JP2642986B2 - 熱式流量センサ - Google Patents
熱式流量センサInfo
- Publication number
- JP2642986B2 JP2642986B2 JP1075430A JP7543089A JP2642986B2 JP 2642986 B2 JP2642986 B2 JP 2642986B2 JP 1075430 A JP1075430 A JP 1075430A JP 7543089 A JP7543089 A JP 7543089A JP 2642986 B2 JP2642986 B2 JP 2642986B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow sensor
- thin film
- round bar
- resistor
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、熱式流量センサに関する。
（従来の技術） 熱式流量センサは、測定する流体中に、第６図に示す
如く発熱式抵抗体１及び測温抵抗体２として流体管３を
貫通してセットするもので、この発熱式抵抗体１及び測
温抵抗体２は、一般にPtワイヤーより成る。測温抵抗体
２の場合は、第７図に示す如く絶縁丸棒４にPtワイワー
５を巻き付けて使用している。また第８図に示す如く絶
縁平板６上にPt薄膜回路７を形成して発熱式抵抗体、測
温抵抗体としているものもある。
如く発熱式抵抗体１及び測温抵抗体２として流体管３を
貫通してセットするもので、この発熱式抵抗体１及び測
温抵抗体２は、一般にPtワイヤーより成る。測温抵抗体
２の場合は、第７図に示す如く絶縁丸棒４にPtワイワー
５を巻き付けて使用している。また第８図に示す如く絶
縁平板６上にPt薄膜回路７を形成して発熱式抵抗体、測
温抵抗体としているものもある。
（発明が解決しようとする課題） ところで、Ptワイヤー５を使用した場合、線が細い
為、組立中に断線してしまうものである。しかもPtワイ
ヤー５の出力端子を流体管３の外部へ取出す為のシール
が困難である。その上Ptワイヤー５の絶縁丸棒４にスパ
イラルに巻き付けた場合、両者の接触具合により熱の流
入、流出が、起こり、出力が不安定となる。
為、組立中に断線してしまうものである。しかもPtワイ
ヤー５の出力端子を流体管３の外部へ取出す為のシール
が困難である。その上Ptワイヤー５の絶縁丸棒４にスパ
イラルに巻き付けた場合、両者の接触具合により熱の流
入、流出が、起こり、出力が不安定となる。
また絶縁平板６上にPt薄膜回路７を形成した場合、流
体管３内にセットすることは乱流を生じる為難しい。し
かもPt薄膜回路７の出力端子を流体管３の外部へ取出す
為のシールが困難である。
体管３内にセットすることは乱流を生じる為難しい。し
かもPt薄膜回路７の出力端子を流体管３の外部へ取出す
為のシールが困難である。
そこで本発明は、組立中断線が無く、流体管に対する
シールが容易であり、絶縁丸棒に対するPtの接触が完全
で、熱の流入、流出が生ぜず出力が安定する熱式流量セ
ンサを提供しようとするものである。
シールが容易であり、絶縁丸棒に対するPtの接触が完全
で、熱の流入、流出が生ぜず出力が安定する熱式流量セ
ンサを提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するための本発明の熱式流量センサ
は、発熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上の中央
に形成され且つ抵抗値が所定値にトリミングされたPt薄
膜であり、絶縁丸棒の両端部全周には前記Pt薄膜に接続
して出力端子用のPtの薄膜が形成されていることを特徴
とするものである。
は、発熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上の中央
に形成され且つ抵抗値が所定値にトリミングされたPt薄
膜であり、絶縁丸棒の両端部全周には前記Pt薄膜に接続
して出力端子用のPtの薄膜が形成されていることを特徴
とするものである。
（作用） 上記の如く構成された本発明の熱式流量センサは、発
熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上に形成された
Pt薄膜であるので、Ptワイヤーの場合のように組立中に
断線することが無い。また絶縁丸棒を流体管内に貫通で
きるので、流体管に対するシール部分はPtワイヤーと違
って太い為、Ｏリング等によりシールが容易にできる。
さらに絶縁丸棒上にPt薄膜がコーティングにより形成さ
れているので、両者の接触は完全で熱の流入、流出が無
いので、出力が安定する。また絶縁丸棒の両端部全周の
出力端子用のPt薄膜に、半田付又はコネクター方式のい
ずれの手段によって出力を取出すことができる。
熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上に形成された
Pt薄膜であるので、Ptワイヤーの場合のように組立中に
断線することが無い。また絶縁丸棒を流体管内に貫通で
きるので、流体管に対するシール部分はPtワイヤーと違
って太い為、Ｏリング等によりシールが容易にできる。
さらに絶縁丸棒上にPt薄膜がコーティングにより形成さ
れているので、両者の接触は完全で熱の流入、流出が無
いので、出力が安定する。また絶縁丸棒の両端部全周の
出力端子用のPt薄膜に、半田付又はコネクター方式のい
ずれの手段によって出力を取出すことができる。
（実施例） 本発明の熱式流量センサの一実施例を図によって説明
すると、第１図に示す如く直径1mm、長さ30mmのAl2O396
％の絶縁丸棒10の中央部に長さ10.0mm、幅0.1mmのライ
ン幅を残して全周をメタルマスクした上、DCマグネトロ
ン1KWでPtをスパッタリングにより、3,000Åコーティン
グして、第２図に示す如くPt薄膜ライン11を形成し、次
にこのPt薄膜ライン11を両端部を2.5mmづつ残し、絶縁
丸棒10の中央部をメタルマスクした上、DCマグネトロン
1KWでPtをスパッタリングにより１μｍコーティングし
て第３図に示す如くPt薄膜の出力端子部12を形成し、次
いで大気中にて1,200℃、１時間熱処理し、然る後絶縁
丸棒10の中央部のPt薄膜ライン11をレーザーにて抵抗値
をトリミングしてＲ＝50Ωとし、第４図に示す如く長さ
5mm、幅100μｍの発熱式抵抗体及び測温抵抗体13となし
た。
すると、第１図に示す如く直径1mm、長さ30mmのAl2O396
％の絶縁丸棒10の中央部に長さ10.0mm、幅0.1mmのライ
ン幅を残して全周をメタルマスクした上、DCマグネトロ
ン1KWでPtをスパッタリングにより、3,000Åコーティン
グして、第２図に示す如くPt薄膜ライン11を形成し、次
にこのPt薄膜ライン11を両端部を2.5mmづつ残し、絶縁
丸棒10の中央部をメタルマスクした上、DCマグネトロン
1KWでPtをスパッタリングにより１μｍコーティングし
て第３図に示す如くPt薄膜の出力端子部12を形成し、次
いで大気中にて1,200℃、１時間熱処理し、然る後絶縁
丸棒10の中央部のPt薄膜ライン11をレーザーにて抵抗値
をトリミングしてＲ＝50Ωとし、第４図に示す如く長さ
5mm、幅100μｍの発熱式抵抗体及び測温抵抗体13となし
た。
こうして製作した熱式流量センサ14は、第５図に示す
如く流体管３に発熱式抵抗体及び測温抵抗体として２本
貫通セットと、貫通部をＯリング15にてシールする。そ
して夫々の熱式流量センサ14の両出力端子取出部12に端
子16を半田付けして、流体の流量測定に使用する。
如く流体管３に発熱式抵抗体及び測温抵抗体として２本
貫通セットと、貫通部をＯリング15にてシールする。そ
して夫々の熱式流量センサ14の両出力端子取出部12に端
子16を半田付けして、流体の流量測定に使用する。
この流体の測定に於いて、熱式流量センサ14の絶縁丸
棒10の中央部にコーティグにより形成されているPt薄膜
の発熱式抵抗体及び測温抵抗体13は、絶縁丸棒10に対す
る接触が完全で、熱の流入、流出が無いので、出力が安
定し、正確な流量測定ができる。
棒10の中央部にコーティグにより形成されているPt薄膜
の発熱式抵抗体及び測温抵抗体13は、絶縁丸棒10に対す
る接触が完全で、熱の流入、流出が無いので、出力が安
定し、正確な流量測定ができる。
尚、本発明の熱式流量センサ14は、その製作に於いて
メタルマスクを使用せず、Ptを絶縁丸棒10全体にコーテ
ィングした後、レーザートリミングにて所定の部分に所
定の抵抗値を得るようにしても良い。またPt薄膜を形成
する手段としてはスパッタリングに限るものではなく、
真空蒸着でも良く、或いはPtオルガノメタルインクによ
る印刷焼成によるものでも良い。
メタルマスクを使用せず、Ptを絶縁丸棒10全体にコーテ
ィングした後、レーザートリミングにて所定の部分に所
定の抵抗値を得るようにしても良い。またPt薄膜を形成
する手段としてはスパッタリングに限るものではなく、
真空蒸着でも良く、或いはPtオルガノメタルインクによ
る印刷焼成によるものでも良い。
（発明の効果） 以上の説明で判るように本発明の熱式流量センサは、
発熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上に形成され
たPt薄膜であるので、組立中に断線することが無く、ま
た絶縁丸棒を流体管内に貫通するので、流体管に対する
シールが容易であり、さらに絶縁丸棒に対する発熱式抵
抗体及び測温抵抗体としてのPt薄膜の接触が完全で、熱
の流入、流出が生ぜず、出力が安定し、正確な流体の流
量測定ができる。
発熱式抵抗体及び測温抵抗体が、絶縁丸棒上に形成され
たPt薄膜であるので、組立中に断線することが無く、ま
た絶縁丸棒を流体管内に貫通するので、流体管に対する
シールが容易であり、さらに絶縁丸棒に対する発熱式抵
抗体及び測温抵抗体としてのPt薄膜の接触が完全で、熱
の流入、流出が生ぜず、出力が安定し、正確な流体の流
量測定ができる。
第１図乃至第４図は本発明の熱式流量センサの一実施例
の製作工程を示す図、第５図はこの熱式流量センサを発
熱抵抗体及び測温抵抗体として流体管に２本貫通セット
した状態を示す図、第６図は従来の熱式流量センサの使
用方法を示す図、第７図及び第８図は夫々従来の熱式流
量センサの例を示す図である。
の製作工程を示す図、第５図はこの熱式流量センサを発
熱抵抗体及び測温抵抗体として流体管に２本貫通セット
した状態を示す図、第６図は従来の熱式流量センサの使
用方法を示す図、第７図及び第８図は夫々従来の熱式流
量センサの例を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】熱式流量センサに於いて、発熱式抵抗体及
び測温抵抗体が、絶縁丸棒上の中央に形成され且つ抵抗
値が所定値にトリミングされたPt薄膜であり、絶縁丸棒
の両端部全周には前記Pt薄膜に接続して出力端子用のPt
の薄膜が形成されていることを特徴とする熱式流量セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1075430A JP2642986B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 熱式流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1075430A JP2642986B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02253120A JPH02253120A (ja) | 1990-10-11 |
| JP2642986B2 true JP2642986B2 (ja) | 1997-08-20 |
Family
ID=13575997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1075430A Expired - Lifetime JP2642986B2 (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 熱式流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2642986B2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP1075430A patent/JP2642986B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02253120A (ja) | 1990-10-11 |
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