JP2693720B2 - 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 - Google Patents
真空チャックにおける被吸着物の吸着方法Info
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- JP2693720B2 JP2693720B2 JP6111391A JP11139194A JP2693720B2 JP 2693720 B2 JP2693720 B2 JP 2693720B2 JP 6111391 A JP6111391 A JP 6111391A JP 11139194 A JP11139194 A JP 11139194A JP 2693720 B2 JP2693720 B2 JP 2693720B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空チャックにおける
被吸着物の吸着方法に関するものである。
被吸着物の吸着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワークの搬送等に用いられる真空
チャックとしては、実開平１−１１８９４２号公報に示
す真空チャックが知られている。この真空チャックのチ
ャック本体の下面には凹部が形成されている。そして、
凹部とチャック本体内に形成されたチャンバとの間には
複数の吸込孔が形成され、その各吸込孔により凹部とチ
ャンバが連通している。又、チャック本体には前記チャ
ンバと真空チャックの外部とを連通する接続通路が形成
されている。そして、前記凹部には軟質で微細な孔を有
する軟質多孔板が付着され、軟質多孔板の下面は平らに
形成されている。又、軟質多孔板の下面はチャック本体
の下面より若干下方に突出している。
チャックとしては、実開平１−１１８９４２号公報に示
す真空チャックが知られている。この真空チャックのチ
ャック本体の下面には凹部が形成されている。そして、
凹部とチャック本体内に形成されたチャンバとの間には
複数の吸込孔が形成され、その各吸込孔により凹部とチ
ャンバが連通している。又、チャック本体には前記チャ
ンバと真空チャックの外部とを連通する接続通路が形成
されている。そして、前記凹部には軟質で微細な孔を有
する軟質多孔板が付着され、軟質多孔板の下面は平らに
形成されている。又、軟質多孔板の下面はチャック本体
の下面より若干下方に突出している。
【０００３】そして、軟質多孔板を例えば薄いフィルム
状のワークに当接させ、接続通路から空気を吸い出すと
その吸引力によりワークが軟質多孔板の下面に吸着され
るようになっている。又、軟質多孔板にワークを吸着し
た時にはワークを吸着する吸引力により軟質多孔板が上
方に縮み、軟質多孔質板の下面がチャック本体の下面と
同じ高さ位置となる。従って、ワークが薄いフィルム状
の場合でもそのワークを湾曲させることなく吸着するこ
とができるようになっている。
状のワークに当接させ、接続通路から空気を吸い出すと
その吸引力によりワークが軟質多孔板の下面に吸着され
るようになっている。又、軟質多孔板にワークを吸着し
た時にはワークを吸着する吸引力により軟質多孔板が上
方に縮み、軟質多孔質板の下面がチャック本体の下面と
同じ高さ位置となる。従って、ワークが薄いフィルム状
の場合でもそのワークを湾曲させることなく吸着するこ
とができるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワーク
の吸着される部分の面積が軟質多孔板の下面の面積より
小さい場合、そのワークに軟質多孔板を当接させて接続
通路から空気を吸い出すと軟質多孔板のワークに当接し
ていない部分から空気が大量にチャンバ内に吸い込まれ
る。そのため、ワークにそのワークを吸着するのに十分
な吸引力が働かず、ワークを吸着することができないと
いう問題点があった。
の吸着される部分の面積が軟質多孔板の下面の面積より
小さい場合、そのワークに軟質多孔板を当接させて接続
通路から空気を吸い出すと軟質多孔板のワークに当接し
ていない部分から空気が大量にチャンバ内に吸い込まれ
る。そのため、ワークにそのワークを吸着するのに十分
な吸引力が働かず、ワークを吸着することができないと
いう問題点があった。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、すでに製造されている
真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を吸着する側
の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着可能にする
ことができる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法
を提供することにある。
れたものであって、その目的は、すでに製造されている
真空チャックでも、吸着面が板材の吸着物を吸着する側
の面の面積より小さい被吸着物を容易に吸着可能にする
ことができる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明は、真空チャックに、表裏両面に連通する多
数の透孔を有する板材を設け、その板材の一方の面から
空気を吸引することにより他方の面に被吸着物を吸着さ
せる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法におい
て、前記板材の他方の面に、その板材の透孔より小さく
透孔と同方向に延びる多数の貫通孔が形成されるととも
にその貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口面積の
総和より小さいシート部材を吸着させ、そのシート部材
に被吸着物を吸着させるようにした。
め、本発明は、真空チャックに、表裏両面に連通する多
数の透孔を有する板材を設け、その板材の一方の面から
空気を吸引することにより他方の面に被吸着物を吸着さ
せる真空チャックにおける被吸着物の吸着方法におい
て、前記板材の他方の面に、その板材の透孔より小さく
透孔と同方向に延びる多数の貫通孔が形成されるととも
にその貫通孔の開口面積の総和が前記透孔の開口面積の
総和より小さいシート部材を吸着させ、そのシート部材
に被吸着物を吸着させるようにした。
【０００７】
【作用】従って、本発明によれば、板材の他方の面にシ
ート部材を当接させて板材の一方の面から空気を吸引す
ると、板材の他方の面にシート部材が吸着される。その
シート部材を介して板材を吸着面が板材の被吸着物を吸
着させる側の面の面積より小さくなるような被吸着物に
当接させれば、その被吸着物はシート部材を介して板材
に吸着される。即ち、板材の他方の面における被吸着物
の接触していない部分から板材の他方の面に向かって流
れる空気の流量が、シート部材により被吸着物を十分に
吸着できる程度に抑えられるため、前記被吸着物は板材
に吸着される。従って、シート部材を板材の他方の面に
吸着させれば、すでに製造された真空チャックを、容易
に吸着面が板材の被吸着物を吸着させる側の面の面積よ
り小い被吸着物を吸着可能にすることができる。
ート部材を当接させて板材の一方の面から空気を吸引す
ると、板材の他方の面にシート部材が吸着される。その
シート部材を介して板材を吸着面が板材の被吸着物を吸
着させる側の面の面積より小さくなるような被吸着物に
当接させれば、その被吸着物はシート部材を介して板材
に吸着される。即ち、板材の他方の面における被吸着物
の接触していない部分から板材の他方の面に向かって流
れる空気の流量が、シート部材により被吸着物を十分に
吸着できる程度に抑えられるため、前記被吸着物は板材
に吸着される。従って、シート部材を板材の他方の面に
吸着させれば、すでに製造された真空チャックを、容易
に吸着面が板材の被吸着物を吸着させる側の面の面積よ
り小い被吸着物を吸着可能にすることができる。
【０００８】
【実施例】以下、一実施例を図１〜図３に従って説明す
る。図１，図２に示すように、真空チャック１のチャッ
ク本体２は直方体状に形成され、その上面には例えば幅
３ｍｍの複数の吸込溝３が田の字状となるように交差し
て形成されている。又、チャック本体２にはその長手方
向と直交する方向に延びる吸出通路４が形成され、その
吸出通路４には前記各吸込溝３の交差する部分にそれぞ
れ形成された吸込孔３ａが連通している。
る。図１，図２に示すように、真空チャック１のチャッ
ク本体２は直方体状に形成され、その上面には例えば幅
３ｍｍの複数の吸込溝３が田の字状となるように交差し
て形成されている。又、チャック本体２にはその長手方
向と直交する方向に延びる吸出通路４が形成され、その
吸出通路４には前記各吸込溝３の交差する部分にそれぞ
れ形成された吸込孔３ａが連通している。
【０００９】チャック本体２の上面には、板材５が各吸
込溝３を覆うようにエポキシ樹脂接着剤により接着され
ている。そのエポキシ樹脂接着剤は板材５の下面５ａの
外縁部のみに塗布されているため、板材５とチャック本
体２との接合面から空気が漏れないようになっている。
又、板材５はその上面５ｂが平らになるように形成され
ている。
込溝３を覆うようにエポキシ樹脂接着剤により接着され
ている。そのエポキシ樹脂接着剤は板材５の下面５ａの
外縁部のみに塗布されているため、板材５とチャック本
体２との接合面から空気が漏れないようになっている。
又、板材５はその上面５ｂが平らになるように形成され
ている。
【００１０】板材５は銅，ステンレス及び樹脂等の粒子
をプレスすることにより形成されているため、図３に示
すように、板材５にはその上下両面５ａ，５ｂを連通す
る多数の透孔６が形成されている。この透孔６は、その
平均径が約１００μｍで１ｃｍ2 当たり約５３００個形
成されている。そして、板材５の上面５ｂの面積に対す
る透孔６の総開口面積の割合（以下、板材５の気孔率と
いう）は４２％となっている。又、板材５の外側部分に
は前記透孔６が形成されていないシール部７が設けられ
ている。
をプレスすることにより形成されているため、図３に示
すように、板材５にはその上下両面５ａ，５ｂを連通す
る多数の透孔６が形成されている。この透孔６は、その
平均径が約１００μｍで１ｃｍ2 当たり約５３００個形
成されている。そして、板材５の上面５ｂの面積に対す
る透孔６の総開口面積の割合（以下、板材５の気孔率と
いう）は４２％となっている。又、板材５の外側部分に
は前記透孔６が形成されていないシール部７が設けられ
ている。
【００１１】板材５の上側には、板材５の上面５ｂ及び
側面を覆うように断面略コの状状に形成された例えば紙
製のシート部材８が配設されている。シート部材８の下
端外縁部には板材５と反対方向に向かって突出する取付
部９が形成されている。又、シート部材８の板材５の上
面に対応する部分には吸着部１０が設けられ、吸着部１
０にはシート部材８を上下方向に貫通する図３に示すよ
うな多数の貫通孔１１が形成されている。この貫通孔１
１の径は約１０μｍとなっている。そして、吸着部１０
の上面の面積に対する貫通孔１１の総開口面積の割合
（以下、シート部材８の気孔率という）は板材５の気孔
率４２％より小さい値であるＸ％となっている。
側面を覆うように断面略コの状状に形成された例えば紙
製のシート部材８が配設されている。シート部材８の下
端外縁部には板材５と反対方向に向かって突出する取付
部９が形成されている。又、シート部材８の板材５の上
面に対応する部分には吸着部１０が設けられ、吸着部１
０にはシート部材８を上下方向に貫通する図３に示すよ
うな多数の貫通孔１１が形成されている。この貫通孔１
１の径は約１０μｍとなっている。そして、吸着部１０
の上面の面積に対する貫通孔１１の総開口面積の割合
（以下、シート部材８の気孔率という）は板材５の気孔
率４２％より小さい値であるＸ％となっている。
【００１２】次に、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの
面積より小さいワークを上記の真空チャック１で吸着す
る場合の作用を説明する。まず、真空チャック１の板材
５の上面５ｂにシート部材８を当接させ、吸出通路４か
ら空気を吸い出して板材５の上面５ｂにシート部材８を
吸着させる。そして、その後に板材５をシート部材８を
介して図２の２点鎖線で示す被吸着物としてのワークＷ
に当接させる。このワークＷは吸着面の面積が板材５の
上面５ｂの面積の約半分となっている。その結果、吸込
孔３ａ，吸込溝３及び透孔６を介してワークＷが接触す
る貫通孔１１内の空気が板材５側に吸い出されてワーク
Ｗの吸着面に吸引力が働く。
面積より小さいワークを上記の真空チャック１で吸着す
る場合の作用を説明する。まず、真空チャック１の板材
５の上面５ｂにシート部材８を当接させ、吸出通路４か
ら空気を吸い出して板材５の上面５ｂにシート部材８を
吸着させる。そして、その後に板材５をシート部材８を
介して図２の２点鎖線で示す被吸着物としてのワークＷ
に当接させる。このワークＷは吸着面の面積が板材５の
上面５ｂの面積の約半分となっている。その結果、吸込
孔３ａ，吸込溝３及び透孔６を介してワークＷが接触す
る貫通孔１１内の空気が板材５側に吸い出されてワーク
Ｗの吸着面に吸引力が働く。
【００１３】又、シート部材８のワークＷが当接してい
ない部分において、真空チャック１の外部の空気が貫通
孔１１，透孔６を介して吸込溝３内に流れる。貫通孔１
１が形成されたシート部材８はその気孔率Ｘ％が板材５
の気孔率４２％より小さい値であるため、吸込溝３内に
流れ込む空気の流量はシート部材８のない場合に比べて
少なくなる。従って、ワークＷの吸着面に働く吸引力は
ワークＷを板材５に吸着するのに十分な大きさになり、
その吸引力によりワークＷはシート部材８を介して板材
５に吸着される。
ない部分において、真空チャック１の外部の空気が貫通
孔１１，透孔６を介して吸込溝３内に流れる。貫通孔１
１が形成されたシート部材８はその気孔率Ｘ％が板材５
の気孔率４２％より小さい値であるため、吸込溝３内に
流れ込む空気の流量はシート部材８のない場合に比べて
少なくなる。従って、ワークＷの吸着面に働く吸引力は
ワークＷを板材５に吸着するのに十分な大きさになり、
その吸引力によりワークＷはシート部材８を介して板材
５に吸着される。
【００１４】尚、この場合のシート部材８の気孔率Ｘ％
の最適な値の範囲として２０〜２５％，好ましい範囲と
して１５〜３０％，実施可能な範囲として１０〜３５％
があげられる。
の最適な値の範囲として２０〜２５％，好ましい範囲と
して１５〜３０％，実施可能な範囲として１０〜３５％
があげられる。
【００１５】以上詳述したように本実施例では、気孔率
Ｘ％が板材５の気孔率４２％より小さいシート部材８を
板材５の上面５ｂに設けたため、吸着面の面積が板材５
の上面５ｂの面積より小さいワークＷを吸着することが
できる。
Ｘ％が板材５の気孔率４２％より小さいシート部材８を
板材５の上面５ｂに設けたため、吸着面の面積が板材５
の上面５ｂの面積より小さいワークＷを吸着することが
できる。
【００１６】又、シート部材８を紙により形成したた
め、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さい
ワークＷを吸着可能な真空チャック１を低コストで製造
することができる。
め、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より小さい
ワークＷを吸着可能な真空チャック１を低コストで製造
することができる。
【００１７】更に、板材５の上面５ｂは平らに形成され
ているため、例えば薄いフィルム状のワークを吸着する
場合でもそのワークＷを湾曲変形させることなく吸着す
ることができる。
ているため、例えば薄いフィルム状のワークを吸着する
場合でもそのワークＷを湾曲変形させることなく吸着す
ることができる。
【００１８】更に、ワークＷの吸着面の面積に応じて、
シート部材８を板材５に吸着させたり吸着させなかった
りすることができる。即ち、ワークＷの吸着面の面積が
板材５の上面５ｂの面積と同じか又は大きい時、シート
部材８を板材５に吸着させずに直接そのワークＷを吸着
することができ、より確実にワークＷを吸着することが
できる。更に、すでに製造されている真空チャックの場
合でもその板材にシート部材８を吸着させることによ
り、容易に吸着面の面積が板材の上面の面積より小さい
ワークＷを吸着できるようにすることができる。
シート部材８を板材５に吸着させたり吸着させなかった
りすることができる。即ち、ワークＷの吸着面の面積が
板材５の上面５ｂの面積と同じか又は大きい時、シート
部材８を板材５に吸着させずに直接そのワークＷを吸着
することができ、より確実にワークＷを吸着することが
できる。更に、すでに製造されている真空チャックの場
合でもその板材にシート部材８を吸着させることによ
り、容易に吸着面の面積が板材の上面の面積より小さい
ワークＷを吸着できるようにすることができる。
【００１９】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、例えば以下のように変更して具体化してもよ
い。 （１）シート部材８を複数重ねて板材５に吸着させるよ
うにしてもよい。即ち、シート部材８は重ねることによ
り気孔率が低くなり、シート部材８を多く重ねるごとに
吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より更に小さい
ワークＷでも吸着できるようになる。この場合、ワーク
Ｗの吸着面の面積に応じてシート部材８の重ねる枚数を
調節すれば、ワークＷの吸着面の面積が変わる場合でも
そのワークを吸着することができる。
ではなく、例えば以下のように変更して具体化してもよ
い。 （１）シート部材８を複数重ねて板材５に吸着させるよ
うにしてもよい。即ち、シート部材８は重ねることによ
り気孔率が低くなり、シート部材８を多く重ねるごとに
吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積より更に小さい
ワークＷでも吸着できるようになる。この場合、ワーク
Ｗの吸着面の面積に応じてシート部材８の重ねる枚数を
調節すれば、ワークＷの吸着面の面積が変わる場合でも
そのワークを吸着することができる。
【００２０】（２）本実施例では、シート部材８を紙に
より形成したが、これに代えてシート部材８を布により
形成してもよい。この場合、布は紙と異なり破れにくい
ため、ワークＷを吸着する時等にシート部材８が破損す
るのを防止することができる。
より形成したが、これに代えてシート部材８を布により
形成してもよい。この場合、布は紙と異なり破れにくい
ため、ワークＷを吸着する時等にシート部材８が破損す
るのを防止することができる。
【００２１】（３）本実施例では、板材５に径が約１０
０μｍの透孔６を１ｃｍ2 当たり約５３００個設け、板
材５の気孔率を４２％としたが、透孔６の径及び１ｃｍ
2 当たりの個数を変えて板材５の気孔率を変更してもよ
い。この場合、シート部材８の貫通孔１１の径や１ｃｍ
2 当たりの個数を変えてシート部材８の気孔率Ｘ％を適
宜変更すれば、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積
より小さいワークＷを吸着することができる。
０μｍの透孔６を１ｃｍ2 当たり約５３００個設け、板
材５の気孔率を４２％としたが、透孔６の径及び１ｃｍ
2 当たりの個数を変えて板材５の気孔率を変更してもよ
い。この場合、シート部材８の貫通孔１１の径や１ｃｍ
2 当たりの個数を変えてシート部材８の気孔率Ｘ％を適
宜変更すれば、吸着面の面積が板材５の上面５ｂの面積
より小さいワークＷを吸着することができる。
【００２２】（４）本実施例では、吸着面の面積が板材
５の上面５ｂの面積の約半分であるワークＷを吸着した
が、吸着面の面積がそれ以外の値のワークＷを吸着して
もよい。この場合、シート部材８の気孔率Ｘ％を適宜変
更すれば、そのワークＷを吸着することができる。
５の上面５ｂの面積の約半分であるワークＷを吸着した
が、吸着面の面積がそれ以外の値のワークＷを吸着して
もよい。この場合、シート部材８の気孔率Ｘ％を適宜変
更すれば、そのワークＷを吸着することができる。
【００２３】（５）ワークＷを板材５より大きく、孔が
上下方向に延びるように形成されたワークとしてもよ
い。この場合、孔が形成された分だけ板材５とそのワー
クとが接触していない部分ができ、その部分において板
材５の上面５ｂから下面５ａに向かって空気が流れる。
しかし、板材５の上面５ｂにシート部材８を設けること
により、そのワークを吸着することができる。
上下方向に延びるように形成されたワークとしてもよ
い。この場合、孔が形成された分だけ板材５とそのワー
クとが接触していない部分ができ、その部分において板
材５の上面５ｂから下面５ａに向かって空気が流れる。
しかし、板材５の上面５ｂにシート部材８を設けること
により、そのワークを吸着することができる。
【００２４】尚、本明細書において、シート部材とは紙
及び布のみならず多数の貫通孔が形成されたシート部材
なら材質は何でもよい。
及び布のみならず多数の貫通孔が形成されたシート部材
なら材質は何でもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
すでに製造されている真空チャックでも、吸着面が板材
の吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を
容易に吸着可能にすることができる。
すでに製造されている真空チャックでも、吸着面が板材
の吸着物を吸着する側の面の面積より小さい被吸着物を
容易に吸着可能にすることができる。
【図１】 本実施例の真空チャックを示す分解斜視図で
ある。
ある。
【図２】 本実施例の真空チャックを示す断面図であ
る。
る。
【図３】 板材及びシート部材を示す概略断面図であ
る。
る。
１…真空チャック、５…板材、５ａ…一方の面としての
下面、５ｂ…他方の面としての上面、６…透孔、８…シ
ート部材、１１…貫通孔、Ｗ…被吸着物としてのワー
ク。
下面、５ｂ…他方の面としての上面、６…透孔、８…シ
ート部材、１１…貫通孔、Ｗ…被吸着物としてのワー
ク。
Claims (1)
- 【請求項１】 真空チャック（１）に、表裏両面（５
ａ，５ｂ）に連通する多数の透孔（６）を有する板材
（５）を設け、その板材（５）の一方の面（５ａ）から
空気を吸引することにより他方の面（５ｂ）に被吸着物
（Ｗ）を吸着させる真空チャックにおける被吸着物の吸
着方法において、 前記板材（５）の他方の面（５ｂ）に、その板材（５）
の透孔（６）より小さく透孔（６）と同方向に延びる多
数の貫通孔（１１）が形成されるとともにその貫通孔
（１１）の開口面積の総和が前記透孔（６）の開口面積
の総和より小さいシート部材（８）を吸着させ、そのシ
ート部材（８）に被吸着物を吸着させる真空チャックに
おける被吸着物の吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111391A JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6111391A JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07314370A JPH07314370A (ja) | 1995-12-05 |
| JP2693720B2 true JP2693720B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=14559983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6111391A Expired - Fee Related JP2693720B2 (ja) | 1994-05-25 | 1994-05-25 | 真空チャックにおける被吸着物の吸着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2693720B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011065021A1 (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-03 | 株式会社ナノテム | 真空チャック |
| WO2017154085A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社ナノテム | 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009117552A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 吸着ステージ |
| KR101345994B1 (ko) * | 2012-05-31 | 2013-12-31 | 주식회사 선일기연 | 순차적으로 밀착 가능한 구조를 갖는 시트형 ｆｐｃｂ 자동 진공흡탈착장치 |
| US9315015B2 (en) * | 2012-07-10 | 2016-04-19 | Lg Chem, Ltd. | Printed material fixing piece, printing device, and printing method |
| KR101703026B1 (ko) * | 2014-08-29 | 2017-02-07 | 주식회사 태성기연 | 디스플레이용 패널 흡착장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS4316175Y1 (ja) * | 1965-07-21 | 1968-07-05 | ||
| JPS4855268U (ja) * | 1972-02-08 | 1973-07-16 | ||
| JPS62153091U (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-28 |
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1994
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| WO2017154085A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社ナノテム | 搬送用パッドおよびそれを用いる搬送装置、搬送方法 |
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