JP2630986B2 - アルカリ可溶性オルガノポリシロキサン - Google Patents
アルカリ可溶性オルガノポリシロキサンInfo
- Publication number
- JP2630986B2 JP2630986B2 JP63121426A JP12142688A JP2630986B2 JP 2630986 B2 JP2630986 B2 JP 2630986B2 JP 63121426 A JP63121426 A JP 63121426A JP 12142688 A JP12142688 A JP 12142688A JP 2630986 B2 JP2630986 B2 JP 2630986B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- mol
- organopolysiloxane
- added
- alkali
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/075—Silicon-containing compounds
- G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/04—Polysiloxanes
- C08G77/14—Polysiloxanes containing silicon bound to oxygen-containing groups
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、新規なアルカリ可溶性オルガノポリシロキ
サンに関するものである。
サンに関するものである。
［従来の技術］ 従来、アルカリ可溶性オルガノポリシロキサンとして
は、特開昭61−256347号公報に記載された直鎖状フェノ
ール官能性オルガノポリシロキサン、また特開昭62−96
526号公報に記載されたポリオルガノシルセスキオキサ
ンが知られている。
は、特開昭61−256347号公報に記載された直鎖状フェノ
ール官能性オルガノポリシロキサン、また特開昭62−96
526号公報に記載されたポリオルガノシルセスキオキサ
ンが知られている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら１分子中に、ヒドロキシフェニル基を有
する１官能性トリオルガノシロキサン単位と４官能性シ
ロキサン単位の両方を有するアルカリ可溶性オルガノポ
リシロキサンは、未だに知られていない。
する１官能性トリオルガノシロキサン単位と４官能性シ
ロキサン単位の両方を有するアルカリ可溶性オルガノポ
リシロキサンは、未だに知られていない。
本発明は、文献未記録の新規なアルカリ可溶性オルガ
ノポリシロキサンを提供することを目的とする。
ノポリシロキサンを提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段とその作用］ 上記した目的は、一般式 ［式中、Ａはヒドロキシフェニル基、Ｒは炭素数１〜４
のアルキレン基、ｎは０または１、R1は炭素数１〜４の
アルキル基、x,zは正の数であり、ｙは０または正の数
であって、0.3≦（ｘ＋ｙ）/z≦４かつ０≦y/x≦５であ
る］で表され、分子量が500〜500,000であるアルカリ可
溶性オルガノポリシロキサンにより達成される。
のアルキレン基、ｎは０または１、R1は炭素数１〜４の
アルキル基、x,zは正の数であり、ｙは０または正の数
であって、0.3≦（ｘ＋ｙ）/z≦４かつ０≦y/x≦５であ
る］で表され、分子量が500〜500,000であるアルカリ可
溶性オルガノポリシロキサンにより達成される。
これを説明するに、前記した式中、Ａはヒドロキシフ
ェニル基であり、これにはオルトヒドロキシフェニル
基、メタヒドロキシフェニル基、パラヒドロキシフェニ
ル基、2,3−ジヒドロキシフェニル基、2,4−ジヒドロキ
シフェニル基、3,4−ジヒドロキシフェニル基、3,5−ジ
ヒドロキシフェニル基が例示される。１分子中のＡは同
種であってよく、また２種以上の異種の組み合わせであ
ってもよい。Ｒは炭素数１〜４のアルキレン基であり、
これには、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン
基、ｉ−ピロピレン基、ｎ−ブチレン基、ｉ−ブチレン
基が例示される。ｎは０または１である。
ェニル基であり、これにはオルトヒドロキシフェニル
基、メタヒドロキシフェニル基、パラヒドロキシフェニ
ル基、2,3−ジヒドロキシフェニル基、2,4−ジヒドロキ
シフェニル基、3,4−ジヒドロキシフェニル基、3,5−ジ
ヒドロキシフェニル基が例示される。１分子中のＡは同
種であってよく、また２種以上の異種の組み合わせであ
ってもよい。Ｒは炭素数１〜４のアルキレン基であり、
これには、メチレン基、エチレン基、ｎ−プロピレン
基、ｉ−ピロピレン基、ｎ−ブチレン基、ｉ−ブチレン
基が例示される。ｎは０または１である。
R1は炭素数１〜４のアルキル基であり、これには、メ
チル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、
ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基が例示される。１分子中の
R1は同種であってよく、また２種以上の異種の組み合わ
せであってよい。
チル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、
ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基が例示される。１分子中の
R1は同種であってよく、また２種以上の異種の組み合わ
せであってよい。
またx,zは正の数であり、ｙは０または正の数であっ
て、0.3≦（ｘ＋ｙ）/z≦４かつ０≦y/x≦５であること
が必要である。これは、x,yおよびｚがこれらの範囲を
外れると、合成し難くなったり、アルカリ可溶性となら
ないためである。x,yおよびｚが、0.4≦（ｘ＋ｙ）/z≦
1.2かつ０≦y/x≦５を満たす場合には、本発明のオルガ
ノポリシロキサンは室温において固体となる。
て、0.3≦（ｘ＋ｙ）/z≦４かつ０≦y/x≦５であること
が必要である。これは、x,yおよびｚがこれらの範囲を
外れると、合成し難くなったり、アルカリ可溶性となら
ないためである。x,yおよびｚが、0.4≦（ｘ＋ｙ）/z≦
1.2かつ０≦y/x≦５を満たす場合には、本発明のオルガ
ノポリシロキサンは室温において固体となる。
また分子量は500〜500,000である。これはこの範囲を
外れると合成し難くなるためである。
外れると合成し難くなるためである。
本発明のオルガノポリシロキサンにおける式 SiO4/2 で示される４官能性シロキサン単位の結合は、他の式 SiO4/2 で示される４官能性シロキサン単位、一般式 （式中、A,R,R1およびｎは前記と同じ）で示される１官
能性シロキサン単位、一般式 （R1は前記と同じ）で示される１官能性シロキサン単位
のいずれが結合していてよい。また、本発明オルガノポ
リシロキサンは、製造過程で残存する若干の水酸基、ア
ルコキシ基、ハロゲン原子などを含んでも構わない。
能性シロキサン単位、一般式 （R1は前記と同じ）で示される１官能性シロキサン単位
のいずれが結合していてよい。また、本発明オルガノポ
リシロキサンは、製造過程で残存する若干の水酸基、ア
ルコキシ基、ハロゲン原子などを含んでも構わない。
本発明のアルカリ可溶性オルガノポリシロキサンを得
るには、一般式 （式中、A,R,R1およびｎは前記と同じ、Ｍは加水分解性
基）で示される加水分解性基含有オルガノシランｘモ
ル、一般式 （R1およびＭは前記と同じ）で示される加水分解性基含
有オルガノシランｙモルおよび一般式 SiM4 （式中、Ｍは前記と同じ）で示される加水分解性シラン
ｚモルを（ただしx,yおよびｚは前記と同じ）、共加水
分解、縮合反応させるか、 一般式 （式中、A,R,R1およびｎは前記と同じ、Ｍは加水分解性
基）で示される加水分解性基含有オルガノシラン中のヒ
ドロキシフェニル基の水酸基をメチル基、エトキシエチ
ル基、ｔ−ブチル基のようなアルキル基；アセチル基の
ようなアシル基；トリメチルシリル基、ｔ−ブチルジメ
チルシリル基のようなトリアルキルシリル基で保護した
ものを式（１）のオルガノシランに代えて共加水分解、
縮合反応させることにより得られる。なおトリアルキル
シリル基で保護した場合には、該トリアルキルシリル基
が加水分解して、一般式 （R1は前記と同じ）で示される１官能性シロキサン単位
として本発明のオルガノポリシロキサン中に取り込まれ
る。
るには、一般式 （式中、A,R,R1およびｎは前記と同じ、Ｍは加水分解性
基）で示される加水分解性基含有オルガノシランｘモ
ル、一般式 （R1およびＭは前記と同じ）で示される加水分解性基含
有オルガノシランｙモルおよび一般式 SiM4 （式中、Ｍは前記と同じ）で示される加水分解性シラン
ｚモルを（ただしx,yおよびｚは前記と同じ）、共加水
分解、縮合反応させるか、 一般式 （式中、A,R,R1およびｎは前記と同じ、Ｍは加水分解性
基）で示される加水分解性基含有オルガノシラン中のヒ
ドロキシフェニル基の水酸基をメチル基、エトキシエチ
ル基、ｔ−ブチル基のようなアルキル基；アセチル基の
ようなアシル基；トリメチルシリル基、ｔ−ブチルジメ
チルシリル基のようなトリアルキルシリル基で保護した
ものを式（１）のオルガノシランに代えて共加水分解、
縮合反応させることにより得られる。なおトリアルキル
シリル基で保護した場合には、該トリアルキルシリル基
が加水分解して、一般式 （R1は前記と同じ）で示される１官能性シロキサン単位
として本発明のオルガノポリシロキサン中に取り込まれ
る。
ここで、上記した式中、Ｍの加水分解性基としては塩
素原子、臭素原子のようなハロゲン原子、メトキシ基、
エトキシ基、イソプロポキシ基、メトキシエトキシ基の
ようなアルコキシ基、アセトキシ基のようなアシロキシ
基が例示される。
素原子、臭素原子のようなハロゲン原子、メトキシ基、
エトキシ基、イソプロポキシ基、メトキシエトキシ基の
ようなアルコキシ基、アセトキシ基のようなアシロキシ
基が例示される。
共加水分解時に、他の溶媒を併用してよく、これに
は、ベンゼン、トルエン、キシレンのような芳香族系炭
化水素溶媒、メタノール、エタノールのようなアルコー
ル溶媒、アセトンのようなケトン溶媒、塩素化炭化水素
溶媒などが例示される。共加水分解、縮合反応を促進さ
せるために、塩酸、硫酸、燐酸、硝酸、酢酸のような酸
性触媒；水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リ
チウム、アンモニア、アミンのようなアルカリ性触媒を
併用してもよい。
は、ベンゼン、トルエン、キシレンのような芳香族系炭
化水素溶媒、メタノール、エタノールのようなアルコー
ル溶媒、アセトンのようなケトン溶媒、塩素化炭化水素
溶媒などが例示される。共加水分解、縮合反応を促進さ
せるために、塩酸、硫酸、燐酸、硝酸、酢酸のような酸
性触媒；水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リ
チウム、アンモニア、アミンのようなアルカリ性触媒を
併用してもよい。
本発明のオルガノポリシロキサンは、１官能性シロキ
サン単位と、４官能シロキサン単位のモル比を変えるだ
けで、分子量、軟化点、ヒドロキシフェニル基の量、ア
ルカリ可溶性の度合等を自由に制御できる。また本発明
のオルガノポリシロキサンは、水酸化ナトリウム水溶
液、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液のようなア
ルカリ性水溶液に可溶であり、また炭化水素溶媒、芳香
族系炭化水素溶媒、塩素化炭化水素溶媒、アルコール溶
媒、エーテル溶媒、アミド溶媒、ケトン溶媒、エステル
溶媒、セロソルブ溶媒のような各種有機溶媒に可溶であ
る。したがって、LSI製造時における微細加工に用いる
アルカリ現像レジスト材料等への応用が期待できる。
サン単位と、４官能シロキサン単位のモル比を変えるだ
けで、分子量、軟化点、ヒドロキシフェニル基の量、ア
ルカリ可溶性の度合等を自由に制御できる。また本発明
のオルガノポリシロキサンは、水酸化ナトリウム水溶
液、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液のようなア
ルカリ性水溶液に可溶であり、また炭化水素溶媒、芳香
族系炭化水素溶媒、塩素化炭化水素溶媒、アルコール溶
媒、エーテル溶媒、アミド溶媒、ケトン溶媒、エステル
溶媒、セロソルブ溶媒のような各種有機溶媒に可溶であ
る。したがって、LSI製造時における微細加工に用いる
アルカリ現像レジスト材料等への応用が期待できる。
［実施例］ 次に本発明を実施例により説明する。実施例中、Meは
メチル基を意味する。
メチル基を意味する。
参考例１ （１）ｍ−イソプロペニルフェニルトリメチルシリルエ
ーテルの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコにｍ−イソプロペニルフェノール134.2g
（1.0モル）を投入し、70℃に加熱撹拌しながら、滴下
ロートよりヘキサメチルジシラザン96.8g（0.6モル）を
滴下した。同時にアンモニアが発生した。滴下終了後、
70℃で約２時間撹拌を続けた後、減圧蒸留し、目的物を
202g（0.98モル）得た。収率は98％であった。なお生成
物の物性は、次の通りであり、ｍ−イソプロペニルフェ
ニルトリメチルシリルエーテルであることを確認した。
ーテルの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコにｍ−イソプロペニルフェノール134.2g
（1.0モル）を投入し、70℃に加熱撹拌しながら、滴下
ロートよりヘキサメチルジシラザン96.8g（0.6モル）を
滴下した。同時にアンモニアが発生した。滴下終了後、
70℃で約２時間撹拌を続けた後、減圧蒸留し、目的物を
202g（0.98モル）得た。収率は98％であった。なお生成
物の物性は、次の通りであり、ｍ−イソプロペニルフェ
ニルトリメチルシリルエーテルであることを確認した。
沸点:85℃/4mmHg NMR δ（ppm）： 0.61（s,9H）,2.44（s,3H）,5.21（m,1H）,5.54（m,1
H）,6.8〜7.8（m,4H） （２）１−（クロロジメチルシリル）−２−（ｍ−トリ
メチルシロキシフェニル）プロパンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに（１）ｍ−イソプロペニルフェニルトリ
メチルシリルエーテル165g（0.8モル）４−メトキシフ
ェニノール0.2g、および塩化白金酸の２重量％イソプロ
パノール溶液を白金量換算として100ppm加えて、50〜60
℃で加熱撹拌しながら、滴下ロートよりジメチルクロロ
シラン83.5g（0.88モル）を５時間かけて滴下した。反
応終了後、減圧蒸留して目的物を202g（0.67モル）得
た。収率は84％であった。なお生成物の物性は次の通り
であった。
H）,6.8〜7.8（m,4H） （２）１−（クロロジメチルシリル）−２−（ｍ−トリ
メチルシロキシフェニル）プロパンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに（１）ｍ−イソプロペニルフェニルトリ
メチルシリルエーテル165g（0.8モル）４−メトキシフ
ェニノール0.2g、および塩化白金酸の２重量％イソプロ
パノール溶液を白金量換算として100ppm加えて、50〜60
℃で加熱撹拌しながら、滴下ロートよりジメチルクロロ
シラン83.5g（0.88モル）を５時間かけて滴下した。反
応終了後、減圧蒸留して目的物を202g（0.67モル）得
た。収率は84％であった。なお生成物の物性は次の通り
であった。
沸点:115℃/2mmHg NMR δ（ppm）： 0.25（s,3H）,0.27（s,3H）,0.61（s,9H）、1.1〜1.5
（m,5H）,2.8〜3.2（m,1H）,6.5〜7.3（m,4H） 実施例１ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに参考例１（２）で得られた１−（クロロ
ジメチルシリル）−２−（ｍ−トリメチルシロキシフェ
ニル）プロパン120.4g（0.4モル）、テトラエトキシシ
ラン208.3g（1.0モル）、トルエン100gを加え、70℃で
加熱撹拌しながら、水60g、濃塩酸40g、エタノール20g
の混合物を約１時間かけて滴下した。
（m,5H）,2.8〜3.2（m,1H）,6.5〜7.3（m,4H） 実施例１ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに参考例１（２）で得られた１−（クロロ
ジメチルシリル）−２−（ｍ−トリメチルシロキシフェ
ニル）プロパン120.4g（0.4モル）、テトラエトキシシ
ラン208.3g（1.0モル）、トルエン100gを加え、70℃で
加熱撹拌しながら、水60g、濃塩酸40g、エタノール20g
の混合物を約１時間かけて滴下した。
滴下終了後、75℃で４時間還流を続けた。水250gを加
え、静置すると２層に分離し、下層がポリマー層なので
分取し、上層をトルエン200gにより抽出した。トルエン
層とポリマー層を合わせ、水分定量受器を装着したフラ
スコに戻し、共沸によって水とエタノールを留出させ、
さらに水酸化カリウム0.10gを加えて、４時間脱水を続
け、残存シラノールを縮合させた。冷却後、トリメチル
クロロシランを加えて水酸化カリウムを中和し、ろ過、
濃縮して本発明のオルガノポリシロキサン147gを得た。
収率は85％であった。
え、静置すると２層に分離し、下層がポリマー層なので
分取し、上層をトルエン200gにより抽出した。トルエン
層とポリマー層を合わせ、水分定量受器を装着したフラ
スコに戻し、共沸によって水とエタノールを留出させ、
さらに水酸化カリウム0.10gを加えて、４時間脱水を続
け、残存シラノールを縮合させた。冷却後、トリメチル
クロロシランを加えて水酸化カリウムを中和し、ろ過、
濃縮して本発明のオルガノポリシロキサン147gを得た。
収率は85％であった。
なお、生成物の物性は、次の通りであり、 （式中l:m:n＝0.4:0.4:1）で示されるオルガノポリシロ
キサンが得られたことを確認した。
キサンが得られたことを確認した。
分子量（GPC,クロロホルム溶媒，標準ポリエスチレン換
算）： ｗ（重量平均分子量）＝1.3×103 ｎ（数平均分子量）＝1.1×103 軟化点:80〜85℃1 HNMR δ（ppm）： −0.4〜0.4（br,15H）,0.7〜1.4（br,6H）,2.5〜3.1（b
r,6H）,6.2〜7.2（br,4H）29 SiNMR δ（ppm）： −115〜−103（br,0.96Si），−103〜−98（br,0.07S
i）,9〜16（br,0.63Si）13 CNMR δ（ppm）： １（s,4.5C）,25（s,1C）,28（s,1C）,36（s,1C）,114
（s,1C）,119（m,2C）,129（s,1C）,149〜157（m,2C） IR ν（cm-1）： 3450（br）,2970,2900,1600,1490,1450,1250,1080（b
r）,840,760,700 同様に、参考例１（２）で得られた１−（クロロジメ
チルシリル）−２−（ｍ−トリメチルシロキシフェニ
ル）プロパン、テトラエトキシシランおよびトリメチル
クロロシランを第１表に示す通りの比率で仕込み、本発
明のオルガノポリシロキサン重合体を得た。なお生成物
の物性を併せて第１表に示した。
算）： ｗ（重量平均分子量）＝1.3×103 ｎ（数平均分子量）＝1.1×103 軟化点:80〜85℃1 HNMR δ（ppm）： −0.4〜0.4（br,15H）,0.7〜1.4（br,6H）,2.5〜3.1（b
r,6H）,6.2〜7.2（br,4H）29 SiNMR δ（ppm）： −115〜−103（br,0.96Si），−103〜−98（br,0.07S
i）,9〜16（br,0.63Si）13 CNMR δ（ppm）： １（s,4.5C）,25（s,1C）,28（s,1C）,36（s,1C）,114
（s,1C）,119（m,2C）,129（s,1C）,149〜157（m,2C） IR ν（cm-1）： 3450（br）,2970,2900,1600,1490,1450,1250,1080（b
r）,840,760,700 同様に、参考例１（２）で得られた１−（クロロジメ
チルシリル）−２−（ｍ−トリメチルシロキシフェニ
ル）プロパン、テトラエトキシシランおよびトリメチル
クロロシランを第１表に示す通りの比率で仕込み、本発
明のオルガノポリシロキサン重合体を得た。なお生成物
の物性を併せて第１表に示した。
得られた生成物はいずれもメタノール、エタノール、
テトラヒドロフラン、トルエン、ジメチルホルムアミ
ド、メチルイソブチルケトン、酢酸イソアミル、ヘキサ
ン、四塩化炭素などの有機溶媒に溶解し、また、水酸化
ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム水
溶液にも溶解した。
テトラヒドロフラン、トルエン、ジメチルホルムアミ
ド、メチルイソブチルケトン、酢酸イソアミル、ヘキサ
ン、四塩化炭素などの有機溶媒に溶解し、また、水酸化
ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアンモニウム水
溶液にも溶解した。
参考例２ （１）ｍ−アセトキシイソプロペニルベンゼンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコにｍ−イソプロペニルフェノール250g（1.
86モル）およびピリジン15ml（0.19モル）を加え、水浴
冷却しながら撹拌し、無水酢酸200ml（2.12モル）を滴
下した。その後エーテルで希釈し、中性になるまで水洗
した後、乾燥、蒸留して、目的物を310g（1.76モル）得
た。収率は94％であった。なお生成物の物性は、以下の
通りであった。
つ口フラスコにｍ−イソプロペニルフェノール250g（1.
86モル）およびピリジン15ml（0.19モル）を加え、水浴
冷却しながら撹拌し、無水酢酸200ml（2.12モル）を滴
下した。その後エーテルで希釈し、中性になるまで水洗
した後、乾燥、蒸留して、目的物を310g（1.76モル）得
た。収率は94％であった。なお生成物の物性は、以下の
通りであった。
沸点:100℃/4mmHg NMR δ（ppm）： 1.97（s,3H）,2.00（s,3H）,4.91（m,1H）,5.19（m,1
H）,6.65〜7.15（m,4H） （２）１−（クロロジメチルシリル）−２−（ｍ−アセ
トキシフェニル）プロパンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例２（１）で得られたｍ−アセト
キシイソプロペニルベンゼン100g（0.57モル）、塩化白
金酸の２重量％イソプロパノール溶液を白金量換算で約
100ppmおよび４−メトキシフェニノール0.2gを加え80℃
で加熱撹拌しながら、滴下ロートよりジメチルクロロシ
ラン70g（0.74モル）を滴下した。反応終了後、減圧蒸
留して目的物を115g（0.42モル）得た。収率は75％であ
った。なお、生成物の物性は次の通りであった。
H）,6.65〜7.15（m,4H） （２）１−（クロロジメチルシリル）−２−（ｍ−アセ
トキシフェニル）プロパンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例２（１）で得られたｍ−アセト
キシイソプロペニルベンゼン100g（0.57モル）、塩化白
金酸の２重量％イソプロパノール溶液を白金量換算で約
100ppmおよび４−メトキシフェニノール0.2gを加え80℃
で加熱撹拌しながら、滴下ロートよりジメチルクロロシ
ラン70g（0.74モル）を滴下した。反応終了後、減圧蒸
留して目的物を115g（0.42モル）得た。収率は75％であ
った。なお、生成物の物性は次の通りであった。
沸点:113℃/2mmHg NMR δ（ppm）： 0.14（s,6H）,1.16（s,2H）,1.26（s,3H）、2.12（s,3
H）,2.65〜3.30（m,1H）,6.55〜7.30（m,4H） 実施例２ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例２（２で得られた１−（クロロ
ジメチルシリル）−２−（ｍ−アセトキシフェニル）プ
ロパン）67.7g（0.25モル）、テトラエトキシシラン10
4.2g（0.5モル）およびトルエン50gを加え、70℃で加熱
撹拌しながら、水30gを、濃塩酸20g、エタノール10gの
混合物を約１時間かけて滴下した。実施例１と同様の操
作により、分離、脱水、縮合させて本発明のオルガノポ
リシロキサン77.5gを得た。収率は96％であった。な
お、生成物の物性は以下の通りであり、 （式中、l:n＝0.5:1） で示されるオルガノポリシロキサンが得られたことを確
認した。
H）,2.65〜3.30（m,1H）,6.55〜7.30（m,4H） 実施例２ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例２（２で得られた１−（クロロ
ジメチルシリル）−２−（ｍ−アセトキシフェニル）プ
ロパン）67.7g（0.25モル）、テトラエトキシシラン10
4.2g（0.5モル）およびトルエン50gを加え、70℃で加熱
撹拌しながら、水30gを、濃塩酸20g、エタノール10gの
混合物を約１時間かけて滴下した。実施例１と同様の操
作により、分離、脱水、縮合させて本発明のオルガノポ
リシロキサン77.5gを得た。収率は96％であった。な
お、生成物の物性は以下の通りであり、 （式中、l:n＝0.5:1） で示されるオルガノポリシロキサンが得られたことを確
認した。
軟化点:150〜160℃1 HNMR δ（ppm）： −1.0〜0.0（br,6H）,0.0〜1.2（br,5h）2,0〜2.9（br,
1H）,5.9〜6.8（br,4H）19 SiNMR δ（ppm）： −115〜−105（br,0.90Si），−105〜−95（br,0.10S
i）,10〜20（brh0.59Si） 分子量；ｗ＝5.6×103 ｎ＝3.2×103 得られた生成物は、メタノール、テトラヒドロフラ
ン、ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、
酢酸イソアミルには溶解したが、ヘキサン、四塩化炭
素、クロロホルム、トルエン等には難溶であった。また
水酸化ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアンモニ
ウム水溶水溶液には溶解した。
1H）,5.9〜6.8（br,4H）19 SiNMR δ（ppm）： −115〜−105（br,0.90Si），−105〜−95（br,0.10S
i）,10〜20（brh0.59Si） 分子量；ｗ＝5.6×103 ｎ＝3.2×103 得られた生成物は、メタノール、テトラヒドロフラ
ン、ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、
酢酸イソアミルには溶解したが、ヘキサン、四塩化炭
素、クロロホルム、トルエン等には難溶であった。また
水酸化ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアンモニ
ウム水溶水溶液には溶解した。
参考例３ １−（クロロジメチルシリル）−２−（ｐ−tert−ブト
キシフェニル）エタンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、ｐ−tert−ブトキシスチレン176.3g
（１モル）、４−メトキシフェノール0.2gおよび塩化白
金酸の２重量％イソプロパノール溶液を白金量換算で約
100ppm加え、50〜60℃で加熱撹拌しながら滴下ロートよ
りジメチルクロロシラン104g（1.1モル）を５時間かけ
て滴下した。反応終了後、減圧蒸留して目的物を203g
（0.75モル）得た。収率は75％であった。なお、生成物
の物性は次の通りであった。
キシフェニル）エタンの合成 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、ｐ−tert−ブトキシスチレン176.3g
（１モル）、４−メトキシフェノール0.2gおよび塩化白
金酸の２重量％イソプロパノール溶液を白金量換算で約
100ppm加え、50〜60℃で加熱撹拌しながら滴下ロートよ
りジメチルクロロシラン104g（1.1モル）を５時間かけ
て滴下した。反応終了後、減圧蒸留して目的物を203g
（0.75モル）得た。収率は75％であった。なお、生成物
の物性は次の通りであった。
沸点:110℃/0.3mmHg NMR δ（ppm）： 0.15（s,6H）,0.93〜1.43（m,2H）,1.27（s,9H）,2.25
〜2.83（m,2H）,6.7〜7.3（m,4H） 実施例３ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例３で得られた１−（クロロジメ
チルシリル）−２−（ｐ−tert−ブトキシフェニル）エ
タン95g（0.35モル）、テトラエトキシシラン104.2g
（0.5モル）およびトルエン50gを加え70℃で加熱撹拌し
ながら、水30gを、塩酸30gの混合物を約２時間かけて滴
下した。滴下終了後、約75℃で４時間還流を続けた。水
100gを加え、静置すると２層に分離し、下層（ポリマー
層）を分取した。分取したポリマー層にトルエン100gを
加え水分定量受器を備えフラスコに入れて、共沸によっ
て水とエタノールを流出させ、さらに水酸化カリウム0.
10gを加えて４時間脱水を続け、残存シラノールを縮合
させた。室温まで冷却後、トリメチルクロロシランを加
えて中和し、ろ過、濃縮して、本発明のオルガノポリシ
ロキサン82gを得た。収率は86％であった。得られた生
成物は、メタノール、テトラヒドロフラン、ジメチルホ
ルムアミド、メチルイソブチルケトンには溶解したが、
ヘキサン、四塩化炭素、トルエン等には難溶であった。
また水酸化ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアン
モニウム水溶液には溶解した。なお、生成物の物性は以
下の通りであり、 軟化点:90〜100℃ 分子量；ｗ＝2.0×103 ｎ＝1.7×103 1 HNMR δ（ppm）： −0.5〜0.5（br,6H）,0.5〜1.3（br,2H）,2.3〜3.0（b
r,2H）,6.5〜7.4（br,4H）29 SiNMR δ（ppm）： −115〜−105（br,0.87Si），−105〜−95（br,0.13S
i）,10〜20（br,0.75Si） 参考例４ ｐ−メトキシフェニルジメチルクロロシランの合成 撹拌機、還流管、摘下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコを乾燥、窒素置換し、マグネシウム粉末2
3.3g（1.0モル）、ジメチルジクロロシラン129.1g（1.0
モル）およびテトラヒドロフラン200mlを加え、ヨウ素
少量を加えてマグネシウムを活性化させた。フラスコを
10℃以下に冷却しながら、滴下ロートから、ｐ−クロロ
アニソール142.6g（1.0モル）およびテトラヒドロフラ
ン300mlの混合物を撹拌しながら５時間書けて滴下し
た。２時間加熱還流して熟成させた後、沈澱を吸引ろ過
によって除き、ろ液を蒸留して生成物を122g（0.61モ
ル）得た。収率は61％であった。なお、生成物の物性は
次の通りであった。
〜2.83（m,2H）,6.7〜7.3（m,4H） 実施例３ 撹拌機、還流管、滴下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例３で得られた１−（クロロジメ
チルシリル）−２−（ｐ−tert−ブトキシフェニル）エ
タン95g（0.35モル）、テトラエトキシシラン104.2g
（0.5モル）およびトルエン50gを加え70℃で加熱撹拌し
ながら、水30gを、塩酸30gの混合物を約２時間かけて滴
下した。滴下終了後、約75℃で４時間還流を続けた。水
100gを加え、静置すると２層に分離し、下層（ポリマー
層）を分取した。分取したポリマー層にトルエン100gを
加え水分定量受器を備えフラスコに入れて、共沸によっ
て水とエタノールを流出させ、さらに水酸化カリウム0.
10gを加えて４時間脱水を続け、残存シラノールを縮合
させた。室温まで冷却後、トリメチルクロロシランを加
えて中和し、ろ過、濃縮して、本発明のオルガノポリシ
ロキサン82gを得た。収率は86％であった。得られた生
成物は、メタノール、テトラヒドロフラン、ジメチルホ
ルムアミド、メチルイソブチルケトンには溶解したが、
ヘキサン、四塩化炭素、トルエン等には難溶であった。
また水酸化ナトリウム水溶液、水酸化テトラメチルアン
モニウム水溶液には溶解した。なお、生成物の物性は以
下の通りであり、 軟化点:90〜100℃ 分子量；ｗ＝2.0×103 ｎ＝1.7×103 1 HNMR δ（ppm）： −0.5〜0.5（br,6H）,0.5〜1.3（br,2H）,2.3〜3.0（b
r,2H）,6.5〜7.4（br,4H）29 SiNMR δ（ppm）： −115〜−105（br,0.87Si），−105〜−95（br,0.13S
i）,10〜20（br,0.75Si） 参考例４ ｐ−メトキシフェニルジメチルクロロシランの合成 撹拌機、還流管、摘下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコを乾燥、窒素置換し、マグネシウム粉末2
3.3g（1.0モル）、ジメチルジクロロシラン129.1g（1.0
モル）およびテトラヒドロフラン200mlを加え、ヨウ素
少量を加えてマグネシウムを活性化させた。フラスコを
10℃以下に冷却しながら、滴下ロートから、ｐ−クロロ
アニソール142.6g（1.0モル）およびテトラヒドロフラ
ン300mlの混合物を撹拌しながら５時間書けて滴下し
た。２時間加熱還流して熟成させた後、沈澱を吸引ろ過
によって除き、ろ液を蒸留して生成物を122g（0.61モ
ル）得た。収率は61％であった。なお、生成物の物性は
次の通りであった。
沸点:100〜104℃/3mmHg NMR δ（ppm）:0.70（s,6H）,3.75（s,3H）,6.8〜7.5
（m,4H） 実施例４ 撹拌機、還流管、摘下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例４で得られたｐ−メトキシフェ
ニルジメチルクロロシラン70.3g（0.35モル）、テトラ
エトキシシラン104.2g（0.5モル）およびトルエン50gを
加え、実施例３と同様に加水分解、分液、脱水、縮合し
てフェノールがメチル基によって保護されたポリマーを
80g得た。収率は88％であった。脱保護するため、窒素
置換したフラスコに得られたポリマーをクロロホルムに
溶かして加え、メトキシ基に対して1.5当量のヨードト
リメチルシランを加えて、室温で３時間撹拌した。その
後メタノールを加えさらに２時間撹拌し、亜硫酸水素ナ
トリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液およびイオ
ン交換水の順で洗い、乾燥、ろ過、濃縮して、本発明の
オルガノポリシロキサンを得た。生成物の物性は以下の
通りであり、 で示されるオルガノポリシロキサンが得られたことを確
認した。
（m,4H） 実施例４ 撹拌機、還流管、摘下ロートおよび温度計を備えた四
つ口フラスコに、参考例４で得られたｐ−メトキシフェ
ニルジメチルクロロシラン70.3g（0.35モル）、テトラ
エトキシシラン104.2g（0.5モル）およびトルエン50gを
加え、実施例３と同様に加水分解、分液、脱水、縮合し
てフェノールがメチル基によって保護されたポリマーを
80g得た。収率は88％であった。脱保護するため、窒素
置換したフラスコに得られたポリマーをクロロホルムに
溶かして加え、メトキシ基に対して1.5当量のヨードト
リメチルシランを加えて、室温で３時間撹拌した。その
後メタノールを加えさらに２時間撹拌し、亜硫酸水素ナ
トリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液およびイオ
ン交換水の順で洗い、乾燥、ろ過、濃縮して、本発明の
オルガノポリシロキサンを得た。生成物の物性は以下の
通りであり、 で示されるオルガノポリシロキサンが得られたことを確
認した。
軟化点:95〜105℃ 分子量；ｗ＝2.0×103 ｎ＝1.7×103 1 HNMR δ（ppm）： 0.4〜1.0（br,6H）,6.7〜7.5（br,4H）29 SiNMR δ（ppm）： −115〜−105（br,0.85Si），−105〜−95（br,0.15S
i），−10〜５（br,0.72Si） ［発明の効果］ 本発明によれば、ヒドロキシフェニル基を有する１官
能性トリオルガノシロキサン単位および４官能性シロキ
サン単位の両方を一分子中に有する新規なアルカリ可溶
性オルガノポリシロキサンが提供される。
i），−10〜５（br,0.72Si） ［発明の効果］ 本発明によれば、ヒドロキシフェニル基を有する１官
能性トリオルガノシロキサン単位および４官能性シロキ
サン単位の両方を一分子中に有する新規なアルカリ可溶
性オルガノポリシロキサンが提供される。
Claims (2)
- 【請求項１】一般式 ［式中、Ａはヒドロキシフェニル基、Ｒは炭素数１〜４
のアルキレン基、ｎは０または１、R1は炭素数１〜４の
アルキル基、x,zは正の数であり、ｙは０または正の数
であって、0.3≦（ｘ＋ｙ）/z≦４かつ０≦y/x≦５であ
る］で表され、分子量が500〜500,000であるアルカリ可
溶性オルガノポリシロキサン。 - 【請求項２】0.4≦（ｘ＋ｙ）/z≦1.2かつ０≦y/x≦５
であり、室温において固体である特許請求の範囲第１項
記載のアルカリ可溶性オルガノポリシロキサン。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63121426A JP2630986B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | アルカリ可溶性オルガノポリシロキサン |
| US07/350,371 US4946921A (en) | 1988-05-18 | 1989-05-11 | Alkali-soluble organopolysiloxane |
| CA000599934A CA1332243C (en) | 1988-05-18 | 1989-05-17 | Alkali-soluble organopolysiloxane |
| EP19890108872 EP0342648A3 (en) | 1988-05-18 | 1989-05-17 | Alkali-soluble organopolysiloxane |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63121426A JP2630986B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | アルカリ可溶性オルガノポリシロキサン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01292036A JPH01292036A (ja) | 1989-11-24 |
| JP2630986B2 true JP2630986B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=14810854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63121426A Expired - Lifetime JP2630986B2 (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | アルカリ可溶性オルガノポリシロキサン |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4946921A (ja) |
| EP (1) | EP0342648A3 (ja) |
| JP (1) | JP2630986B2 (ja) |
| CA (1) | CA1332243C (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2015806A1 (en) * | 1989-05-02 | 1990-11-02 | Thomas C. Williams | Ambient temperature curable polyorganosiloxanes |
| JPH04214730A (ja) * | 1990-12-13 | 1992-08-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | オルガノポリシロキサンの製造方法 |
| JP2511348B2 (ja) * | 1991-10-17 | 1996-06-26 | 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 | オルガノポリシロキサンおよびその製造方法 |
| JP3221893B2 (ja) * | 1991-10-31 | 2001-10-22 | ダウ・コ−ニング・コ−ポレ−ション | 分岐ポリオルガノポリシロキサン |
| JP3161786B2 (ja) * | 1991-11-20 | 2001-04-25 | 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 | オルガノポリシロキサンおよびその製造方法 |
| JP3367964B2 (ja) * | 1992-04-21 | 2003-01-20 | 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 | 硬化性樹脂組成物 |
| US5378789A (en) * | 1992-05-14 | 1995-01-03 | General Electric Company | Phenol-modified silicones |
| JP3786139B2 (ja) * | 1992-05-26 | 2006-06-14 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性シリコーン組成物 |
| JP3406646B2 (ja) * | 1993-06-29 | 2003-05-12 | 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 | オルガノポリシロキサンおよびその製造方法 |
| JP3466238B2 (ja) * | 1993-08-18 | 2003-11-10 | 東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社 | オルガノポリシロキサンおよびその製造方法 |
| DE19603357B4 (de) * | 1995-02-10 | 2004-09-23 | General Electric Co. | Siloxysilicatharze geringer Viskosität mit organischen, funktionellen Gruppen |
| US6087064A (en) * | 1998-09-03 | 2000-07-11 | International Business Machines Corporation | Silsesquioxane polymers, method of synthesis, photoresist composition, and multilayer lithographic method |
| US7553904B2 (en) * | 1999-08-04 | 2009-06-30 | Hybrid Plastics, Inc. | High use temperature nanocomposite resins |
| US7888435B2 (en) * | 1999-08-04 | 2011-02-15 | Hybrid Plastics, Inc. | Process for continuous production of olefin polyhedral oligomeric silsesquioxane cages |
| US6972312B1 (en) * | 1999-08-04 | 2005-12-06 | Hybrid Plastics Llc | Process for the formation of polyhedral oligomeric silsesquioxanes |
| US20060194919A1 (en) * | 1999-08-04 | 2006-08-31 | Lichtenhan Joseph D | Porosity control with polyhedral oligomeric silsesquioxanes |
| US7485692B2 (en) | 1999-08-04 | 2009-02-03 | Hybrid Plastics, Inc. | Process for assembly of POSS monomers |
| US7723415B2 (en) | 1999-08-04 | 2010-05-25 | Hybrid Plastics, Inc. | POSS nanostructured chemicals as dispersion aids and friction reducing agents |
| US7638195B2 (en) | 1999-08-04 | 2009-12-29 | Hybrid Plastics, Inc. | Surface modification with polyhedral oligomeric silsesquioxanes silanols |
| JP4373082B2 (ja) | 2001-12-28 | 2009-11-25 | 富士通株式会社 | アルカリ可溶性シロキサン重合体、ポジ型レジスト組成物、レジストパターン及びその製造方法、並びに、電子回路装置及びその製造方法 |
| CN100430432C (zh) * | 2003-07-29 | 2008-11-05 | 东亚合成株式会社 | 含硅高分子化合物及其制造方法、耐热性树脂组合物及耐热性薄膜 |
| US20090085011A1 (en) * | 2003-12-18 | 2009-04-02 | Lichtenhan Joseph D | Neutron shielding composition |
| JP5263171B2 (ja) * | 2007-11-19 | 2013-08-14 | 東亞合成株式会社 | ポリシロキサンおよびその製造方法ならびに硬化物の製造方法 |
| WO2024034383A1 (ja) * | 2022-08-08 | 2024-02-15 | ダウ・東レ株式会社 | フェノール性水酸基含有分岐状オルガノポリシロキサン、それを含む高エネルギー線硬化性組成物およびその用途 |
| WO2024034384A1 (ja) * | 2022-08-08 | 2024-02-15 | ダウ・東レ株式会社 | 共変性分岐状オルガノポリシロキサン、それを含む高エネルギー線硬化性組成物およびその用途 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3328450A (en) * | 1963-01-09 | 1967-06-27 | Dow Corning | Silylalkyl phenols |
| US3410820A (en) * | 1966-08-01 | 1968-11-12 | Gen Electric | Room temperature vulcanizing compositions |
| JPS61256347A (ja) * | 1985-05-10 | 1986-11-13 | Hitachi Ltd | アルカリ可溶性シロキサン重合体 |
| US4745169A (en) * | 1985-05-10 | 1988-05-17 | Hitachi, Ltd. | Alkali-soluble siloxane polymer, silmethylene polymer, and polyorganosilsesquioxane polymer |
| JPS6296526A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-06 | Hitachi Ltd | アルカリ可溶性ポリオルガノシルセスキオキサン重合体 |
| JPS62104032A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Hitachi Ltd | 微細パタ−ン形成法 |
| JPH078913B2 (ja) * | 1987-06-03 | 1995-02-01 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサンの製造方法 |
-
1988
- 1988-05-18 JP JP63121426A patent/JP2630986B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-05-11 US US07/350,371 patent/US4946921A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-17 CA CA000599934A patent/CA1332243C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-17 EP EP19890108872 patent/EP0342648A3/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01292036A (ja) | 1989-11-24 |
| EP0342648A2 (en) | 1989-11-23 |
| EP0342648A3 (en) | 1991-01-30 |
| CA1332243C (en) | 1994-10-04 |
| US4946921A (en) | 1990-08-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2630986B2 (ja) | アルカリ可溶性オルガノポリシロキサン | |
| JP4702055B2 (ja) | 珪素含有高分子化合物及びその製造方法 | |
| US7569652B2 (en) | Synthesis and characterization of novel cyclosiloxanes and their self- and co-condensation with silanol-terminated polydimethylsiloxane | |
| EP0661331B1 (en) | Silicon-containing polymer, process for preparing the same and monomer thereof | |
| JPH0583568B2 (ja) | ||
| JP2624060B2 (ja) | 片末端ジオールシロキサン化合物及びその製造方法 | |
| JPH0632902A (ja) | 分子鎖末端に水酸基を有する直鎖状オルガノポリシロキサンの製造方法 | |
| JP4655790B2 (ja) | ケイ素化合物 | |
| US5369206A (en) | Method for the preparation of an organopolysiloxane polymerizable at a single molecular chain end | |
| KR101097522B1 (ko) | 유기 규소 화합물의 제조 방법 | |
| EP1149837A2 (en) | Organosilicon compounds | |
| CA2064379A1 (en) | Process for the manufacture of certain new silicone polyether copolymers for polyurethane foam manufacture | |
| JP3563811B2 (ja) | ポリフルオロアラルキルシラン誘導体およびその製造方法 | |
| JP2006273784A (ja) | 環状オリゴシロキサンの製造方法 | |
| JP7350253B2 (ja) | ビスハロアルキルシロキサン化合物及びその製造方法、並びに、両末端官能性のシロキサン化合物の製造方法 | |
| JP2806216B2 (ja) | ケイ素化合物 | |
| JPH0133110B2 (ja) | ||
| JP2688469B2 (ja) | （メタ）アクリル官能基含有有機けい素化合物の製造方法 | |
| JP3125655B2 (ja) | 環状エーテル基を有する有機ケイ素化合物及びその製造方法 | |
| JPH0678347B2 (ja) | 有機けい素化合物 | |
| JP2751568B2 (ja) | シラン化合物 | |
| JP3375366B2 (ja) | 反応性ポリシロキサンおよびその製造方法 | |
| JPS6313446B2 (ja) | ||
| JPH01132634A (ja) | フタル酸エステル変性オルガノポリシロキサンおよびその製造方法 | |
| JP3186820B2 (ja) | 反応性ポリシロキサンおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080425 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090425 Year of fee payment: 12 |