JP2616651B2 - アルミニウム真空ろう付炉 - Google Patents

アルミニウム真空ろう付炉

Info

Publication number
JP2616651B2
JP2616651B2 JP2447593A JP2447593A JP2616651B2 JP 2616651 B2 JP2616651 B2 JP 2616651B2 JP 2447593 A JP2447593 A JP 2447593A JP 2447593 A JP2447593 A JP 2447593A JP 2616651 B2 JP2616651 B2 JP 2616651B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating chamber
movable wall
temperature
magnesium
brazing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2447593A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06234065A (ja
Inventor
保之 田中
信彦 山田
佳士 水垣
勝昭 福井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2447593A priority Critical patent/JP2616651B2/ja
Priority to KR1019940002328A priority patent/KR100246031B1/ko
Priority to US08/193,856 priority patent/US5454507A/en
Priority to DE4404263A priority patent/DE4404263B4/de
Publication of JPH06234065A publication Critical patent/JPH06234065A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2616651B2 publication Critical patent/JP2616651B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウム真空ろう付
炉、詳しくは、自動車用熱交換器等アルミニウム製品の
ろう付けを行なうアルミニウム真空ろう付炉に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、アルミニウム真空ろう付炉とし
て、特開昭63−52764号公報に開示されるものが
知られている。
【0003】上記公報に開示されるアルミニウム真空ろ
う付炉は、ろう材中から蒸発したマグネシウムが真空排
気系統等に飛散することによる、加熱室内の真空度の悪
化を阻止することを目的とする。そして、この目的達成
のために、上記アルミニウム真空ろう付炉においては、
炉体内部に加熱室を設け、該加熱室を形成する壁の一部
に加熱室内外を連通するガス流通口を設け、該ガス流通
口を可動壁により開閉可能な構造とし、加熱室内温度が
マグネシウム蒸発温度付近になったとき可動壁によりガ
ス流通口を閉じることにより、蒸発したマグネシウムを
加熱室内に封じ込め、マグネシウムが真空排気系統等に
飛散しないようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術においては、蒸発したマグネシウムが可動壁とガ
ス流通口とのシール部位に付着して、ガス流通口を完全
遮蔽することができなくなり、その結果、加熱室内の蒸
発マグネシウムが加熱室内から排気ポンプ系へ飛散し、
ろう材中のマグネシウム含有量を比較的大きな値に設定
しなければならなかった。また、可動壁の動作不良を招
くといった問題があった。
【0005】本発明者らの検討によると、上記問題点は
以下の理由により生ずることが判明した。すなわち、従
来技術では、炉体の温度が70〜80℃程度のかなり低
い温度であるとともに、可動壁にはヒータが設けられて
いないため、可動壁がガス流通口を開いている状態では
可動壁が低温の炉体の影響を受けて、マグネシウムの蒸
発成分が付着する温度(400℃)より低い温度になっ
てしまい、その結果、可動壁をガス流通口の閉位置に操
作したとき、低温の可動壁にマグネシウムの蒸発成分が
付着するのである。
【0006】本発明は、上記の点に鑑みなされたもの
で、加熱室の壁のみならず、可動壁についても、マグネ
シウム蒸発成分が付着するのを確実に防止できるアルミ
ニウム真空ろう付炉を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るアルミニウム真空ろう付炉は、マグネ
シウムを含むろう材を組み合わせたアルミニウム部材
を、炉体内部の加熱室内に搬入し、該加熱室を真空雰囲
気にするとともに、前記ろう材の融点以上に昇温して、
前記アルミニウム部材をろう付するアルミニウム真空ろ
う付炉であって、前記加熱室の壁の一部を開閉自在な可
動壁により構成するとともに、前記加熱室の壁内面及び
前記可動壁の内面に、前記加熱室の内面温度を前記マグ
ネシウムの蒸発成分が付着しない所定温度以上に維持す
るようにヒータ手段を配置したことを特徴とする。
【0008】
【発明の作用効果】可動壁は、加熱室を真空雰囲気にす
るとき開状態とされ、加熱室内温度がマグネシウム蒸発
温度付近に達したとき開状態から閉状態とされる。この
時点では、可動壁を含む加熱室の内面温度は、ヒータ手
段により、マグネシウムの蒸発成分が付着しない所定温
度以上まで昇温されているため、加熱室の壁内面に蒸発
マグネシウムが付着することはなく、可動壁を常に完全
な閉状態に保つことができるようになる。このため、加
熱室内の蒸発マグネシウムが可動壁のシール部から漏れ
て排気ポンプ系へ飛散することを防止でき、ろう材中の
マグネシウム含有量を小さな値に設定することができる
ようになる。この結果、ろう付後に炉内に発生する酸化
マグネシウムの量が大幅に低減し、この酸化マグネシウ
ム排除のための保守作業が著しく簡単になる。また、可
動壁の動作不良を防止できるようになる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
【0010】図1及び図2は、一実施例に係るアルミニ
ウム真空ろう付炉の全体構成を概略的に示している。
【0011】図1及び図2において、1は水平方向略円
筒状に形成された炉体を表わしている。炉体1には、真
空排気系統の排気口2が炉体内空間と連通するように設
けられている。排気口2は、真空排気系統の構成要素で
ある切換弁60、拡散ポンプ61,メカニカルブースタ
ポンプ62及びロータリポンプ63と順に連通してい
る。炉体1内上部には、レール3が張り出ており、この
レール3に加熱室4を形成するヒータモジュールが吊下
げられている。加熱室4の天井には、キャリアレール5
が吊下げられており、このキャリアレール5に、被ろう
付品(マグネシウムを含むろう材を組み合わせたアルミ
ニウム部材)6を積載するキャリア7が上下方向に複数
段吊下げられている。キャリア7は、図1の紙面垂直方
向に移動可能になっている。
【0012】加熱室4は、本実施例の場合、図1左右方
向に二つ独立して形成されている。各加熱室4の天井と
底面を除く、側面の壁8の内面には、熱反射板9及びヒ
ータ手段としてのヒータ10が一対となって、被ろう付
品6の位置に対応して複数組、互いに密接して設置され
ている。そして、加熱室4の壁8の一部8aは、図5に
示すように、エアシリンダ11等からなる駆動手段30
(図5に示すような回転動作させるものに限定されな
い。)により開閉可能な構造とされ、この部分8aの内
面にも熱反射板9及びヒータ10が一対となって設置さ
れている。したがって、加熱室4の一部は、上記のよう
な可動壁(ヒータ付き可動扉)12により開閉可能な構
造とされている。なお、可動壁12は、本実施例の場
合、図2に示すように、各加熱室4において、炉体1に
近い側の側面であって前扉22及び後扉23寄りの部位
に2個形成されている。また、被ろう付品6を加熱室4
に搬入、搬出する際に操作される前扉22、及び保守点
検時に操作される後扉23の各内面にも、熱反射板9及
びヒータ10が一対となって設置されている。
【0013】上記可動壁12を駆動する駆動手段30
は、以下のように構成されている。
【0014】可動壁12の前扉22側又は後扉23側の
端部には、上下方向に回転軸31が固着されている。回
転軸31は、加熱室4の天井4aの上方で連結部材32
を介してエアシリンダ11のロッド11aに連結されて
おり、ロッド11aが後端位置にあるときは可動壁12
を閉位置に、ロッド11aが前端位置にあるときは可動
壁12を開位置に、また、ロッド11aが後端位置から
前進するときには回転軸31を矢印a方向へ回動して可
動壁12を閉位置から開き、ロッド11aが前端位置か
ら後退するときには回転軸31を矢印b方向へ回動して
可動壁12を開位置から閉じるよう構成されている。エ
アシリンダ11の上記のような動作は、エアシリンダ1
1内のヘッド側室11b、ロッド側室11cの各々に、
後述するような制御手順に従って給排気することによっ
て実現される。
【0015】次にエアシリンダ制御手段33について説
明する。
【0016】エアシリンダ制御手段33は、エアシリン
ダ11のヘッド側室11b、ロッド側室11c内と連通
したエアホース34,35を有する。ロッド側室11c
に連通するエアホース34は、4ポート2位置切換ソレ
ノイドバルブ36のポート口Aに接続され、また、ヘッ
ド側室11bに連通するエアホース35は、ソレノイド
バルブ36のポート口Bに接続されている。なお、ソレ
ノイドバルブ36の給気口Pには、例えば4kg/cm
2 の圧縮空気を発生するエアー源37が接続されてい
る。
【0017】ソレノイドバルブ36は、バルブ駆動回路
38により駆動される。バルブ駆動回路38には、可動
壁12の開位置を確認するための、ロッド11aが前端
位置にあるときオンする開位置検出用スイッチ39から
の信号と、可動壁12の閉位置を確認するための、ロッ
ド11aが後端位置にあるときオンする閉位置検出用ス
イッチ40からの信号と、前扉22が開位置から閉位置
になったことを確認するための、前扉22が閉位置にな
ったときオンする前扉閉位置検出用スイッチ41からの
信号と、加熱室4内の被ろう付品6の温度を検知し、当
該温度に比例した電圧値の信号を出力する温度センサ4
2からの信号とが入力される。そして、これらの入力信
号に基づいてソレノイドバルブ36の2つの電磁ソレノ
イド43,44への通電を制御するよう構成されてい
る。ここで、一方の電磁ソレノイド43は、可動壁12
を閉位置に回動又は維持する際に通電される閉用ソレノ
イドであり、他方の電磁ソレノイド44は、可動壁12
を開位置に回動又は維持する際に通電される開用ソレノ
イドである。
【0018】バルブ駆動回路38は、可動壁12が閉位
置にあるときには、閉用ソレノイド43を通電状態にす
る。このとき、ロッド11aは後端位置にあり、閉位置
検出用スイッチ40がオン状態にある。このような可動
壁12が閉位置にあるときに、ろう付開始のため前扉2
2が閉じられると、前扉閉位置検出用スイッチ41がオ
ン状態になり、この前扉閉位置検出用スイッチ41がオ
ンすると、開用ソレノイド44に通電し、また、閉用ソ
レノイド43を非通電にする。このため、ソレノイドバ
ルブ36のスプールが切り換わり、エアシリンダ11の
ヘッド側室11bが給気、ロッド側室11cが排気され
てロッド11aが前進し、可動壁12が開く。この可動
壁12の開動作により、閉位置検出用スイッチ40はオ
フ、開位置検出用スイッチ39はオンとなる。その後、
加熱室4内の被ろう付品6の温度が上昇してマグネシウ
ムの蒸発温度付近(例えば545℃)まで達すると、温
度センサ42の出力電圧が基準電圧以上になるので、閉
用ソレノイド43に通電し、また、開用ソレノイド44
を非通電にする。このため、ソレノイドバルブ36のス
プールが元の位置に戻り、エアシリンダ11のロッド側
室11cが給気、ヘッド側室11bが排気されてロッド
11aが後退し、可動壁12が閉じる。
【0019】被ろう付品6は、自動車用ラジエータ、自
動車空調用蒸発器、凝縮器等のアルミニウム熱交換器で
あり、また、そのろう付用のろう材は下記の表1に示す
如き組成物等からなるものであって、本発明によればマ
グネシウムの含有量を従来の1.2%から0.6%に低
減している。
【0020】 各ヒータ10は、図3及び図4に示すように構成されて
いる。図3及び図4において、13は、ステンレススチ
ール等を材料とするボックスを表わしている。ボックス
13内部には、ボックス13により支持されたヒータ支
持棒14が複数本配設されており、各ヒータ支持棒14
に電気ヒータ15が巻かれている。この電気ヒータ15
は、カンタル線等の電気ヒータ材料からなる。電気ヒー
タ15の両端は、それぞれ電極16に接続されている。
各電極16は、一端に電気ヒータ15の端部15aが固
定された電極棒17と、この電極棒17の外周に配設さ
れた碍子18と、電極棒17の他端に固着されたボルト
19と、このボルト19により電極棒17の他端に固定
され、ヒータケーブル27の先端が固着されたターミナ
ル20とから構成されている。ボックス13の床面に
は、一枚又は複数枚の放熱防止用の熱反射板21が配設
されている。この熱反射板21は、ステンレススチール
等の材料からなる。
【0021】上記のように構成されたヒータ10は、図
4に示すように、加熱室4の壁8を構成するフレームの
内面側に、1枚又は複数枚の熱反射板9を介在させた上
で取り付けられている。なお、ヒータ10は、前扉22
及び後扉23の各内面にも上記と同様に取り付けられて
いる。
【0022】加熱室4の天井にも、熱反射板24が配設
されている。
【0023】なお、加熱室4の下方において、真空ろう
付後に加熱室4内が大気開放されることにより発生する
酸化マグネシウム等を回収するためのホッパー25が炉
体1に配設されており、このホッパー25の上部に、熱
反射板26が設けられている。
【0024】次に、上記のように構成されたアルミニウ
ム真空ろう付炉を用いた真空ろう付方法について、図6
を併せ参照しつつ説明する。
【0025】まず、第nサイクル目のろう付を開始す
る。ろう付は、被ろう付品6を加熱室4内に搬入し、前
扉22を閉じた状態で開始され、前扉22を閉じること
で、上述したように、バルブ駆動回路38により開用ソ
レノイド44が通電、閉用ソレノイド43が非通電とな
り、可動壁12は開位置となる。そして、真空排気系統
の切換弁60が開かれ、拡散ポンプ61、メカニカルブ
ースタポンプ62、ロータリポンプ63により、加熱室
4内は排気され始める。排気開始により、加熱室4内の
圧力は図6に示すように降下して真空度が増大してゆ
き、また、ヒータ10は通電状態にあるため加熱室4内
の被ろう付品6の温度は図6に示すように上昇してゆ
く。そして、図6に示すように、被ろう付品温度がマグ
ネシウム蒸発温度付近(例えば545℃)まで上昇する
と、温度センサ42の出力電圧が基準電圧以上となり、
上述したように、バルブ駆動回路38は閉用ソレノイド
43を通電、開用ソレノイド44を非通電にし、可動壁
12は閉じられる。なお、上記温度センサ42により直
接的に被ろう付品温度を検知する方法の代わりに、この
被ろう付品温度がヒータ10への通電開始後の経過時間
と相関関係にあることに注目し、上記ヒータ10への通
電時間が実験データに基づいて設定された所要時間以上
経過したことをタイマ手段により判断する方法等によ
り、被ろう付品温度を間接的に検知するようにしてもよ
い。
【0026】可動壁12が閉じられると、その後の被ろ
う付品6の温度の上昇によりろう材中から蒸発したマグ
ネシウムは加熱室4内に封じ込められる。ここで、可動
壁12が閉じられるとき、可動壁12の内面は可動壁1
2のヒータ10により加熱され、また、可動壁12によ
り閉じられる加熱室のガス流通口の周囲の壁部分も他の
ヒータ10により加熱されているため、可動壁12の内
面及び上記ガス流通口周囲の壁部分が、低温の炉体1の
影響を受けて冷却されることはほどんどなく、高温状態
にある。このため、可動壁12を閉じた後、蒸発マグネ
シウムが可動壁12とガス流通口とのシール部に付着す
ることはほとんどなくなる。したがって、従来技術のよ
うに、次回以降のろう付において可動壁12が完全遮蔽
されないことから加熱室4内の真空度の悪化を招き、そ
の結果、ろう材中のマグネシウム含有量を大きな値に設
定しなければならないという不具合を解消することがで
きる。換言すると、本実施例によると、ろう材中のマグ
ネシウム含有量を小さな値に設定することができる。ま
た、可動壁12の完全遮蔽性が向上することから、拡散
ポンプ61、メカニカルブースタポンプ62、ロータリ
ポンプ63等に蒸発マグネシウムが吸引されて、これら
のポンプ61,62,63の動作不良を招くといった不
具合も解消することができる。
【0027】その後、ろう付処理のための時間が経過す
ると、加熱室4内を大気開放する。この大気開放は、図
示を省略したが、炉体1から大気に通じる大気通路を、
それまでの閉状態から開くようにすることにより行なわ
れる。この大気開放により、加熱室4内のマグネシウム
はほとんどが酸化されて酸化マグネシウム(粉体)とな
り、この酸化マグネシウム及び残存マグネシウムは、ホ
ッパー25を構成要素とするマグネシウム回収装置(図
示せず)により回収される。
【0028】その後、前扉22を開け、キャリア7を取
り出し、ろう付された被ろう付品6を降ろし、キャリア
7に次にろう付する被ろう付品6を積載し、キャリア7
を投入し、前扉22を閉じる。前扉22が閉じられる
と、上述したように、前扉閉位置検出用スイッチ41が
オンし、バルブ駆動回路38は、開用ソレノイド44を
通電、閉用ソレノイド43を非通電にし、可動壁12は
開かれる。そして、第(n+1)サイクル目のろう付を
開始する。
【0029】以上説明したように、本実施例のアルミニ
ウム真空ろう付炉においては、可動壁12は、加熱室4
を真空雰囲気にするとき開状態とされ、加熱室4内の温
度がマグネシウム蒸発温度付近に達したとき開状態から
閉状態とされる。この時点では、可動壁12を含む加熱
室4の内面温度は、ヒータ10により、マグネシウムの
蒸発成分が付着しない所定温度以上まで昇温されている
ため、加熱室4の壁8内面に蒸発マグネシウムが付着す
ることはなく、可動壁12を常に完全な閉状態に保つこ
とができるようになる。このため、加熱室4内の蒸発マ
グネシウムが可動壁12のシール部から漏れて真空排気
系統2,60,61,62,63等へ飛散することを防
止でき、ろう材中のマグネシウム含有量を小さな値に設
定することができ、ろう付後の酸化マグネシウム発生量
を大幅に低減できる。また、可動壁12の動作不良を防
止できるようにもなる。
【0030】また、本実施例によると、ヒータ10の碍
子18は、ボックス13の裏側に位置し、しかもボック
ス13の前面が高温で蒸発マグネシウムがボックス13
前面でいわば反射されるため、碍子に蒸発マグネシウム
が付着することはほとんどなく、このため、蒸発マグネ
シウム付着による碍子の絶縁性低下に基づくヒータ短絡
事故を防止することができるという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例に係るアルミニウム真空ろう付炉の内
部を示す正面図
【図2】同じく内部を示す側面図
【図3】ヒータの正面図
【図4】同ヒータの側面側から見た断面図
【図5】可動壁の構成を示す斜視図
【図6】上記アルミニウム真空ろう付炉を用いたアルミ
ニウム真空ろう付方法を説明するためのタイムチャート
【符号の説明】
1 炉体 4 加熱室 6 被ろう付品(マグネシウムを含むろう材を組み合
わせたアウミニウム部材) 8 壁 10 ヒータ(ヒータ手段) 11 エアシリンダ 12 可動壁 30 可動壁の駆動手段 33 エアシリンダ制御手段
フロントページの続き (72)発明者 福井 勝昭 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本 電装株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−52764(JP,A) 特開 平4−313462(JP,A) 特開 平4−279275(JP,A) 特開 昭62−287054(JP,A) 実開 昭59−162165(JP,U)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マグネシウムを含むろう材を組み合わせ
    たアルミニウム部材を、炉体内部の加熱室内に搬入し、
    該加熱室を真空雰囲気にするとともに、前記ろう材の融
    点以上に昇温して、前記アルミニウム部材をろう付する
    アルミニウム真空ろう付炉であって、 前記加熱室の壁の一部を開閉自在な可動壁により構成す
    るとともに、 前記加熱室の壁内面及び前記可動壁の内面に、前記加熱
    室の内面温度を前記マグネシウムの蒸発成分が付着しな
    い所定温度以上に維持するようにヒータ手段を配置した
    ことを特徴とするアルミニウム真空ろう付炉。
  2. 【請求項2】 前記請求項1において、前記可動壁の開
    閉を行なう駆動手段と、 前記加熱室内の前記アルミニウム部材の温度がマグネシ
    ウム蒸発温度付近に達したとき、前記可動壁を開位置か
    ら閉位置まで閉じるよう前記駆動手段を制御する制御手
    段とを備えることを特徴とするアルミニウム真空ろう付
    炉。
JP2447593A 1993-02-12 1993-02-12 アルミニウム真空ろう付炉 Expired - Fee Related JP2616651B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2447593A JP2616651B2 (ja) 1993-02-12 1993-02-12 アルミニウム真空ろう付炉
KR1019940002328A KR100246031B1 (ko) 1993-02-12 1994-02-08 알루미늄 진공 브레이징로 및 알루미늄 진공 브레이징 방법
US08/193,856 US5454507A (en) 1993-02-12 1994-02-09 Method for vacuum brazing aluminum members
DE4404263A DE4404263B4 (de) 1993-02-12 1994-02-10 Vakuumhartlötverfahren für Aluminium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2447593A JP2616651B2 (ja) 1993-02-12 1993-02-12 アルミニウム真空ろう付炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06234065A JPH06234065A (ja) 1994-08-23
JP2616651B2 true JP2616651B2 (ja) 1997-06-04

Family

ID=12139200

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2447593A Expired - Fee Related JP2616651B2 (ja) 1993-02-12 1993-02-12 アルミニウム真空ろう付炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2616651B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6429187B2 (ja) * 2014-11-18 2018-11-28 ボンドテック株式会社 接合方法および接合装置
CN113333892A (zh) * 2021-05-12 2021-09-03 滁州华海中谊工业炉有限公司 一种碳化钨加工用真空高温钎焊炉

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06234065A (ja) 1994-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3946319B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの処理方法
JPH11233934A (ja) 半田付け装置
JP3554432B2 (ja) プラズマディスプレイパネルの製造方法
US6007397A (en) Vacuum packaging apparatus for a field emission display and a method thereof using a glass-to-glass bonding
US5454507A (en) Method for vacuum brazing aluminum members
JP2616651B2 (ja) アルミニウム真空ろう付炉
US7625260B2 (en) Method of sealing glass panel assembly and sealing process furnace
JP2697546B2 (ja) アルミニウム真空ろう付炉用ヒータ
JPS6352764A (ja) アルミニウムの真空ろう付方法および真空ろう付炉
US3124634A (en) Furnace construction
JPH1021832A (ja) プラズマディスプレイパネルの排気・封入方法およびその設備
JP2658799B2 (ja) アルミニウム真空ろう付炉
JP2768163B2 (ja) 非腐蝕性フラックスを用いるアルミニウムろう付け方法及び非腐蝕性フラックスを用いるアルミニウムろう付け炉
US7152433B2 (en) Method of manufacturing image display apparatus and apparatus for manufacturing the same
JP3074811B2 (ja) 真空アルミニウムろう付け炉
KR100412084B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 장치
JP2003178681A (ja) 放電ランプの製造方法
JPH04281187A (ja) 真空熱処理装置
JPH10172435A (ja) プラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉
JPH0826458B2 (ja) 薄膜処理装置
JP4787402B2 (ja) ガラスパネルのカート式処理設備
KR100313109B1 (ko) 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법
JP3451894B2 (ja) 電子部品のプラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
JPH07115165B2 (ja) 真空ろう付装置
JPH11317169A (ja) プラズマディスプレイパネルの排気・封入用排気カ―ト

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100311

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 14

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110311

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 15

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120311

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees