JP2582476B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、高集積半導体デバイ
スの製造に好適な露光装置に関する。従来、この種の露
光装置においては、１デバイスパターンに対応する露光
作業が終了するたびに、実際の露光結果たるデバイスパ
ターンが予定されたデバイスパターンと正確に一致して
いるかを判定する機能が備えられている。

【０００２】しかしながら、従来この機能を実現するた
めには、露光結果たる感光体上のデバイスパターンを適
当な撮像装置を介して画像データに変換し、この画像デ
ータを基準となるデバイスパターン画像データと画面上
において照合するという複雑な処理が採用されていたた
め、デバイスパターンの微細化，複雑化が進に連れて処
理時間が増大し、検査能率の低下を招くという不都合が
あった。

【０００３】この為、この種の露光結果検査作業を能率
よく行うことができる露光装置が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】この種の露光装置においては、１デバイ
スパターンに相当する露光作業が完了するたびに、露光
結果たるデバイスパターンが予定されたデバイスパター
ンと正確に一致することを確認するために、所定の検査
作業を行う機能が備えられている。

【０００５】従来、この検査作業は、露光作業が完了す
るたびに、感光体上に形成される露光結果たるデバイス
パターンを、何等かの撮像装置で読み取るとともに、こ
れを画像データに変換し、この画像データを予定された
デバイスパターンに相当する画像データと画面上におい
て照合するという手順が採用されていた。すなわち、こ
の検査作業を図４に従って説明すると、露光データファ
イル４０１には、露光対象となるデバイスパターンをそ
れに含まれる基準パターンの種別及び座標で表した露光
データが格納されている。

【０００６】この露光データ４０１は、フォーマット変
換処理４０２を経ることにより、露光信号４０３に変換
され、この露光信号４０３によって例えば電子ビーム露
光器４０４における電子ビームの制御が行われ、その結
果ウェハー等の感光体４０５上には露光データ４０１に
対応したデバイスパターンが描画される。この様にし
て、１デバイスパターンに相当する露光作業が完了する
と、前述した検査作業が開始され、感光体４０５上に描
画されたデバイスパターンは、撮像処理４０６によって
撮影され、画像データ４０７に変換される。

【０００７】一方、デバイスパターン画像ファイル４０
８からは、所定の露光作業順序に従って基準となるデバ
イスパターン画像データが発生するように成されてお
り、照合処理４０９では撮像処理４０６で得られた画像
データ４０７とデバイスパターン画像データ４０８から
得られる画像データとを画面上に写しださせ、オペレー
タによる視覚を通じて両者の照合を行わせ、その結果、
当該露光作業の良否判定が行われるようになっている。

【０００８】しかしながら、この様な従来の検査作業を
備えた露光装置にあっては、１露光作業が完了するのを
待って、実際の露光結果を画像処理４０６を介して画像
データ４０７に変換し、これをデバイスパターン画像デ
ータファイル４０８から得られる画像データと照合処理
４０９において画面上で照合するという手順れが採られ
ていたため、半導体デバイスの高密度微細化が進に連れ
て、検査作業に時間がかかり、検査能率の低下を招くと
いう不都合があった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
検査作業を備えた露光装置にあっては、１露光作業が完
了するのを待って、実際の露光結果を感光体上から撮像
装置を介して読取り、得られた画像データを基準となる
画像データと画面を介して照合させるという手順が採用
されていたため、半導体デバイスの高密度微細化が進む
に連れて、処理に時間がかかり、検査能率の低下を招く
という問題点があった。

【００１０】この発明は、上述の問題点に鑑みて成され
たものであり、その目的とするところは、露光作業にお
いて、所望デバイスパターン通りの描画が正しく行われ
たか否かを迅速かつ確実に判定することができる露光装
置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項１に記載の露光装置は、入力される露光デー
タを第１フォーマットを持つ露光信号にフォーマット変
換する手段と、該露光信号に基づき露光ビームを制御す
ることにより感光体上にデバイスパターンを描画する露
光器とを有する露光装置において、所定の露光作業手順
に従って順次描画すべきデバイスパターンに相当すると
共に前記第１フォーマットとは異なる第２フォーマット
を持つ基準デバイスパターンデータを発生する手段と、
前記露光信号を前記第２フォーマットを持つ照合用デバ
イスパターンデータにフォーマット変換する手段と、前
記基準デバイスパターンデータと前記照合用デバイスパ
ターンデータとを照合する手段とを具備することを特徴
とする。請求項２に記載の露光装置は請求項１に記載の
露光装置において、前記第２フォーマットは、前記露光
データのフォーマットと同じであり、前記照合する手段
は、前記基準及び照合用デバイスパターンデータを相互
に比較することを特徴とする。請求項３に記載の露光装
置は請求項１に記載の露光装置において、前記第２フォ
ーマットは、画像データ用のフォーマットであり、前記
照合する手段は、前記基準及び照合用デバイスパターン
データを夫々画像データとして表示することを特徴とす
る。請求項４に記載の露光装置は請求項１から３のいず
れか一項に記載の露光装置において、前記発生する手段
は、前記基準デバイスパターンデータを格納する記憶手
段を備えたことを特徴とする。

【００１２】

【作用】このような構成によれば、露光信号をフォーマ
ット変換処理して得られるデータを用いて照合処理を行
うため、撮像装置を介して得られるデータに基づき照合
処理を行う場合に比べ、処理時間の低下を図り、検査能
率を向上させることができる。

【００１３】

【実施例】本発明の構成図を図１に示す。同図におい
て、露光データファイル１０１には、これから露光描画
しようとするデバイスパターンに相当する露光データが
格納されている。この露光データのフォーマットは、図
２に示されるように、デバイスパターンを構成する各パ
ターン形状Ａと、その座標（１，１）とからなるもので
あり、このようなデータフォーマットについては従来よ
り種々のもので知られている。

【００１４】露光データファイル１０１から読み出され
た各露光データは、フォーマット変換処理１０２を介し
て前述の露光信号１０３に変換される。ここで、露光信
号１０３のフォーマットは図３に示されるように、電子
ビーム露光器（ＥＢ）１０４内において、スリット３０
１を開け閉めしながら電子ビーム３０２を適当な方向へ
と振り、感光体１０５に描画を行う際に、スリットの開
け具合およびビームの振れ具合等をコントロールできる
形態に定められている。

【００１５】露光信号１０３は前述のように、電子ビー
ム露光器（ＥＢ）１０４に与えられ、これによりマス
ク，レチクル，ウェハー等の感光体１０５上には、所望
のデバイスパターンに相当する電子ビーム描画が行われ
る。一方、フォーマット変換処理１０２で得られた露光
信号１０３は、フォーマット変換処理１０６を介して、
再び露光データ１０１に逆変換される。なお、このとき
逆変換により得られる露光データのフォーマットは、元
の露光データファイル１０１に格納された露光データと
同一フォーマットでも良いし、また各ユーザ固有のフォ
ーマットのものでも良い。要するに、この逆変換処理に
より得られる露光データのフォーマットは、後述する照
合データと同一次元のもので在りさえすれば良い。

【００１６】一方、照合データファイル１０７は、所定
のフォーマット（前述の露光データと同一の次元を有す
る）により照合データを格納するものであり、この照合
データファイル１０７からは所定の露光作業順序に従っ
て、該当する露光データが順次読み出されるようになっ
ている。そして、フォーマット変換処理１０６で得られ
る実際の露光結果に対応するデータと照合データファイ
ル１０７から読み出された照合データとは、照合処理１
０８を介して自動的に、或いは画面を介する人の判断を
介して照らし合わされ、その結果、露光作業の良否，す
なわち予定されたデバイスパターン通りの露光が実際に
行われたかどうかの判定が行われる。

【００１７】以上の実施例によれば、感光体１０５から
撮像装置を介して得られた画像データを用いるのではな
く、その露光処理に使用された露光信号１０３をフォー
マット変換処理１０６で逆変換して得られたデータを使
用して照合処理が行われるため、露光作業と並行してそ
の良否をほぼ同時に判定することができ、加えて露光信
号１０３から逆変換処理により露光データを得る手順
は、撮像装置を介して感光体１０５から画像データを取
り出す作業に比べ簡単であるため、検査能率の向上を図
ることができる。

【００１８】以上の実施例によれば、露光データファイ
ル１０１から取り出された露光データを、フォーマット
変換処理１０２を介して露光信号１０３に変換し、これ
を電子ビーム露光器（ＥＢ）１０４に与えて感光体１０
５上に所望のデバイスパターンに相当する描画を行う一
方、当該露光作業に使用された露光信号１０３からフォ
ーマット変換処理１０６を介して得られたデータと、照
合データファイル１０７から読み出された照合データと
を、照合処理１０８を介して照合することにより、当該
露光作業の良否を判定するようにしているため、従来の
感光体１０５から撮像装置を介して得られた画像データ
と基準となる画像データとを比較する場合に比べ、従来
の検査作業で必要とされた画像変換処理，画像データ同
志の照合処理が不要となり、検査能率を大幅に向上させ
ることができる。

【００１９】また、照合処理１０８においては、露光デ
ータの次元においてデータ照合を行うため、従来の画像
データ同志の照合の場合に比べ、照合処理も簡素化さ
れ、これによっても照合処理の高速化を図ることができ
る。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、この発明
によれば、所望デバイスパターン通りの描画が正しく行
われたか否かを迅速かつ確実に判定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成図である。

【図２】露光データの説明図である。

【図３】露光信号の説明図である。

【図４】従来の検査作業の説明図である。

【符号の説明】

１０１…露光データファイル １０２…フォーマット変換処理 １０３…露光信号 １０４…露光器（ＥＢ） １０５…感光体 １０６…フォーマット変換処理 １０７…照合データファイル １０８…照合処理

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力される露光データを第１フォーマッ
   トを持つ露光信号にフォーマット変換する手段と、該露
   光信号に基づき露光ビームを制御することにより感光体
   上にデバイスパターンを描画する露光器とを有する露光
   装置において、 所定の露光作業手順に従って順次描画すべきデバイスパ
   ターンに相当すると共に前記第１フォーマットとは異な
   る第２フォーマットを持つ基準デバイスパターンデータ
   を発生する手段と、前記露光信号を前記第２フォーマッ
   トを持つ照合用デバイスパターンデータにフォーマット
   変換する手段と、前記基準デバイスパターンデータと前
   記照合用デバイスパターンデータとを照合する手段とを
   具備することを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記第２フォーマットは、前記露光デー
   タのフォーマットと同じであり、 前記照合する手段は、前記基準及び照合用デバイスパタ
   ーンデータを相互に比較することを特徴とする請求項１
   に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記第２フォーマットは、画像データ用
   のフォーマットであり、 前記照合する手段は、前記基準及び照合用デバイスパタ
   ーンデータを夫々画像データとして表示することを特徴
   とする請求項１に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 前記発生する手段は、前記基準デバイス
   パターンデータを格納する記憶手段を備えたことを特徴
   とする請求項１から３のいずれか一項に記載の露光装
   置。