JP2715242B2 - 液体の充填方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造時に
使用する洗浄液などの液体を専用容器に充填する方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造時に使用する洗浄液には、硫
酸、硝酸、弗酸等の種類があるが、かかる洗浄液を供給
する工場設備において、半導体製造工場に出荷するため
に各種類毎に専用の容器に所定量充填している。

【０００３】この充填作業は、従来、例えば、充填量の
設定はロードセル指示計を用い、種類の選択は制御盤面
上のセレクトスイッチを用い、充填量をロードセル指示
計にキー入力し、セレクトスイッチを手で押圧して液種
を選択している。

【０００４】また、各容器に充填する液種は１液種毎の
専用容器となっているが、当該液種の専用容器に誤って
他の液種の洗浄液を充填しないようにするための構成と
して、液種毎に異なる形状のキーを容器に設け、複数の
液種のノズルの中から当該液種に該当するノズルの支持
部に前記キーを差し込むことで該ノズルのロックを解除
し、このノズルのみが支持部から取り外し可能となるよ
うにしている。そして、支持部から取り外したノズルを
当該液種の専用容器に挿入して洗浄液を充填する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このような方法では、
容器１本ずつに対して充填の都度、充填量の設定、液種
の選択、ノズル支持部へのキー差し込みなどの人手によ
る操作を要し、作業が煩雑であり、その結果、誤操作の
可能性も高くなる。

【０００６】本発明の目的は前記従来例の不都合を解消
し、当該液種の専用容器に充填する液体の充填量、液種
などの設定が自動的になされ、充填の度に容器１本ずつ
に対して人手により設定する必要がなく、作業性の向上
が図れるとともに、専用容器に当該液種の液体を設定量
だけ確実に充填できて誤充填を防止できる液体の充填方
法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、複数種類の液体の中から選択した液体を当該
液体専用の容器に充填する液体の充填方法において、容
器に当該容器に充填する液体の液種、充填量などのデー
タ表示部を設け、一方、液種毎に異なる液体収容タンク
に接続する給液管の途中に充填バルブを設けるとともに
給液管の先端にノズルを設け、読取装置で前記データ表
示部のデータを読み取り、この読取信号に基づいて制御
装置の働きで当該液種の充填バルブを開き、設定された
充填量だけ容器に液体を自動的に充填すること、およ
び、データ表示部は、バーコードで構成することを要旨
とするものである。

【０００８】

【作用】請求項１記載の本発明によれば、読取装置でデ
ータ表示部に記載の液種、充填量などのデータを読み取
り、このデータに基づいて、設定された充填量が供給さ
れる時間だけ当該液種の充填バルブが自動的に開く。よ
って、当該液種の専用容器に当該液種の液体が設定量だ
け確実に充填される。

【０００９】請求項２記載の本発明によれば、前記作用
に加えて、液種や充填量などのデータの表示部をバーコ
ードで構成したから、表示部を容器に簡単に形成できる
だけでなく、僅かなスペースに多くのデータを確実に表
示できる。

【００１０】

【実施例】以下、図面について本発明の実施例を詳細に
説明する。図１は本発明の液体の充填方法の実施例を示
すシステムの説明図で、液種毎に異なる複数の液体収容
タンク１の底部にそれぞれ給液管２を開口し、この給液
管２の途中に充填バルブ３を設けるとともに給液管２の
先端にノズル４を設け、さらに給液管２の途中をノズル
４の固定手段としてのエアシリンダ５で支持する。

【００１１】一方、液種毎に異なる専用の容器６の表面
に当該容器６に充填する液体の液種、充填量などのデー
タ表示部12を設ける。このデータ表示部12は、例えばバ
ーコードラベルで構成し、設定内容としては複数桁のバ
ーコードに前記液種、充填量などの他に、ユーザー名、
ボトル名なども含ませることができる。

【００１２】図中７は容器６への液体の充填量を計測す
る計測手段であるロードセル、８はバーコードリーダに
よるデータ読取装置を示し、上位コンピュータ９に接続
する制御装置であるシーケンサ10からの制御信号を充填
バルブ３、エアシリンダ５、ロードセル指示計11に導入
し、データ読取装置８からの読取信号、ロードセル７か
らの重量信号が導入されるロードセル指示計11からの重
量信号をシーケンサ10に導入した。

【００１３】以上のようにして上位コンピュータ９に予
め液種毎の液種データ、充填量データなどのデータを設
定しておく。

【００１４】次に図２のフローチャートに基づいて容器
６への液体充填の動作を説明する。充填機の一部を構成
するロードセル７の上に専用の容器６を載置し、容器６
に表示してあるバーコードによるデータ表示部12の液種
コード、充填量コードなどのバーコードデータをデータ
読取装置８で読み取る。

【００１５】この状態で、ノズル４は液種毎に複数個が
設けてあるが、ノズル４は人手によって容器６に挿入す
るものであることから、当該液種のノズル４とは異なる
別の液種のノズル４を容器６に挿入して誤給液すること
を防ぐため、各ノズル４はエアシリンダ５によりロック
されて容器６に挿入できないようになっている。

【００１６】データ読取装置８で読み取ったバーコード
データがシーケンサ10に入力すると、シーケンサ10では
上位コンピュータ９から予め転送されているマスタファ
イルの中から読み取った液種コード、充填量コードに該
当する液種データ、充填量データを得、このデータに基
づいてロードセル指示計11に出力して充填量を設定し、
また、当該液種の充填バルブ３に開信号を出力し、エア
シリンダ５に解除信号を出力してこれのロックを解除す
る。

【００１７】よって、ロックが解除されたノズル４を人
手によりロードセル７上の容器６に差し込み、充填開始
ボタン（図示は省略した）を押せば、充填バルブ３が開
いて充填が開始し、液体収容タンク１から当該容器６に
充填されるべき液種の液体が供給管２、ノズル４を通っ
て専用の容器６に充填される。

【００１８】ロードセル７で検知される容器６への液体
充填による圧力変化は重量信号としてロードセル指示計
11に入り、重量データとしてロードセル指示計11からシ
ーケンサ10に入力する。そして、設定した充填量に達し
たとシーケンサ10で判断すると、ここから充填バルブ３
に閉信号が出力して充填バルブ３が閉じる。よって、充
填完了ボタン（図示せず）を押せば、自動的に充填が終
了する。

【００１９】充填データはバーコードデータとともにシ
ーケンサ10から上位コンピュータ９に送られ、充填管理
データとなる。そして、最後にノズル４を容器６から外
す。

【００２０】

【発明の効果】以上述べたように本発明の液体の充填方
法は、複数種類の液体の中から選択した液体を当該液体
専用の容器に充填する場合に、当該液種の専用容器に充
填する液体の充填量、液種などの設定が自動的になさ
れ、充填の度に容器１本ずつに対して人手により設定す
る必要がなく、作業性の向上が図れるとともに、専用容
器に当該液種の液体を設定量だけ確実に充填できて誤充
填を防止できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液体の充填方法の実施例を示す充填シ
ステムの説明図である。

【図２】本発明の液体の充填方法の動作を示すフローチ
ャートである。

【符号の説明】

１…液体収容タンク ２…給液管 ３…充填バルブ ４…ノズル ５…エアシリンダ ６…容器 ７…ロードセル ８…データ読取装置 ９…上位コンピュータ 10…シーケンサ 11…ロードセル指示計 12…データ表示部

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数種類の液体の中から選択した液体を
   当該液体専用の容器に充填する液体の充填方法におい
   て、容器に当該容器に充填する液体の液種、充填量など
   のデータ表示部を設け、一方、液種毎に異なる液体収容
   タンクに接続する給液管の途中に充填バルブを設けると
   ともに給液管の先端にノズルを設け、読取装置で前記デ
   ータ表示部のデータを読み取り、この読取信号に基づい
   て制御装置の働きで当該液種の充填バルブを開き、設定
   された充填量だけ容器に液体を自動的に充填することを
   特徴とした液体の充填方法。
2. 【請求項２】 データ表示部は、バーコードで構成する
   請求項１記載の液体の充填方法。