａ）や（ｂ）に示すように、マグネット
を使用するもの。試料を薄い磁石でできたサンプルホル
ダー７’に張り付けスキャナーにくっつける方法と、試
料を鉄板に張り付けスキャナー側に固定された試料台
（磁石）１’にくっつける方法が用いられている。
さまざまなものが考案されているが、大別すると以下の
３種類がある。 （１）図４の（ａ）や（ｂ）に示すように、Ｖ字型ワイ
ヤー３またはネジ４を使用して点で試料２を試料台１に
固定するもの。 （２）図５の（ａ）や（ｂ）に示すように、試料２を１
枚もしくは複数の（金属）板５で固定したり、試料を張
り付けたプレート６（薄い板）をホルダーに差し込むな
ど面で試料２を試料台１に固定するもの。 （３）図６の（ａ）や（ｂ）に示すように、マグネット
を使用するもの。試料を薄い磁石でできたサンプルホル
ダー７’に張り付けスキャナーにくっつける方法と、試
料を鉄板に張り付けスキャナー側に固定された試料台
（磁石）１’にくっつける方法が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記の試料台
を用いて試料を固定し観察する際には以下の問題があっ
た。 （１）試料の一部を治具を用いて固定する方法において
は、試料と治具の接点において局所的に大きな力がかか
るため試料が破損することがあった。 （２）治具の形態、大きさ等により試料の大きさ、形態
に制限が多く、試料によって治具を交換する必要があっ
た。 （３）試料が複数ある場合に、同一試料台に固定できる
試料の数が制限された。 （４）マグネットを使用する場合では、サンプルホルダ
ーに試料を固定する段階ですでに上記の問題が生じるこ
とがあり、またカーボンなどの導電性接着剤を使用する
と試料汚染が懸念された。 （５）試料の面内抵抗が高い場合、治具と試料の接点
と、探針と試料の接点（測定位置）が離れている際に
は、バイアス電圧の面内抵抗による電圧降下が問題にな
った。（走査型トンネル顕微鏡の場合） （６）探針の評価をしてから試料を測定しようとする
と、標準試料と観察試料の交換作業が必要であった。
を用いて試料を固定し観察する際には以下の問題があっ
た。 （１）試料の一部を治具を用いて固定する方法において
は、試料と治具の接点において局所的に大きな力がかか
るため試料が破損することがあった。 （２）治具の形態、大きさ等により試料の大きさ、形態
に制限が多く、試料によって治具を交換する必要があっ
た。 （３）試料が複数ある場合に、同一試料台に固定できる
試料の数が制限された。 （４）マグネットを使用する場合では、サンプルホルダ
ーに試料を固定する段階ですでに上記の問題が生じるこ
とがあり、またカーボンなどの導電性接着剤を使用する
と試料汚染が懸念された。 （５）試料の面内抵抗が高い場合、治具と試料の接点
と、探針と試料の接点（測定位置）が離れている際に
は、バイアス電圧の面内抵抗による電圧降下が問題にな
った。（走査型トンネル顕微鏡の場合） （６）探針の評価をしてから試料を測定しようとする
と、標準試料と観察試料の交換作業が必要であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明では導電性材料で形成されたメッシュ状の
カバーを試料台に設けそのカバーで試料を固定すること
を提案する。
めに、本発明では導電性材料で形成されたメッシュ状の
カバーを試料台に設けそのカバーで試料を固定すること
を提案する。
【０００５】本発明に云う導電性材料で形成されたメッ
シュ状のカバーとは例えば次のような材質が用いられ
る。構成材料としてはＣｕ，Ｐｔ，Ｎｉなどを用い、エ
ッチングなどにより作製されたピッチ５００ないし６０
μ、孔径４５０ないし３０μ程度に構成された、網状物
である。
シュ状のカバーとは例えば次のような材質が用いられ
る。構成材料としてはＣｕ，Ｐｔ，Ｎｉなどを用い、エ
ッチングなどにより作製されたピッチ５００ないし６０
μ、孔径４５０ないし３０μ程度に構成された、網状物
である。
【０００６】又、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）の場合に
は、強度の割に開口率の大きいハニカム構造のメッシュ
カバーがよい。
は、強度の割に開口率の大きいハニカム構造のメッシュ
カバーがよい。
【０００７】
【作用】本発明では、図面１から３に記すように、導電
性のメッシュ状のカバーで試料を覆って試料台に固定す
ることができ、その結果効率良く正確に試料を観察する
ことができる。
性のメッシュ状のカバーで試料を覆って試料台に固定す
ることができ、その結果効率良く正確に試料を観察する
ことができる。
【０００８】
実施例１ 図１の（ａ）と（ｂ）で本発明の試料台の構成図を示
す。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は側面図である。
本実施例によるとメッシュ状のカバー８の治具と試料２
の接触部分は多点におよぶため、各接触点にかかる力は
分散されて小さく、試料２を破損するおそれがなく試料
台１に固定することができる。またあらかじめカバーの
大きさを選択しておけば、試料の形態や大きさに左右さ
れることなく、複数の試料を同時に固定することもでき
る。したがって観察する試料２と同一試料台１の上に標
準試料を固定することもできる。さらに試料のどの部分
を観察しても、その近傍にメッシュ状のカバーと試料の
接点が存在するため、バイアス電圧の面内抵抗による電
圧降下は低く押えられている。これは走査型トンネル顕
微鏡の場合非常に有効である。また各メッシュに番地付
けすることにより、試料の位置による比較や、測定済み
かどうかの確認にも使用できる。
す。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は側面図である。
本実施例によるとメッシュ状のカバー８の治具と試料２
の接触部分は多点におよぶため、各接触点にかかる力は
分散されて小さく、試料２を破損するおそれがなく試料
台１に固定することができる。またあらかじめカバーの
大きさを選択しておけば、試料の形態や大きさに左右さ
れることなく、複数の試料を同時に固定することもでき
る。したがって観察する試料２と同一試料台１の上に標
準試料を固定することもできる。さらに試料のどの部分
を観察しても、その近傍にメッシュ状のカバーと試料の
接点が存在するため、バイアス電圧の面内抵抗による電
圧降下は低く押えられている。これは走査型トンネル顕
微鏡の場合非常に有効である。また各メッシュに番地付
けすることにより、試料の位置による比較や、測定済み
かどうかの確認にも使用できる。
【０００９】実施例２ 図２に本発明の第２の実施態様における構成図を示す。
前記同様に図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図で
ある。メッシュ状のカバー８の一部に標準試料９が設け
てあるから、試料観察の前に標準試料を充分に観察で
き、探針の評価、確認をすることができる。標準試料９
としてはＨＯＰＧ（Highly Oriented Pyrolytic Graphi
te）やマイカ、蒸着粒子、パターン型（例えば深さ１８
０Å、ピッチ１０μｍ、５μｍ四方の正方形）など、観
察する試料に合わせてセットしておけばよい。
前記同様に図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は側面図で
ある。メッシュ状のカバー８の一部に標準試料９が設け
てあるから、試料観察の前に標準試料を充分に観察で
き、探針の評価、確認をすることができる。標準試料９
としてはＨＯＰＧ（Highly Oriented Pyrolytic Graphi
te）やマイカ、蒸着粒子、パターン型（例えば深さ１８
０Å、ピッチ１０μｍ、５μｍ四方の正方形）など、観
察する試料に合わせてセットしておけばよい。
【００１０】実施例３ 図３には本発明をスペーサーやサンプルホルダーと組合
わせて、測定時の試料表面の高さを一定にする実施態様
の構成を側面図で示す。メッシュ状のカバー８の下に試
料２を入れ、試料の下部からバネ１２で試料をメッシュ
状のカバーに密着させる。この試料ホルダー１１を試料
台１に固定することにより、測定時の試料表面の高さを
試料の厚さによらず一定にすることができる。したがっ
て、異なる厚さの試料へ試料交換後に探針を試料にぶつ
けて破損することも回避できる。
わせて、測定時の試料表面の高さを一定にする実施態様
の構成を側面図で示す。メッシュ状のカバー８の下に試
料２を入れ、試料の下部からバネ１２で試料をメッシュ
状のカバーに密着させる。この試料ホルダー１１を試料
台１に固定することにより、測定時の試料表面の高さを
試料の厚さによらず一定にすることができる。したがっ
て、異なる厚さの試料へ試料交換後に探針を試料にぶつ
けて破損することも回避できる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明の通り、本発明による試料台を
用いれば以下の効果を得ることができる。 （１）治具により試料が破損することがない。 （２）試料の大きさや形態に左右されることなく、さま
ざまな試料を１つのカバーで固定できる。 （３）同一試料台に標準試料を含む多数の試料を同時に
固定できるようになり、作業効率がアップする。 （４）メッシュ状のカバーの一部に標準試料が設けられ
ていることにより、試料観察の前に標準試料を容易に観
察できる。 （５）異なる厚さの試料に試料交換した後に、探針を試
料にぶつけて破損することが回避できる。 （６）バイアス電圧の試料面内抵抗による電圧降下を低
く押えることができる。
用いれば以下の効果を得ることができる。 （１）治具により試料が破損することがない。 （２）試料の大きさや形態に左右されることなく、さま
ざまな試料を１つのカバーで固定できる。 （３）同一試料台に標準試料を含む多数の試料を同時に
固定できるようになり、作業効率がアップする。 （４）メッシュ状のカバーの一部に標準試料が設けられ
ていることにより、試料観察の前に標準試料を容易に観
察できる。 （５）異なる厚さの試料に試料交換した後に、探針を試
料にぶつけて破損することが回避できる。 （６）バイアス電圧の試料面内抵抗による電圧降下を低
く押えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の試料台の平面図、（ｂ）はそ
の側面図
の側面図
【図２】（ａ）は本発明の試料台の平面図、（ｂ）はそ
の側面図
の側面図
【図３】本発明の試料台の平面図
【図４】（ａ）は従来技術の試料台の平面図、（ｂ）は
その側面図
その側面図
【図５】（ａ）は従来技術の試料台の平面図、（ｂ）は
その側面図
その側面図
【図６】（ａ）及び（ｂ）は従来技術の試料台の側面図
１ 試料台 １’ 試料台（磁石） ２ 試料 ３ ワイヤー（Ｖ字型） ４ ネジ ５ 金属板 ６ プレート ７ サンプルホルダー ７’ サンプルホルダー（磁石） ８ メッシュ状のカバー ９ 標準試料 １０ スペーサー １１ サンプルホルダー １２ バネ
Claims (3)
- 【請求項１】 試料台上の試料を覆って保持することが
できる導電性材料で形成されたメッシュ状のカバーおよ
びそのカバーを試料台に固定する手段を備えたことを特
徴とする走査型プローブ顕微鏡用試料台。 - 【請求項２】 カバーの一部に標準試料が設けてある事
を特徴とする請求項１に記載の試料台。 - 【請求項３】 カバーはエッチングでメッシュ状に加工
されたものであることを特徴とする請求項１に記載の試
料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05173694A JP3450412B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 走査型プローブ顕微鏡用試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05173694A JP3450412B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 走査型プローブ顕微鏡用試料台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07262954A true JPH07262954A (ja) | 1995-10-13 |
| JP3450412B2 JP3450412B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=12895194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05173694A Expired - Lifetime JP3450412B2 (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | 走査型プローブ顕微鏡用試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3450412B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6741087B2 (en) * | 2001-05-22 | 2004-05-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Voltage-applying probe, apparatus for manufacturing electron source using the probe, and method for manufacturing electron source using the apparatus |
| JP2009092617A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Sakura Finetek Japan Co Ltd | 摘出生体組織載置装置及び摘出生体組織の固定方法 |
-
1994
- 1994-03-23 JP JP05173694A patent/JP3450412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6741087B2 (en) * | 2001-05-22 | 2004-05-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Voltage-applying probe, apparatus for manufacturing electron source using the probe, and method for manufacturing electron source using the apparatus |
| US6937041B2 (en) | 2001-05-22 | 2005-08-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing a substrate and a display device |
| JP2009092617A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Sakura Finetek Japan Co Ltd | 摘出生体組織載置装置及び摘出生体組織の固定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3450412B2 (ja) | 2003-09-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 Year of fee payment: 5 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080711 Year of fee payment: 5 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090711 Year of fee payment: 6 |
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