JP5367628B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
前記試料室に接続され、試料に電子線を照射する電子光学系と、
前記試料室に接続され、試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と
を備えた荷電粒子線装置であって、
前記試料室に配置され、ホルダ取付部を有する試料ステージと、
前記ホルダ取付部に着脱可能に取付けられる第1および第2の被取付部と、試料交換棒に着脱可能に支持される被支持部と、試料を載置する試料台とを有する試料ホルダと、
前記試料室に配置された前記試料交換棒であり、前記試料ホルダの被支持部を支持して次の(a)(b)の着脱動作が可能な試料交換棒とを備え、
(a)試料ホルダの第1の被取付部を試料ステージのホルダ取付部に対して着脱する
(b)試料ホルダの第1の被取付部に代えて、試料ホルダの第2の被取付部を試料ステージのホルダ取付部に対して着脱する
前記第1の被取付部と第2の被取付部と試料台は、次の(c)と(d)と(e)の条件が満たされるように、試料ホルダの所定位置に設けられていると共に、前記電子光学系とイオンビーム光学系は、次の(c)と(d)と(e)の条件が満たされるように、前記試料室にそれぞれ接続されており、
(c)第1の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダが電子線による試料観察位置に配置されたとき、試料台の試料載置面が電子光学系の電子銃に対向する
(d)第2の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダがイオンビームによる試料加工位置に配置されたとき、試料台の試料載置面がイオンビーム光学系のイオン銃に対向する
(e)第2の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダが電子線による試料観察位置に配置されたとき、試料台の試料載置面が電子光学系の光軸に平行となる
前記電子光学系の光軸とイオンビーム光学系の光軸は交わっておらず、試料ステージは、電子線による試料観察位置とイオンビームによる試料加工位置の間を直線的に移動するように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
(実施例1)
図1は本発明の荷電粒子線装置の一例を示した図であり、図1(a)はその装置を横(−y側)から見た図、図1(b)はその装置を上(z側)から見た図である。
(実施例2)
図4はSEM観察専用の試料ホルダ51を示した図である。試料ホルダ51の構造は、次の(1)〜(3)の点以外は図2の試料ホルダ22の構造と概ね同じであり、図2の試料ホルダの構成要素と同じ構成要素に対しては図2と同一番号を付けている。
(1)図2の試料ホルダ22における遮蔽材40を備えていない。
(2)図2の試料ホルダ22における遮蔽材移動機構44を備えていない。
(3)試料台52の試料載置面53に試料54が接着されている。そして、試料表面55と試料ホルダ上面43が同一面上に位置している。また、試料表面55に垂直な試料断面56と、試料ホルダ上面43に垂直な試料ホルダ側面57が同一面上に位置している。さらに、上面43から溝32までの距離cと、側面57から溝35までの距離dは等しい。
Claims (3)
- 排気装置によって排気された試料室と、
前記試料室に接続され、試料に電子線を照射する電子光学系と、
前記試料室に接続され、試料にイオンビームを照射するイオンビーム光学系と
を備えた荷電粒子線装置であって、
前記試料室に配置され、ホルダ取付部を有する試料ステージと、
前記ホルダ取付部に着脱可能に取付けられる第1および第2の被取付部と、試料交換棒に着脱可能に支持される被支持部と、試料を載置する試料台とを有する試料ホルダと、
前記試料室に配置された前記試料交換棒であり、前記試料ホルダの被支持部を支持して次の(a)(b)の着脱動作が可能な試料交換棒とを備え、
(a)試料ホルダの第1の被取付部を試料ステージのホルダ取付部に対して着脱する
(b)試料ホルダの第1の被取付部に代えて、試料ホルダの第2の被取付部を試料ステージのホルダ取付部に対して着脱する
前記第1の被取付部と第2の被取付部と試料台は、次の(c)と(d)と(e)の条件が満たされるように、試料ホルダの所定位置に設けられていると共に、前記電子光学系とイオンビーム光学系は、次の(c)と(d)と(e)の条件が満たされるように、前記試料室にそれぞれ接続されており、
(c)第1の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダが電子線による試料観察位置に配置されたとき、試料台の試料載置面が電子光学系の電子銃に対向する
(d)第2の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダがイオンビームによる試料加工位置に配置されたとき、試料台の試料載置面がイオンビーム光学系のイオン銃に対向する
(e)第2の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダが電子線による試料観察位置に配置されたとき、試料台の試料載置面が電子光学系の光軸に平行となる
前記電子光学系の光軸とイオンビーム光学系の光軸は交わっておらず、試料ステージは、電子線による試料観察位置とイオンビームによる試料加工位置の間を直線的に移動するように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記試料ホルダは、試料を照射するイオンビームの一部を遮る遮蔽材と、試料と遮蔽材の位置関係を調整する位置調整手段とを更に備え、遮蔽材は次の条件(f)が満たされるように試料ホルダの所定位置に設けられていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置
(f)第2の被取付部がホルダ取付部に取付けられて、試料ホルダが電子線による試料観察位置に配置されたとき、前記遮蔽材の前記イオンビームが照射されるエッジ部が電子光学系の電子銃に対向する。 - 前記試料交換棒は、試料室の外から操作可能であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の荷電粒子線装置。
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JP2010074472A JP5367628B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010074472A JP5367628B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011210400A JP2011210400A (ja) | 2011-10-20 |
JP5367628B2 true JP5367628B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=44941259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010074472A Active JP5367628B2 (ja) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | 荷電粒子線装置 |
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2010
- 2010-03-29 JP JP2010074472A patent/JP5367628B2/ja active Active
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