JP5881382B2 - レーザ照射装置 - Google Patents
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Description
相互に直交するX方向及びY方向に配列し、Z方向にレーザビームを出射する複数のレーザ出射面を含む光源と、
前記X方向に並ぶ前記レーザ出射面の列に対応して配置され、対応する列の前記レーザ出射面から出射したレーザビームを、YZ面内において平行光線束にする第1のシリンドリカルレンズと、
前記第1のシリンドリカルレンズを透過した複数のレーザビームが入射し、前記複数のレーザビームを、X方向に長い長尺領域に重ね合わせる第2のシリンドリカルレンズと、
前記複数の光学部材を支持するレンズホルダと
を有し、
前記第2のシリンドリカルレンズは、X方向に配列された複数の光学部材を含み、前記光学部材の各々は、X方向に平行な母線からなる柱面と、鏡面研磨されたX方向に垂直な端面とを含み、相互に隣り合う前記光学部材は、前記端面同士が密着しており、
前記レンズホルダは、X方向に配列した前記光学部材の列にX方向の圧縮力を印加する加圧機構を有し、
前記レンズホルダは、さらに、前記光学部材の各々に対して設けられたZ方向微調機構を有し、前記Z方向微調機構は、対応する前記光学部材のZ方向の位置、及びX方向に平行な方向を回転中心とした回転方向の姿勢を微調整するレーザ照射装置が提供される。
11 光ファイバ
12 第1のシリンドリカルレンズ
13 レーザ光源
14 光学部材
14A 入射側の表面
14B 出射側の表面
14C 側面
14D 端面
15 基板
16 線状領域
17 レーザビームが重なる位置
18 レーザ出射面
20 テーブル
21 XYステージ
30 レンズホルダ
30A 枠
30B 張り出し部
31 加圧機構(コイルばね)
32 Y方向微調機構
33 Z方向微調機構
34 押さえ機構
Claims (2)
- 相互に直交するX方向及びY方向に配列し、Z方向にレーザビームを出射する複数のレーザ出射面を含む光源と、
前記X方向に並ぶ前記レーザ出射面の列に対応して配置され、対応する列の前記レーザ出射面から出射したレーザビームを、YZ面内において平行光線束にする第1のシリンドリカルレンズと、
前記第1のシリンドリカルレンズを透過した複数のレーザビームが入射し、前記複数のレーザビームを、X方向に長い長尺領域に重ね合わせる第2のシリンドリカルレンズと、
前記複数の光学部材を支持するレンズホルダと
を有し、
前記第2のシリンドリカルレンズは、X方向に配列された複数の光学部材を含み、前記光学部材の各々は、X方向に平行な母線からなる柱面と、鏡面研磨されたX方向に垂直な端面とを含み、相互に隣り合う前記光学部材は、前記端面同士が密着しており、
前記レンズホルダは、X方向に配列した前記光学部材の列にX方向の圧縮力を印加する加圧機構を有し、
前記レンズホルダは、さらに、前記光学部材の各々に対して設けられたZ方向微調機構を有し、前記Z方向微調機構は、対応する前記光学部材のZ方向の位置、及びX方向に平行な方向を回転中心とした回転方向の姿勢を微調整するレーザ照射装置。 - 前記レンズホルダは、前記光学部材の各々に対して設けられたY方向微調機構を有し、前記Y方向微調機構は、対応する前記光学部材のY方向の位置を微調整する請求項1に記載のレーザ照射装置。
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JP2011249702A JP5881382B2 (ja) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | レーザ照射装置 |
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