JP2691717B2 - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
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- JP2691717B2 JP2691717B2 JP62323290A JP32329087A JP2691717B2 JP 2691717 B2 JP2691717 B2 JP 2691717B2 JP 62323290 A JP62323290 A JP 62323290A JP 32329087 A JP32329087 A JP 32329087A JP 2691717 B2 JP2691717 B2 JP 2691717B2
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- Japan
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- lens
- cylindrical
- lenses
- scanning optical
- optical device
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
- G02B3/005—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along a single direction only, e.g. lenticular sheets
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、たとえばレーザー複写機やレーザービーム
プリンタ等に使用される走査光学装置に関する。 （従来の技術） 従来、この種の走査光学装置としては、たとえば第５
図に示すようなものがある。すなわち、100は複数のレ
ーザー光源であり、このレーザー光源100から出射され
た複数のレーザー光Ｌは、シリンドルカルレンズ101を
通り回転多面鏡102によって反射されて被走査体として
の感光体ドラム103側に偏向される。そして回転多面鏡1
02と感光体ドラム103間に設けられたｆ−θレンズ等の
結像レンズ群104を介してレーザー光Ｌを感光体ドラム1
03面上で回転軸方向に等速直線運動させるようになって
いる。 （発明が解決しようとする問題点） しかし斯かる従来技術にあっては、レーザー光源100
から出射される複数のレーザー光Ｌ…は、１つのシリン
ドリカルレンズ101および結像レンズ群104を通って感光
体ドラム103上に走査露光するようになっていた。その
ため各レーザー光Ｌ…は各レンズの光軸から若干ずれた
位置を通ることになり、レンズの収査等によって感光体
ドラム103上に結像されるレーザー光の走査精度が悪く
なるおそれがある。そこで各レンズをより高精度に加工
する必要があり、コストアップの原因ともなるという問
題があった。 本発明は上記した従来技術の問題点を解決するために
なされたもので、複数のレーザー光それぞれに対応させ
て別々のレンズを設けることにより、レンズの加工精度
要求を高めることなく、レーザー光の走査精度を高め得
る走査光学装置を提供することにある。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明にあっては、レー
ザ光源から出射された複数のレーザ光をそれぞれ縦方向
に縮め回転鏡に照射する複数のシリンドリカルレンズ
と、この複数のシリンドリカルレンズを保持するレンズ
保持部と、を有する走査光学装置において、前記レンズ
保持部は上下に複数の段を有する溝形状であり、前記複
数のシリンドリカルレンズを、前記レンズ保持部に対
し、上段側のシリンドリカルレンズが下段側のシリンド
リカルレンズよりも横方向に幅が拡くなるように配置
し、前記複数のシリンドリカルレンズは前記レンズ保持
部の段差面にそれぞれ位置決めすることを特徴とする。 （作 用） 而して光源から出射される各ビームは、それぞれ別個
のレンズを通って被走査体上に露光走査される。 （実施例） 以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明する。本
発明の第１実施例に係る走査光学装置を示す第１図およ
び第２図において、１は走査光学装置全体を示してい
る。この走査光学装置１は２段に段積みされた第1,第２
走査光学系A,Bを１つのハウジング（図示せず）に組付
けた構成となっている。すなわち、下段側の第１走査光
学系Ａについて説明すると、3Aは第１レーザー光源、４
はレーザー光を感光体ドラム等の被走査体５上に偏向走
査するための偏向手段としての回転多面鏡である。第１
レーザー光源3Aと回転多面鏡４との間にはレーザー光を
集光するための第１シリンドリカルレンズ6Aが配置さ
れ、一方、回転多面鏡４と被走査体５との間には、偏向
されたレーザー光を被走査体５上に等速直線運動をさせ
るための第１球面レンズ7Aおよび第１トーリックレンズ
8Aが配置されている。 また、第２走査光学系Ｂも、上記第１走査光学系Ａと
対応して第２レーザー光源3B、第２シリンドリカルレン
ズ6B、第２球面レンズ7Bおよび第２トーリックレンズ8B
とから構成され、それぞれ第１レーザー光源3A、第１シ
リンドリカルレンズ6A、第１球面レンズ7Aおよび第１ト
ーリックレンズ8A上に段重ねされており、回転多面鏡４
については第１走査光学系Ａと共通の構成となってい
る。 ここで上記第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6Bは、
ハウジング２に設けたレンズ保持部９に保持されてい
る。レンズ保持部９は、第1,第２レーザー光源3A,3Bと
回転多面鏡４間のレーザー光LA,LBの光路に対して直交
する縦壁10を設け、この縦壁10上端縁に上方が開いた段
付きの凹部11を形成することにより構成されている。凹
部11は横巾の狭い下段側の小径部11Aと、横巾の広い上
段側の大径部11Bとから構成されていて、小径部11Aと大
径部11Bとにそれぞれ第1,第２シリンドリカルレンズ6A,
6Bが光軸方向に沿って摺動可能に嵌合されている。すな
わち、上段側の第２シリンドリカルレンズ6Bは下段側の
第１シリンドリカルレンズ6Aよりも横巾が拡く、大径部
11Bと小径部11Aとの境界に形成される段差面11B1が上記
第２シリンドリカルレンズ6Bの基準座を構成するもの
で、この段差面11B1は下段側の第１シリンドリカルレン
ズ6A上面より上方に位置している。 而して凹部11下段側の小径部底面11A1が第１シリンド
リカルレンズ6Aの上下方向の基準座となり、さらに小径
両側壁11A2,11A2によって第１シリンドリカルレンズ6A
の左右方向の位置決めをするための基準面となる。一
方、凹部11上段側の大径部底面となる段差面11B1,11B1
が第２シリンドリカルレンズ6Bの上下方向の基準座とな
り、大径部両側壁11B2,11B2が第２シリンドリカルレン
ズ6Bの左右方向の位置決めをするための基準面となる。 上記構成の走査光学装置にあっては、第1,第２シリン
ドルカルレンズ6A,6Bのハウジング２への組付けは、ま
ず第１シリンドリカルレンズ6Aをレンズ保持部９の凹部
小径部11A内に落とし込み、第１シリンドリカルレンズ6
Aを小径部11A両側壁11A2,11A2に沿って小径部底面11A1
に突き当てる。これにより第１シリンドリカルレンズ6A
は上下，左右方向に位置決めされ、第１レーザー光源3A
との光軸合せが自動的に行なわれる。 つぎに下段側の第１レーザー光源3Aを発光させると共
に、第１シリンドリカルレンズ6Aを光軸方向に動かして
第１レーザー光源3Aと第１シリンドリカルレンズ6A間の
間隔を調整した後、接着剤を第１シリンドリカルレンズ
6Aの嵌合部に流し込むことにより接着固定する。 一方、第２シリンドリカルレンズ6Bは、凹部11の大径
部11Bに落とし込み、基準座となる段差面11B1にレンズ
下面を突き当てることにより上下，左右方向の位置決め
がなされ、さらに第２レーザー光源3Bを発光させて第２
シリンドリカルレンズ6Bを光軸方向に移動調整した後、
接着剤をレンズサイドに流し込むことにより接着固定す
る。この第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6Bの光軸方
向位置調整後の固定は、接着剤に限るものではなく、た
とえはバネ部材を用いてばね力により位置決め保持する
ようにしてもよい。 また、他の第1,第２球面レンズ7A,7B、第1,第２トー
リックレンズ8A,8Bについても、図示しないが、ハウジ
ングに下段側が横巾の狭い段付きの凹部を設けたレンズ
保持部を形成し、下段側の第１球面レンズ7Aおよび第１
トーリックレンズ8Aを落とし込み、上段側に第２球面レ
ンズ7Bおよび第２トーリックレンズ8Bを落としこむ構成
となっている。 このように第１実施例によれば、段付凹部11に第1,第
２シリンドリカルレンズ6A,6Bを上から落とし込むだけ
で第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6B上下左右方向の
位置決めが自動的に行なうことができるので、組付調整
が極めて容易となる。 第３図には本発明の参考例としての第２実施例が示さ
れている。上記した第１実施例と同一の構成部分につい
ては同一の符号を付して説明する。レンズ保持部９はハ
ウジングに設けたレンズ台12に凹部13を設け、この凹部
13の両側壁13a,13aにトーリックレンズ8A,8B両側端部が
取付けられる取付溝13b,13bを設けて構成しており、こ
の取付溝13b,13bがトーリックレンズ8A,8Bの位置決めを
する基準座となっている。この第２実施例では第1,第２
トーリックレンズ8A,8Bの横巾が同一であり、取付け方
向は第１実施例と異なり光軸方向にスライドさせて行な
う。その他の構成および作用については第１実施例と同
様であるので、説明を省略する。 第４図には本発明の参考例としての第３実施例が示さ
れている。本第３実施例についても第１実施例と同一の
構成部分については同一の符号を付して説明すると、こ
の第３実施例では第1,第２実施例と異なり、第1,第２シ
リンドリカルレンズ6A,6B、第1,第２球面レンズ7A,7Bお
よび第1,第２トーリックレンズ8A,8Bを直接積み重ねて
各レンズを接着固定したものである。したがって下段側
の第１シリンドリカルレンズ6A、第１球面レンズ7A、第
１トーリックレンズ8Aはハウジングに対して位置決めさ
れ、上段側の第２シリンドリカルレンズ6B、第２球面レ
ンズ7B、第２トーリックレンズ8Bは下段側の各レンズ6
A,7A,8Aに対して位置決め固定されることになる。 （発明の効果） 本発明は以上の構成および作用から成るもので、複数
のビームに対応してそれぞれ複数のレンズを重ねて配置
することにより、従来の複数のビームを１つのレンズに
通す場合のように、レンズの収差等の影響による走査精
度不良を無くすことができる。またレンズの加工精度の
精度要求も低くなり、コスト低減を図ることができる。
また、レンズ保持部は上下に複数の段を有する溝形状で
あり、複数のシリンドリカルレンズを、前記レンズ保持
部に対し、上段側のシリンドリカルレンズが下段側のシ
リンドリカルレンズよりも横方向に幅が拡くなるように
配置し、前記複数のシリンドリカルレンズは前記レンズ
保持部の段差面にそれぞれ位置決めするので、レンズの
位置決め面の加工及びレンズの組付調整が極めて容易に
なる。
プリンタ等に使用される走査光学装置に関する。 （従来の技術） 従来、この種の走査光学装置としては、たとえば第５
図に示すようなものがある。すなわち、100は複数のレ
ーザー光源であり、このレーザー光源100から出射され
た複数のレーザー光Ｌは、シリンドルカルレンズ101を
通り回転多面鏡102によって反射されて被走査体として
の感光体ドラム103側に偏向される。そして回転多面鏡1
02と感光体ドラム103間に設けられたｆ−θレンズ等の
結像レンズ群104を介してレーザー光Ｌを感光体ドラム1
03面上で回転軸方向に等速直線運動させるようになって
いる。 （発明が解決しようとする問題点） しかし斯かる従来技術にあっては、レーザー光源100
から出射される複数のレーザー光Ｌ…は、１つのシリン
ドリカルレンズ101および結像レンズ群104を通って感光
体ドラム103上に走査露光するようになっていた。その
ため各レーザー光Ｌ…は各レンズの光軸から若干ずれた
位置を通ることになり、レンズの収査等によって感光体
ドラム103上に結像されるレーザー光の走査精度が悪く
なるおそれがある。そこで各レンズをより高精度に加工
する必要があり、コストアップの原因ともなるという問
題があった。 本発明は上記した従来技術の問題点を解決するために
なされたもので、複数のレーザー光それぞれに対応させ
て別々のレンズを設けることにより、レンズの加工精度
要求を高めることなく、レーザー光の走査精度を高め得
る走査光学装置を提供することにある。 （問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本発明にあっては、レー
ザ光源から出射された複数のレーザ光をそれぞれ縦方向
に縮め回転鏡に照射する複数のシリンドリカルレンズ
と、この複数のシリンドリカルレンズを保持するレンズ
保持部と、を有する走査光学装置において、前記レンズ
保持部は上下に複数の段を有する溝形状であり、前記複
数のシリンドリカルレンズを、前記レンズ保持部に対
し、上段側のシリンドリカルレンズが下段側のシリンド
リカルレンズよりも横方向に幅が拡くなるように配置
し、前記複数のシリンドリカルレンズは前記レンズ保持
部の段差面にそれぞれ位置決めすることを特徴とする。 （作 用） 而して光源から出射される各ビームは、それぞれ別個
のレンズを通って被走査体上に露光走査される。 （実施例） 以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明する。本
発明の第１実施例に係る走査光学装置を示す第１図およ
び第２図において、１は走査光学装置全体を示してい
る。この走査光学装置１は２段に段積みされた第1,第２
走査光学系A,Bを１つのハウジング（図示せず）に組付
けた構成となっている。すなわち、下段側の第１走査光
学系Ａについて説明すると、3Aは第１レーザー光源、４
はレーザー光を感光体ドラム等の被走査体５上に偏向走
査するための偏向手段としての回転多面鏡である。第１
レーザー光源3Aと回転多面鏡４との間にはレーザー光を
集光するための第１シリンドリカルレンズ6Aが配置さ
れ、一方、回転多面鏡４と被走査体５との間には、偏向
されたレーザー光を被走査体５上に等速直線運動をさせ
るための第１球面レンズ7Aおよび第１トーリックレンズ
8Aが配置されている。 また、第２走査光学系Ｂも、上記第１走査光学系Ａと
対応して第２レーザー光源3B、第２シリンドリカルレン
ズ6B、第２球面レンズ7Bおよび第２トーリックレンズ8B
とから構成され、それぞれ第１レーザー光源3A、第１シ
リンドリカルレンズ6A、第１球面レンズ7Aおよび第１ト
ーリックレンズ8A上に段重ねされており、回転多面鏡４
については第１走査光学系Ａと共通の構成となってい
る。 ここで上記第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6Bは、
ハウジング２に設けたレンズ保持部９に保持されてい
る。レンズ保持部９は、第1,第２レーザー光源3A,3Bと
回転多面鏡４間のレーザー光LA,LBの光路に対して直交
する縦壁10を設け、この縦壁10上端縁に上方が開いた段
付きの凹部11を形成することにより構成されている。凹
部11は横巾の狭い下段側の小径部11Aと、横巾の広い上
段側の大径部11Bとから構成されていて、小径部11Aと大
径部11Bとにそれぞれ第1,第２シリンドリカルレンズ6A,
6Bが光軸方向に沿って摺動可能に嵌合されている。すな
わち、上段側の第２シリンドリカルレンズ6Bは下段側の
第１シリンドリカルレンズ6Aよりも横巾が拡く、大径部
11Bと小径部11Aとの境界に形成される段差面11B1が上記
第２シリンドリカルレンズ6Bの基準座を構成するもの
で、この段差面11B1は下段側の第１シリンドリカルレン
ズ6A上面より上方に位置している。 而して凹部11下段側の小径部底面11A1が第１シリンド
リカルレンズ6Aの上下方向の基準座となり、さらに小径
両側壁11A2,11A2によって第１シリンドリカルレンズ6A
の左右方向の位置決めをするための基準面となる。一
方、凹部11上段側の大径部底面となる段差面11B1,11B1
が第２シリンドリカルレンズ6Bの上下方向の基準座とな
り、大径部両側壁11B2,11B2が第２シリンドリカルレン
ズ6Bの左右方向の位置決めをするための基準面となる。 上記構成の走査光学装置にあっては、第1,第２シリン
ドルカルレンズ6A,6Bのハウジング２への組付けは、ま
ず第１シリンドリカルレンズ6Aをレンズ保持部９の凹部
小径部11A内に落とし込み、第１シリンドリカルレンズ6
Aを小径部11A両側壁11A2,11A2に沿って小径部底面11A1
に突き当てる。これにより第１シリンドリカルレンズ6A
は上下，左右方向に位置決めされ、第１レーザー光源3A
との光軸合せが自動的に行なわれる。 つぎに下段側の第１レーザー光源3Aを発光させると共
に、第１シリンドリカルレンズ6Aを光軸方向に動かして
第１レーザー光源3Aと第１シリンドリカルレンズ6A間の
間隔を調整した後、接着剤を第１シリンドリカルレンズ
6Aの嵌合部に流し込むことにより接着固定する。 一方、第２シリンドリカルレンズ6Bは、凹部11の大径
部11Bに落とし込み、基準座となる段差面11B1にレンズ
下面を突き当てることにより上下，左右方向の位置決め
がなされ、さらに第２レーザー光源3Bを発光させて第２
シリンドリカルレンズ6Bを光軸方向に移動調整した後、
接着剤をレンズサイドに流し込むことにより接着固定す
る。この第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6Bの光軸方
向位置調整後の固定は、接着剤に限るものではなく、た
とえはバネ部材を用いてばね力により位置決め保持する
ようにしてもよい。 また、他の第1,第２球面レンズ7A,7B、第1,第２トー
リックレンズ8A,8Bについても、図示しないが、ハウジ
ングに下段側が横巾の狭い段付きの凹部を設けたレンズ
保持部を形成し、下段側の第１球面レンズ7Aおよび第１
トーリックレンズ8Aを落とし込み、上段側に第２球面レ
ンズ7Bおよび第２トーリックレンズ8Bを落としこむ構成
となっている。 このように第１実施例によれば、段付凹部11に第1,第
２シリンドリカルレンズ6A,6Bを上から落とし込むだけ
で第1,第２シリンドリカルレンズ6A,6B上下左右方向の
位置決めが自動的に行なうことができるので、組付調整
が極めて容易となる。 第３図には本発明の参考例としての第２実施例が示さ
れている。上記した第１実施例と同一の構成部分につい
ては同一の符号を付して説明する。レンズ保持部９はハ
ウジングに設けたレンズ台12に凹部13を設け、この凹部
13の両側壁13a,13aにトーリックレンズ8A,8B両側端部が
取付けられる取付溝13b,13bを設けて構成しており、こ
の取付溝13b,13bがトーリックレンズ8A,8Bの位置決めを
する基準座となっている。この第２実施例では第1,第２
トーリックレンズ8A,8Bの横巾が同一であり、取付け方
向は第１実施例と異なり光軸方向にスライドさせて行な
う。その他の構成および作用については第１実施例と同
様であるので、説明を省略する。 第４図には本発明の参考例としての第３実施例が示さ
れている。本第３実施例についても第１実施例と同一の
構成部分については同一の符号を付して説明すると、こ
の第３実施例では第1,第２実施例と異なり、第1,第２シ
リンドリカルレンズ6A,6B、第1,第２球面レンズ7A,7Bお
よび第1,第２トーリックレンズ8A,8Bを直接積み重ねて
各レンズを接着固定したものである。したがって下段側
の第１シリンドリカルレンズ6A、第１球面レンズ7A、第
１トーリックレンズ8Aはハウジングに対して位置決めさ
れ、上段側の第２シリンドリカルレンズ6B、第２球面レ
ンズ7B、第２トーリックレンズ8Bは下段側の各レンズ6
A,7A,8Aに対して位置決め固定されることになる。 （発明の効果） 本発明は以上の構成および作用から成るもので、複数
のビームに対応してそれぞれ複数のレンズを重ねて配置
することにより、従来の複数のビームを１つのレンズに
通す場合のように、レンズの収差等の影響による走査精
度不良を無くすことができる。またレンズの加工精度の
精度要求も低くなり、コスト低減を図ることができる。
また、レンズ保持部は上下に複数の段を有する溝形状で
あり、複数のシリンドリカルレンズを、前記レンズ保持
部に対し、上段側のシリンドリカルレンズが下段側のシ
リンドリカルレンズよりも横方向に幅が拡くなるように
配置し、前記複数のシリンドリカルレンズは前記レンズ
保持部の段差面にそれぞれ位置決めするので、レンズの
位置決め面の加工及びレンズの組付調整が極めて容易に
なる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例に係る走査光学装置のシリ
ンドリカルレンズ取付部の斜視図、第２図は第１図の走
査光学装置の原理的構成を示す斜視図、第３図は本発明
の参考例としての第２実施例に係る走査光学装置の概略
構成を示す斜視図、第４図は本発明参考例としてのの第
３実施例に係る走査光学装置の概略構成を示す斜視図、
第５図は従来の走査光学装置の概略構成を示す斜視図で
ある。 符号の説明 １……走査光学装置、２……ハウジング 3A,3B……第1,第２レーザー光源 ４……回転多面鏡、５……被走査体 6A,6B……第1,第２シリンドリカルレンズ 7A,7B……第1,第２球面レンズ 8A,8B……第1,第２トーリックレンズ ９……レンズ保持部、10……縦壁 11……凹部、11A……小径部 11B……大径部 11A1……底面（基準部） 11A2……側壁（基準部） 11B1……段差面（基準部） 12……レンズ台、13……凹部 13b……取付溝（基準部）
ンドリカルレンズ取付部の斜視図、第２図は第１図の走
査光学装置の原理的構成を示す斜視図、第３図は本発明
の参考例としての第２実施例に係る走査光学装置の概略
構成を示す斜視図、第４図は本発明参考例としてのの第
３実施例に係る走査光学装置の概略構成を示す斜視図、
第５図は従来の走査光学装置の概略構成を示す斜視図で
ある。 符号の説明 １……走査光学装置、２……ハウジング 3A,3B……第1,第２レーザー光源 ４……回転多面鏡、５……被走査体 6A,6B……第1,第２シリンドリカルレンズ 7A,7B……第1,第２球面レンズ 8A,8B……第1,第２トーリックレンズ ９……レンズ保持部、10……縦壁 11……凹部、11A……小径部 11B……大径部 11A1……底面（基準部） 11A2……側壁（基準部） 11B1……段差面（基準部） 12……レンズ台、13……凹部 13b……取付溝（基準部）
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．レーザ光源から出射された複数のレーザ光をそれぞ
れ縦方向に縮め回転鏡に照射する複数のシリンドリカル
レンズと、この複数のシリンドリカルレンズを保持する
レンズ保持部と、を有する走査光学装置において、 前記レンズ保持部は上下に複数の段を有する溝形状であ
り、前記複数のシリンドリカルレンズを、前記レンズ保
持部に対し、上段側のシリンドリカルレンズが下段側の
シリンドリカルレンズよりも横方向に幅が拡くなるよう
に配置し、 前記複数のシリンドリカルレンズは前記レンズ保持部の
段差面にそれぞれ位置決めすることを特徴とする走査光
学装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62323290A JP2691717B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 走査光学装置 |
| US07/286,851 US4962983A (en) | 1987-12-21 | 1988-12-20 | Laser optical apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62323290A JP2691717B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 走査光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01164917A JPH01164917A (ja) | 1989-06-29 |
| JP2691717B2 true JP2691717B2 (ja) | 1997-12-17 |
Family
ID=18153133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62323290A Expired - Fee Related JP2691717B2 (ja) | 1987-12-21 | 1987-12-21 | 走査光学装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4962983A (ja) |
| JP (1) | JP2691717B2 (ja) |
Families Citing this family (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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