JP2692274B2 - 主軸位置・速度制御装置 - Google Patents

主軸位置・速度制御装置

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は主軸に取り付けた中空状の検出体の動きを検
出するセンサを用いた主軸位置・速度制御装置に係り、
検出体の取付構造を簡単にできると共に、高精度に主軸
の位置、速度を制御できる主軸位置・速度制御装置に関
する。
[従来の技術] 第3図は従来の数値制御装置を備えた工作機械の主軸
及びC軸の駆動システムの構成図で、図において、
(1)は数値制御装置、(2)は主軸駆動制御装置、
(3)は誘導電動機、(4)は速度検出器、(5)は低
分解能位置検出器、(6)は高分解能位置検出器、
(7)は主軸、(8)は誘導電動機(3)の接続歯車、
(9)は位置検出器(5)の接続歯車、(10)は位置検
出器(6)の接続歯車、(51)は速度検出回路、(54)
は低分解能位置検出回路、(57)は高分解能位置検出回
路である。
図において、数値制御装置(1)より出力された速度
指令ωr*は主軸駆動制御装置(2)を介し3相交流電流
指令として誘導電動機(3)に出力され、同電動機
(3)はωr*に追従して回転する。この場合、速度追従
性を良くする為に、誘導電動機(3)の速度を速度検出
器(4)の出力波形(A)を主軸駆動制御装置(2)内
部の速度検出回路(51)に入力することにより検出し、
その検出値をωrとしてフィードバックすることによ
り、いわゆる速度閉ループを構成する。
誘導電動機(3)の回転は接続歯車(8)を介して主
軸(7)に伝達され、これを駆動する。接続歯車(8)
の歯車比は用途に応じて決定される。
また、数値制御装置(1)より出力された位置指令θ
r*は主軸駆動制御装置(2)を介し3相交流電流指令と
して誘導電動機(3)に出力され、同電動機(3)は位
置指令θr*に追従して回転する。この場合、位置追従性
を良くする為に、低分解能位置検出器(5)の出力波形
(B)を主軸駆動制御装置(2)内部の低分解能位置検
出回路(54)に入力することにより、低分解能で表した
主軸(7)の位置を検出し、その検出値をθr1としてフ
ィードバックすることにより低分解能位置閉ループを構
成する。
また、高分解能位置検出器(6)の出力波形(C)を
主軸駆動制御装置(2)内部の高分解能位置検出回路
(57)に入力することにより、高分解能で表した主軸
(7)の位置を検出し、その検出値をθr2としてフィー
ドバックすることにより高分解能位置閉ループを構成す
る。
次に動作について述べる。
まず主軸(7)で通常の旋削運転を行う場合は、数値
制御装置(1)から主軸(7)の目標回転数に見合った
速度指令ωr*が出力され、主軸駆動制御装置(2)は速
度検出回路(51)より検出された誘導電動機(3)の速
度ωrをωr*に追従させるための制御を行う。
次にC軸運転(輪郭運転)を行う場合は、数値制御装
置(1)から主軸(7)の目標位置に見合った位置指令
θr*が出力され、主軸駆動制御装置(2)は高分解能位
置検出回路(57)で検出された主軸(7)の位置θr2
θr*に追従させるための制御を行う。このC軸運転は主
軸端にて1/1000度単位程度の位置決め精度が要求される
ので、位置検出器(6)として36万パルス/1回転程度の
高分解能検出器を採用する必要がある。
次に位置検出器(5)の用途について述べる。
位置検出器(5)は次に示す種々の用途を有してい
る。
(I)主軸(7)を、ノックピン挿入による機械的固定
による加工の為の位置決め等の目的で定位置停止動作さ
せたい場合、低分解能位置検出回路(54)により位置検
出値θr1を検出し位置ループを構成することにより主軸
(7)を目的位置に停止させる。
(II)主軸(7)の回転数を数値制御装置(1)のCRT
画面上に表示したい場合、位置検出器(5)の出力波形
(B)を数値制御装置(1)に入力して、数値制御装置
(1)にて、単位時間内の波形の変化量から主軸速度を
演算し、結果をCRT画面上に表示する。
(III)主軸(7)の位置と他軸、例えばX軸、Y軸、
Z軸、回転工具軸、対向する第2の主軸等と同期させて
ネジ切り(X軸及びZ軸と同期)、ポリゴン加工(回転
工具軸と同期)、角材ワークつかみ換え及び突切り加工
(対向する第2の主軸と同期)等他軸との同期運転をし
たい場合、低分解能位置検出回路(54)により位置検出
値θr1を検出し数値制御装置(1)から他軸と位置同期
すべく送信される、主軸位置指令θr*にθr1が追従する
ように、位置ループを構成する。
ここで、位置検出器(5)としては1024〜4096パルス/1
回転程度の分解能のものを採用するのが普通である。
ところで、上記第3図の従来技術の説明図において、
誘導電動機(3)と主軸(7)を接続する接続歯車は簡
単な為接続歯車(8)の1組のみとしたが、もちろん、
接続歯車は何組あってもよく、例えば Lギア時 接続歯車比= 10:1 Hギア時 接続歯車比= 1:1 C軸時 接続歯車比=100:1 の3組のシステムであってもよい。
また、接続歯車(9)(10)はベルトであってもよい。
[発明が解決しようとする課題] 上記のように、工作機械において種々の主軸またはC
軸運転を行う場合、各々の運転目的に応じた位置および
速度検出器を必要とするので、複数の検出器を複数の場
所に搭載することになる。
例えば、第3図の如く、速度検出器(4)は誘導電動
機(3)に直結して搭載し、位置検出器(5)(6)は
主軸(7)に接続歯車(9)(10)を介して搭載すると
いった具合である。ここで、接続歯車(9)(10)を必
要とする理由は旋盤においては、主軸(7)を中空構造
にしてワークを主軸(7)に貫通させ加工するバーフィ
ーダ加工機能を有するものが一般的であり、従来のシャ
フトを有する位置検出器ではワークの貫通を防げる取付
となるので主軸(7)に直接搭載することは不可能であ
る為、ほとんどの場合歯車比=1:1の接続歯車(9)(1
0)を介しているのが現状である。
但し、位置検出器(5)と(6)を同一パッケージに収
め位置検出器を1ケのみとし、接続歯車も1ケのみとす
る方式も既に実現されている。
上記のように、従来においては、複数の検出器を複数
の場所にしかも主軸位置検出器は接続歯車を介して搭載
する必要があり、検出器取付スペース確保の為の機械の
寸法大型化、複雑化による設備コストの増加、及び接続
歯車を介する間接位置検出の為の精度劣化等という課題
があった。
また、検出器からの信号は予め定められており、用途
に応じた任意の信号を出力できないといった課題があっ
た。
[課題を解決するための手段] 本発明に係る主軸位置・速度制御装置は、主軸に直接
取り付けた検出体と、この検出体に対向する位置に設け
られ、上記検出体の動きを検出するセンサと、このセン
サからの信号を取り込み、位相の異なる2相の正弦波を
すると共に、上記センサからの信号を逓倍し、それぞれ
が位相の異なる2相づつの低分解能及び高分解能の方形
波に波形成形する波形成形回路と、この波形成形回路か
らの上記2相の正弦波を用いて上記主軸の速度を検出す
る速度検出手段と、上記波形成形回路からの上記2相の
低分解能の方形波を用いて低分解能で表した上記主軸の
位置を検出し、上記2相の高分解能の方形波を用いて高
分解能で表した上記主軸の位置を検出する位置検出手段
と、この位置検出手段及び上記速度検出手段からのデー
タに基づいて、上記主軸を制御する主軸駆動制御手段
と、を備えたものである。
[作用] 主軸の位置・速度検出器を直接主軸に取付けているこ
とにより機械構造が簡単になると共に、前記検出器の信
号を取り込んで2相の正弦波とそれぞれが異なる2相づ
つの低分解能及び高分解能の方形波に波形成形すること
により、この信号を任意に波形成形及び選択できる。
[発明の実施例] 第1図は本発明の一実施例を示す工作機械の主軸及び
C軸の駆動システムの構成図で、図において(1)〜
(7)、(51)、(54)、(57)は従来のものと同一、
(11)は主軸(7)に組み込まれたビルトイン主軸電動
機、(12)は主軸(7)に取り付けられた中空状の検出
体で、速度検出及び低分解能位置検出ができるものであ
る。(13)は中空検出体(12)のセンサ、(14)も検出
体(12)と同じ構造で高分解能位置検出用の中空検出体
である。(15)は中空検出体(14)のセンサである。
(16)はセンサ(13)及び(15)の出力を取り込んで数
値制御装置(1)及び主軸駆動制御装置(2)へ方形波
又は正弦波信号に波形成形して出力するプリアンプ回路
である。
ここで、プリアンプ回路(16)に内部構成について説
明する。
プリアンプ回路(16)は第2図に示す様に複数の波形
を出力する回路で、一例として第2図(b)のプリアン
プ回路(16-2)の内部構成を第5図に示す。
第5図において、(29)〜(31)、(36)〜(38)は増
幅回路、(33)〜(35)、(40)〜(42)はコンパレー
タ回路、(32)は4逓倍回路、(39)は100逓倍回路で
ある。
まず、センサ(13)の出力は、256波/1回転のCOS波及
びSIN波、1波/1回転のSIN波の計3波形が出力される。
プリアンプ回路(16)はこの3波形を入力し、所定の振
幅値まで増幅回路(29)〜(31)により増幅する。
この3つの増幅波形の中で、256波/1回転のCOS波及び
SIN波はそのまま速度検出用波形としてプリアンプ回路
(16)の出力となる。
残りの1波/1回転波形はコンパレータ回路(33)によ
り方形波に変換され1パルス/1回転信号(以下Z相と呼
ぶ)として、プリアンプ回路(16)より出力される。
また、上記増幅された256波/1回転のCOS波及びSIN波
は、そのまま出力されるのとは別に、4逓倍回路(32)
に入力され、ここで4逓倍された出力即ち1024波/1回転
のCOS波及びSIN波が得られ、この出力をコンパレータ回
路(34)、(35)に入力して、1024パルス/1回転の90°
位相差の異なる2相方形波に変換され、低分解能位置検
出用波形としてプリアンプ回路(16)の出力となる。
次にセンサ(15)の出力は、900波/1回転のCOS波及び
SIN波、1波/1回転のSIN波の計3波形が出力される。
プリアンプ回路(16)はこの3波形を入力し、所定の振
幅値まで増幅回路(36)〜(38)により増幅する。
この3つの増幅波形の中で、1波/1回転波形はコンパ
レータ回路(42)により方形波に変換され、1パルス/1
回転信号(以下Y相と呼ぶ)としてプリアンプ回路(1
6)より出力される。
残りの900波/1回転のCOS波及びSIN波は、100逓倍回路
(39)に入力され、ここで100逓倍された出力即ち、900
00波/1回転のCOS波及びSIN波が得られ、この出力をコン
パレータ回路(40)、(41)に入力して、90000パルス/
1回転の90°位相差の異なる2相方形波に変換され、高
分解能位置検出用波形としてプリアンプ回路(16)の出
力となる。
以上の説明からも推察できる様に、第2図(a)のプ
リアンプ回路(16-1)は、プリアンプ回路(16-2)の
(36)〜(42)の構成部品を削除したものである。
また、本発明例ではZ相とY相を別系統としたが、Z
相をそのままY相として出力する方式としても良い。
次に、プリアンプ回路(16)の各出力波形から速度検
出値ωr及び位置検出器θr1、θr2を得る原理について
説明する。
まず、速度検出値ωrを得る原理を第9図に示す。
図において、(51)は速度検出回路、(52)は4逓倍
パルス作成回路、(53)はωr演算回路である。
図において、プリアンプ回路(16)の256波/1回転のC
OS波及びSIN波出力を4逓倍パルス作成回路(52)にて
図に示すCOS波とSIN波との位相関係で、パルス出力す
る。
従ってこのパルス数は256×4=1024パルス/1回転の
出力となる。
そして、このパルスと256波/1回転のCOS波及びSIN波を
ωr演算回路(53)に入力する。ωr演算回路(53)で
は次の演算を実行する。
演算は一定時間ΔT毎に行い、まず時刻tnにてΔT
(sec)時間内に発生したパルス数ΔPをカウントし、
次に第9図に示すパルス間の各区間において指定された
COS波及びSIN波の電圧値を読み込む。
そして時刻tn-1における前回の電圧読込値と基準値との
差V1と時刻tnにおける今回の電圧読込値との差V2を演算
し、COS波及びSIN波の読込区間の電圧幅をV0とすると、
式として求める。
この式でV1及びV2を用いることでωrの分解能向上を
実現できる。
また、速度検出回路(51)は通常、主軸駆動制御装置
(2)の内部に組み込まれる。
次に、位置検出値θr1を得る原理を第10図に示す。
図において、(54)を低分解能位置検出回路、(55)
は4逓倍回路、(56)はθr1演算回路である。
図において、プリアンプ回路(16)の1024パルス/1回
転の90°位相差の異なる2相方形波出力を4逓倍回路
(55)にてパルス出力する。
従ってこのパルスは1024×4=4096パルス/1回転の出
力となる。
そしてこのパルスと1パルス/1回転のパルス(Z相)
をθr1演算回路(56)に入力する。
演算はθr1演算回路(56)内にあるカウンタ値を用い
る。
そして、演算開始後最初のZ相の立上り時のカウンタ
値C0を記憶し、その位置を原点即ちθr1=0°とし、以
後、各読込時の位置θr1は、 θr1=(カウンタ値−C0)/4096(度) として求める。
低分解能位置検出回路(54)は通常、主軸駆動制御装置
(2)の内部に組み込まれる。
次に位置検出値θr2を得る原理を第11図に示す。
図において、(57)は高分解能位置検出器、(58)は
4逓倍回路、(59)はθr2演算回路である。以下θr2
演算する方法はパルス数が異なるのみで他はθr1の演算
と同様であるので説明を省略する。
尚、256波/1回転のCOS波及びSIN波と同時に出力され
るZ相と、第9図の4逓倍パルス作成回路(52)の出力
パルスとを用いることによりθr1と同様の位置検出をす
ることも可能である。
次に本発明の動作について説明する。
数値制御装置(1)の速度指令ωr*により主軸駆動制
御装置(2)を介してビルトイン主軸電動機(11)が駆
動され、主軸(7)が回転し、この主軸(7)に取り付
けられた中空検出体(12)、(14)が回転して、センサ
(13)(15)の出力がプリアンプ回路(16)に取り込ま
れ、ここで第2図に示す複数の波形を出力する。
前記速度指令ωr*に対しては256波/1回転のCOS波及びSI
N波を主軸駆動制御装置(2)に入力して速度検出回路
(51)にてωrを演算することにより、速度ループを構
成する。
一方、数値制御装置(1)より位置指令ωr*が主軸駆動
制御装置(2)に入力されたときは、プリアンプ回路
(16)の出力である1024パルス/1回転の90°位相差の異
なる2相方形波及びZ相、あるいは90000パルス/1回転
の90°位相差の異なる2相方形波及びY相を主軸駆動制
御装置(2)に入力して位置検出回路(54)にてθr1
るいはθr2を演算することにより位置ループを構成す
る。
ここで、実際の速度ループ及び位置ループの動作をブ
ロック図により具体的に説明する。
第4図は、第1図の数値制御装置(1)及び主軸駆動
制御装置(2)の本発明に関する内部制御構成をブロッ
ク図で示したものである。
図において、(17)は主軸駆動制御装置(2)に与え
る指令様式を切換える指令切換回路、(18)は主軸駆動
制御装置(2)に対して速度指令ωr*を出力する速度指
令発生回路、(19)は主軸駆動制御装置(2)に対して
低分解能の主軸位置指令θr1 *を出力する低分解能位置
指令発生回路、(20)は主軸駆動制御装置(2)に対し
て高分解能の主軸位置指令θr2 *を出力する高分解能位
置指令発生回路、(21)は主軸駆動制御装置(2)に対
して主軸の定位置停止指令ORC及び停止位置指令θ0 *
出力する定位置停止指令発生回路、(22)はプリアンプ
回路の出力波形(B)を入力して、その単位時間内の変
化量から主軸速度を演算し、CRT画面上に表示する速度
表示回路、(23)は定分解能位置指令θr1 *と低分解能
位置検出値θr1との偏差にゲインKp1を乗算し速度指令
ωr1 *を出力する低分解能位置ループゲイン回路、(2
4)は高分解能位置指令θr2 *と高分解能位置検出値θr2
との偏差にゲインKp2を乗算し速度指令ωr2 *を出力する
高分解能位置ループゲイン回路、(25)は定位置停止指
令ORC及び停止位置指令θ0 *を受信し、低分解能位置検
出値θr1又は速度検出値ωrを入力し、主軸を目的位置
に停止させる為のシーケンス制御を行う定位置停止シー
ケンス回路、(26)は各速度指令と速度検出値ωrの偏
差から補償演算を行い電流指令i*を出力する速度偏差補
償回路、(27)は電流指令i*と電動機の電流検出値iと
の偏差から補償演算を行い、電圧指令v*を出力する電流
偏差補償回路、(28)は電動機の実電流を検出する電流
検出器、(29)は指令切換回路(17)の目的に合った指
令発生回路を選択する指令切換スイッチ、(30)は指令
発生回路(17)の選択目的に合った速度指令を選択する
速度指令切換スイッチである。
以下、各指令発生回路(18)〜(21)が選択された場
合の動作について説明する。
(I)速度指令発生回路(18)が選択された場合 まず、指令発生回路(17)の指令により指令切換スイ
ッチ(29)はaに選択され、同時に速度指令回路切換ス
イッチ(30)はeに選択される。
次に速度指令発生回路(18)は、主軸(7)の目的速
度指令ωr*を出力し、主軸駆動制御装置(2)はωr*
速度検出回路(51)の出力ωrとの偏差を零にする様に
制御する速度ループを構成する。
このモードは、通常の旋削モードにおいて選択され
る。
(II)低分解能位置指令発生回路(19)が選択された場
合 まず、指令発生回路(17)の指令により指令切換スイ
ッチ(29)はbに選択され、同時に速度指令回路(30)
はfに選択される。
次に、低分解能位置指令発生回路(19)は、主軸
(7)の位置指令θr1 *を出力し、主軸駆動制御装置
(2)はθr1 *と低分解能位置検出回路(54)の出力θr
1との偏差に位置ループゲインKp1を乗算して速度指令ω
r1 *として与えることにより位置偏差を零とする制御を
行い、しかもωr1 *と速度検出回路(51)の出力ωrと
に偏差を零にする様に制御する。
即ち、速度ループをマイナーループとして有する低分解
能位置ループを構成する。
このモードは、主軸以外の軸(例えばX軸、Y軸、Z
軸、回転工具軸あるいは対向する第2の主軸、等)との
位置同期運転の目的で選択される。
具体的に他軸と位置同期運転した場合の加工例を第6
図に示す。
図において、(43)は刃物取付治具、(44)はバイ
ト、(45)は円形ワーク、(46)は回転工具軸、(47)
は回転工具、(48)は対向する第2の主軸、(49)は角
形ワークである。同図において、(a)は主軸とX軸及
びZ軸とを位置同期運転し、円形ワークにネジ切り加工
を行う例、(b)は主軸と回転工具軸を位置同期運転
し、多角形加工(ポリゴン加工)を行う例、(c)は主
軸と対向する第2の主軸とを位置同期運転し角材のつか
み替えを行う例である。
尚、図中の矢印は各々の軸の同期運転方向を示す。各
々の詳細な実現方法は省略するが、主軸を含む複数軸の
位置同期プログラムを数値制御装置(1)にて作成する
ことにより、上記加工を実現できる。
(III)高分解能位置指令発生回路(20)が選択された
場合 まず、指令発生回路(17)の指令により指令切換スイ
ッチ(29)はcに選択され、同時に速度指令回路(30)
はgに選択される。
次に、高分解能位置指令発生回路(20)は、主軸
(7)の位置指令θr2 *を出力し、主軸駆動制御装置
(2)はθr2 *と高分解能位置検出回路(57)の出力θr
2との偏差に位置ループゲインKp2を乗算して速度指令ω
r2 *として与えることにより位置偏差を零とする制御を
行い、しかもωr2 *と速度検出回路(51)の出力ωrと
の偏差を零にする様に制御する。
即ち速度ループをマイナーループとして有する高分解能
位置ループを構成する。
このモードは、1/1000度程度の高精度を要するC軸運
転時において選択される。
具体的にC軸運転を行う場合の加工例を第7図に示
す。
図において、(45)は円形ワーク、(49)は回転工具
軸、(50)はドリルである。
同図において、(a)は高精度位置決め停止後、回転工
具軸により120°毎の穴加工を行う例、(b)はC軸を
回転させながら旋削加工を行う例、(c)はC軸と他軸
(X軸)とを位置同期させながら四角形を加工する例で
ある。
(c)の加工は基本的には第6図と同様の方法である
が、高精度仕上を目的とした加工に対して、このC軸運
転が使用される。
(IV)定位置停止指令発生回路(21)が選択された場合 まず、指令発生回路(17)の指令により指令切換スイ
ッチ(29)はdに選択され、同時に速度指令回路切換ス
イッチ(30)はhに選択される。
次に、定位置停止指令発生回路(21)は、定位置停止
シーケンス回路(25)にて自動的にシーケンス制御を行
い、速度検出回路(51)の出力ωrあるいは低分解能位
置回路(54)の出力θr1タイミングにより切換えて読み
込み、速度指令ωr3 *を与えることにより、定位置停止
を行う。
次に、そのシーケンスを説明する。
第8図は定位置停止のシーケンス図である。
図において、時刻toにおいて、数値制御装置(1)内
部の定位置停止指令発生回路(21)より定位置停止起動
指令ORCが出力(ON)されると、主軸駆動制御装置
(2)内部の定位置停止シーケンス回路(25)は、停止
位置指令θ0 *を読み込み記憶すると同時に、速度指令ω
r3 *としてオリエント速度指令V1 *例えば約200rpm指令を
出力する。
時刻t1において、実速度ωrはオリエント速度指令V1
*に到達する。
時刻t2において、プリアンプ回路(16)の出力である
Z相が低分解能位置回路(54)に入力した瞬間より位置
検出値θr1を検出開始する。
時刻t3において、θr1が予め設定された目標位置から
の偏差データθe1(第1減速点)に到達した瞬間に、定
位置停止シーケンス回路(25)は、速度指令ωr3 *とし
てクリープ速度指令v2 *例えば約30rpm指令に切り換え
る。
時刻t4において、実速度ωrはクリープ速度指令v2 *
に到達する。
時刻t5において、θr1が予め設定された目標位置から
の偏差データθe2(第2減速点)に到達した瞬間に、定
位置停止シーケンス回路(25)は、速度指令ωr3 *とし
て、 に切り換える。
時刻t6において、目標位置に到達し、θ0 *−θr1=0
となるので、式はωr3=0となり定位置停止が完了す
る。
この定位置停止モードは工具交換やノックピン挿入に
よる加工の為の位置決め等の目的で行われる。
尚、定位置停止指令ORC及びθ0 *については、第1図
及び第3図では省略した。
[発明の効果] 以上のように、検出体を主軸に直接取り付けることに
より、歯車等を介さずに機械構造を簡単にでき、主軸の
速度及び位置を精度良く検出できる。
そして、その検出の際に、センサにより検出した信号を
逓倍して、2相の正弦波、それぞれが2相の低分解能又
は高分解能の方形波といった複数の信号に成形している
ため、主軸に直接取り付ける検出体の外形が大きくなら
ず、機械構造を小型化できるとと共に、用途に応じて任
意の信号を波形成形及び選択することが可能となり、仕
様変更等に即対応できる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例を示す主軸及びC軸システム
構成図である。 第2図は本発明に係る検出器の仕様図である。 第3図は従来の主軸及びC軸システム構成図である。 第4図は本発明に係る制御ブロック図である。 第5図は本発明に係る検出器のプリアンプ回路内部構成
図である。 第6図は本発明に係る低分解能位置検出による加工例を
示す図である。 第7図は本発明に係る高分解能位置検出による加工例を
示す図である。 第8図は本発明に係る定位置停止シーケンス図、第9図
は速度検出の原理図である。 第10図は低分解能位置検出の原理図である。 第11図は高分解能位置検出の原理図である。 図において、(1)は数値制御装置、(2)は主軸駆動
制御装置、(7)は主軸、(11)はビルトイン主軸電動
機、(12)(14)は中空検出体、(13)(15)はセン
サ、(16)はプリアンプ回路である。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】主軸に直接取り付けた検出体と、 この検出体に対向する位置に設けられ、上記検出体の動
    きを検出するセンサと、 このセンサからの信号を取り込み、位相の異なる2相の
    正弦波を出力すると共に、上記センサからの信号を逓倍
    し、それぞれが位相の異なる2相づつの低分解能及び高
    分解能の方形波に波形成形する波形成形回路と、 この波形成形回路からの上記2相の正弦波を用いて上記
    主軸の速度を検出する速度検出手段と、 上記波形成形回路からの上記2相の低分解能の方形波を
    用いて低分解能で表した上記主軸の位置を検出し、上記
    2相の高分解能の方形波を用いて高分解能で表した上記
    主軸の位置を検出する位置検出手段と、 この位置検出手段及び上記速度検出手段からのデータに
    基づいて、上記主軸を制御する主軸駆動制御手段と、 を備えたことを特徴とする主軸位置・速度制御装置。
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